【課題】被検査物の搬送装置上への供給の仕方を変更することなく、従来のこの種の検査装置に比して被検査物の重なりの影響を可及的に少なくすることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線源１とＸ線ラインセンサ２を収容するＸ線防護箱３の入口３ａに配置され、被検査物Ｗの通過により押し上げられて搬送経路を開くＸ線遮蔽部材７ａ〜７ｃを、その自重により、搬送装置４上で重なった被検査物Ｗを均すように構成することで、被検査物Ｗが重なった状態で搬送されてきても、これをＸ線源１とＸ線ラインセンサ２の手前で自動的に解消し、Ｘ線透視画像上に、被検査物が重なった像が存在することをなくし、正確な異物判定を可能とする。 （もっと読む）

【課題】 屈折コントラスト法の問題点を解決することのできるＸ線撮像装置およびＸ線撮像方法を提供する。
【解決手段】 Ｘ線発生手段から発生したＸ線を空間的に分割する分割素子を有する。また、分割されたＸ線が入射する第１の蛍光体が複数配列された蛍光体アレイを有する。この第１の蛍光体は、Ｘ線の入射位置に応じてＸ線による蛍光の発光量が変化するように構成されている。また、蛍光体アレイから発光した蛍光の強度を検出するための検出手段を有する。 （もっと読む）

【課題】各Ｘ線センサからのＸ線透過データの位置ズレを防止して高感度に異物を検出することができるＸ線検出器およびＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・およびセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・は、それぞれ所定間隔でそれぞれ一列に配置されていて、この所定間隔は、センサモジュール群１０２の各センサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・と、これらのセンサモジュール１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃ、・・・のそれぞれに対応させたセンサモジュール群１０１の各センサモジュール１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、・・・と、の各対応点をそれぞれ結んだ各方向線が集束領域で集束するようにそれぞれ決定された。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の３次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から３次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の２枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。
【解決手段】照射光学系中に第１の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる２つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した２つの電子線を結像光学系に配置した第２の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる２つの電子顕微鏡像を得る。この２つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する２つの像を生成し、表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】転動装置内に存在する空気領域を示すＸ線断層像のハレーション発生を防止することで、転動装置内に封入されている潤滑剤の分布、形状を正確に観察する。
【解決手段】内側軌道部材、外側軌道部材、転動体及び潤滑剤を備えた転動装置１にＸ線を照射することで転動装置の断面のＸ線吸収率を得るとともに、この断面のＸ線吸収率をグレースケール処理して画像データとして取得し、この画像データを画像表示装置で表示することにより前記転動装置の内部状態を観察する方法である。Ｘ線照射部からフィルタ２４を介して転動装置１にＸ線が照射される。フィルタは、転動装置内部に存在する空気に仮想的な肉厚を存在させてＸ線吸収率を持たせることが可能な所定のＸ線の照射線量を通過させる。 （もっと読む）

【課題】炭素系材料中のｓｐ^２炭素−炭素結合量とｓｐ^３炭素−炭素結合量との概算的な割合を精度よく求めることができる炭素系材料の分析方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線吸収分光法により炭素系材料のｋ殻吸収端スペクトルを測定し、得られたｋ殻吸収端スペクトルから、ｓｐ^２結合量に相応する量Ａと、ｓｐ^３結合量全体に相応する量Ｂと、ｓｐ^３炭素−炭素結合以外のｓｐ^３結合量に相応する量Ｂ１とを求め、前記量Ａをｓｐ^２炭素−炭素結合量とみなし、前記量Ｂから前記量Ｂ１を引いた量Ｂ２をｓｐ^３炭素−炭素結合量に相応する量とみなして、ｓｐ^２炭素−炭素結合量とｓｐ^３炭素−炭素結合量との概算的な割合を求める。 （もっと読む）

【課題】高容量のスタック型の電池であっても、電極板の位置ずれを検査できる電池検査装置を提供する。
【解決手段】層をなす複数の四角形の電極板を有する電池１の電極板の位置ずれを検査する電池検査装置であり、Ｘ線管２から放射されるＸ線ビーム３に電極板が沿うように電池１を位置決めする位置決め機構４と、電池１を透過したＸ線ビーム３を検出し透過像として出力するＸ線検出器５と、電極板の第一の角部分を面に沿ってかつ辺に対し傾斜した方向で透過したＸ線ビーム３を検出した第一の透過像と、電極板の第二の角部分を面に沿ってかつ辺に対し傾斜した方向で透過したＸ線ビーム３を検出した第二の透過像とを取込んで処理し、電極板の位置ずれを検出して良否を判定するデータ処理部６とを有する電池検査装置。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線照射によって得られた転動装置のＸ線断層データによって潤滑剤の状態を正確に観察することができる転動装置の観察方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を照射することで転動装置の内部のＸ線吸収率データを得るとともに、このＸ線吸収率データに基づいて、前記転動装置の内部の濃淡をグレースケールで表すＸ線画像データを取得する。次いで、ＣＡＤデータに基づいて転動装置を構成する内側軌道部材、外側軌道部材及び転動体の形状を示すＣＡＤ画像データを取得する。次いで、前記Ｘ線画像データ及び前記ＣＡＤ画像データの差に基づいてこれらデータの非共通部分である差分画像データを取得する。次いで、前記Ｘ線画像データ及び前記差分画像データに基づいて前記転動装置の内部形状を画像表示装置に表示し、形状変化部分を観察する。 （もっと読む）

【課題】搬送中の商品の揺れを抑制して、安定したＸ線検出画像を得ることによって、従来よりも検査精度が向上したＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置はガイド部材１８を有したコンベアを備えている。ガイド部材１８は、一対の曲面支持部１８ａ、１８ｂと、曲面支持部１８ａの搬送方向上流側に設けられた水平支持部１８ｃと、水平支持部１８ｃと同様のものであって、曲面支持部１８ｂの搬送方向下流側に設けられた水平支持部１８ｅと、曲面支持部１８ａと同構成の曲面支持部１８ｂとの間に設けられた切り目１８ｄと、を有しているものである。曲面支持部１８ａは、搬送ベルト１２ｅを幅方向に湾曲させつつ支持する曲面を有した第１支持部１８ａ_１と、第１支持部１８ａ_１の搬送方向上流側に設けられている第２支持部１８ａ_２とを有しているものである。 （もっと読む）

【課題】 試料の材料分析と内部構造分析とを省力的に短時間で行うことができ、また大型試料にも対応可能で、しかも、持ち運んで屋外で使用することもできる大型試料用のＸ線複合分析装置、及び当該装置を利用したＸ線複合分析方法を提供すること。
【解決手段】 Ｘ線光源に面光源である焦電結晶を用いたＸ線面状照射器１と；Ｘ線を照射する試料Ｓを配置するための試料セッティング部２と；この試料セッティング部２に対して、前記Ｘ線面状照射器１と同じ側、またはＸ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料Ｓから放出される蛍光Ｘ線を検出可能な蛍光Ｘ線検出器３と；前記試料セッティング部２に対し前記Ｘ線面状照射器１の反対側に配置され、かつ、Ｘ線が照射された試料ＳのＸ線透過像を撮影可能なＸ線撮像器４とを含んでＸ線複合分析装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】部品(components)のインライン検査に適切なシステムを提供する。
【解決手段】Ｘ線照射によって複数の実質的に同一の部品(components)（１２）を自動的に検査しおよび／または測定するためのシステム（１０）は、Ｘ線装置（２４、２５）を備えた検査／測定装置（１１）と、検査／測定装置を取り囲む保護キャビン（１５）と、検査／測定装置へまたはそれから離れて部品(components)を連続して搬送するための搬送装置（１３）と、制御／評価ユニット（１４）であって、システムを自動的に制御するためにおよびＸ線信号を評価するために設定される制御／評価ユニット（１４）とを備える。検査／測定装置は、サポート（１７）と、連続して回転可能であるようにサポートに装着されたロータ（１８）とを備え、Ｘ線装置は、ロータに配置され、搬送装置は、ロータを通って部品を順次搬送するように設定される。 （もっと読む）

【課題】複数のエネルギー帯のＸ線を用いて測定対象の成分を計測できるとともに、測定対象に応じて識別すべきエネルギー帯を容易に変更できるＸ線成分計測装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１０から照射されたＸ線は、計測対象３０を透過して、Ｘ線検出器２０に入射する。Ｘ線検出器２０は、量子計数方式の検出器であって、予め設定された２個以上のしきい値で区切られたエネルギー帯のＸ線量子数を計数する。Ｘ線検出器２０により計数されたＸ線量子数に基づいて３種類以上の成分比を算出することができる。しきい値は、測定対象に応じて変更でき、しきい値を３個以上にとると、４種類以上の成分比を算出することができる。 （もっと読む）

【課題】電気電子製品製造工程でのＰＣＢに部品を装着した上、ハンダ付け作業後に製品の信頼性を確保するために、被測定物をｘ、ｙ、ｚ軸への移動だけでなく、回転して多様な角度での検査が可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】ケース内部に設けられたステージ、Ｘ線チューブ、ディテクターから構成され、被測定物を前記ステージに載置させ、前記Ｘ線チューブでＸ線を照射し前記ディテクターで撮像し被測定物を検査するＸ線検査装置において、前記ステージは回転自在に構成される回転ステージ、または一側に偏って通孔された部分に回転自在に設けた円形の回転ステージを有し、前記回転ステージは、下部に連結棒が構成され、この連結棒の下段に回転モーターが取り付けられ、この回転モーターは固定フレームによって前記ステージに固定されるように構成し、前記回転モーターの回転によって前記回転ステージが回転するように構成することで解決した。 （もっと読む）

【課題】保温材で取り囲まれる配管及び容器のいずれかの外面とその保温材を取り囲む保温カバーの外面との間に形成される領域内に存在する水分の検出精度を向上できる水分測定装置を提供する。
【解決手段】水分測定装置１は測定装置本体部５を有し、測定装置本体部５のケーシング２５内に、中性子源装置３及び中性子検出装置６が設けられる。中性子源装置３は高速中性子を放出する中性子源２を有し、中性子検出装置６は中性子検出器７をコリメータ８で取り囲んでいる。コリメータ８に設けられたコリメータ開口部９には、複数の仕切り部材１０が配置され、これらの仕切り部材１０によって複数のスリット１１が形成されている。中性子源２から放出された高速中性子は、減速材２４で減速された後、保温領域内に存在する水分３４でさらに減速されて熱中性子になる。この熱中性子はスリット１１を通って中性子検出器７で検出される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて分解能をより一層向上させることができる荷電粒子顕微鏡及び解析方法を提供する。
【解決手段】試料２０内で広がった電子線プローブをＣＣＤカメラ２３で撮影し、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを取得する。その後、ＣＣＤカメラ２３を電子線の通過域から退避させ、ＳＴＥＭ検出器２２により観察像を取得するとともに、ＥＥＬＳ検出器２４によりＥＥＬＳスペクトルを取得する。次いで、電子線プローブ（実効的プローブ）の形状、大きさ及び強度分布のデータを使用し、分析目的位置毎に分析目的位置に照射される電子線量（強度）とその周囲に照射される電子線量とを演算し、その結果に基づいてＳＴＥＭ検出器２２又はＥＥＬＳ検出器２４により得た測定値を演算処理して、周囲の影響を排除した真の測定値を得る。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線減弱率が被検査物の正常部位と大差のない物質からなる異物でも、その混入を確実に検出することができ、しかも、検査に先立つ装置の設定作業が容易で、更にはこれらの機能を持つが故のコストの上昇を極力抑制したＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線エネルギが互いに異なる透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段２と、良品の被検査物もしくはそれと同等の物品を撮像して得られる複数のＸ線エネルギそれぞれの出力の相互の関係を記録しておく記録手段７を備えるとともに、被検査物の検査時にＸ線検出手段２による複数のＸ線エネルギの検出出力から、記録手段により記録した相互の関係からの乖離度より画像を形成する画像形成手段６を備え、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定する。画像形成手段６により形成された画像は、異物以外の被検査物の像はほぼ一様となるのに対し、異物の像は強調された状態となり、その画像形成手段により形成された画像に基づいて異物の有無を判定することで、課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 特許文献１に記載された手法と比較して、検出器の画素サイズに対しＸ線の移動量検出範囲が十分に取れるＸ線撮像装置等を提供する。
【解決手段】 本発明のＸ線撮像装置は、Ｘ線を空間的に線状に分割する分割素子を有する。また、分割素子により分割され、被検知物により位置が変化したＸ線の一部を遮蔽する遮蔽手段を有する。この遮蔽手段は、Ｘ線を透過する領域とＸ線を遮蔽する遮蔽素子を備えた領域とを有する。Ｘ線を透過する領域と遮蔽素子を備えた領域との境界線が前記線状に分割されたＸ線を横切るように斜めに配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】リファレンス検出部を検出部の近傍に設置し線量全体の補正のみならず、線源の放射分布変化に対してもリアルタイム補正を行うことで、より精度の高い測定を実現する。
【解決手段】放射状に発散角を持つ放射線源とライン状の放射線検出器を有する放射線検出装置において、リファレンス用放射線検出器を放射線源と試料の間で且つ、測定用Ｘ線検出器に向かう放射線束を妨げない近傍に配置し、リファレンス用放射線検出器出力から線源の強度及び強度分布の変動分を検出し、測定用放射線検出器出力の補正を行うことで、線源の強度及び強度分布を補正した。 （もっと読む）

対象物体を走査するポータブル検出装置は、一実施例では、タワーユニットと、センサユニットと電子ユニットとを具えており、それぞれ運搬および保管時に比較的素早く分解したり、使用時に組み立て直すため、互いに着脱可能に係合するよう構成されている。さらに、各ユニットは、容易に運搬したり比較的制約された空間で動作できるようなサイズに構成されている。センサユニットはタワーユニットの垂直方向を向いたタワー支柱と選択的に係合するよう構成され、タワー支柱の長さを横移動するだけではなく、その周りを水平および垂直方向に回転することもでき、対象物体の位置にかかわらずセンサユニットを関節接合して対象物体の近くに選択的に配置することができる。電子ユニットはタワーユニットと選択的に係合し、安全距離でセンサユニットを遠隔的に操作するよう構成されたポータブルコンピュータデバイスを提供している。 （もっと読む）