【課題】低エネルギＸ線の散乱による被検査物内の異物像のコントラストの低下を防止し、簡単な操作により、様々な材質の被検査物のそれぞれに良好なコントラストの異物像を得ることができ、ひいては異物の検出性能を常に良好なものとすることのできるＸ線検査方法および装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生器１からのＸ線を被検査物Ｗに照射し、その被検査物Ｗを透過したＸ線の空間線量分布から、被検査物内の異物の有無を判定するに当たり、Ｘ線発生器１と被検査物Ｗの間に、当該被検査物Ｗの材質と同じ材質、もしくは、当該被検査物Ｗの材質とＸ線に対して等価な物質からなるＸ線フィルタＦを介在させることで、被検査物Ｗ（正常部位）を透過しやすいＸ線で、かつ、被検査物Ｗ内で散乱しにくいエネルギ帯のＸ線を選択的に被検査物Ｗに照射することを可能とし、被検査物Ｗ内でのＸ線の散乱による異物像のコントラストの低下を防止する。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透過画像にモアレ縞が発生する場合において、モアレ縞を消滅させる。
【解決手段】画像処理合成装置１４は、X線源１１と輝度倍増管１２とカメラ１３とから成る構成により得られた、被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。モアレ縞発生の場合には、回転機構制御部１５によって輝度倍増管１２とカメラ１３とを回転軸Ｃ２回りで同期回転させる（所定角度分回転）。そして、再び被検体１のＸ線画像を取得し、モアレ縞が発生しているか否かをチェックする。これをモアレ縞が発生していないＸ線画像が得られるまで繰り返す。 （もっと読む）

【課題】
半導体装置製造プロセスで形成されるパターンの検査前に実行されるプリチャージの最適な条件を簡易に設定できるようにし、プリチャージの良否を自動判定し、その後の動作にフィードバックするようにして、検査結果の信頼性の低下を防ぎ、常に安定した検査ができるようにする。
【解決手段】
電子ビームを照射する前に、電子ビームを発生させる電子源とは別の第二の電子源から電子を発生させて基板の表面に帯電を形成させる帯電形成手段と、該帯電形成手段により基板の表面に帯電が形成された状態で、基板に流れる電流の値を計測する電流計測手段と、該電流計測手段により計測された電流の値が予め定められた目標値になるように帯電形成手段により形成される帯電を調整する調整手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検査基板８を短時間で検査可能な電子線式基板検査装置１を提供する。
【解決手段】検査基板８上の検査領域内に電子線９を走査させる手段１１、１２と、検査基板８から発生する信号を検出する手段７と、検査基板８上の走査位置と信号を対応付けて画像化する手段１３と、検査基板８上に形成される複数の半導体装置の配列データと設計データ１９とに基づいて、検査基板８上における複数の半導体装置の存在する範囲を示すダイ領域と、半導体装置における、論理回路の存在する範囲を示す論理回路領域と、メモリ回路の存在する範囲を示すメモリ回路領域と、周辺回路の存在する範囲を示す周辺回路領域との内の少なくとも１つの領域をレイアウト上に生成する手段１５ａと、生成された領域を用いて、検査領域を設定する手段１５ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】物品サイズ等に関してオペレータによる設定値の入力作業が不要であり、しかも、どのような向きで物品がＸ線検査装置に供給された場合であっても、封止部分への内容物の噛み込みを正確に判定することが可能な、Ｘ線検査装置を得る。
【解決手段】２値化画像作成部９４は、シール部分３１の輝度レベルよりも低い輝度値を第１のしきい値ＴＨ１としてＸ線透過画像を２値化することにより、第１の２値化画像（画像データＳ１３Ａ）を作成し、第１のしきい値ＴＨ１よりも低く、チーズ３０の部分の輝度レベルよりも高い輝度値を第２のしきい値ＴＨ２としてＸ線透過画像を２値化することにより、第２の２値化画像（画像データＳ１３Ｂ）を作成し、噛み込み判定部９５は、第１の２値化画像と第２の２値化画像とに基づいて、シール部分３１へのチーズ３０の噛み込みを判定する。 （もっと読む）

【課題】より短時間で欠陥を撮像できる欠陥観察装置および欠陥観察方法を得ること。
【解決手段】この欠陥観察方法は、観察対象物の欠陥および基準マークの位置座標を取得するステップと、欠陥を検出して、この検出された欠陥位置に応じて位置座標を補正する第１の方法で欠陥を撮像するのに必要な第１の時間を算出するステップと、基準マークを検出して、この検出された基準マーク位置に応じて位置座標を補正する第２の方法で欠陥を撮像するのに必要な第２の時間を算出するステップと、第１、第２の時間を比較するステップと、比較結果に応じて、第１または第２の方法で位置座標を補正して欠陥を撮像するステップとを具備する。 （もっと読む）

【課題】現地プラント配管撮影のように、従来ＣＴで必要な完全データの取得が困難であり、非常に小さい角度範囲での不完全投影データのみから画像再構成演算を実施し、被検体内部の浅い減肉のような微小欠陥などを画像化できる高画質な断層画像を作成できる配管検査用断層撮影方法および装置を提供することにある。
【解決手段】断層撮影装置２０は、限定された複数の方向から前記配管の投影データを撮影する。制御・画像取込装置３１は、投影データを取り込む。画像再構成演算装置３４は、画像取込装置３１により取り込まれた投影データから配管の概略形状を画像再構成する。形状情報付与装置３２は、画像再構成演算装置３４により計算された配管の概略形状に対して配管の概略形状の精密な形状情報を与える。画像再構成演算装置３４は、形状情報付与装置３２により与えられた精密な前記形状情報を拘束条件として画像再構成を実施する。 （もっと読む）

【課題】試料表面を短時間で走査し且つ試料表面に付着した粒子を高分解能で検出することができる走査型粒子検出装置を提供する。
【解決手段】導体部を有する探針８にて試料Ｓ表面を走査し、試料Ｓ表面に付着した粒子Ｐが存在する検査対象領域を検出する走査型粒子検出装置において、検査対象領域を検出した場合、試料Ｓ表面から離隔する方向へ探針８を移動させる探針駆動機構６と、探針８を試料Ｓ表面から離隔させた状態で、探針８から電子を放出させる引き出し電極１１及び加速電極１２と、探針８から放出された電子を検査対象領域の面積よりも小さい断面積を有する電子ビームに集束させ、該電子ビームを検査対象領域に照射させるコンデンサレンズコイル１３及び対物レンズコイル１４と、電子ビームの照射によって検査対象領域から放出された二次電子を検出する二次電子検出部１５と、二次電子の検出結果に基づいてＳＥＭ画像を生成する制御部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】画素の複数のデータ検出領域から取得したビームデータを用いて一画素分の強度値を算出する場合において、強度値から誤欠陥データの影響を低減し、誤欠陥データの影響による欠陥判定を防ぐ。
【解決手段】画素の複数のデータ検出領域から取得したビームデータの中から誤欠陥データを排除して選択し、選択したビームデータを用いて一画素分の強度値を算出することによって、強度値から誤欠陥データの影響を低減し、誤欠陥データの影響による欠陥判定を防ぐ。 （もっと読む）

【課題】物品供給装置からＸ線検査装置の搬送コンベアへの物品供給量を適正に制御することにより、正確な異物検査を実行することが可能なＸ線検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、検査対象である物品５０にＸ線を照射するＸ線照射部７と、物品５０を透過したＸ線を検出するＸ線検出部８と、上流の物品供給装置１２から供給された物品５０を、Ｘ線照射部７とＸ線検出部８との間のＸ線照射経路１００を通過するように搬送する搬送コンベア６と、Ｘ線検出部８の検出結果（データＳ１）から求めた物品５０の厚みに基づいて、物品供給装置１２から搬送コンベア６への物品供給量を制御するコンピュータ９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロータディスクを結合する溶接における欠陥を検出するための改良された検査法を提供する。
【解決手段】溶接２５が、ニッケル合金から形成されておりかつ、ロータディスク１０，１５の間の半径方向の間隙を充填しておりかつ、ロータディスク１０，１５のそれぞれと異なる微細構造を有している方法において、ａ）第１のロータディスク１０の内面１２又は外面１１から第１のロータディスク１０内へ部分的に延びた少なくとも１つのスロットを第１のロータディスク１０に形成するステップと、ｂ）溶接２５の欠陥２７を検査するために第１のスロット２０から溶接２５に検査信号を通過させるステップとを特徴とする。 （もっと読む）

本発明では、缶巻締部断面と缶巻締部シワとをＸ線で検査するための位置決め装置であって、Ｘ線出射口領域に被検査缶用第１の止め要素を付設されたＸ線源と、Ｘ線を受信するための検出器とを含むものに関する。このため、互いにずらして配置される少なくとも３つの止め要素によって前記被検査缶が前記Ｘ線源に対して位置決め可能であり、さまざまな缶直径及び所望の入射角度に適応可能にするために前記止め要素の内の２つが、該止め要素の内の２つにおける位置を積極的に変更可能とする構成となっていることが提案される。 （もっと読む）

【課題】引け巣を鋳造金型内の所望位置に容易に発生させ、該引け巣の挙動を観察することのできる引け巣発生方法及び引け巣観察方法を提供する。
【解決手段】本引け巣発生方法及び引け巣観察方法によれば、鋳造金型２内に予め引け巣の発生源３を配置することにより、溶湯の流入後に引け巣を容易に発生させて、その後引け巣の挙動を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】判定結果の信頼性を向上させることができる物品検査装置を提供すること。
【解決手段】被検査物Ｗを搬送する搬送部２と、搬送部２により搬送される被検査物Ｗを同一検査条件で複数回検査して、検査毎に被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの仮判定を行う仮判定部５と、仮判定部５が検査毎に複数行った仮判定に基づいて、被検査物Ｗが良品または不良品のいずれであるかの本判定を行う本判定部６と、を備えた。また、本判定部６が、仮判定部５が行った複数の仮判定のうち良品の仮判定が不良品の仮判定よりも多かったとき、被検査物Ｗが良品であるとの本判定を行う。 （もっと読む）

【課題】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を電子顕微鏡等で詳細に観察する装置において、観察対象の欠陥を確実に電子顕微鏡等の視野内に入れることができ、かつ装置規模を小さくできる装置を提供する。
【解決手段】光学式欠陥検査装置または光学式外観検査装置で検出した欠陥を観察する電子顕微鏡5において、欠陥を再検出する光学顕微鏡14を搭載し、この光学顕微鏡14で暗視野観察する際に瞳面に分布偏光素子及び空間フィルタを挿入する構成とする。 （もっと読む）

【課題】鋳巣の種類の判別を確実に行なうことができる鋳造内部欠陥検査支援装置及び方法を提供する。
【解決手段】鋳造品の各部分に対応する部分対応三次元形状モデル３２ｐの変形量を算出し、モデル３２ｐ毎の変形量に基づいて、モデル３２ｐ毎の計算対象範囲Ｋを設定し、判別対象とされる鋳巣（鋳巣モデル３４）を含むモデル３２ｐの計算対象範囲Ｋでベストフィット処理し、鋳巣の種類（引け巣及びガス巣）の判別を行う。ベストフィット処理を判別対象とされる鋳巣モデル３４を含む部分対応三次元形状モデル３２ｐの計算対象範囲Ｋで行うので、鋳造品の加熱処理に伴って部分的に大きい値となる変形量に起因して先行技術で生じ得る、計算対象範囲Ｋからの対象となる鋳巣モデルの逸脱を回避でき、この分、鋳巣の種類の判別をより確実に行なうことができる。 （もっと読む）

【課題】非水電解質二次電池内部の電極間に存在する気泡およびＸ線吸収率の低い異物を検出することができる非水電解質二次電池検査装置を提供する。
【解決手段】非水電解質二次電池１００に平行Ｘ線３１０を照射するＸ線照射手段３００を設け、Ｘ線照射手段によって照射された平行Ｘ線が非水電解質二次電池を透過したときに生ずる透過Ｘ線３１１を、屈折像によりＸ線検知手段３２０で検知する。 （もっと読む）

【課題】層数が多くかつ層間のピッチが狭い多層基板であっても、その精細な三次元再構成画像を生成可能な放射線透過画像撮像装置および放射線透過画像撮像方法ならびにそれに用いる基板固定用治具を提供する。
【解決手段】本装置１は、放射線を基板Ｐに照射する放射線発生器１０と、基板を透過した放射線を検出する放射線検出器２０と、回転軸Ａを中心として放射線の光軸Ｒと基板Ｐとを相対回転させる回転機構（ターンテーブル４０）と、基板を回転軸と直交する平面上を移動させるステージ（Ｘ−Ｙステージ３０）と、基板の撮像部位の倍率を調整する拡大倍率可変機構（昇降機構５０）と、基板を保持しかつステージに対して固定するための基板固定用治具６０と、を備え、光軸が回転軸に対して９０度未満の角度で交差するように設定されており、基板固定用治具が、回転軸と平行になるように（または９０度未満の角度で交差するように）基板をステージに固定する。 （もっと読む）

【課題】 高拡大率で、被検体の高分解能高品位の３次元画像を得ることにある。
【解決手段】 Ｘ線ビームを照射するＸ線源３と、被検体１から透過してくるＸ線ビーム２を検出するＸ線検出器４と、Ｘ線ビーム内で、Ｘ線ビーム中心線の方向に対し９０度より小さなラミノ角で交差する回転軸ＲＡに対し、被検体１とＸ線ビームとを相対回転させる回転手段６と、Ｘ線検出器４で検出したＸ線透過像から３次元画像を作成する制御処理部１２とを備え、制御処理部１２は、被検体１とＸ線源３との間で干渉しない回転可能範囲に基づき、半回転を超え１回転を満たない角度範囲で回転され所定の回転角度毎にＸ線ビームの透過像をＸ線検出器４で撮影するスキャン制御部１２ａと、Ｘ線検出器４で検出された多数の透過像から被検体の３次元画像を作成する再構成部１２ｃとを設けた構成である。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、三次元的に形成されたパターンの深部の状況や試料の帯電の状況に依らず、安定した位置合わせ、或いは特定層の選択的な情報抽出を行うことを目的とした方法、及び当該目的を達成するための装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、パターン上部の形状が選択的に表現された第１のテンプレートを用いて、複数層が表現された画像情報上で第１のパターンマッチングを行う方法、及び装置を提案する。また、特定層の選択的な抽出を行うために、上記複数層が表現された画像情報、或いは形状情報から、パターン上部の形状に関する情報を差し引く方法、及び装置を提供する。 （もっと読む）