【課題】材料の二次電子放出特性についての正確な評価を容易に行うことが可能な評価方法を提供する。
【解決手段】真空雰囲気中に設置された材料にイオンビームを照射した際に発生する二次電子スペクトルを用いた材料の評価方法であって、被測定試料および基準試料のそれぞれにイオンビームを照射することにより放出される二次電子を測定することにより得られた各電子スペクトルに基づき、電子スペクトルの各々を所定の二次電子エネルギーの範囲で積分して、被測定試料積分強度および基準試料積分強度を測定する積分強度測定工程と、被測定試料積分強度の基準試料積分強度に対する相対比を求める積分強度相対比算出工程と、相対比により被測定試料における二次電子放出性能を評価する評価工程とを有している材料の評価方法。 （もっと読む）

【課題】液相法により得られた金属ナノ粒子を、付着した保護配位子を除去し、かつ酸化させないようにして分析する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】保護配位子が付着した卑金属を含む金属ナノ粒子が分散したコロイド溶液にアルコールを加えて金属ナノ粒子を沈殿させること、および得られた沈殿物を分散媒に再分散させることを含む精製工程を嫌酸素雰囲気下で２回以上行い、得られた精製コロイド溶液から分析用サンプルを嫌酸素雰囲気下で調製する。 （もっと読む）

【課題】 異物起因のコントラストのみを明確に判別して過検出及び誤検出を防ぐことができるＸ線透過検査装置及びＸ線透過検査方法を提供すること。
【解決手段】 測定対象の元素のＸ線吸収端より低いエネルギーの第１の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第１のＸ線管球１１と、元素のＸ線吸収端より高いエネルギーの第２の特性Ｘ線を試料Ｓに照射する第２のＸ線管球１２と、第１の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第１の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第１のＸ線検出器１３と、第２の特性Ｘ線が試料Ｓを透過した際の第２の透過Ｘ線を受けてその強度を検出する第２のＸ線検出器１４と、検出された第１の透過Ｘ線の強度の分布を示す第１の透過像と検出された第２の透過Ｘ線の強度の分布を示す第２の透過像とを作成し、第１の透過像と第２の透過像との差分からコントラスト像を得る演算部１５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料にイオンビームを照射した際に生じる二次電子の総量のみならず、二次電子の詳細なエネルギー情報をも正確に得て、電子スペクトルとして検出することができ、試料の二次電子放出特性を正確に把握することが可能となる電子スペクトルの測定方法および測定装置を提供する。
【解決手段】被測定試料の表面状態を実質的に変化させないイオンビーム照射条件を選定する照射条件選定工程と、照射条件選定工程で選定されたイオンビーム照射条件に基づいて被測定試料にイオンビームを照射する照射工程と、イオンビームの照射により被測定試料から放出された二次電子スペクトルを、イオンビームの照射軸と異なる方向に設置された同軸円筒鏡型エネルギー分析器を用いて測定する測定工程とを有している電子スペクトルの測定方法およびそれに用いる測定装置。 （もっと読む）

【課題】土壌溶出量・含有量の分析について、公定分析法により作成した試験溶液を、蛍光Ｘ線分析法により簡単に、しかも高精度の分析結果を得るようにする。
【解決手段】採取した土壌試料に水または塩酸を混合して遠心分離することにより得られた土壌抽出液を不溶化濃縮する工程と、濃縮された土壌抽出液を蛍光Ｘ線分析して含有多元素成分を同時分析する工程とからなる。これにより分析対象元素を高精度に、しかも１００％回収することができる。また不溶化後に土壌抽出液を濃縮するために、土壌溶出量試験の濃度レベル（溶出量は基準値の半分）までの分析が可能になるほか再現性がよく、しかも鉄系の凝集剤を用いた場合においても、二次フィルターの材質としてアルミニウム薄膜を用い、鉄のサムピークの影響をなくすことができ、鉛のピーク（Ｌβ）を効率よく分離させることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダの形状や搭載状態を、ステージマップ上に表示できる表面分析装置を提供する。
【解決手段】複数の試料ホルダを搭載可能な試料ステージ１９、試料ステージ１９を駆動するステージ駆動手段１１、複数の試料ホルダにそれぞれ収納された試料に対して、逐次測定をする測定手段１２を有する測定ユニット１と、ホルダベース、複数の試料ホルダの装着位置座標及び複数の試料ホルダの形状に関する表示情報を生成するマップ表示情報生成手段２３１、複数の試料ホルダの装着位置及び複数の試料ホルダの種類の情報を含む配置情報を生成するホルダ配置情報生成手段２２２、配置情報からホルダ配置図を生成するホルダ配置図生成手段２２３、ホルダ配置図をステージマップ図に合成するステージマップ表示手段２２６を有する演算処理装置２２ａと、ステージマップ図を表示する表示装置２６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 分光可能な特性Ｘ線を発する元素及び分光可能な分光素子を一覧でき、容易に分析条件を選択できる分析条件選択支援装置及び分析条件選択支援方法を提供する。
【解決手段】分光素子のボタンを配列した分光素子選択部と元素のボタンを配列した元素選択部を有する分析条件選択画面を表示させる選択画面表示手段３１、元素が発する特性Ｘ線と分光素子の関係の情報を格納した分光範囲記憶装置２６、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、分光素子選択部で指定された分光素子によって分光可能な元素のボタンに対し、特性Ｘ線の種類を元素のボタンに分類表示させる元素選択部表示手段３２、分光範囲記憶装置２６から情報を読み出し、指定された元素によって発せられる特性Ｘ線の種類を元素の特性Ｘ線を分光可能な分光素子のボタンに分類表示させる分光素子選択部表示手段３３とを備える。 （もっと読む）

本発明が解決すべき課題は、少なくとも一つのガルバニセルを有するバッテリーを動作させるための方法によって解決される。前記少なくとも一つのガルバニセルは、少なくとも間欠的に、特に前記バッテリーもしくはガルバニセルの所定の動作状態において検査を受ける。
（もっと読む）

【課題】外観からは表裏判別が困難または不可能な元素組成が表裏で異なる積層体の表裏を容易に判別できる方法を提供すること。
【解決手段】シート状非金属基材の片面上に第１の層を、その反対面上に第２の層を有する積層体の表裏を判別する方法であって、第１の層と第２の層は元素組成が相違しており、第１の層側と第２の層側とからそれぞれＸ線を少なくとも１回照射する蛍光Ｘ線分析（ＸＲＦ）を実施するに際し、第１の層と第２の層のいずれか一方にのみ含まれる元素に由来するＸ線スペクトル強度に、第１の層側からＸ線を照射して測定した場合と第２の層側からＸ線を照射して測定した場合とで有意差が生じるようなエネルギーレベルのＸ線を照射することを特徴とする、積層体の表裏を判別する方法。 （もっと読む）

サムピークを自動的に抑制するＸ線蛍光（ＸＲＦ）分析器を作動させる方法を開示する。本方法は、試料を照射して最初のエネルギスペクトルを取得する段階を含む。エネルギスペクトルは、着目元素の特徴的蛍光ピークを妨害するサムピークを識別するように処理される。識別されたサムピークに寄与する放射線を減衰させるフィルタが放出放射線経路に位置決めされ、フィルタリング済みのエネルギスペクトルが得られる。ある一定の実施形態では、フィルタリング済みエネルギスペクトルは、最初のエネルギスペクトルから計算された着目元素の検出限界（ＬＯＤ）がターゲット目標を満たさない時にのみ得られる。 （もっと読む）

【課題】進行中の測定値に応答して検出器回路のパラメータをリアルタイムで設定し、かつ変更する蛍光Ｘ線分析方法及び装置の提供。
【解決手段】サンプルの元素組成及び／又はエネルギ分解能条件に従って、Ｘ線検出器１１４のシェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータを適合させる方法及び装置。Ｘ線１０４はＸ線源１０２からサンプル１１０に向けられ、これに応答してサンプルから放出される放射線（例えば、元素組成の特徴を有する蛍光発光した放射線）１０８が、入射放射線のエネルギ及び強度を示すパルスを発生するＸ線検出器１１４により検出される。元素組成の最初の分析に基づいて、シェーピング時間及び／又は他のパルス処理パラメータが、対象とするスペクトル領域内のエネルギ分解能の拘束を受けるカウント速度を最適化すべく設定される。 （もっと読む）

【課題】 過去の測定結果情報との比較により、容易な変化点管理を行うことが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供すること。
【解決手段】 被測定物２０５を特定する特定情報を入力する入力部２０１と、被測定物の測定部位画像を取得する撮像部２１０と、蛍光Ｘ線の測定後においては、少なくとも、被測定物の分析結果を表示する表示部２０８と、特定情報に対応づけられた過去の測定情報を蓄積したデータベース２０９と、を備え、測定情報は、被測定物の測定部位画像と分析結果とを含み、表示部は、蛍光Ｘ線の測定条件設定時においては、少なくとも、撮像部で得られる被測定物の測定部位画像と、データベースに蓄積されている測定情報のうち入力部で入力された特定情報に対応する測定情報に含まれる被測定物の過去の測定時の測定部位画像と、を同時に表示可能である、蛍光Ｘ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】溶融排ガスから集塵手段にて捕集された飛灰を容易に無害化できる飛灰処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】飛灰にＣｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤を供給して混練する手段と、飛灰中のＣｒ含有量を測定する手段と、飛灰からの溶出液のｐＨを測定する手段と、予め用意した溶出液のｐＨとＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率との相関関係に基づいて、測定したｐＨにおけるＣｒ含有量に対するＣｒ（ＶＩ）溶出量の比率を算出し、算出された比率をＣｒ含有量の測定値に乗ずることによって、飛灰からのＣｒ（ＶＩ）溶出量の予想値を演算し、かつ、その予想値に基づき、Ｃｒ（ＶＩ）用重金属溶出防止薬剤の適切な供給量を目標値として演算する手段と、その目標値となるように供給量を調整する手段とを備え、Ｃｒ含有量を測定する手段が、蛍光Ｘ線分析装置である飛灰処理装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試料表面の粒子の蛍光Ｘ線スペクトルに基づいて粒子径を測定する粒子径測定装置、粒子径測定方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線源１３からウェハ３表面にＸ線ビームが照射され、ウェハ３表面が走査されてウェハ３表面の各粒子の蛍光Ｘ線スペクトルが測定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトル及び標準スペクトルデータベース２８１に格納されている標準スペクトルデータに基づいて粒子に含まれる元素が同定される。測定された蛍光Ｘ線スペクトルから、同定元素の蛍光Ｘ線スペクトルが抽出され、面積分強度が算出される。検量線データベース２８２から同定元素に対応する検量線を読み出して面積分強度と対応する粒子径が特定される。 （もっと読む）

【課題】特性Ｘ線の検出結果に基づいて、試料中の粒子を適切に区分・識別表示することができる粒子解析装置、データ解析装置、Ｘ線分析装置、粒子解析方法及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置では、試料ＳのＳＥＭ画像をＳＥＭ画像処理部１４で生成し、試料Ｓに含まれる複数の粒子をＳＥＭ画像に基づいて検出し、各粒子に電子銃１１から電子線（放射線ビーム）を照射し、各粒子から発生する特性Ｘ線をＸ線検出器２１で検出する。更にＸ線データ解析部２３は、特性Ｘ線の検出結果から各粒子に含有される複数の元素の含有量を求め、粒子解析装置３は、各粒子に係る複数の元素の含有量に対して主成分分析を行い、主成分分析により得られた各粒子に係る複数の主成分得点を用いて階層型クラスター分析を行うことにより、試料Ｓに含まれる多数の粒子を組成に応じた複数のグループに分類する。 （もっと読む）

【課題】 元素マッピング像などの分布画面の数の制限やサイズが小さくなることなく、元素マッピング像の元素分布状態の差異の見栄えが大いに向上させ、元素の分布状態を正しく把握できるようにする。
【解決手段】 ディスプレイ部７の親ウインドウ１１内に表示されている元素マッピング像である分布画面１２を、表示元素画面１３や画面切替ボタン１４を表示したい特定の元素や分析線をキーボードまたはマウスなどの選択するなどにより切り替えるようにして、複数の分布画面１２を大きな同一サイズで上書きするように重ねて表示するようにする。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線マッピングされた画像から特定元素に関して所定濃度以上の部位等を容易にかつ直接的に認識でき、特定することが可能なＸ線分析装置等を提供すること。
【解決手段】 試料Ｓ上に放射線を照射するＸ線管球２と、特性Ｘ線及び散乱Ｘ線を検出しそのエネルギー情報を含む信号を出力するＸ線検出器３と、信号を分析する分析器５と、予め設定されたマッピング領域Ｍ内で試料Ｓに対して照射ポイントを相対的に移動可能な試料ステージ１と、特定の元素に対応したＸ線強度を判別し、該Ｘ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定して照射ポイントに対応した位置に画像表示するＸ線マッピング処理部６と、を備え、該Ｘ線マッピング処理部６が、予め組成元素及びその濃度が既知の標準物質７について判別したＸ線強度を基準にして、照射ポイントにおけるＸ線強度の強度コントラストを決定する。 （もっと読む）

【課題】正極板に混在する微小金属異物を感度良好に検出して除去することで、得られるアルカリ蓄電池の信頼性を向上すること。
【解決手段】電極基板から形成され、アルカリ蓄電池に配設されるアルカリ蓄電池用正極板の製造方法である。電極基板を検査対象物として搬送しつつ、当該電極基板に分布する異物をその大きさに基づいてオンラインで検出するＸ線透過検査工程（Ｓ１０３）と、異物が検出された部分に、電池の短絡の原因となる微小金属異物として検出すべき金属（銅）の存在下で発光する薬液をオンラインで付着させる薬液付着工程（Ｓ１０４）と、電極基板において、薬液により発光した部分をオンラインで検出する発光部分検出工程（Ｓ１０５）と、検出された発光部分を微小金属異物が存在する不良部分として選択的に除去する不良部分除去工程（Ｓ１０６）とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料の測定面がフラットであり、試料作成の段階で凹凸の波又は反り等が発生せず、高精度の試料を得ることができる蛍光Ｘ線分析用試料ホルダー及び同試料の作成方法を得る。
【解決手段】金属リングと該リングの中に充填され、かつプレスされたパウダー状濾紙からなるフラットな面を備えた蛍光Ｘ線分析用試料ホルダー。金属リングと共にパウダー状濾紙がプレスされている。プレス前の金属リングの内径が３０ｍｍ以下、厚さが５ｍｍ以下である。パウダー状濾紙の充填量が２〜５ｇである。金属リングがアルミニウム若しくはアルミニウム合金又は銅若しくは銅合金である。蛍光Ｘ線分析用試料の作成方法は、金属リングの中にパウダー状濾紙を充填した後、軽くプレスし、次に分析すべき物質を含有する液を濾紙に滴下吸収させ、これを乾燥させた後、再度プレス成形してリングの内径を縮小させるとともに、濾紙を圧縮してフラットな面を得る。 （もっと読む）

【課題】基板中および基板上に存在する、基板とは元素組成が異なる領域の評価を、非破壊、高精度、短時間で行うことにより、半導体製造ラインの高性能化を計る。
【解決手段】評価対象試料（基板等）４上に、例えばＭｏターゲットのＸ線源１からモノクロメータ２を介してＸ線３が低い角度で照射される。照射領域は、符号３ａで示される領域である。さらに、この装置には、基板４の中心から延びる基板面の法線を回転軸とする面内回転機構（θｚ）と、ｙ軸に関して入射Ｘ線の入射角度（α１）を変更することができる傾斜角度変更機構と、基板面における測定位置を変更できる移動機構とを有している。特に重要なことは、基板４のうちのある面積だけにＸ線を照射することができ、この領域３ａを変更することができるように構成されている点である。評価は、試料から放出された蛍光X線の強度を測定することにより行われる。 （もっと読む）