【課題】短時間で精度良くウエハのクラックの有無を検査できるクラックの検出方法及びその検出装置を提供すること。
【解決手段】ウエハを一方向に湾曲させたときに発生する所定周波数の音の強度をモニターすることにより、前記ウエハのクラックの有無を判定すること。 （もっと読む）

【課題】近位端で試験対象物に結合される細長い超音波伝達材料のストリップを備える、超音波非破壊検査のための装置及び方法を提供する。
【解決手段】細長いストリップは、幅及び厚さが１対１よりも大きなアスペクト比をもつ縦断面を有し、超音波トランスデューサに整合し、励起により、細長いストリップに沿って近位端に進行して試験対象物に進入する、実質的に非分散性の超音波信号を誘導する。この非分散性パルスは、飛行時間測定、厚さ測定、クラック測定等に特に好適である。細長いストリップにより、トランスデューサは試験対象物に伴う潜在的に不適切な環境から分離される。細長いストリップは、試験対象物との大きな接触面積も有し、試験対象物への効率的な照射が可能になる。 （もっと読む）

【課題】探傷精度を向上させると共に、探傷時間を短縮すること。
【解決手段】フェーズド・アレイ・プローブ３は超音波発生素子群４を有している。この素子群４は、欠陥部２を有する検査対象物１に対して超音波の発信・受信を行う複数の素子Ｐ1〜Ｐ100で構成されている。超音波制御手段６は、これら素子Ｐ1〜Ｐ100の超音波発信・受信動作の制御を行い、超音波受信信号を超音波解析手段７に送出する。超音波解析手段７の欠陥部有無判別手段８は、最初の超音波発信・受信動作により得られた超音波受信データを簡易解析することにより欠陥部２の有無を判別する。そして、欠陥部位置特定手段９は、欠陥部２が有ると判別された場合、次回以降の超音波発信・受信動作により得られた超音波受信データを詳細解析することにより欠陥部２の有無を判別する。 （もっと読む）

【課題】 より高精度で紙葉類のこわさを検出することができるこわさ検出装置、こわさ検出方法、及びこわさ検出装置を備える紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】 こわさ検出装置１０は、紙葉類７に対して音波を所定の角度で送信してラム波を励起させる。こわさ検出装置は、前記紙葉類を伝播するラム波の漏洩波を前記紙葉類に対して異なる角度により設置する複数の受信センサ２により受信する。こわさ検出装置は、前記複数の受信センサの出力に基づいて、前記紙葉類からの音波の漏洩量が最大となる最大漏洩角度を特定し、特定した最大漏洩角度に基づいて前記紙葉類の疲弊度を判定する。 （もっと読む）

【課題】鉄道車両の構体等において施工される、長大なレーザ溶接線の長手方向に沿って、連続的に効率よく検査することができるようにする。
【解決手段】主材１に、付帯材２を、この付帯材２の長手方向にレーザ溶接したレーザ溶接継手１００のレーザ溶接の良否を超音波にて判定するのに、超音波発信子５と超音波受信子６とを溶接ライン３を跨いで主材１と付帯材３とに当てがって、超音波発信子５と超音波受信子６との転動を伴い、溶接ライン３の方向に走査したときの超音波発信子５から発信される超音波が主材１および付帯材２、レーザ溶接域を介し超音波受信子６に伝達されるようにし、超音波受信子６で受信される超音波の音圧にて溶接ライン３各部での溶接の良否を判定することにより、上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】本明細書に記載の様々な例示的実施形態において、システムおよび関連の方法は、基板における１以上の欠陥を検出するための非破壊的信号伝搬に関する。システムは、基板操作機構などの半導体処理ツール内に組み込むことができる。システムは、１以上の周波数を電気信号から少なくとも１つの機械的パルスに変換するよう構成された変換器を備える。機械的パルスは、基板操作機構を通して基板に結合される。複数のセンサが、変換器の遠位に配置されており、音響的または機械的に基板に結合されるよう構成される。複数の遠位センサは、さらに、機械的パルスとパルスの任意の歪みとの両方を検出するよう構成されている。信号解析器が、複数の遠位センサに接続されており、検出されたパルスおよびパルスの任意の歪みをベースライン応答と比較する。 （もっと読む）

【課題】複数台の超音波センサを用いることなく、被検体のエッジ部での測定精度が良好な超音波センサを提供することを課題とする。
【解決手段】発信器２は、超音波Ｓを発する圧電部材４と、超音波Ｓを被検体（電極板１０）に向けて発信する発信面６ａを備えて弾性変形可能に構成される弾性部６、および、発信面６ａと対向する弾性部６における面で一部の内面が構成されて流体が充填される中空部５ａを備え、圧電部材４から発せられた超音波Ｓが、中空部５ａ内を介して弾性部６に伝搬するように構成されるチャンバ５と、チャンバ５に接続され、中空部５ａ内の圧力を変化させる圧力調節装置７と、を具備し、圧力調節装置７にて中空部５ａ内の圧力を変化させて弾性部６を変形させることにより、弾性部６の発信面６ａから発信する超音波Ｓの照射範囲を調整可能である、超音波センサ１。 （もっと読む）

【課題】一方では、既知の方法において生じる問題を回避でき、他方では比較的経済的に製造できる新規な超音波試験および測定方法を開発することにある。
【解決手段】本発明は少なくとも１つのトランスミッタユニットおよび少なくとも１つのレシーバユニットを有する、試験対象物を試験するための超音波試験システムであって、トランスミッタユニットがスパークギャップを発生し、該スパークギャップが試験対象物の表面上および／または試験対象物の内部に超音波振動を発生させ、レシーバユニットが試験対象物の表面の振動を光学的に測定する構成の超音波試験システムに関する。また本発明は、超音波試験システム用のトランスミッタ手段およびレシーバシステム、および超音波試験システムを作動させる方法に関する。 （もっと読む）

【課題】超音波の伝搬方向についての結晶粒度分布を測定可能な方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る金属材料の結晶粒度分布の測定方法は、補正後の林状エコーの強度と結晶粒度との相関関係を取得するステップと、被測定材Ｐに超音波を入射し、第１底面エコー及び第２底面エコーを検出すると共に、林状エコーの出現範囲を複数に区分した各ゲートでそれぞれ林状エコーを検出するステップと、被測定材について各ゲートで検出した林状エコーの伝搬距離に応じた該林状エコーの強度低下分を、被測定材について検出した第１底面エコーと第２底面エコーとの強度差に基づき補正するステップと、被測定材についての各ゲートでの補正後の林状エコーの強度と、前記取得した相関関係とに基づき、各ゲートでの結晶粒度を算出するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】表面損傷が発生しない熱弾性効果を用いて超音波を発生させながらも測定点で超音波信号強度を増大させることにより最適の効率で超音波を測定できるようにするレーザ超音波検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体に超音波を発生させるためにパルスレーザビームを用いたレーザ超音波検査方法において、正多角形や円形に配列された多数のパルスレーザスポット３またはリング状のパルスレーザスポットを前記被検査体の表面に照射して熱弾性効果により前記被検査体に超音波を発生させ、前記正多角形、円形またはリング状の中央で前記超音波を測定して測定地点１０での超音波重畳効果を用いることを特徴とするレーザ超音波検査方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】レーザ超音波測定装置における被検査体のレーザ光照射によるダメージをなくし、被検査体の相変態率を算出する。
【解決手段】被検査体に超音波発生用パルスレーザ光を照射して板波を発生させる超音波発生用レーザ光源１１と、被検査体に超音波検出用レーザ光を照射して板波を検出する超音波検出用レーザ光源１２と、被検査体からの超音波検出用レーザ光源１２の反射光を干渉計に入射させて干渉させる検出光学系と、照射光学系により発生した板波超音波による光強度変化の電気信号に基づき、周波数解析をして群速度ゼロの板波の周波数を算出する周波数算出部６１と、群速度ゼロの板波の周波数と被検査体厚みとの積と相変態率との関係から、被検査材の相変態率を算出する相変態率算出部６４と、を備えるレーザ超音波測定装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】被検査材の表面に傷が付くのを抑制するとともに、被検査材の形状に関わらず探傷液内の気泡に起因する傷の誤検出を抑制することが可能な探傷装置を提供する。
【解決手段】この超音波探傷装置１（探傷装置）は、板状の連続体２の探傷を行うための探傷部（探触子１１および反射板１２）と、板状の連続体２が槽内において探傷部により探傷される探傷槽１４と、探傷槽１４の槽内に貯留され、水を含む探傷液１３とを備え、探傷部による板状の連続体２の探傷時に、水を含む探傷液１３内において、板状の連続体２の上表面２ａおよび下表面２ｂに水に水の表面張力を小さくするためのエタノールを約２９．９質量％以上約４９．８質量％以下添加することにより作製された低表面張力液３０が位置するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 超音波を用いて、防食被覆のボイドを検査するばかりでなく、接着状態も検査しうる方法を提供する。
【解決手段】 上記課題は、防食被覆が施された被覆材の表面に超音波を略垂直方向から入射して反射した超音波信号を計測して、前記超音波信号の波形より空隙の有無と大きさを調べる第一ステップ、および防食被覆の施された被覆材の表面に超音波を略垂直方向から入射して、前記被覆材内の接着面および該接着面を透過した遠方側の境界面で反射した超音波信号値と接着力との相関関係により接着状態を評価する第二ステップよりなる防食被覆の検査方法によって解決される。 （もっと読む）

【課題】被検査材の表面に傷が付くのを抑制するとともに、被検査材の形状に関わらず探傷液内の気泡に起因する傷の誤検出を抑制することが可能な探傷装置を提供する。
【解決手段】この超音波探傷装置１（探傷装置）は、板状の連続体２を槽内に挿入するための入口側通板窓１４ａを含み、板状の連続体２が槽内において探傷部により探傷される探傷槽１４と、探傷槽１４の槽内に貯留される探傷液１３とを備え、探傷液１３を除く超音波探傷装置１と板状の連続体２とが接触しない状態で、板状の連続体２は探傷槽１４の槽内を通過するように構成されており、探傷槽１４の入口側通板窓１４ａと板状の連続体２との高さ方向（Ｚ方向）における隙間ＡおよびＢが０．２５ｍｍ以上２．５ｍｍ以下になるように入口側通板窓１４ａが高さ方向に約５．０ｍｍの長さＬ２を有するように設定されている。 （もっと読む）

【課題】強力な音圧レベル（特に１３０ｄＢ以上）の超音波を広範囲に放射させて空中で測定対象物のクラックを効果的に検知可能にしたクラック検知支援装置を提供する。
【解決手段】クラック検知支援装置１００は、圧電素子が設けられ、所定の周波数帯域の超音波を発生する振動子１０と、振動子１０の先端部に取り付けられ、振動子１０の振動と共振することで格子モードでたわみ振動し、所定の音圧レベルの共振波を発生する振動板１２と、振動板１２の全面から放射される共振波によって空中に浮上及び振動する測定対象物５０から発生する音を検出する音検出装置１３と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】電磁超音波法により材料に非接触で超音波を導入して、音速と板厚とを同時に高精度で測定し、得られた音速から材料の温度（表面温度や内部温度）を計測する。
【解決手段】本発明の電磁超音波法による測定装置は、材料２の内部に電磁超音波を送信可能なメアンダ型のコイル４を備えた送信センサＴと、送信センサＴと同一平面上で且つ送信センサＴからの距離が異なる位置に配備された２つの受信センサＲ１，Ｒ２と、各受信センサＲ１，Ｒ２への電磁超音波の到着時刻と各受信センサＲ１，Ｒ２の位置情報とに基づいて、材料２の内部の音速と材料厚さとを測定する内部音速測定部３１と、内部音速測定部３１で測定された内部の音速を基に、材料２の内部の平均温度を算出する内部温度測定部３２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子の回転体内部で生じる多重エコーによるノイズを受信超音波信号から除去して正確な超音波検査結果が得られ、かつ、効率のよい連続測定が可能にする。
【解決手段】超音波検査装置は、測定対象物に超音波を入射させ、前記測定対象物からの超音波を受信する超音波探触子１０と、超音波探触子１０が受信する超音波の信号を処理する信号処理部２４とを備える。超音波探触子１０は、超音波振動子と、超音波振動子と測定対象物との間に回転可能に配置され、超音波が通過する断面円形の回転体を有する。信号処理部２４は、超音波探触子が受信した前記超音波の信号から、予め設定された上限周波数より高い周波数成分及び予め設定された下限周波数より低い周波数成分の少なくともいずれかを除去するフィルタを有する。 （もっと読む）

【課題】 √AREAが100μm級またはそれ以上のサイズのマクロ介在物の迅速な探傷を実現する方法を提供する。
【解決手段】 鋼材より試験片を作製し、複数の振動子が探触子面に配列し、電子フォーカスにより振動子の配列方向と直交する方向に複数のラインフォーカスを生成する一次元線形アレイ探触子を、ラインフォーカスの方向と鋼材の圧延方向とをほぼ平行として、試験片の探傷面上を走査して、水浸超音波探傷を行う。 （もっと読む）

【課題】局部水浸法によって、平坦な構成部品（１４）の表面（Ｘ−Ｙ平面）の突出する構成部品部分（１２）を超音波検査する。
【解決手段】テストヘッドホルダ（２０）並びに対合ホルダ（２２）がテストヘッド（５０）を保持し、作動要素（３０）によって制御され、第１の閉位置から第２の開位置に移動し、また、第１の閉位置に作動要素（３０）によって操向される。第１の閉位置で、テストヘッドホルダ及び対合ホルダが構成部品部分（１２）の側面（３４、３６）に接し、テストヘッドアセンブリ（１６）が、構成部品（１４）の輪郭及び／又は前記輪郭に沿った構成部品部分（１２）を記載した指定されたデータセットに従って完全自動で検査する構成部品部分（１２）の縦方向に移動し、構成部品部分（１２）及び／又は平坦な構成部品（１４）の輪郭変化が、Ｙ方向に縦に移動するように浮動して支持されたテストヘッドアセンブリ（１６）によって補償される。 （もっと読む）

【課題】軽量で摺動特性が良好な平面探触子を提供する。
【解決手段】水フリージェットテクノロジーによって検査対象の平面部材に対して超音波信号をカップリングさせる平面探触子は、探触子（１２）と、水インレット（７８）を有するプレフローチェンバ（１４、１６）と、スロット形状の水アウトレット開口部（５０）を有するプレフローチェンバ（１４、１６）の下流にあるフローチェンバ（４２）とを備える。探触子（１２）がフロー及び／またはプレフローチェンバ（１４、１６）の外部で自由にアクセス可能な方式で着脱可能に配列され、放出／受信素子を有する探触子（１２）の横表面（６４）によりフローチェンバ（４２）の内側壁区画が形成され、該平面探触子（１０）は部材側で平面探触子（１０）の下側表面（５６、１５６）を形成する摺動プレート（２４、１５３）に接続される。 （もっと読む）