【課題】 この発明は、装置が大型化することなく、検査のばらつきが少ない太陽電池用シリコンウェハのクラックの検出方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 この発明のシリコンウェハのクラックの検出方法は、シリコンウェハ１に超音波発生装置３から超音波３１を付与し、シリコンウェハ１を共振させ、この共振により、シリコンウェハ１内に不可視クラックが存在する場合にはクラックを成長させて亀裂を生じさせ、欠陥があるシリコンウェハ１を判別可能とする。 （もっと読む）

【課題】 表面が必ずしも平滑でなく、かつ、表面形状も様々な検査対象に対して欠陥検出を良好に行うことのできる超音波プローブ及び欠陥検出方法を提供する。
【解決手段】 被検体へ漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送波と、被検体からの漏洩弾性表面波からモード変換によって生成された縦波である漏洩波の受波とを行う超音波プローブ１であって、このプローブの被検体と対向する面には保護膜を介して凹面状に設けられた圧電高分子膜３ｂを有し、この圧電高分子膜の中央部に、超音波伝達媒体を供給する開口部４を備えた超音波プローブである。 （もっと読む）

【課題】被検査体の内部を精度良く検査する。
【解決手段】超音波検査装置１０を用い、被検査体１の第１の面１ａ側から発信部１１によって超音波信号を発信し、被検査体１の第２の面１ｂ側において、カンチレバー１２を走査し、被検査体１を伝播した超音波信号をカンチレバー１２によって受信する。カンチレバー１２の走査位置ごとに、発信部１１から発信した超音波信号と、カンチレバー１２で受信した超音波信号との差分を、信号処理部１４によって検出し、検出した差分を、表示部１５によって２次元表示する。 （もっと読む）

【課題】部品接合部について接合状態を精度良く簡易に検査する接合検査方法を提供すること。
【解決手段】接合部５１の接合状態を超音波を使用して検査するための接合検査方法であって、検査対象となる接合部５１の近くに設定した加振位置５５を超音波ツール２１からの超音波によって加振し、その加振位置５５から伝わった超音波による振動によって接合部５１に生じる熱又は音を検出手段３１で検出し、その検出手段３１によって得られた検出データに基づいて接合状態を出力する。 （もっと読む）

【課題】被測定体の内部音速分布の形状を仮定することなく、任意の内部音速分布を測定すること。
【解決手段】本発明に係る音速分布測定装置は、被測定体の厚み方向に超音波を放射し、被測定体の厚み方向のＮ次共振周波数までのＮ個の共振周波数を測定する共振周波数測定部と、測定されたＮ個の共振周波数を利用して、Ｎ個の質量体と相隣接する質量体を連結する（Ｎ−１）個のバネとからなるバネ・マス系モデルを仮定し、Ｎ個の質量体それぞれの質量と（Ｎ−１）個のバネそれぞれのバネ定数とを算出する逆解析部と、被測定体の厚み方向における超音波の音速分布が被測定体の厚みの中心に対して対称であるとして算出された質量及びバネ定数と、被測定体の既知の密度とを用いて、被測定体の厚み方向に（Ｎ−１）個のバネの長さにそれぞれ対応する厚みを有する（Ｎ−１）個の層に分割された各層の音響インピーダンス及び厚みを算出する音速分布算出部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 水浸共振法を用いて、薄板状被測定物内部に存在する異常部、微細欠陥、転位などを非破壊的に検出し画像化する超音波診断方法及び装置を提供する。
【解決手段】 水槽内に水平に設置した薄板状被測定物１３に焦点型著音波探触子１２により繰返数の多い一定周波数ｆの大振幅バースト波を送信し厚さ方向共振を励起する。ハイパスフィルタ４を介して共振により水中に漏洩した高次高調波を抽出し、その最大振幅及び共振開始時間から閾値に達するまでの時間差をマッピングすることにより、薄板状被測定物内部の介在物、マイクロボイド、マイクロクラック、転位などの異常組織を検出し画像化する。 （もっと読む）

【課題】被検体の欠損の有無及び欠損の状態を正確に判定することができる。
【解決手段】状態判定装置は、送信部、受信部、検出部、及び判定部を含む。送信部は、超音波を生成し超音波信号を送信する。受信部は、被検体を透過した超音波信号を受信して第１受信信号をそれぞれ取得する。検出部は、受信部ごとの第１受信信号の波高値を測定し、波高値が閾値以上の第１受信信号があるかどうかを検出する。判定部は、波高値が閾値以上の第１受信信号がある場合、第１受信信号を欠損候補信号として判定する。検出部は、欠損候補信号がある場合、欠損候補信号を受信した受信部において、欠損候補信号を受信した時間から所定期間の１以上の整数倍だけ経過したときに受信した第２受信信号の波高値を測定し、波高値が閾値以上の第２受信信号があるかどうかを検出する。判定部は、波高値が閾値以上の第２受信信号がある場合、欠損候補信号を欠損信号として判定する。 （もっと読む）

【課題】超音波画像に複数の欠陥像が表れている場合に、実際には単一の欠陥に起因するのか複数の欠陥に起因するのかを、デジタル演算処理によってより正確に判別する。
【解決手段】本発明による超音波探傷データの処理方法は、超音波探傷によって得られた探傷データをデジタル演算処理によって処理する処理方法である。当該超音波探傷データの処理方法は（Ａ）前記探傷データに基づいて被検体に存在する欠陥に対応する欠陥像（２１）を認識し、欠陥像（２１）のそれぞれについて、欠陥像（２１）の位置を表わす領域代表点（２３）を定めるステップ（Ｓ０２〜Ｓ０４）と、（Ｂ）領域代表点（２３）の間の距離から、欠陥像（２１）のうちの一の欠陥像（２１）が他の欠陥像（２１）と同一の欠陥に起因するか否かを判断するステップ（Ｓ０５、Ｓ０６）とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高い透過波信号強度とＳＮ比とを得るのに最適な形状・寸法を備えた整合層を備えた空気超音波センサー及びその形状決定方法を提供する。
【解決手段】空気超音波センサー１の整合層１１形状の決定方法（ステップＳ１〜Ｓ９）は、集束点２１に伝播する透過波成分が第１波成分２２又は第２波成分２３のいずれかであるとして、いずれの透過波成分もある同一の集束点２１に集束するように決定し、いずれの波成分２２，２３も最も効果的に励起されるように集束点２１から逆算的に整合層１１の放射面１３上の点を求めることを特徴とする。さらに、これらの点１４の軌跡から第１波励起形状１３ａと第２波励起形状とを決定し、これらを組み合せた放射面形状１３を決定するものである。この放射面形状１３を備えた整合層１１から出射して測定対象物２の集束点２１に透過した超音波の信号強度とＳＮ比とは格段に向上する。 （もっと読む）

【課題】使い勝手に優れ、高い精度で溶接部の溶け込み深さを検査することのできる探傷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】探傷装置１０において、探触子２０を保持する治具３０の第一フレーム３１、第二フレーム３２の開き角を調整可能とし、デッキプレート１０１とリブ１０２に治具３０を確実に押し付けて位置決めする。さらに、Ｙ軸調整ロッド４２により、探触子２０の位置を、溶接部１００の溶け込み部に合わせて確実に調整できるようにした。また、第一フレーム３１、第二フレーム３２には、ローラ３８に加え、磁石３９を備え、溶接部１００の溶接線方向に治具３０を移動させるときに、治具３０がデッキプレート１０１およびリブ１０２から離れることなく移動させることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】環境の悪い圧延ラインにおいても、組織材質測定を確実に実施することができる組織材質測定システムを提供する。
【解決手段】組織材質測定システムは、組織材質測定装置２７、組織材質情報収集手段２８、プロセスデータ収集手段３１、組織材質情報予測手段３２、組織材質情報比較手段３３を備える。組織材質測定装置２７は、圧延ラインを流れる圧延製品の組織材質情報を非接触で測定する。組織材質情報収集手段２８は、組織材質情報を収集する。プロセスデータ収集手段３１は、圧延ラインのプロセスデータを収集する。組織材質情報予測手段３２は、圧延製品の組織材質情報を所定の組織材質予測モデルによって算出する。組織材質情報比較手段３３は、組織材質情報収集手段２８によって収集された組織材質情報と組織材質情報予測手段３２によって算出された組織材質情報とを比較する。 （もっと読む）

【課題】非接触での溶融部分の大きさを算出することができるものでありながら、熟練を要することなく安定した検査結果を算出することができる溶接幅測定方法を提供する。
【解決手段】本発明は、一対の板金を溶接により接合した被検体を挟んで加振用Qスイッチパルスレーザ装置２０及び表面変位測定装置３０とが対向配置され、表面変位測定装置３０は溶接部分から外れた直近位置で固定すると共に、加振用Qスイッチパルスレーザ装置２０を被検体の溶接部分に跨って一定間隔で変位させつつパルスレーザ光を被検体に向けて照射して衝撃波を生成し、表面変位測定装置３０で被検体の溶接部分を透過した衝撃波を検出した際の加振用Qスイッチパルスレーザ装置２０の位置を計算機４０で算出することによって被検体に形成された溶融部の溶接幅を測定する。 （もっと読む）

【課題】超音波散乱法における被検査物の欠陥評価の感度を向上させた半導体単結晶中の欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】板状の半導体単結晶である被検査物に対して超音波を入射させ、被検査物内で散乱又は反射された超音波に基づいて、被検査物内の結晶欠陥の有無を測定する半導体単結晶中の欠陥検査方法において、被検査物に対して波長が６０μｍ以下、又は周波数が７８ＭＨｚ以上の超音波を、被検査物の表面に垂直な方向と超音波の入射方向のなす角が１０．０度以上１６．４度以下の範囲となるように入射させる方法である。 （もっと読む）

【課題】デジタル演算処理による超音波探傷データの処理方法を提供し、技術者の能力の差による欠陥の評価のバラツキを抑制する。
【解決手段】超音波探傷データ処理プログラムは、被検体に対して超音波探傷を行うことによって得られた探傷データをデジタル演算処理によって処理するためのプログラムであり、探傷データから得られる超音波画像から被検体の形状像を消去するための処理を、探傷データに対して行う形状識別処理ステップ（Ｓ０５）と、形状像が消去された前記超音波画像に現れている欠陥像を認識し、前記欠陥像のうちの一の欠陥像が他の欠陥像と同一の欠陥に起因するか否かを所定の基準によって判断して、前記欠陥像と前記被検体に存在する前記欠陥との対応付けを行う同一性判定ステップ（Ｓ０６）と、同一の欠陥に対応付けられた前記欠陥像から、前記同一の欠陥の寸法を同定する寸法同定ステップ（Ｓ０７）とを演算装置に実行させる。 （もっと読む）

【課題】検査画面とメニュー操作画面との切り換えを容易に行うとともに、メニュー操作を容易に行うことができる非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】非破壊検査装置１は、送信コイル２２で形成された磁場を検出し、超音波探傷プローブ１２の３次元位置の情報を検出する受信コイル２４ａ〜２４ｃと、所定の切り換え指示に基づいて、プローブ軌跡表示画面５１と、メニュー操作画面６１とを切り換えて表示部４８に表示させるモード／設定処理部４１と、受信コイル２４ａ〜２４ｃで検出された超音波探傷プローブ１２の３次元位置の情報に基づいて、メニュー操作画面６１における設定を変更するためのポインタ６４の座標位置の情報を検出するポインタ画面座標計算部４３とを有する。 （もっと読む）

【課題】超音波を試験体に入射させたときの表面からの反射波を利用して試験体の表面形状を把握可能とする。
【解決手段】表面形状が変化した形状変化部を有する試験体の表面に、前記試験体の表面形状に沿って形態を変化させうる媒質を介してフェーズドアレイを配置し、前記フェーズドアレイの各振動子毎に超音波を試験体に向けて射出させて表面エコーを受信し、各振動子毎に取得された前記試験体の表面からの反射波を検出して各振動子から前記試験体の表面までのビーム路程を求めると共に、各振動子を中心とし各振動子毎に求まるビーム路程を半径とする円を想定し、隣り合う振動子を中心とする前記円の共通外接線を求め、前記共通外接線が求まる区間では前記共通外接線上の点を二次補間したものを試験体表面と同定し、前記共通外接線が求まらない区間ではそれら振動子間を形状変化の境界と判断して、各区間で得られた共通外接線上の点を二次補間し、これを外挿して前記境界における表面形状として同定し、試験体表面形状を求めるようにしている。 （もっと読む）

【課題】狭隘部に設置できる薄型探触子の構造の探触子を用いて、被検査体の裏面近傍の深い位置を含む板厚方向全範囲を検査することができる超音波検査装置及び超音波検査方法を提供することにある。
【解決手段】探触子１０８，１０９は、狭隘部に設置可能な薄型の探触子である。制御装置２０１は、探触子からの超音波の送信を制御し、該探触子にて受信した超音波の信号処理を行う。遅延時間制御部２０５は、複数の探触子の距離差に応じてそれぞれの探触子から送信する超音波の送信タイミングに遅延時間を設け、信号処理部はそれぞれの探触子により受信した超音波の信号処理を行う。 （もっと読む）

【課題】各チャンネル間のクロストーク対策を十分に考慮する。
【解決手段】任意波形発生器１と、送信アンプ２と、送信信号の波形に基づいて検査対象物３内にガイド波を発生させる複数チャンネルの送信素子４と、増幅された送信信号を送信素子４に順番に供給する切替手段５と、検査対象物３の検査領域からガイド波の反射波を受信する複数チャンネルの受信素子６と受信アンプ７と、受信信号をアナログ／デジタル変換するＡ／Ｄ変換器８と、反射波の受信波形に基づいて信号解析を行う解析手段９を備えている。受信アンプ７は１つの筐体１５内に並んで収容されると共に、受信アンプ７の間にはノイズ遮断手段１７が設けられており、送信アンプ２は筐体１５とは別の筐体１４に収容されている。 （もっと読む）

【課題】炭素質材の肉厚等の情報を取得し得る炭素質材の超音波検査方法及びその装置を提供する。
【解決手段】炭素質材１に対して超音波を発信する超音波探触子２，３と、超音波探触子２，３からの信号を処理する信号演算部６とを備え、
超音波探触子２，３は、超音波を送受信する機能を有し、
信号演算部６は、材質が同じで肉厚が異なる二つの比較用の炭素質材１を用いて予め求めた減衰定数を使用し、炭素質材１への超音波送受信により発生する底面反射エコーを、減衰定数により減衰補正して補正波形信号を取得し、更に超音波送受信時の異なる複数の時間で複数の補正波形信号を取得し、当該取得した異なる複数の補正波形信号を積計算により相関演算処理して底面反射信号を抽出し、底面反射信号の伝搬時間と、予め準備した炭素質材の音速とを用いて炭素質材１の肉厚を算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】オンラインでの連続探傷中にも、安定して高いＳ／Ｎを得ることのできる超音波探傷方法を提供する。
【解決手段】タイヤ探触子１０を用いた鋼板の超音波探傷方法において、タイヤ探触子１０から鋼板Ｓに伝送される超音波の有効ビーム幅と等しい距離を鋼板Ｓが移動する間に、３回以上の超音波の伝送および反射波波形データのサンプリングを行い、その３回以上のサンプリングデータの絶対値のそれぞれを１周期毎に平均処理しさらに超音波伝送方向に同一な距離で平均することにより各サンプリングデータにおけるノイズを抑制して鋼板Ｓにおける欠陥の位置を検出する。さらに、平均処理されたサンプリングデータを各サンプリング毎にバッファメモリに保存していき、超音波の有効ビーム幅と等しい距離を鋼板が移動する間のバッファメモリ内のサンプリングデータをバッファメモリから読み出して平均することにより、リアルタイムで欠陥データを検出する。 （もっと読む）