【課題】鋼材中の欠陥を精度高く検出すること。
【解決手段】超音波プローブ２を走査しながら送受信部３が超音波パルス信号を送信して、該超音波パルス信号に起因する探傷信号を受信することによって、送受信部３が受信した複数パルス回数分の探傷信号を記憶部５が記憶し、減算用信号取得部７ａが、前記記憶した探傷信号から処理対象の探傷信号より所定パルス回数前の探傷信号を減算用信号として取り出し、減算処理部７ｂが、前記処理対象の探傷信号から前記減算用信号を減算する。これにより、エコー性ノイズを除去して、ノイズが低減されたＳ／Ｎ比の高い欠陥エコー信号を得ることができるので、鋼材中の欠陥を精度高く検出することができる。 （もっと読む）

【課題】ガイド波を用いた検査を行うにあたって、欠陥の形状や位置によらず、欠陥の有無を検査する。
【解決手段】ガイド波検査装置１０は、タンク１の測定領域２ａに対して、２つ以上の方向からガイド波を送信する。この結果、測定領域２ａ内に欠陥がある場合、欠陥からの反射波が受信される。少なくとも１つの方向で反射波が受信された場合、測定領域２ａ内に欠陥が存在すると判断する。この測定は、タンクにおいてあらかじめ定められた検査領域２を網羅するように測定領域を決定して行い、検査領域２内のいずれの箇所においても反射波が受信されなかった場合、タンク１が健全であると診断する。 （もっと読む）

【課題】被検体内部の深さに関わらず、被検体内部の全ての欠陥が等しく検出される超音波スキャンニングを提供する。
【解決手段】処理構成要素２００は入力線２０１と、主ゲイン構成要素２２９と、第１の局所ゲイン構成要素２２１と、第２の局所ゲイン構成要素２２２とを含む。主ゲイン構成要素２２９は、入力線経由で受信される超音波信号に主ゲインを適用し、それにより主ゲイン信号を供給するように構成されている。第１の局所ゲイン構成要素は、第１の信号ゲートの範囲内で超音波信号の部分に第１の局所ゲインを適用し、それにより第１の局所ゲイン信号を供給するように構成されている。第２の局所ゲイン構成要素は、第２の信号ゲートの範囲内で超音波信号の部分に第２の局所ゲインを適用し、それにより第２の局所ゲイン信号を供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】判定時に損傷を発生させることなく、ウェハの損傷の有無を精度よく判定することができる半導体装置の製造方法を得る。
【解決手段】半導体装置が設けられたウェハ１に音響信号発生部４を接触させずに、音響信号発生部４が発生した音響信号をウェハ１に入力させる。次に、ウェハ１と共鳴した音を含む音響信号を検出する。次に、検出した音響信号の周波数成分の強度を示すデータを求め、このデータをウェハに損傷が無い場合のデータと比較することにより、ウェハ１の損傷の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】被検体の欠損の有無及び欠損の状態を正確に判定することができる。
【解決手段】状態判定装置は、送信部、受信部、検出部、及び判定部を含む。送信部は、超音波を生成し超音波信号を送信する。受信部は、被検体を透過した超音波信号を受信して第１受信信号をそれぞれ取得する。検出部は、受信部ごとの第１受信信号の波高値を測定し、波高値が閾値以上の第１受信信号があるかどうかを検出する。判定部は、波高値が閾値以上の第１受信信号がある場合、第１受信信号を欠損候補信号として判定する。検出部は、欠損候補信号がある場合、欠損候補信号を受信した受信部において、欠損候補信号を受信した時間から所定期間の１以上の整数倍だけ経過したときに受信した第２受信信号の波高値を測定し、波高値が閾値以上の第２受信信号があるかどうかを検出する。判定部は、波高値が閾値以上の第２受信信号がある場合、欠損候補信号を欠損信号として判定する。 （もっと読む）

【課題】分析に要する時間がわずかで、効率的に広範囲の構造物表面の検査が可能な検査装置及びそれを用いた検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置は、所定位置を所定周波数で打突する打突振動子１００と、検査面の第１位置における物理量を検知する第１レーザードップラー速度計２０１と、前記検査面の第２位置における物理量を検知する第２レーザードップラー速度計２０２と、前記第１レーザードップラー速度計２０１によって検知された物理量に対し、表面波の大きさと関連する第１物理量を抽出する第１フィルタ手段と、前記第２レーザードップラー速度計２０２によって検知された物理量に対し、表面波の大きさと関連する第２物理量を抽出する第２フィルタ手段と、第１物理量と、第２物理量との比を算出する算出手段と、算出された比を、前記打突振動子１００による打突位置と対応させて表示する表示手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】基板に所定のストレスを加える工程が含まれた処理を施す前に、処理中の破壊を生ずる可能性のある基板を事前に見つけ出せるようにした基板事前検査方法を提供する。
【解決手段】基板にストレスを加えるストレス印加工程と、ストレス印加工程で加えたストレスに起因するアコースティック・エミッション現象で基板に発生する弾性波を検出する検出工程とを備え、検出工程で検出した弾性波に基づいて、基板が前記所定のストレスに耐えられるか否かを判断する。前記処理が、基板Ｓを吸着及び加熱するステージ３を備える処理室１で行う処理であって、前記所定のストレスを加える工程が、ステージ３に基板Ｓを吸着した状態で基板を所定の処理温度に加熱する加熱工程である場合、弾性波を検出するセンサ４を設けて、基板Ｓをステージ３に載置した状態で、加熱工程完了前にストレス印加工程及び検出工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】簡単な装置で、簡便に、而も検査精度が向上する超音波探傷方法及び超音波探傷装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子７，８を保持するセンサユニット２と、該センサユニットを保持し、検査面に固定可能なユニットサポート３とを有し、前記センサユニットを前記ユニットサポートに着脱可能とした超音波探傷装置を用いた超音波探傷方法であって、前記センサユニットを外したユニットサポートを検査位置に位置決めし、次に前記センサユニットを前記ユニットサポートに実装し、超音波探傷を実行する。 （もっと読む）

【課題】連続鋳造装置で製造される鋳片を対象として、リフトオフ量の設定を接触方式では行わず、そのうえで、リフトオフ量の変動に影響されることなく鋳片の凝固位置を正確且つ確実に検出できるようにする。
【解決手段】本発明に係る内部凝固検出装置１は、鋳片Ｗに向けて超音波を送信する送信部５と、送信部５が送信した超音波であって鋳片Ｗを透過してきた超音波を受信する受信部６と、受信部６が受信した超音波の信号を基に鋳片Ｗの内部における凝固位置を判定する判定部２１と、鋳片Ｗと送信部５との距離及び鋳片Ｗと受信部６との距離を計測する距離計測部２２と、距離計測部２２が計測した距離を基に、受信部６が受信した超音波の信号強度を補正する補正処理部２３とを備えた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 より高い精度で検査を行うことができる超音波検出装置、及び超音波検出装置を備える紙葉類処理装置を提供する。
【解決手段】 一実施形態に係る超音波検出装置は、紙葉類が搬送される搬送面に対して超音波を射出する送信部と、前記搬送面上の検出範囲から超音波を検出する受信部と、前記搬送面上の前記紙葉類の搬送位置を検出する位置検出部と、前記位置検出部により前記紙葉類の搬送方向における先端が前記受信部の検出範囲内に存在することを検出した場合、前記受信部により検出した検出信号が増加するように制御し、前記位置検出部により前記紙葉類の搬送方向における後端が前記受信部の検出範囲内に存在することを検出した場合、前記受信部により検出した検出信号が減少するように制御する制御部と、前記検出信号に基づいて、前記紙葉類の状態を判定する判定部と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】被検体の状態を高精度に判定することができる。
【解決手段】状態判定装置は、送信部、受信部、算出部、および判定部を含む。送信部は、超音波を被検体に射出する。受信部は、前記送信部と対向して配置され、複数の素子を含み、該素子ごとに前記超音波を受信して受信信号を得る。算出部は、前記受信部の前記素子ごとの受信信号の強度を算出する。判定部は、前記強度が規定値よりも小さいかどうかを判定する。前記送信部は、前記受信部との対向面に垂直な第１方向に前記超音波を射出する第１部分と、前記送信部を被検体の搬送方向から見た場合の、該送信部の少なくとも一端に沿って設けられ、前記第１方向と角度を成し、かつ前記送信部の中心側に対して、前記送信部を前記搬送方向から見た場合の外側を向いた第２方向に超音波を射出する第２部分とを有する。 （もっと読む）

【課題】 局部水浸法による超音波測定において超音波探触子と被検査体の表面との間に供給する水の量を減らすと共に被検査体の検査時に障害となる気泡の干渉を防ぐ。
【解決手段】 封水型探触子保持装置１０を被検査体１に押し付けることで，環状の弾性部材からなる封水パッド１２を被検査体１の表面に密着させ、外部から供給される水を給水路１１ａにより封水パッド１２の内部に導入し、その内部に導入された水を超音波探触子２の側面を伝って下方の円筒状ハウジング１８内に溜めた状態で、探触子２による測定を行う。 （もっと読む）

【課題】共振現象を利用して長尺物の欠陥を検出する非破壊検査装置を提供する。
【解決手段】長尺物２０の離れた箇所に接触して長尺物に張力を付与する一対の張力付与手段２１、２２と、長尺物２０に接触して振動を与える加振手段３１と、一対の張力付与手段の間に存在する長尺物に接触して長尺物の振動を検出する振動受信手段３２と、振動受信手段が検出した振動の周波数を分析する周波数分析手段３４と、一対の張力付与手段の間に存在する長尺物を順次更新する長尺物移動手段と、を備える。帯状や線状の長尺物の共振特性を部分的に測定し、且つ、測定対象の長尺物の部位を順次更新することにより、長尺物全体の欠陥を迅速且つ低コストで検査することができる。 （もっと読む）

【課題】高周波化することなく表面不感帯を小さくし、深さ方向の探傷範囲を大にして、一度に広い範囲を探傷できるようにする。
【解決手段】連続鋳造された鋼片を超音波で探傷し、その探傷結果に基づいて鋼片の品質を評価する際に、水を介して被検査材８の表層部の探傷を行うラインフォーカス状の超音波ビームを送信可能な第一の圧電型振動子２０と、ラインフォーカス状の視野を持つ第二の圧電型振動子３０とを、前記第一の圧電型振動子２０から送信される超音波ビーム２１と前記第二の圧電型振動子３０で受信するための超音波ビーム範囲（受信信号視野３１）の焦点が所定の鋼中深さＦで交差するように、音響隔離板４０を挟んで対向させて配置して、超音波探傷を行う。 （もっと読む）

【課題】母材間を接合しているろう材に存在する欠陥を超音波を用いて非破壊で探索するために、超音波探傷装置で測定された反射エコー高さを利用して欠陥を抽出するにあたって、より小さな欠陥をも抽出する。
【解決手段】垂直探傷法に基づき超音波探傷装置を用いて母材に超音波を入射して、母材とろう材との接合界面および前記ろう材と欠陥の界面からの反射エコー高さを測定する。そして、或探傷単位領域の反射エコー高さの最大エコー高さが、欠陥が存在しない健全部からの反射エコー高さの最大値である第１のしきい値よりも大きい場合と、健全部からの反射エコー高さの最小値である第２のしきい値よりも小さい場合に、当該探傷単位領域を欠陥として抽出する。 （もっと読む）

【課題】制御可能な総素子数を抑えつつ、センサ開口の大型化を行うことで深部の検査を行えるとともに、ＳＮ比の向上した超音波センサおよび超音波探傷装置を提供することにある。
【解決手段】超音波センサ１の超音波振動素子１Ａは、ある超音波振動素子の重心位置から長辺方向に隣接する他の超音波振動素子の重心位置までのベクトルをａ１とし、当該超音波振動素子の重心位置から短辺方向に隣接する他の超音波振動素子の重心位置までのベクトルをａ２とするとき、ある素子の重心位置を基準とした場合、他の素子の重心位置Ｒは、（ｎ１ａ１＋ｎ２ａ２）を満たす。また、ベクトルａ１＞ベクトルａ２であり、ベクトルａ２の長さは超音波の波長λに対して、（λ／２）よりも大きく、ベクトルａ１とベクトルａ２のなす角度は９０度以外となるように、超音波振動素子が規則的に２次元状に配列されている。 （もっと読む）

【課題】検査対象物を迂回して超音波受信装置に到達する回折波を抑制することで、検査対象物の端部の検査を精度よく行う。
【解決手段】送信側超音波遮蔽キャップ１４は、超音波送信面１２の周囲を全周に渡って取り囲み、超音波送信面１２の周囲より鋼板３２の表面端部３２ａへ全周に渡って突出して設けられている。受信側超音波遮蔽キャップ２４は、超音波受信面２２の周囲を全周に渡って取り囲み、超音波受信面２２の周囲より鋼板３４の裏面端部３４ｂへ全周に渡って突出して設けられている。送信側超音波遮蔽キャップ１４及び受信側超音波遮蔽キャップ２４により、超音波送信面１２から送信された超音波が検査対象物３０を迂回して超音波受信面２２に回折波として到達するのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】測定対象物を浮揚、空中振動させ、測定対象物の内部に存在しているクラックから放射される超音波帯域の周波数変動を測定することで、クラックの発生箇所を的確に検知できるようにするクラック検知装置を提供する。
【解決手段】クラック検知装置Ａは、振動板部２０の全面を周期の一致した一次の振動モード形態で全面振動させ、任意設計した共振周波数で超音波帯域の単一周波数による疎密波である音響流を所定の音圧レベルで放射させ、測定対象物２５を振動板部２０の一方の面上で共振周波数の波長に応じて浮揚及び振動させ、センシング部３０が、検知測定した音響流に周波数特性の変化があるとき測定対象物２５にクラックが発生していると分析する。 （もっと読む）

【課題】薄板である測定対象物の形状等のバラツキや支持手段の設置位置に関わらず、測定対象物のクラックの有無の検知について安定した測定を可能とする薄板検査装置を得る。
【解決手段】振動板１２から放射される音波によって、測定対象物５０は、音圧の疎密に伴い、浮力を得て、その全体が加振され、変位量Δｒ２で振動する。 （もっと読む）

【課題】ガイド波の送信周波数の設定に対応して検査性能を向上することができるタンク底板検査装置を提供する。
【解決手段】側板２と張出部３ｂを有する底板３とを備えた縦置き型のタンク１を検査対象とし、ガイド波を利用してタンク１の底板３を検査するタンク底板検査装置であって、底板３の張出部３ｂ上に側板２の周方向の一部に沿って１列で配置された複数の超音波探触子９を備える。また、底板３の張出部３ｂ上における各超音波探触子９のガイド波送信位置と底板３の端面位置との距離Ｄａを検出するための位置センサ２１を備える。また、ガイド波の送信周波数ｆを設定するとともに、位置センサ２１の検出値に基づき距離Ｄａを演算し、この距離Ｄａが（Ｖａ／ｆ）×ｎ／２（但し、Ｖａは底板３の径方向に伝播するガイド波の速度であり、ｎは整数である）となるように位置調整機構５を制御して各超音波探触子９の位置を制御する探傷制御器６を備える。 （もっと読む）