【課題】ガラス壜の口天面の欠けを検出するためのリング照明を最適な位置に設置でき、口天面と口側面とを同一の検査ステーションで検査できるガラス壜の照明装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１の胴部を対向する無端状の搬送ベルト４，４で挟持してガラス壜１を直線搬送経路に沿って搬送している間にガラス壜１を撮像してガラス壜１の壜口部の欠陥を検査する検査装置に設置される照明装置において、前記搬送ベルト４，４により挟持されて搬送されるガラス壜１の下方に配置され、ガラス壜１を壜底部側から照明する壜底照明５と、前記搬送ベルト４，４により挟持されて搬送されるガラス壜１の壜口部の下方であって前記搬送ベルトの上方に配置され、斜め下方から壜口部を照明するベルト上照明６とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被検査面における欠陥の位置に依存せずに欠陥の有無を判断できる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】本明細書に開示する欠陥の検査方法は、明部１１ｂ及び暗部１１ｃを有する照明パターンを、被検査面２１に照射し、被検査面２１の同じ領域が、明部１１ｂで照らされる第１画像３０ａ及び暗部１１ｃで照らされる第２画像３０ｂを取得し、被検査面２１の所定領域に対応する第１画像３０ａ内の領域の輝度と、基準被検査面が明部１１ｂで照らされて取得された第１基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度と、被検査面２１の被検査面２１の所定領域に対応する前記第２画像３０ｂ内の領域の輝度と、基準被検査面が暗部１１ｃで照らされて取得された第２基準画像内の被検査面の上記所定領域に対応する領域の輝度とに基づいて、被検査面２１の所定領域の欠陥の有無を判断する。 （もっと読む）

【課題】レンズシート表面の局所的な歪み等の欠陥を精度良く検出する。
【解決手段】レンチキュラーレンズが複数配列されたレンズシート１２に照明光を照射する光源装置２１と、エリア３１について、レンズシート１２を透過した照明光のエッジ３２を撮像して第１画像を取得する第１撮像装置２２と、第１画像に基づいて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度に対応するデータとしてシャープネスを算出するシャープネス算出部１７と、算出されたシャープネスに応じて、レンズシート１２とエッジ３２の相対的な角度を調節する検査位置制御部１８と、レンズシート１２上から合焦点がずらされたデフォーカス状態で前記レンズシートの全幅にわたってエッジ３２を撮像して第２画像を取得する第２撮像装置２３と、第２画像に基づいて、レンズシート１２の欠陥を検出する欠陥検出部１９と、を備える。 （もっと読む）

【課題】カラーカメラを用いることなく低コストでスクリーン印刷後の半田検査を行うことができるスクリーン印刷機及びスクリーン印刷機における半田検査方法を提供することを目的とする。
【解決手段】モノクロカメラであるカメラ部７ａ、検査対象領域Ｒｇを垂直上方から照明する第１照明４１、検査対象領域Ｒｇをカメラ部７ａの撮像光軸７Ｊを取り囲む方向から照明する第２照明４２を備え、検査対象領域Ｒｇを第１照明４１により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａが映し出された第１の画像を得るとともに、検査対象領域Ｒｇを第２照明４２により照明しながらカメラ部７ａにより撮像して検査対象領域Ｒｇ内のランド２ａ及び半田Ｓｄが映し出された第２の画像を得た後、第２の画像のランド２ａ及び半田Ｓｄの部分から第１の画像のランド２ａの部分を差し引いて半田Ｓｄのみが映し出された画像を得る。 （もっと読む）

【課題】物体の表面欠陥を容易に検知することができる表面欠陥検知方法を提供する。
【解決手段】表面欠陥検知装置１を用いて物体１０の表面欠陥を検知する場合、まず、撮像部２により、物体１０の表面１０ａの画像を取得する。続いて、画像解析部３により、当該画像の明度のヒストグラムを生成し、このヒストグラムにおける第１及び第２階調の間の中央値を二値化レベルに設定する。そして、画像解析部３により、設定した二値化レベルで画像１１に二値化処理を施す。これにより、表面欠陥を目視でも判別可能な物体１０の表面１０ａの画像が取得されることとなる。 （もっと読む）

【課題】液体の性質や容器表面の情報に左右されることなく効率的に液中異物の有無を検出することができる液中異物検査方法を提供する。
【解決手段】被検査体を連続的に搬送し、所定の検査位置にて単一の被検査体に対して光を照射するとともに隔離配置された第１及び第２撮像手段により被検査体を同時に撮像し、第１撮像手段によって撮像された第１画像と第２撮像手段によって撮像された第２画像とからそれぞれ所定画素以上のシルエット像の有無を検出し、第１及び前記第２画像に同一のシルエット像が検出された場合には、予め定められた第１及び第２撮像手段の各位置と第１及び第２画像のシルエット像位置に基づいてシルエット像の３次元位置を三角法により測定してシルエット位置情報を得るとともに、シルエット位置情報と容器表面の３次元位置が予め記憶された容器位置情報とを比較してシルエット像が容器表面に位置するか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】被検査面の点検を行う際に、作業員によるセッティングの手間を省き、また、反射光による映り込みを抑える形で点検が可能な水中移動装置を提供すること。
【解決手段】被検査面を撮影するＣＣＤカメラ１１と、被検査面を照射する照明装置１３と、ＣＣＤカメラ１１と照明装置１３を収納するケース１６と、ケース１６と被検査面側の一端において密着した透明の防水窓１２と、を備える水中目視検査装置であって、照明装置１３からの照射光が防水窓１２に反射して、被検査面の映像と混同することを防ぐために、防水窓１２のＣＣＤカメラ１１側に偏光フィルタ１２ａを有する。 （もっと読む）

【課題】吸引管の詰まりを精度良く且つ速やかに解消可能な異物除去システムを提供すること。
【解決手段】
食品を搬送する搬送装置２と、食品をコンピュータに予め設定された食品撮影位置で自動撮影する撮影装置４と、撮影装置４の下流側に設けられ、食品中の異物をコンピュータに予め設定された異物除去位置で除去する異物除去手段Ｍ（吸引管６、圧力センサ７、吹き付け装置１０）と、食品の画像情報を生成する画像情報生成手段と、画像情報においてコンピュータに予め設定された色情報に対応する色情報を有するエリアを異物として判定する異物判定手段と、異物の存在エリアに関する異物位置情報を生成する異物位置情報生成手段と、搬送装置２の搬送距離に基づいて、食品が食品撮影位置から搬送された距離に関する距離情報を算出する距離情報算出手段と、を備える異物除去システム１。 （もっと読む）

【課題】物体の外観異常を容易に検査する。
【解決手段】外観検査装置１は、物体１０の画像を取得する画像取得部２と、画像に二値化処理を施して二値化画像を取得する二値化部３ａと、二値化画像に基づき物体１０の外観異常の有無を判定する異常判定部３ｂと、を備えている。異常判定部３ｃは、二値化画像におけるＸ方向に並ぶ複数の画素ごとにおいてＸ方向存在量とＸ方向変化量とをそれぞれ算出すると共に、二値化画像におけるＹ方向に並ぶ複数の画素ごとにおいてＹ方向存在量とＹ方向変化量とをそれぞれ算出し、そして、複数のＸ方向存在量の総和、複数のＸ方向変化量の総和、複数のＹ方向存在量の総和、及び複数のＹ方向変化量の総和のそれぞれが、予め設定されたＸ方向存在量基準値、Ｘ方向変化量基準値、Ｙ方向存在量基準値、及びＹ方向変化量基準値のそれぞれに対し不一致の場合、外観異常が有ると判定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の形状バラツキに対応でき、検査対象の位置ズレ量を検出する必要がなく、また、コンベア等の搬送装置上での検査対象の位置のバラツキによる微細な形状変化にも対応できる異物検査装置を提供する。
【解決手段】ガラス壜１を撮像してガラス壜１の欠陥またはガラス壜１内の異物を検出するための検査を行う際の検査領域の決定方法であって、ガラス壜１の壜底部１ａをカメラ３によって撮影して壜底部１ａの画像を得、画像から、ガラス壜１を成形する際に壜底下端部分にできるバッフルマークを検出し、検出したバッフルマークを利用して画像中に検査領域を決定する。 （もっと読む）

【課題】スリット光によって測定対象物に形成される光切断線における干渉縞を低減して良好に表面測定が行われる表面検査装置を構成する。
【解決手段】半導体レーザＬＤからのレーザ光ＬＢから直線状の領域に拡がるスリット光Ｓを作り出してワークに照射し、これを撮影ユニットで撮影した画像データからスリット光Ｓが照射された光切断線を抽出してワークの表面形状データを生成するように表面検査装置を構成する。半導体レーザＬＤが、ＰＮ接合型で接合面の境界部分に沿って直線方向Ｍに形成される発光層１７を有し、この直線方向Ｍが、スリット光Ｓの拡がり方向と直交するように相対的な姿勢を設定した。 （もっと読む）

【課題】位相シフト法を用いて３次元計測結果の表示が可能で、また２次元計測が可能な外観検査装置及び印刷半田検査装置を提供することにある。
【解決手段】印刷半田検査装置１は、検査対象物１００に対し斜め上方であって対向する２方向から位相変化光を照射可能な一対の第１照明装置２と、前記検査対象物に対し上方からＲＧＢ光を照射可能な第２照明装置３と、前記検査対象物を白黒画像で撮像可能な撮像装置４と、を備えている。そして、前記検査対象物の同一撮像面に対し前記２方向の位相変化光を照射して撮像し、該撮像の前又は後にて前記検査対象物の同一撮像面に対し前記ＲＧＢ光を順次照射して撮像し、各画像を合算した画像により前記検査対象物の外観を検査する。 （もっと読む）

【課題】検査品の画像のマハラノビス距離に基づいてその検査品の良否判定を行う技術において、良否判定をするための処理時間を短縮し、なおかつ画像の写り具合に関わらず精度良くその判定を行うこと。
【解決手段】マハラノビス距離を算出するためのマハラノビス基準空間の生成にあたり、先ず、良品か否かの区別が付きにくい良品グレー領域を含む良品サンプルの良品画像を取得する（Ｓ１）。次いで、その良品画像に対して、２値化処理→平滑処理→差分処理の画像処理を施して、良品画像に含まれる良品グレー領域を検出する（Ｓ２）。次いで、検出した良品グレー領域の周辺領域の輝度情報を基準として、その良品グレー領域の輝度情報の特徴量を算出する（Ｓ３）。次いで、その特徴量に基づいて、マハラノビス基準空間を生成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハなどのパターンが形成された試料のマクロ検査装置において、寸法・形状の異常を高感度で検出可能にする。
【解決手段】パターンが形成された試料の検査装置において、パターンが形成された該試料に光を照明する照明光学系と、該パターンの散乱光を受光する検出光学系と、該検出光学系の瞳面に配置され、該パターンのフーリエ像を撮像する撮像素子と、該フーリエ像を正常なパターンのフーリエ像と比較し、該パターンの異常を検出する処理部と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＭＴ法を利用して検査品の良否判定を行う技術において、良否判定をするための処理時間を短縮し、なおかつ検査品に偏りがある場合であっても、良否判定を精度良く行うこと。
【解決手段】マハラノビス距離を算出するためのマハラノビス基準空間の生成にあたり、先ず、良品サンプルの良品画像を取得する（Ｓ１）。次いで、その良品画像に対して、２値化処理→平滑処理→差分処理の画像処理を施して、良品画像に含まれる、他の領域に比べて良品の程度が劣る良品グレー領域を検出する（Ｓ２）。次いで、検出した良品グレー領域の輝度分布データを算出する（Ｓ３）。次いで、その輝度分布データに基づいて、マハラノビス基準空間を生成する（Ｓ４）。 （もっと読む）

【課題】合焦精度を向上させる。
【解決手段】高感度のラインセンサ１６Ｂは、レーザ照明部１１により照明された対象物２の光点像の光量から得られる高輝度の受光データを取得し、低感度のラインセンサ１６Ａは、対象物２の光点像の光量から得られる低輝度の受光データを取得し、データ処理部１７は、正常時は、高感度のラインセンサ１６Ｂからの高輝度の受光データを選択し、高輝度の受光データを得るときのレーザ光が飽和した場合、低輝度の受光データを選択する。そして、検出部１８は、データ処理部１７により選択された受光データに基づいて、対象物２の像の合焦状態を検出することで、対象物２の像の合焦状態が確実に検出されるので、合焦精度を向上させることができる。本発明は、例えば、対象物の断面形状を測定する測定装置に用いられる位置検出装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラス壜の壜底部のビリ（底ビリ）を精度良く検出できる光学撮像系を備えたガラス壜の検査装置を提供する。
【解決手段】液体が充填されたガラス壜の壜底部を撮像し、得られた画像から欠陥を検出するガラス壜の検査装置において、直立した状態で搬送されるガラス壜の下方に配置され、ガラス壜をガラス壜の底面側から照明する照明３０と、ガラス壜の壜底部の側方に配置され、ガラス壜の底面から上方に立ち上がっていく部分である彎曲した曲面の壜底外周縁１ｅと壜底外周縁１ｅに連なる壜底部１ａとを撮像するカメラ４２とを備え、照明３０は、光源３１と、光源３１からの光を集光する集光レンズ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃと、集光レンズ３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃからの光を曲げる角度変更レンズ３３Ａ，３３Ｂとを備え、照明３０は、カメラ４２に近い側にある角度変更レンズ３３Ａからカメラ側の壜底外周縁及び／又は壜底面に光を入射させるようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査方法に関し、より詳細には基板の検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査するために、まず、基板上に測定領域を設定し、続いて、測定領域に対する基準データ及び測定データを取得する。次に、測定領域内の所定の形状を含むようにブロック単位の複数の特徴ブロックを設定し、特徴ブロックのうちオーバーラップされる特徴ブロックをマージして統合ブロックを設定する。続いて、統合ブロック以外の特徴ブロック及び/または統合ブロックに対応する基準データと測定データとを比較して歪曲量を取得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる （もっと読む）

【課題】シェーディングの状態や、その雑音成分が変化しても、リアルタイムにシェーディング補正が可能な表面検査装置のシェーディング補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め記憶された前回走査時までの走査検出信号で生成した第１のシェーディング補正信号ｓ８を元にして閾値信号ｓ３、ｓ４を生成し、今回の走査時の走査検出信号ｓ１に含まれる欠陥部に対応する位置の信号値を第１のシェーディング補正信号ｓ８で置換してアルタイムに補正走査信号ｓ６を求め、今回の走査時の走査検出信号を正規化するようにしたことを特徴とする表面検査装置のシェーディング補正方法。 （もっと読む）

【課題】
複数条件の画像を同時に検出して統合する構成を用いた場合、高レートのデータ転送手段と大容量のメモリや記憶媒体が必要となる。
【解決手段】
複数の撮像条件にて試料の画像データを取得する工程と、前記複数の撮像条件にて取得した複数の画像データを画像記憶部へ格納する工程と、前記複数の画像データのそれぞれより欠陥候補を取得する工程と、前記画像記憶部に格納された、少なくとも２つの撮像条件の前記画像データから、前記複数の画像データのいずれかで検出した前記欠陥候補位置とその周辺を含む部分画像を切り出す工程と、前記欠陥候補に対応する少なくとも２つの撮像条件で取得した前記部分画像を統合処理することで、欠陥候補を分類する工程と、を有することを特徴とする欠陥検査方法である。 （もっと読む）