【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】船底防汚塗料を塗布した複数の試料についての溶出試験を、同時に、かつ、効率よく行うことによって、正確な試験結果が得られるようにした船底防汚塗料の溶出試験装置を提供すること。
【解決手段】エージング液Ｗを貯留するようにしたエージング槽１と、このエージング槽１の上部に配設し、船底防汚塗料を塗布した複数の試料Ｔを並べて装着することができるようにした試料保持部２と、試料Ｔを装着した試料保持部２を各試料保持部２の鉛直軸を中心として回転駆動する回転駆動手段３と、この試料保持部２を昇降させる昇降手段４と、エージング槽１の内部に配設し、試料保持部２に装着した各試料Ｔに対応する位置に溶出試験用容器Ｃを設置できるようにした溶出試験用容器設置部材５とから構成する。 （もっと読む）

【課題】 大気中で安定的な表面を有し、保管方法が簡便で寿命の長いＡＦＭ標準試料を提供すること。
【解決手段】 被検体の垂直方向の測定値を１０^−１０〜１０^−８ｍの分解能で直接的に校正する為に用いられるＡＦＭ標準試料であって、
主面として（０００１）面、または（０００１）面から１０度以内のオフ角度を持った面を有する単結晶サファイヤ基板からなり、該凹部の内側の面にステップ構造を有することを特徴とするＡＦＭ標準試料及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】 FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】 分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】
薬液の加熱時間により装置の処理能力が落ちることがなく、安全で、電気代を節約できる超音波を用いた生体組織処理装置を提供する。
【解決手段】
固定液タンク２及び、脱水剤タンク３、４、５、６，中間処理剤タンク７、８それぞれにヒーターを設け、通常は無加熱または４０℃〜５０℃に保温しておき、処理槽１に固定液又は脱水剤又は中間処理剤を注入する一定時間前に注入する液または剤を加熱し約６０℃にすることで、加熱時間を必要最小限にする。 （もっと読む）

【課題】 断面観察用試料の観察面に残存する加工ダメージ層を簡単かつ迅速に除去する手段を備え、２次元キャリア分布測定を精度よく実施することが可能な断面観察用試料を作製する方法を提供すること。
【解決手段】 シリコン基板上に不純物を導入したシリコン層を有する半導体デバイスの断面観察用試料片を作製する方法において、半導体デバイスの断面を露出させ、その断面を平坦化する加工を施した後、断面観察用試料をアルカリ金属水酸化物と過酸化水素とを含む強アルカリ性エッチング液に浸漬させ、さらに塩酸またはアンモニアと過酸化水素とを含む表面改質液に浸漬させて、加工ダメージ層を除去し、かつ、加工ダメージ層が除去された断面表面に均一なシリコン酸化膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】液体試料だけでなくスラリー試料であっても、さらに液体中に浸漬した状態の固体粉末試料であっても、電磁波吸収測定により適切なデータが得られる試料測定用セル、及び電磁波吸収測定方法を提供すること。
【解決手段】電磁波透過性の材料で形成された２つの窓を相対する位置に有し、２つの窓の間に試料を存在させることが可能な電磁波通過部位と、電磁波通過部位の下方に設けられた、内部の液体を撹拌可能な攪拌手段を有する撹拌手段設置部位と、を有するセル構造を為しており、（１）セル構造内の電磁波通過部位の上方に、少なくとも１つの空孔を有する仕切り板を有する、又は（２）セル構造内の電磁波通過部位に、固体粉末試料を所定の電磁波通過長となるように配置可能でかつ固体粉末試料中に液体が浸透可能な試料容器を有する、試料測定用セル。 （もっと読む）

【課題】 半導体中の個々の不純物原子を検出して、その位置を特定し、その不純物の種類を判別し、さらにある特定の領域内に含まれるアクセプターおよびドナー不純物原子の数をそれぞれ区別して数え上げることによって不純物濃度の測定を行う方法及び装置を提供すること。
【解決手段】 被測定対象物である半導体表面を走査型トンネル顕微鏡(STM)で観察する際に、探針を基準として半導体に正の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像と、探針を基準として半導体に負の電圧を印加して得られた半導体表面のSTM像とを比較することにより、半導体中の不純物原子を検出することを特徴とする半導体不純物原子検出方法である。 （もっと読む）

【課題】生体材料の薄切片の作製や染色処理を行う際の操作性を向上させる。
【解決手段】試料薄片を接着させる粘着フイルムの粘着面の周囲を囲む 窓枠状ガイドを設ける。このガイドは非粘着部を持ち、粘着フイルムを保持するホルダーと合わせて、前記ガイドによって囲まれる開口に対応する粘着部を有するガイド付き粘着フィルムとする。ガイドは各種の可撓性を有するプラスチックで構成し、薄片試料よりも厚く設定する。ホルダの形状は粘着フイルムの固定・保護を目的とするので寸法は限定されず、粘着フイルムに合わせて設計する。 （もっと読む）

【課題】従来に比べて簡易かつ正確に試料中の水銀の含有量を測定することのできる試料前処理方法及び試料中の水銀量測定方法を提供する。
【解決手段】まず、白金、金、銀、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウムのうちの少なくとも一つを添加し、これらの金属イオンを含有させた溶液中で、樹脂材料を含む試料を酸により分解する分解工程を行う（１０１）。分解工程の後、温度を上昇させ有機物を分解除去する有機物除去工程を行う（１０２）。この後、試料中の水銀を、誘導結合プラズマ質量分析装置等により定量する定量工程を行う（１０３）。 （もっと読む）

【課題】 イオンミリング装置において、かかる装置固有の照射角度の上限より大きな照射角度においてもイオンビームの照射を可能ならしめる試料固定用治具を提供すること。
【解決手段】 基準面に対して所定の照射角度にてイオンビームを照射することの出来るイオンミリング装置において用いられる試料固定用治具にして、前記イオンビームが照射される試料を保持する試料保持部材と、前記イオンミリング装置内の試料支持台に固定される台座と、該試料保持部材と該台座とを連結して、該台座上に該試料保持部材を支持する支持部材とから構成し、且つ、該試料保持部材を、前記基準面に対して傾斜した状態において、前記支持部材により前記台座に対して取り付けた。 （もっと読む）

【課題】 ナノレベル構造組成観察用試料の作製方法に関し、試料にダメージを与えることなく、より容易に保護層を除去する。
【解決手段】 試料母体の表面に保護層２を形成したのち、保護層２上から加工を施すことによって試料母体を針状試料１に加工する際に、針状試料１の頂部から遊離した保護層成分４を検出することによって加工の終点を検出する。 （もっと読む）

【課題】 平坦な凹面を形成することが可能な試料作製方法を提供する。
【解決手段】 ディンプルグラインダによる凹面研磨は、ホイール工程（ステップＳ２１０）及びバフ工程（ステップＳ２２０）の２つの工程を有している。ホイール工程は、例えば、ダイヤモンド粒を研磨剤として用い、凹部底面の厚さが約１１〜１３μｍになるまで研磨を行い、試料Ｓの表面に凹面を形成する工程である。一方、バフ工程は、外周面３０ａにフェルト等を貼り付けた研磨ホイール３０を用いるとともに、例えば、アルミナペーストを研磨剤として用いて研磨を行い、表面を平滑に仕上げる工程であり、バフ工程が完了すると凹部底面の厚さは約１０μｍになる。本実施形態では、バフ工程をさらに２回に分け、各回でのステージ２０の回転周期を変えている。 （もっと読む）

【課題】 被加工物を外部に出さずに、容易に移し変えて効率良く加工を行うこと。
【解決手段】 予め決められた範囲の観察領域Ｗ内で被加工物Ｄ、Ｌを観察しながら集束ビームＢを照射して被加工物Ｄ、Ｌを加工する際に用いられるものであって、被加工物Ｄ、Ｌを上面２ａ、３ａにそれぞれ載置可能な載置台２、３を複数有するテーブル１０と、載置台２、３をそれぞれ上面２ａ、３ａに垂直なＺ軸回りに回転させると共に、上面２ａ、３ａを任意の角度に傾斜させる回転傾斜手段１１とを備え、テーブル１０が、観察領域Ｗ内に、複数の載置台２、３をそれぞれ配置させるように移動可能とされている加工用ステージ４を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみを摘出、搬送、固定が可能で、特にマイクロマニピュレーションにおけるプローブ先端位置決めを容易にすることで自動化に適した試料作製装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム加工と、試料片の搬送技術さらには試料片の試料片ホルダへの固定技術を用いる。特に、搬送用プローブの流入電流をイオンビーム走査と同期させてデータ化することで、プローブ先端位置の同定を容易にする。 （もっと読む）

【課題】基板から試料を抽出するための効率的な方法。
【解決手段】集束イオンビームのようなビームを使って複数回の重なり合う切り込みを入れて試料のまわりに溝を作り、次いで当該試料の下を切って切り離す。切り込みの側壁が垂直でないため、重なり合う切り込みは以前の切り込みによって形成された傾きのある側壁上に入射する。大きな入射角のため、切削スピードが大幅に向上し、複数回の重なり合う切り込みを行って広い溝を生成することに必要な時間は、試料の周に沿って単一の深い切り込みを入れるよりも短くできる。 （もっと読む）

【課題】
カルボニル化合物とカルボン酸の測定を同時に行うことができる方法、それに用いられる吸着剤、及びそれを用いた捕集管を提供すること。
【解決手段】
２，４−ジニトロフェニルヒドラジンとリン酸を含浸させた担体を有し、リン酸は、担体に対し０．２〜２（容量／重量）％の範囲内で含有されている吸着剤とする。また、２，４−ジニトロフェニルヒドラジンにカルボン酸及びカルボニル化合物を反応させる工程、該反応したカルボン酸及びカルボニル化合物を定量する工程、を有するカルボン酸及びカルボニル化合物を同時定量する方法とする。 （もっと読む）

【課題】レーザーの照射によって、台に配置されたマスから生物学的又は非生物学的物体を自動的に分離し及び回収することができるようにするために、調整手段への調整信号を自動的に発信するための制御手段を有する収集装置を提供する。
【解決手段】レーザ顕微鏡システムによって載置に配置された対象物体を特定してレーザにより切断して、これを収集装置の保持ユニット（容器）内へ自動的に収納する。収納する調整手段は、これらの調整信号の作用として、マスから放たれた物体を収集するために使用される少なくとも１つの収集手段（２１）を有する保持ユニット（１９）を調整し、自動的に位置決めするものである。 （もっと読む）

【課題】 基板搬送容器内空間の汚染状態を簡便に評価する方法を提供すること。
【解決手段】 容器本体と蓋体とを有し、該容器本体は一側面に開口部が形成され、また、該蓋体は該開口部を閉塞可能に、かつ該容器本体に開閉自在に取り付けられてなる基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法であって、該基板搬送容器に袋体を該開口部が該袋体で外気と遮断されるように装着した後、前記蓋体による該開口部の閉塞状態を解除して該容器本体内部空間と該袋体内部とを連通させ、該袋体に設けられたガス導入孔から不活性ガスを前記容器本体内に導入しながら、該袋体に設けられたガス排出口から排出される排出ガスを捕集し、該排出ガス中の汚染物質を分析することを特徴とする基板搬送容器内空間の汚染状態の評価方法 （もっと読む）

【課題】ウェハの表面近傍欠陥を容易に解析できる試料作製方法を提供する。
【解決手段】欠陥検出手段で検出した欠陥の位置座標を基準にして、その近傍にイオンビームなどによってマーキングし、試料を透過型電子顕微鏡で観察して、マーキングと欠陥との相対位置関係から、欠陥部を特定し、目的とする欠陥部を含む試料を確実に作製する。 （もっと読む）