【課題】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハに含まれる不純物量を、効率的かつ高精度で測定可能とするために、最小限の工程で、測定試料を調製して分析する半導体ウエハの不純物分析方法を提供する。
【解決手段】 シリコンおよびゲルマニウムからなるウエハ表面に、フッ化水素酸の濃度が０．３１〜０．００６３％、硝酸の濃度が６７．４〜６８％である混酸を接触させて溶解した回収液を加熱濃縮して、シリコン成分およびゲルマニウム成分を揮発させたものを測定試料として、高周波誘導結合プラズマ質量分析装置または原子吸光分析装置にて不純物分析を行う。 （もっと読む）

【課題】 異なる電顕用試料ごとに最適な異なる照射条件の掘削を行い、イオンビームの照射時間の短縮を計ると共に、オペレータの負担を軽減するイオンミリング装置を実現する。
【解決手段】 電極板１５および検流計１４からなる通過イオン計測手段により、通過イオンのイオン電流を所定時間間隔ごとに計測し、このイオン電流の変化情報から試料５の掘削深さｈの変化量を推定し、掘削深さｈの変化量を期待掘削深さ変化量に一致させる様に制御弁１１および可変電圧源１３の弁の開度および加速電圧を調整することとしているので、オペレータが入力する全照射時間に近似する時間で掘削を終了することができると共に、多種多様な電顕用試料ごとの制御弁１１の開度情報および可変電圧源１３の電圧情報を最適なものとし、繰り返し行われる試料５の同様の掘削を、効率的に行うことを実現させる。 （もっと読む）

【課題】安価な石英容器を使用し、かつ容器に焼き付いた灰分を容易に溶解させ、分析時間の短縮が可能で、しかも、高度に試料中の金属不純物を分析できる分析方法を提供する。
【解決手段】試料を灰化処理し、得られた灰分を酸で溶解させて回収した後、回収したサンプルを分析することにより、試料に含まれる金属不純物の量を分析する方法において、石英容器中で試料を灰化処理し、得られた灰分をフッ化水素酸で溶解させて回収することを特徴とする金属不純物の分析方法である。 （もっと読む）

【課題】設置面積が小さくて済み、工程間で人手を要することなく、採取した土壌から分析用の土壌試料を短時間で自動的に調製することの可能な装置を提供すること。
【解決手段】ロボット１は、採取した土壌を入れているサンプルバッド２をサンプル保管箱３から熱風循環式風乾装置４へ移し、風乾後、各サンプルバッド２の試料をホッパー５に順に移入する。試料は、バケットコンベア６等によってトロンメル回転ふるい装置に送られ、異物の除去後に分取された試料が、バケットコンベア１３等によってミキシングホッパー１５に移入される。以上の工程を経た試料が複数移入されると、ミキシングホッパー１５がそれらを混合し、分取された試料だけがバケットコンベア１８等によってミキシングホッパー２０に移入される。そして、以上の工程を経た試料が複数移入されると、それらをミキシングホッパー２０が混合し、分取された試料が分析用の土壌試料になる。 （もっと読む）

第1容器(10)と、第2容器(20)と、上記第1容器(10)の内部から上記第2容器(20)の内部まで延在する接続表面(11、21、30；200)と、磁界を提供する少なくとも一個の磁石(40)と、案内要素(50)であって、該案内要素により上記磁界は上記接続表面(11、21、30；200)の一側面に沿い移動可能であるという案内要素(50)とを備える、液体から磁性粒子を分離する装置。 （もっと読む）

【課題】乾留炭化物と金属リチウムの真空加熱反応により、リチウムカーバイドを調製し、引き続きアセチレンガスを生成する化学処理工程において、リチウムカーバイドの収率向上と操作時間短縮が課題であった。
【解決手段】乾留炭化試料中の全炭素量に対して、化学量論的に必要な重量の２〜４倍の金属リチウムを投入することにより、乾留炭化試料中の炭素以外の不純物元素との反応での消耗および操作中の蒸発・散逸による消耗をカバーし、リチウムカーバイドを調製する方法。および、この方法を実施するための反応管を迅速に着脱出来る構造のリチウムカーバイド・アセチレン調製装置。 （もっと読む）

【課題】 大口径ウェハ用の探針移動機構ならびにサイドエントリ型試料ステージを試料作製装置、不良検査装置に適用することで、小型で従来と同等の操作性を有する試料作製装置、評価装置を提供する。
【解決手段】 探針ならびにサイドエントリ型試料ステージを、上記イオンビーム照射光学軸とウェハ面の交点を通る傾斜角を持って真空容器を大気開放することなく真空容器に出し入れ可能とする真空導入手段を配した探針移動機構およびサイドエントリ型試料ステージ微動機構用い、さらにサイドエントリ型試料ステージの試料ホルダの試料片設置部分をウェハ面と平行とする回転自由度を有したサイドエントリ型試料ステージを用いる。
【効果】
真空容器の容積が必要最小限の設置面積の小さい小型で使い勝手の優れた、大口径ウェハ用の試料作製装置、評価装置が実現できる。 （もっと読む）

【課題】一度に多くのミクロン以上〜１００μｍ以下の粉末、またはサブミクロンの粉末を短時間に加工することのできるＴＥＭ観察用試料作製方法を提供する。
【解決手段】粉末を透過電子顕微鏡観察用試料に加工する方法において、粉末を樹脂に混合しこの組成物をＴＥＭに挿入できる大きさの単孔もしくは多孔シートメッシュの孔に充填して硬化し、硬化後組成物の断面を出すように半分に切断し、さらに集束イオンビーム加工装置で断面側からイオンビームを当てて薄片化する。使用する単孔もしくは多孔シートメッシュの厚さまたは挿入した組成物の厚さが５０μｍ以下であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】土壌試料を試験容器へ秤量した後は、振とう機での振とうが終了するまで、人手をかけずに行える土壌試料の試験溶液自動作製装置を提供すること。
【解決手段】土壌試料の入った試験容器５は、ベルトコンベア１で搬送中に、バキュームパッド９により、キャップをはずされ、水用定量自動添加機８あるいは塩酸用定量自動添加機１０による溶媒添加後、再びキャップされ、ベルトコンベア２を介して、振とう用ベルトコンベア３の６列のベルト上に次々と搬送される。振とう用ベルトコンベア３は、試験容器５と共に振とう機１５にセットされる。振とう後、試験容器５は、ベルトコンベア４に排出され、第２集積台１６に集積される。振とう機１５の稼動中にベルトコンベア２に搬送されてきた試験容器５は、一時的に第１集積台１１にストックされ、振とう後の試験容器５が排出された後、振とう用ベルトコンベア３に搬送され、振とう機１５にセットされる。 （もっと読む）

【課題】 標本ブロックから薄片を効率よく製造することができ、切断した薄片に皺が生じにくい薄片製造装置を提供すること。
【解決手段】 標本ブロックＡを保持し、モータ１４で駆動されて往復動する標本ホルダ６と、標本ホルダ６の前方に設置され、標本ホルダ６が往動した時、標本ブロックＡを薄切りするミクロトームナイフ７とから成るミクロトーム装置１、ミクロトームナイフ７の刃先部前面にアルコール水溶液を噴霧する噴霧装置２、ミクロトームナイフ７の前下方に設置された液体槽３、ミクロトームナイフ７の刃先部と液体槽３との間に設けられ、ミクロトームナイフ７で薄切りされた薄片の連続体Ｃを液体槽３へ間欠的に移送する移送装置４、及び、液体槽３内に薄片が進入する端部から他端部に向けて流れる表層水流を発生させる水流発生装置を備える。 （もっと読む）

【課題】 側面に微小試料片を確実に固定することができる微小試料台を提供すること。
【解決手段】 微小試料台１０は、全てシリコン製であり、上下方向（Ｚ方向）に４段を有する多段構造である。微小試料台１０の第１段１１と第２段１２はＸ方向に延設されているが、第３段１３〜５３と第４段１４〜５４とからそれぞれ構成される５つの突状部分１〜５は、Ｘ方向に配列して第２段１２の上面からＺ方向に突設されている。微小試料片Ｓは、微小試料台１０の第４段１４〜５４のいずれかに固定されるが、固定する位置としては、次の３通りがある。第１は、第４段５４を例として示す上面（頂面）に立設する場合であり、第２は、第４段４４を例として示す側面Ｐに設置する場合であり、第３は、第４段２４を例として示す側面Ｑに設置する場合である。第４段１４〜５４の側面Ｐ，Ｑには平滑化処理が施されているので、微小試料片Ｓを確実に固定できる。 （もっと読む）

【課題】 試料台としての剛性を確保しつつ微小試料の薄片化時間を短縮できる微小試料台を提供すること。
【解決手段】 微小試料台１０は、全シリコン製であり、上下方向（Ｚ方向）に４段を有する多段構造である。微小試料台１０を側面から見ると、中心面Ａに対して対称形であり、上方の段ほど厚さ（Ｙ方向の長さ）が薄い。微小試料台１０の第１段１１と第２段１２はＸ方向に延設されているが、第３段１３〜５３と第４段１４〜５４とからそれぞれ構成される５つの突状部分１〜５は、Ｘ方向に配列して第２段１２の上面からＺ方向に突設されている。突状部分１〜５は、高さ（Ｚ方向の長さ）及び厚さ（Ｙ方向の長さ）は一律であるが、幅（Ｘ方向の長さ）は微小試料片Ｓの寸法などに応じて任意に形成することができる。微小試料片Ｓは、その表面、すなわち薄片化調製が行われる平面がＸＺ面に平行となるように、第４段１４〜５４に固定される。 （もっと読む）

【課題】 複数個の微小試料台を保管したり運搬する際の取り扱いを簡便とすること。
【解決手段】 微小試料台１０の集合体である微小試料台集合体５０は、複数の微小試料台１０がＸ方向に直線状に規則正しく配列され、このような列がＺ方向に突き抜けた空間ＳＰを挟んでＹ方向に並列に規則正しく配置されている。微小試料台１０同士は、連結リブ６０を介して直列に連結され、各列において最も外側にある微小試料台１０の一端が接続リブ８０を介して外枠７０の突起部７０ａに接続されている。微小試料台１０、連結リブ６０、外枠７０および接続リブ８０は、全てシリコン製であり、単結晶シリコンウエハ１０１から一体で作製される。微小試料台１０を分離するときは、連結リブ６０、接続リブ８０を折って切り離す。 （もっと読む）

【課題】 粘着材上に付着した異物を容易にかつ確実に採取することのできる粘着材上の異物の採取方法を提供すること。
【解決手段】 採取する異物１４の近傍に、鋭角な先端を有する刃１５を配置し、刃１５の先端を前記異物１４の下方の粘着材１２に潜り込むよう前進させ、先細の針状部材１６により前記異物１４を前記刃１５上に押し上げる （もっと読む）

【課題】取り扱いが容易で、単純な形状の試験片を用いて、ナノ領域のナノ物性を、条件を変化させながら、自動制御、自動調整し、精度を高く、安価に計測する。
【解決手段】測定したい金属・高分子・セラミックス等のすべての材料の微細試験片を装置に取り付け、試験片のナノ領域に於けるナノ物性を、温度や形状変化に対応して、引っ張り力による変化等を正確に、３次元表示自動調整しながら測定する装置で、ナノ物性を測定する。 （もっと読む）

【課題】イオンビームで研磨された試料を固定した試料ホルダはSEM試料台支持部に取り付けるに際して試料ホルダとＳＥＭ試料台支持部との間に取り付けのために用いられて来た中間材を設けることなく取り付けることができ、以って両者間の距離を短くし、試料ホルダをＳＥＭ試料台支持部に近接配置できるようにする。
【解決手段】試料ホルダ２３に試料３の研磨されて観察される面の裏側の面に、ＳＥＭ試料台支持部に設けたおねじ部５３に直接ねじ挿入されるめねじ穴５２を設け、当該おねじ部を当該めねじ部に直接ねじ挿入することによって、試料を固定した前記試料ホルダをSEM試料台を介さずに直接ＳＥＭ試料台支持部に固定される。 （もっと読む）

【課題】高分子材料の光劣化に関する化学的知見を極く短時間で得られる高分子試料分析装置を提供する。
【解決手段】複数の気相成分を生成する気相成分生成手段２と、キャリヤガスを気相成分生成手段２に導入するキャリヤガス導入手段１５と、該気相成分を個々の成分に分離する分離手段４と、分離された成分を検出する検出手段５とを備える。高分子試料に紫外線を照射する紫外線照射手段１１と、雰囲気ガスを気相成分生成手段２に導入する雰囲気ガス導入手段１６と、分離手段４に導入されるガスを、キャリヤガスと雰囲気ガスとに切替るガス切替手段１７とを備える。雰囲気ガス導入手段１６から導入されるガス雰囲気下、紫外線照射手段１１により紫外線を照射して、該高分子試料を劣化分解させる。劣化分解後、ガス切替手段１７により分離手段４に導入されるガスをキャリヤガスに切り替え、気相成分をキャリヤガスにより分離手段４に導入する。 （もっと読む）

【課題】サンプルの加熱温度を極力抑えながらにおい測定装置による測定を適切に行うことのできる測定方法及び装置を提供する。
【解決手段】容器２５にサンプル２６（固体）と共に小量の水を封入し、或いはサンプル２６を封入した容器２５に小量の水を加えた後、容器２５を加熱し、その後に容器２５からシリンジ２２でヘッドスペースガスを採取してにおい測定装置１０に導入して測定を行う。水蒸気雰囲気下で揮発するにおい成分のヘッドスペースガス中濃度は乾燥下でのそれに比べてより高濃度となることが知られているので、この方法によれば、サンプルの加熱温度を抑えることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】液体状の媒体に分散した微粒子の形態を観察する方法を提供する。
【解決手段】ＳｉＯ₂ 超微粒子が分散したグリースを−１００℃に冷却して凝固させ、固形物とした。この固形物に剪断力を加えて破断し、その破断面をＳＥＭにより観察した。この時、ＳＥＭのサンプルホルダーは、固形物が融解して液体状とならないように−８０℃に制御した。このような方法により、グリースからの揮発成分の発生等の不都合が生じることがなく、グリースに分散したＳｉＯ₂ 超微粒子そのものの形態を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】 微小な試料片において、加工歪のない清浄な剥離面を得ることができる分析用の試料片抽出方法を提供する。
【解決手段】 多層膜試料１の所定箇所の輪郭に沿って溝１Ｄ加工を行ない、所定箇所を剥離する工程により所定箇所の膜面を剥離して、剥離面を露出させる。試料１は、母材１Ｂ上に多層膜１Ｃが形成されている。溝１Ｄの加工は、集束イオンビームを用いて行なうことができる。試料１の微小な分析対象箇所の加工が簡易であり、試料１に余分な力を加えずに、バリや新たな剥離面の発生を生じない試料片１Ａを抽出することができる。 （もっと読む）