【課題】 材料を評価のために無駄に消費しない新たな電子部品製造方法を提供すること。
【解決手段】 試料に複数の加工プロセスを施して電子部品を形成する電子部品製造方法において、加工プロセスの終了時に上記試料の一部表面を摘出し、上記一部表面に対して上記加工プロセスでの加工の進捗をモニタまたは検査または解析のうちの少なくともいずれかを行なう工程を含む方法とする。
【効果】 ウェーハなど試料無駄に割断することなく評価でき電子部品の製造歩留りが向上する。 （もっと読む）

【課題】
検体試料中のＡｌ又はＣｕの測定を高精度で行うことができる二次イオン質量分析法を提供すること。
【解決手段】
本発明の二次イオン質量分析法は、イオンビーム調整用試料を用いてイオン光学系の調整を行う工程と、調整されたイオン光学系の下で検体試料中の検出対象元素の二次イオン強度を測定する工程を備える二次イオン質量分析法であって、検出対象元素がＡｌ又はＣｕであるとき、イオンビーム調整用試料が、実質的に検出対象元素と異なる元素のみからなる材料で形成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、刃付け工程において、太鼓状に膨らむ刃先の発生を抑制できるミクロトーム替刃の製造方法及び、薄片を形成する際にビビリや逃げがないミクロトーム替刃を提供する。
【解決手段】
ミクロトーム替刃１０は、刃体本体２０と、刃体本体２０に設けられ、刃先角αを形成するすくいすくい面４０と刃体本体２０から延出された逃げ面５０を有する刃先３０を備える。すくい面４０は、刃先３０先端から刃幅方向へ最大０．７ｍｍの範囲内で形成され、逃げ面５０は、すくい面４０と同じ又はすくい面４０よりも小さな範囲で形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＰＰＳコンパウンドおよび成形体製造時に生じたＰＰＳの低分子量化を、簡単に且つ高精度に推定する方法を提供する。
【解決手段】ポリフェニレンサルファイドコンパウンドおよび成形体の溶媒抽出物を高速液体クロマトグラフ法で測定し、そのピーク面積から低分子量化の度合を推定する。抽出溶媒にはクロロホルム、テトラヒドロフランのどちらか１つ、またはこれらの混合物を使用する。ＰＰＳコンパウンドおよび成形体を凍結粉砕して溶媒抽出するのが好ましい。 （もっと読む）

負イオンを生成させる際に電子を最適に利用することによって試料中の分子のサブパート−パー−トリリオン濃度を検出する、化学薬剤を感知する装置と方法を提供する。空気、海水、乾燥沈降物又は海中沈降物を含む各種媒体をサンプリングできる。静電ミラーを使って電子ビームの運動エネルギーをゼロ又はゼロに近い運動エネルギーまで低下させる。
（もっと読む）

【課題】
試料基板内の所望観察領域を試料基板を細かく分離せずに正確に位置出しして試料基板表面から任意の深さの領域についての平面試料を容易に作製することのできる薄片状試料の作製方法及び装置を提供すること。
【解決手段】
集束イオンビーム４の照射によって試料基板１に、該基板表面に対し垂直な溝６と傾斜した溝８とを交差させて形成しクサビ状の試料片９を切り出す試料片摘出工程と、切り出した試料片９を試料ホルダ１２上に固定する工程と、所望の観察領域を含んで試料基板１の表面１５に略平行な薄壁部１８を集束イオンビーム４の照射により形成する工程とにより、薄片状の観察部を有する試料を作製する。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも一つの薄膜（２）が配置された基板（１）を備えている、蛍光測定器を較正又は標準化するための標準マイクロ素子（４）に関する。この薄膜（２）は、蛍光成分を含む。薄膜（２）には、厚さのない少なくとも一つの第１の領域（３）が形成され、それによって基板（１）を露光する。この薄膜（２）は、第１及び第２の蛍光レベルがそれぞれ薄膜（２）の非露光部分と露光部分（２ａ）とにおいて規定されるように、少なくとも一つの露光領域（２ａ）を備えている。第２の蛍光レベルは、第１の蛍光レベルより低い。標準マイクロ素子（４）はまた、複数の蛍光レベルを規定するように複数の積層された薄膜を備えることもできる。
（もっと読む）

【課題】 電線ケーブルより、大量の有機溶媒を用いることなく、短時間で、かつ簡易に有機塩素化合物を抽出する有機塩素化合物の抽出方法、および、短時間で定量分析が可能となる有機塩素化合物の分析方法を提供する。
【解決手段】 電線ケーブルより有機塩素化合物を抽出する方法であって、有機塩素化合物を溶解しうる非極性溶媒と電線ケーブルを切断したケーブル短片または電線ケーブルより採取したケーブル絶縁紙とを、加熱および加圧下で接触させることを特徴とする有機塩素化合物の抽出方法、および、この分析方法を用いる有機塩素化合物の分析方法。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造によって同一の被検査品における複数箇所を硬度測定できる硬度測定装置を提供すること。
【解決手段】 共振周波数測定式の硬度測定機５０の本体５１の外面は、振動棒の軸線Ｎと平行で、軸線Ｎを中心として少なくとも一部が円弧面になっている円形面であり、本体５１を載せる硬度測定支持部材４０には、本体５１の外面が接触するとともに、振動棒の軸線Ｎと平行で、本体５１の外面の曲率半径Ｒ１よりも大きい曲率半径Ｒ２となった円弧形状の接触面４１が形成され、本体５１を、接触面４１に本体５１の外面が案内されて振動棒の軸線Ｎと直交する円弧方向に転動させることにより、振動棒は同一の被検査品の複数箇所と対向することになり、これらの箇所についての硬度測定を行える。 （もっと読む）

本発明は、クリオスタット（５）のミクロトーム（４）のオブジェクトキャリア（３）に設けられたオブジェクト（２）のための温度調節装置（１）であって、オブジェクトキャリア（３）に配置された冷却装置または冷却／加熱装置（７）に通じる運転媒体供給部（６）と、温度制御部とが設けられている形式のものに関する。そのような温度調節装置（１）は、運転媒体供給部（６）がミクロトーム（４）での作業時に障害とならないように、かつ切断精度が可能な限り引き下げられないように形成されるべきである。このことは、運転媒体供給部（６）が、オブジェクトヘッド（１１）の送り運動（９）および切断運動（１０）のためのガイドキャリッジ（８）に配置されていて送り運動（９）の方向に対して平行に方向付けられているガイド（１２）内に摺動可能に支承されて、オブジェクトヘッド（１１）から導き出されていることにより達成される。
（もっと読む）

クリオスタットは２個の分離した冷却手段を含み、１つは冷却チャンバ（２）中の温度を下げるために構成され、他は冷凍プレート（８）を冷却するために構成される。単一の冷媒貯蔵器を有する単一の冷却回路が存在することができるが、各冷却手段に設けられた分離した圧縮機、すなわち、冷却チャンバ（２）内の温度を制御するための１個の圧縮機と、冷凍プレート（８）に付属する冷却回路のための分離した圧縮機が存在することができる。冷却プレート（８）は冷凍プレートの表面にいくらかの液体を保持するための手段を含む。これらの手段はリップ（１２）によって提供される。摩擦発生手段は、回転可能なシャフト上にバネ装填されたカラーを提供することによってミクロトームヘッドの動きに抵抗を与える。さらにクリオスタットはタッチ画面表示と共に提供される。
（もっと読む）

【課題】 試料の断面構造を観察・解析する場合、試料の温度を調整した状態で断面を加工する。
【解決手段】 試料室内で試料の断面を評価する装置であって、該試料を載置する試料ステージと、該試料の温度を調整するための温度調整手段と、該試料の断面加工、及び観察を行うため該試料に対してイオンビームを照射するイオンビーム発生手段と、前記イオンビームの試料観察の照射に応じて前記試料から放出される放出信号を検出する検出手段とを備えている。前記温度調整手段により前記試料を予め設定された温度に調整した状態で、前記イオンビーム発生手段によるイオンビームの照射、及び前記検出手段による放出信号の検出を行う。 （もっと読む）

連続真空条件下での以下の試料処理活動、即ち、試料のプラズマクリーニング、試料のイオンビームエッチングまたは反応性イオンビームエッチング、試料のプラズマエッチング及び試料の導電性材料によるコーティングのうちの２つまたはそれ以上のステップを行う装置を含む、顕微鏡用試料調製装置。また、処理チェンバ内の試料の表面位置を検知する装置及び方法。検知位置は後続処理のために適当な位置に試料を自動的に移動させるために使用される。
（もっと読む）

【課題】鉄筋とコンクリートの界面の空隙を含めたコンクリート内部の空隙やひび割れなどの欠陥について検査ができるコンクリート構造物内部の空隙検査方法を提供することにある。
【解決手段】コンクリート躯体の任意の箇所に検査孔部装置と躯体表面から検査孔部を結ぶ連結管を形成し、これら検査孔部装置に小型CCDカメラ又は光ファイバースコープを挿入して、検査孔部装置内表面のコンクリートの空隙やひび割れを遠隔画像観察で検査を行うものである。また、検査孔部装置外側にある膜をコンクリートから剥がしてその面を観察することにより鉄筋とコンクリートとの界面と同じ界面を観察することができる。 （もっと読む）

【課題】 被加工物の加工時の変形・変質を十分に抑制できる試料保持用プローブ及び試料の製造方法を提供すること。
【解決手段】 本発明の試料保持用プローブは、試料を保持する試料保持部を有するプローブ本体と、該プローブ本体を冷却する冷却部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 微小な膜厚を有する解析対象膜を含む解析用試料を、その解析対象膜の結晶構造を変化させることなく高精度に形成することのできる試料作製方法を提供する。
【解決手段】 積層膜１Ｚを形成したのち、ＦＩＢ法を用いて、解析対象膜１０と隣接する第１および第２隣接部分２３，３３をそれぞれ残すように第１および第２可溶膜２０Ｚ，３０Ｚのうちの厚み方向の一部をそれぞれ選択的に除去する。第１および第２可溶膜２０Ｚ，３０Ｚを溶解可能な溶剤を用いることにより第１および第２隣接部分２３，３３の厚み方向の一部を溶解除去し、厚みｔ２１，ｔ３１を精度良くさらに薄くする。これにより、例えばＴＥＭを用いた解析をおこなうのに適した解析用試料１を作製することができる。 （もっと読む）

【課題】 照明効率を高めて省電力化、低コスト化を図れる恒温装置を提供する。
【解決手段】 試料を収容可能な複数の小室４を多段に有し、各小室４を個別に独立した温度設定が可能な恒温装置１において、前記各小室４には、該室内を照明し室温に影響を与えない発光体が、設置されており、この発光体として、冷陰極蛍光ランプ１７や発光ダイオード３２としたり、発光体から得られる照明光として、小室４の水平方向で変化するように構成したりした。 （もっと読む）

【課題】多数の標本を効率的に順次検査可能な顕微鏡検査装置を提供する。
【解決手段】顕微鏡検査装置１００は、複数枚の標本１０１を収納し得るカセット１０２と、カセット１０２を上下方向に昇降させるエレベーター１０３と、標本１０１を拡大観察する顕微鏡１３２と、標本１０１を観察位置に適宜配置するためのＸＹステージ１０５と、カセット１０２とＸＹステージ１０５の間で標本１０１を搬送する搬送装置１０４とを備えている。搬送装置１０４は、標本１０１を保持する保持部と、保持部を水平に移動させる水平移動機構と、保持部を上下に昇降させる昇降機構と、保持部を回転させる回転機構とを備えている。ＸＹステージ１０５はＸ方向に移動可能な上テーブル１１９を有し、上テーブル１１９の上に標本１０１が載置される。上テーブル１１９は、搬送装置１０４のフォーク部１１７が上下に通過する開口部１２８を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチックの吸湿量によりガスバリア性の評価がばらつくという課題を克服し、容器をはじめとしてプラスチック成形体のガスバリア性をその吸湿量によらず、測定値の応答が良く且つ精度良く測定することを目的とする。
【解決手段】本発明のガスバリア性測定方法は、プラスチック容器、プラスチックシート又はプラスチックフィルム等のプラスチック成形体を透過する測定対象ガスの透過量をガス分析装置により測定するガスバリア性測定方法において、前記プラスチック成形体の不純物濃度を低減する工程を有することを特徴とする。この工程にはプラスチック成形体に紫外線を照射するか、或いは、プラスチック成形体を減圧雰囲気におくか、或いは、プラスチック成形体を放電洗浄するかの少なくともいずれか一種を行なってプラスチック成形体を乾燥させる乾燥工程が含まれる。 （もっと読む）

空気サンプルから生物学的浮遊粉塵を収集する装置の実施形態は、液体を内部容積部を通り外側表面にポンプ輸送するようになされた中空チューブと、外側表面上に配設され、周囲の空気サンプルから空中浮遊微粒子を収集するようになされた収集表面とを含む。収集効率は、空中浮遊微粒子が収集表面に向かって屈折されるように空中浮遊微粒子に電荷を加える帯電機構によって高められる。装置動作の実施形態は、空気サンプルを供給する工程と、空気サンプルを中空チューブに誘導する工程と、空中浮遊微粒子が前記中空チューブの収集表面／外側表面に堆積するように空中浮遊微粒子に電荷を加える工程を含む。
（もっと読む）