【課題】 試料の微小領域における高倍率な測定を容易に行うことができるようにするための試料支持治具を提供する。
【解決手段】 顕微測定の際に、試料ステージ１１上に載置する被測定試料Ｓを固定支持するための試料支持治具１２であって、非熱伝導性材料からなり、かつ、試料ステージ１１により下部側が支持されるとともに、少なくとも上部側は細線形状または先細形状となるようして最上面に先端部１２ｐが形成され、被測定試料Ｓの下面が先端部１２ｐにより一点で支持される構造とする。 （もっと読む）

【課題】顕微鏡スライド（顕微鏡検鏡板）上の生物学的サンプルを自動染色する装置及び方法を提供する。
【解決手段】生物学的サンプルを支持しているスライドに対してスライド処理動作を実行する自動システムは、実質的に水平位置に複数のスライドを保持しているスライドトレイと、スライドトレイを受けるワークステーションとを含む。ワークステーションは、1つのスライドから別のスライドへの試薬（及び、剥落細胞のような汚染物質を運ぶ試薬）が実質的に移ることなくスライド面へ試薬を供給する。更に、スライドの自動処理方法含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ラックを把持するための把持部分（７）として端部が構成されている一対の把持アーム（２）を含んで構成される把持機構を備えた、特には組織学的な検査用の組織試料を準備するためのシステム内において、試料スライド（４）用のラック（３）を移送するための把持装置に関するものであり、自動染色装置及び自動封入装置において多岐にわたり使用可能であり、製造コストの軽減に寄与する把持装置を創作する。
【解決手段】把持部分（７）は、水平状態にあるラック（３）を把持するための第１形状部と、垂直状態にあるラック（３）を把持するための第２形状部を有する。 （もっと読む）

【課題】イオンビームを用いた断面観察試料の作製方法であって、きれいに鏡面研磨されたエッチング面（加工面）を、広い面積で形成できる方法、及びこの方法を行うための断面観察試料の作製装置を提供する。
【解決手段】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、前記被加工物を、イオンビーム照射方向に対して垂直な方向に、研磨速度以上の速度で移動させながら前記エッチングを行うことを特徴とする断面観察試料の作製方法、及び、試料台、試料台上に被加工物を固定する試料固定手段、遮蔽板固定手段、及び、イオンビーム照射手段、並びに、前記試料台をイオンビーム照射方向に対して垂直な方向に移動させるための試料移動手段を有することを特徴とする断面観察試料の作製装置。 （もっと読む）

【課題】試料の切片を作成するためのミクロトームまたは他の組織試料裁断装置に関し、特に、いくつかの実施態様は試料表面の配向を感知する表面配向センサを備えたミクロトームまたは他の組織試料裁断装置を提供する。
【解決手段】試料裁断装置は切断機構、試料保持容器、駆動システムおよび表面配向センサを含む。試料保持容器は試料を保持するよう作動可能である。切断機構は試料から切片を切断するよう作動可能である。駆動システムは試料保持容器と結合させる。駆動システムは試料保持容器に保持された試料と切断機構間の移動を駆動するよう作動可能である。表面配向センサは試料保持容器に保持された試料の表面の配向を感知するよう作動可能である。 （もっと読む）

【課題】土壌汚染調査における土壌汚染調査の現場に容易に運搬することができ、更に、この土壌汚染調査における土壌汚染調査の現場で、同時に複数個の試験容器を振とうし、一度に多数の分析用検液を作製することができる振とう装置を提供する。
【解決手段】土壌試料と溶媒とが一定の割合で混合された試験溶液が入れられた試験容器２を複数個保持する受け部３が、支持軸４に対して相対して配設された振とう台５と、振とう台５を、支持軸４を中心に回動可能に支持する支持台６と、支持台６に配設され、振とう台５を、支持軸４を中心に回動させ、振とう台５の端部を上下動させて、振とう台５上に載置した試験容器２を揺動させる駆動部７とを備える。 （もっと読む）

【課題】標本カセットの洗浄に要する手間を軽減することが可能な標本作製装置を提供する。
【解決手段】標本の作製開始が指示されると、血液検体が塗抹されたスライドガラス１０はカセット２０に収容された後、染色部５０においてカセット２０に染色液が供給される。これにより、標本が染色される。一方、カセット２０の洗浄開始が指示されると、カセット収容部４７にセットされている空のカセット２０は、位置Ｍｐにおいてメタノールが供給される。その後、このカセット２０に貯留されているメタノールは、位置Ｄ１ｐにおいて回収される。これにより、カセット２０への染色液の付着が進んでも、カセット２０の洗浄を自動的に行うことができる。よって、カセット２０の洗浄を手作業で行う必要がなくなり、カセット２０の洗浄に要する手間を軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】 カラム内に注入したサンプル溶液の全部を分析対象とすることができる自動分析前処理装置を提供する。
【解決手段】ノズル移動機構３３は、指令発生装置５０が発生した移動指令に応じてノズルをＸＹＺ方向に移動させる。液体分注装置３５は、指令発生装置５０が発生した分注指令に応じて定まる吐出速度でノズルから予め定めた量の液体を吐出する。指令発生装置５０は、ノズル３１をカラム４３の内周壁に接触させることなくカラム４３の内周壁に沿って周回させながら予め定めた量の液体をカラム内に分注するのに必要な移動指令及び分注指令を同期させて発生する。 （もっと読む）

【課題】試料となるウェーハを割ることなしにウェーハ断面を水平から垂直迄の方向からの断面観察や分析を高分解能，高精度かつ高スループットで行える微小試料加工観察装置および微小試料加工観察方法を実現する。
【解決手段】同一真空装置に集束イオンビーム光学系３１と電子ビーム光学系４１を備え、ウェーハ２１の所望の領域を含む微小試料を荷電粒子線成型加工により分離し、分離した該微小試料を摘出するプローブ７２を備えた。 （もっと読む）

【課題】冷媒用配管及び電気配線が邪魔にならないようにして確実に清掃及びその他の作業を行えるようにしたミクロトームを提供する。
【解決手段】試料を保持するヘッド３２と、ヘッド３２を配向させる配向機構５０と、配向機構５０の背面側に設けられた本体部４２と、本体部４２とヘッド３２とを連結する筒状の連結部４１と、ヘッド３２内の温度調整装置３４と、温度調整装置３４の冷媒用配管４０及び電気配線４６とを具備し、配向機構５０は、ヘッド背面側と連結して外周部が球面状の球状部材６８と、球状部材６８の外周部を球面に沿って摺動可能に保持する保持部７０，７１とを有し、球状部材６８には、連結部４１の中空部４３と連通する貫通穴７４が形成され、冷媒用配管４０及び電気配線４６は、球状部材６８の貫通穴７４と連結部４１の中空部４３を通ってヘッド３２内部の温度調整装置３４に接続されている。 （もっと読む）

【課題】簡易な手法で、液滴を試料体の表面に沿って移動、試料体表面の汚染物質を回収すること。
【解決手段】ウエハＷを保持部２に保持し、当該ウエハＷの両面に、夫々ウエハＷの表面上における液滴が位置する領域から前記表面に沿って離れるにつれて磁場が小さくなる磁場勾配を形成する磁場形成部材３Ａ，３Ｂを設ける。そして、前記保持部２と磁場形成部材３Ａ,３Ｂとを相対的に前記表面に沿って移動させることにより、前記液滴を磁場勾配に沿って移動させる。こうして、ウエハ表面の汚染物質を液滴に溶解させ、当該液滴を回収する。 （もっと読む）

【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第１露出部分を、ラメラの第１側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第２マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第２側壁が露出するまで試料の第２露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ；および試料からラメラを切り離すステップを含む。 （もっと読む）

【課題】軸状ワークを、外周の径方向張り出し部をテーブルで受け支えて吊り下げ姿勢で搬送しながら選別のための検査を行う検査装置について、検査の高速化と高精度化を図ることを課題としている。
【解決手段】回転テーブル２、吸着装置１０、回転駆動機構２０、ワーク突き上げ機構３０、および検査機４０を有し、吸着ヘッド１１とワーク突き上げピース３１が検査部５に対向して配置され、回転テーブル２が間欠的に回転して外周の切欠き溝に受け入れたワークＷを検査部５に移動させ、検査部において、ワーク突き上げ機構３０がワークＷをそのワークの頭頂部が吸着ヘッド１１に吸着・保持される位置まで下から突き上げ、回転駆動機構２０が吸着ヘッド１１と一緒にワークＷを回転させて検査機４０による検査が行われるようにした。 （もっと読む）

【課題】自動化方式によって試片を製造できる試片製造装置及び方法を提供する。
【解決手段】試片製造装置１０は、基板が置かれるステージ２２０と、前記ステージ２２０に置かれた前記基板にレーザービームを照射し、前記基板から分析領域を含む試片を切り出すレーザービームユニット２６０とを含む。また、前記基板が前記ステージ２２０にローディングされる前に、前記基板に形成された欠陥の位置を検出する欠陥検査部１００をさらに含む。自動化方式にレーザービームを利用して基板から直接試片を製造することによって、試片製造に必要とする時間を短縮し、試片品質の均一度も向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

【課題】塗布用針を塗布対象に当接させることなく、微少な液滴を塗布対象の塗布面に的確に塗布できる液滴塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布液を収納する塗布液収納部を通って塗布用針を降下させることにより塗布対象の塗布面に液滴を塗布する液滴塗布装置であって、塗布用針を振動させるための針振動手段と、塗布用針の振動を検出するための針振動検出手段と、針振動検出手段の検出出力において、針先端に付着した液滴が塗布対象の塗布面に接触していないときの塗布用針の共振周波数と液滴が塗布面に接触しているときの共振周波数が異なる性質を利用して針の降下動作を制御する針位置制御手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、微小試料片およびまたはその周辺領域を汚染することなく、確実で安定的な微小試料片の分離、摘出、格納を行う装置および方法を提供することにある。
【解決手段】試料基板から観察すべき領域を含む試料片をイオンビームスパッタ法により分離し、試料を押し込んで保持し、引き抜いて分離するための、根元に比較して先端が細く、該先端部が割れている形状で、該形状により得られる試料片を保持する部位の弾性変形による力で試料片を保持する棒状部材からなるはり部材を用いて、前記試料片を試料基板から摘出し、試料片を載置するための載置台上へ移動させた後、前記はり部材と前記試料片を分離することで該試料片の格納を行う。 （もっと読む）

【課題】 顕微観察しながら１生細胞など微小域試料をナノスプレーイオン化細管チップで吸引捕捉し、直接質量分析する際、当該チップを微小域の視野しかない顕微視野内の細胞などの目的位置に誘導するのが、もっとも手間と時間と技術の必要な過程であり、測定法の隘路となっている。
【解決手段】細胞など顕微下で刺入するナノスプレーイオン化細管チップなどの試料捕捉細管をロボットの先端に保持し、そのチップの先端位置を検出し補正し、当該チップ取り付け毎のチップ先端位置の空間座標を補正し、また顕微鏡での焦点位置の対空間座標を観察する焦点面位置を顕微ステージのＺ軸エンコードで補正し、その両点間をロボットで先端誘導し、高速・高精度に試料捕捉細管を細胞など対象微小試料に誘導する。 （もっと読む）

【課題】均一な厚さとなる電子顕微鏡用の試料を作製する。
【解決手段】試料の面方向に対し略垂直となる第１の角度より電子を照射し、第１の長さを測定する第１の測定工程と、第１の測定工程の後、試料の面方向に沿った集束イオンビームを照射し、試料を薄く加工する加工工程と、加工工程の後、試料の面方向に対し、第１の角度とは異なる第２の角度より電子を照射し、第２の長さを測定する第２の測定工程と、第２の測定工程の後、第１の長さと前記第２の長さに基づき、試料の厚さを算出する厚さ算出工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料表面の帯電現象を防止する為に複雑な形状を有する該試料のあらゆる面及び孔の内部にも出来るだけ均一に導電性薄膜微粒子を付着（コーティング）させる為の前処理装置。
【解決手段】スパッタされたターゲット２の原子がステージ１１上に載置された試料１０に付着することにより試料表面上に導電性薄膜が形成される。その際、該試料の表面ないしは側壁面上に存在する微細な突起の周囲や孔の内壁に出来るだけ均一な導電性薄膜を一様に形成せしめるべく該試料を載置するステージ１１を制御器７を用いて該ステージ面の中心から互いに離間した３つの保持位置の下部に取り付けられている３つのアクチュエータ１２を通して上下運動させることにより、該ステージ面上の試料を回転させることなく３６０度方位全域で該試料を一定傾斜状態のまま保持することで該ステージ上に載置された非導電性試料の表面ないしは側壁面に一様にコーティングが可能となる。 （もっと読む）