【課題】投影光学系の複屈折を、露光装置上で短時間、且つ、高精度に測定することができる露光装置を提供する。
【解決手段】第１のステージに保持されたレチクルのパターンを第２のステージに保持された基板に投影する投影光学系を備える露光装置であって、前記投影光学系を通過した光を撮像素子に入射させる結像光学系を含み、前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定する測定部と、前記測定部の校正時において、前記結像光学系の複屈折を測定するために前記投影光学系の物体面側に配置され、前記測定部からの光を反射して前記投影光学系を介さずに前記測定部に戻す校正部と、前記測定部によって前記結像光学系と前記投影光学系との全体の複屈折を測定した結果から前記投影光学系の物体面側に前記校正部を配置して前記測定部によって測定した前記結像光学系の複屈折を分離して、前記投影光学系の複屈折を算出する算出部と、を有することを特徴とする露光装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】共焦点顕微鏡の画像を処理する画像処理装置等における画像処理の効率化を図るべく、共焦点顕微鏡の画像を撮影した電子カメラの複数の出力画面データ等の３次元データに対して、さらに効率的に、読出、及び、書込が可能な、データ記憶装置を提供する。
【解決手段】３次元データに対して、同一のＸ軸群列データに含まれる隣接する単位データ同士は、同一メモリバンク（＃０〜＃３のいずれか）における同一の上位アドレスを備えたメモリエリアに記憶され、Ｙ軸群列データ内でＹ軸方向に隣接する単位データ群同士は、異なるメモリバンク（＃０と＃１、＃１と＃２、＃２と＃３、又は、＃３と＃０）のメモリエリアに記憶され、Ｚ軸群列データ内でＺ軸方向に隣接する単位データ群同士は、異なるメモリバンク（上記と同じ）のメモリエリアに記憶されるようにして、３次元データが記憶されるＤＤＲ−ＳＤＲＡＭを用いたデータ記憶装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】小型、高速、広ダイナミックレンジ、周辺環境変化に対して冗長であることを同時に満たすストークスパラメータを取得できる光計測装置を提供する
【解決手段】２次元三角格子状に複数配列した光ファイバと、周期構造体群を含み、各光ファイバと周期構造体群を１対１で直列に配置してなる光学複合部品を用いる。かつ２次元または３次元の周期構造体群は、同種の周期構造体群が隣り合わず、かつ同種の周期構造体群が２次元長方形格子状の並進対称性を有して配列する。さらに１つの周期構造体群は６つの周期構造体群と隣接する光学複合部品を用いる。 （もっと読む）

【課題】正確性かつ迅速性を備えた商品判別システムを提供すること。
【解決手段】ラベルを撮像するカメラ３０と、ラベルのサンプル画像を記憶するラベル画像ＤＢ５２ａと、ラベル画像とラベルのサンプル画像とを相互に照合するラベル照合判定部５４ａと、商品を撮像するカメラ３１と、商品のサンプル画像を記憶する商品画像ＤＢ５２ｂと、商品画像と商品のサンプル画像とを相互に照合する商品照合判定部５４ｂと、ラベル判定結果と商品判定結果とに基づいて商品の正常性を判定する統合判定部５４ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】コンクリート柱の表面全体の画像データを短時間で能率的に取得すること。
【解決手段】コンクリート柱ｐの表面を撮影するカメラ１と、その表面に基準距離である二光点を表示するための二つの平行ビームを照射するレーザビーム照射装置２と、コンクリート柱ｐを照明する投光器３と、探傷剤を噴射する探傷剤噴射装置４ａと、洗浄剤を噴射する洗浄剤噴射装置４ｂと、カメラ１、レーザビーム照射装置２、投光器３、探傷剤噴射装置４ａ及び洗浄剤噴射装置４ｂの噴出口４ａ１、４ｂ１を電動雲台５を介して上端に配した伸縮自在な支持ポール６と、カメラ１で撮影した画像から選択した画像データ及びコンクリート柱を特定するデータ等を保存するデータ格納手段並びにカメラ１で撮影した画像等を表示する画像モニタ７ｄを備え、かつ検査員の操作によりカメラ１、投光器３、探傷剤噴射装置４ａ等の動作を制御する遠隔制御機能を備えたＰＣ７とで構成した。 （もっと読む）

【課題】温度特性の良好な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】マルチモード光ファイバ１の長手方向の垂直面に対して所定の傾斜角度を有するグレーティング７がコア５に形成されており、グレーティング７が形成されている領域の周囲のクラッド６の部分が液体８に浸漬されている。光源２は、クラッド伝搬モードが発生する波長帯域に属する波長の光を光ファイバ１に入射する。測定用受光素子３は、光ファイバ１の出力光の光束の内で殆どの基本モード光を含む第１光束の光Ａを検出する。 光源制御用受光素子４は、第１光束以外の部分であって主として高次モード光を含む第２光束の光Ｂを検出する。オートパワーコントローラ９は、光源制御用受光素子４の検出信号に応じて、光源制御用受光素子４にて受光する光強度が常に一定となる様に光源２から出射される光の強度を制御する。 （もっと読む）

【課題】パターンドメディアの検査方法において、ナノインプリントのプロセス管理を目的とした場合には、パターンの正確な形状を計測する必要があり、製品の品質管理が目的の場合には、製品全数を検査する必要があるが、ＳＥＭやＡＦＭを用いた方法では、これらの要求を満たすことができない。
【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。 （もっと読む）

【課題】液晶セル内の液晶の極角アンカリング強度あるいはさらに配向膜容量を精度良く測定できる液晶セルの物性測定方法および装置を提供する。
【解決手段】液晶の配向分布にねじれがない液晶セル（例：ホモジニアス配向液晶セル）10の電圧印加時の光学特性、好ましくは振幅比Ψ、位相差比Δを、一つの波長で入射角を複数変えて測定し、この測定値とシミュレーション計算値とのフィッティングから極角アンカリング強度Ｂ、あるいはさらに配向膜容量Ｃ_ａを決定する。 （もっと読む）

【課題】偏光の２次元分布を高速あるいは高精細に計測することのできる計測器を提供することにある。
【解決手段】 透過する偏光の方向が異なる少なくとも２種類の偏光子を交互に繰り返し配置した微小な偏光子アレイと、各偏光子を通過した光の強度を独立に受光することのできるリニアセンサとで構成された偏光計測器を用いる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、表面特性を決定するための方法および装置を提供する。
【解決手段】検査される表面（９）上に光を放射する放射デバイス（２）を含む測色ユニット（１）であって、前記放射デバイスは、少なくとも１つの半導体ベースの光源（６）と、前記表面（９）によって散乱された前記光の少なくとも一部を受光し、この光の信号特性を出力する放射検出デバイス（１２）とを含み、前記放射検出デバイス（１２）は、そこに入射する前記光のスペクトル分析を可能にし、前記測色ユニット（１）は、前記光源（６）の少なくとも１つの電気パラメータを決定する少なくとも１つのセンサデバイス（１０）と、また、この測定されたパラメータから、前記放射デバイス（２）によって放射された前記光の特徴を示す少なくとも１つの値（Ｕ_Ｄ，Ｉ_Ｄ）を出力するプロセッサデバイス（１４）とを含むことを特徴とする、測色ユニット（１）。 （もっと読む）

【課題】表裏両面の同じ位置に凹部又は凸部があり、且つ、その凹部又は凸部の形態のみが異なるワークについて表裏判別が可能なワークの表裏判別装置を提供する。
【解決手段】ナットの上面が表裏いずれの面であるかを判別するナットの表裏判別装置であって、ナットの上面を撮影するカメラと、カメラが撮影した画像データ中の画像として表示されるワーク形状（ナット表示画像）の面積に基づいてナットの表裏を判別する表裏判別手段とを備えた。表裏判別手段は、カメラが撮影したナット表示画像の画素数（面積）を算出し、その画素数（面積）がしきい画素数（しきい面積値）より大きいか否かでナットの表裏を判別する。 （もっと読む）

【課題】測定対象物、特に移動している測定対象物に含まれる液体を精度良く測定することが可能な液体濃度測定装置および液体濃度測定方法を提供する。
【解決手段】水分濃度測定装置１００に、水分を含むペースト２の表面から第一測定距離Ｔ１だけ離間してレーザ光１０１を投光する第一投光部１１１と、第一投光部１１１により投光されるレーザ光１０１を受光する第一受光部１１２と、ペースト２の表面から第二測定距離Ｔ２だけ離間してレーザ光１０２を投光する第二投光部１２１と、第二投光部１２１により投光されるレーザ光１０２を受光する第二受光部１２２と、レーザ光１０１の強度に基づいて第一液体濃度Ｃ１を算出するとともにレーザ光１０２の強度に基づいて第二液体濃度Ｃ２を算出する濃度算出装置１３０と、第一液体濃度Ｃ１および第二液体濃度Ｃ２に基づいてペースト２に含まれる水分の濃度を算出する解析装置１４１と、を具備した。 （もっと読む）

材料測定システム（５００）は、光パルスを放射する少なくとも１つのレーザ光源（１１１）を含むＴＨｚ発生器を含み、光パルスは、製造システム（１００）による処理の間、材料（１４）上のサンプル位置でパルスＴＨｚ放射を放射するように動作可能なＴＨｚエミッタ（５１）に結合される。受信機（５２）は、光パルスを受信し、光パルスと同期して、材料（１４）上のサンプル位置から反射または透過されたＴＨｚ放射を検出し、電気検出信号を供給するように動作可能である。同期光学素子（１１２、１１３、１１４）は、前記レーザから光パルスを受信し、受信機（５２）とＴＨｚエミッタ（５１）の両方に光パルスを供給するように動作可能である。コントローラ（２５）は、電気検出信号を受信し、処理された電気検出信号を供給するための少なくとも１つのプロセッサ（８７）と、処理された電気検出信号から前記材料の少なくとも１つ、一般には複数の特性を決定するように動作可能なアナライザ（８８）とを含む。
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【課題】被検光学系の透過率分布をより高精度に測定する。
【解決手段】測定装置１００は、被検光学系６を透過しない基準光を形成するための第１球面ミラー１３と、被検光学系６を透過した測定光を形成するための第２球面ミラー７と、第１球面ミラー６および第２球面ミラー７の反射率分布を測定するための測定ユニットと、基準光の強度分布、測定光の強度分布、第１球面ミラーの反射率分布および第２球面ミラーの反射率分布に基づいて被検光学系６の瞳面における透過率を演算する演算部９０とを備える。 （もっと読む）

【課題】イオン化ポテンシャルの測定精度を向上させる。
【解決手段】試料に紫外光を照射することで得られる電流値からイオン化ポテンシャルを測定するためのイオン化ポテンシャル測定装置において、光源から放出される連続光から所定の波長の紫外光を分光する分光手段と、前記分光手段により分光された前記紫外光からフィルタにより複数の波長範囲における紫外光を取得するフィルタ手段と、前記フィルタ手段により得られる波長範囲が同一でない紫外光を前記試料及び光強度検出器に照射し、前記試料から発生する電流及び前記光強度検出器から得られる光強度を測定する電流・光強度測定手段と、前記電流・光強度測定手段により得られる複数の測定結果に基づいて、前記フィルタ手段により得られるそれぞれの波長範囲の差分の紫外光におけるイオン化ポテンシャルを測定するための制御手段とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】分析対象光の偏光状態を、波長毎に位相子を取り替えることなく、かつ受光部での分光に際し入射光の偏光方位による偏光特性の影響を受けることなく、高精度に分析することが可能な計測装置及び計測方法を提供する。
【解決手段】リターダ２２及び検光子２４を含む変調部２０と、変調光を分光する分光部１４ａと受光部１４ｂから構成され、光強度情報取得部はリターダ及び検光子の主軸方位の少なくとも一方が異なる第１〜第Ｎの主軸方位条件に設定された変調部で分析対象光を変調させることによって得られる第１〜第Ｎの変調光の光強度情報を取得する。演算処理部は、前記分光部を光の吸収軸に対する透過軸の光強度比が所与の値をもつ部分偏光子とみなし、前記部分偏光子の入射偏光方位に関連付けた光強度比、前記第１〜第Ｎの変調光の光強度の理論式と、前記第１〜第Ｎの変調光の光強度情報とに基づいて、前記偏光特性要素を算出する。 （もっと読む）

【課題】ＰＳとＡＢＳとの判別を精度良く簡易に行えるプラスチック判別技術を提供する。
【解決手段】プラスチック判別装置１Ａは、１１４１ｎｍの波長を有する第１検出光Ｌ１と１２０５ｎｍの波長を有する第２検出光Ｌ２とを判別対象物４に照射可能な半導体発光素子２、３を備えており、半導体発光素子２を用いた第１検出光Ｌ１の照射と半導体発光素子３を用いた第２検出光Ｌ２の照射とによる判別対象物４からの反射光を受光素子５で受光し、第１検出光Ｌ１と第２検出光Ｌ２とに関する判別対象物４の各反射率を測定する。そして、各反射率についての差分を求め、この差分値と予め定められた閾値との大小を比較することにより、判別対象物４を構成するプラスチックの種類がポリスチレン(ＰＳ)であるかアクリロニトリルブタジエンスチレン(ＡＢＳ)であるかを判別する。その結果、ＰＳとＡＢＳとの判別を精度良く簡易に行える。 （もっと読む）

【課題】漏れ電磁界と検査物間の相互作用状態が反映された検出信号を基にして伝送線路と検査物間の距離を調整可能な距離調整装置及び方法、これを有する検査装置及び方法を提供する。
【解決手段】距離調整装置及び検査装置は、センサ部101と、距離調整手段110と、を備える。センサ部の伝送線路を伝播するテラヘルツ波と検査物102との相互作用の状態を反映するセンサ部の検出部の検出信号に基づき、検査物102の情報が取得される。センサ部101は、テラヘルツ波発生部と伝送線路と検出部とを含む。距離調整手段110は、テラヘルツ波発生部から発せられ伝送線路を伝播してきたテラヘルツ波を検出する検出部の検出信号に基づき、伝送線路と検査物102間の距離を調整する。 （もっと読む）

【課題】打ち上げ時点における光学観測機器の汚染状態を確実かつ正確にその場測定することが可能な測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】被測定基板の一方の面により少なくとも部分的に囲まれた曝露領域内の環境を、被測定対象機器を収容する所定の領域内の環境にできるだけ近づける状態にしつつ、すなわち、上記所定の領域内の環境を測定装置内の曝露領域において模擬的に再現（模擬）しつつ、上記所定の領域内に供給される空気を上記曝露領域に導入し、導入された空気に含まれる汚染物質が上記曝露領域を形成する被測定基板に付着するか否かを測定する。 （もっと読む）

【課題】液晶の物性値を高精度に測定することが出来る方法と装置を提供する。
【解決手段】液晶の配向分布に捻れがない液晶セルを用いて、入射角の少なくとも１水準が波長の２水準以上に分かれ、かつ波長の少なくとも１水準が入射角の３水準以上に分かれるように、入射角と波長とを相違させた少なくとも計４つの条件で、前記液晶セルの光学特性を測定し、測定値とシミュレーション計算値とのフィッティングから液晶の常光屈折率ｎ_ｏの波長依存性および異常光屈折率ｎ_ｅの波長依存性を決定する。 （もっと読む）