【課題】順光又は逆光の条件に応じて物体の像を取得する条件をより適切に変更することが可能な物体の像を取得する装置を提供する。
【解決手段】物体の像を取得する装置であって、少なくとも空及び路面からの偏光の画像を取得するデバイス、少なくとも前記空及び路面からの偏光の画像における空の画像領域及び路面の画像領域についての差分偏光度及び偏光比の少なくとも一方を算出すると共に前記空の画像領域及び前記路面の画像領域について算出された前記差分偏光度及び偏光比の少なくとも一方に基づいて順光又は逆光の条件を判定するデバイス、及び、前記順光又は逆光の条件の判定の結果に応じて前記物体の像を取得する条件を変更するデバイスを含む、物体の像を取得する装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】回折構造体の測定パラメータモデルを利用する分光散乱システムおよび方法を提供する。
【解決手段】モデルの固有値を事前計算し、記憶し、ある共通の特性をもつ他の構造体に対して後に再利用する。１つ以上のパラメータの値を求めるために用いられる散乱データは、下敷フィルム特性に対して感度が低くなる波長におけるデータだけに制限することが可能である。代表的な構造体をスラブ２００’（ｉ）のスタックにスライスし、各スラブの近似を行うため四角形ブロック２１０，２１２，２１４，２１６，２１８のアレイを作成することによって三次元グレーティングに対するモデルを構築することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】基材上に設けられたシラノール基を有する化合物の結合状態を、非破壊かつ非接触にて簡易に検知する基材表面性状の検知方法及び検知装置を提供する。
【解決手段】シラノール基を有する化合物が付与された基材の化合物付与面に平行偏光又は垂直偏光のいずれかを選択して光を入射し、前記基材から出射した光より平行偏光と垂直偏光とを検出し、検出された各偏光を１００ｃｍ^−１〜１８００ｃｍ^−１の範囲で分光分析して得られる振動スペクトルから、基材上に付与された前記化合物中の構造部分のピークを分離することにより、前記基材上に存在する前記化合物の結合状態を検知する。 （もっと読む）

【課題】テクスチャ構造を有する対象物上に形成された薄膜の形状を容易かつ高精度に取得する。
【解決手段】膜形状取得装置１では、上面に複数のテクスチャ凸部を有する基板９上に形成されたシリコン膜の光学モデルにおいて、複数のテクスチャ凸部に一致する薄膜凹部およびその上方に位置する薄膜凸部が設定される。そして、薄膜凸部、薄膜凹部、および、薄膜凸部と薄膜凹部との間の中間部の形状を表すパラメータ群に含まれる各パラメータを有効膜厚にて表現し、有効膜厚を変更することにより各パラメータの値を変更して理論スペクトルの測定スペクトルに対するフィッティングが行われる。これにより、シリコン膜の形状を容易かつ高精度に取得することができる。 （もっと読む）

【課題】微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数を容易かつ精度良く取得する。
【解決手段】結晶化指数取得装置１では、微結晶シリコン膜の理論誘電関数を複数の部分誘電関数モデルの合成として表現し、微結晶シリコン膜における結晶化の程度を示す結晶化指数κが、複数の部分誘電関数モデルのうち、結晶シリコン膜の誘電関数における虚部の高エネルギー側のピークに寄与する高エネルギーピークモデルの振幅に基づいて設定される。そして、複数の部分誘電関数モデルに含まれるパラメータ群の各パラメータを結晶化指数κにより表現し、結晶化指数κを変更することにより各パラメータの値を変更し、分光エリプソメータ３により取得された測定誘電関数に対する理論誘電関数のフィッティングが行われる。これにより、微結晶シリコン膜の結晶化指数κを容易かつ精度良く求めることができる。 （もっと読む）

【課題】少量のサンプルであっても、高い分解能と安定した計測精度が実現でき、安価でコンパクトな光学的成分測定装置を提供する。
【解決手段】光ファイバループ２を一の方向に伝搬する直線偏光を右円偏光に変換して測定対象のサンプル２２に入射する第１光変換部２３と、光ファイバループ２を他の方向に伝搬する直線偏光を左円偏光に変換してサンプル２２に入射する第２光変換部２４と、を有する円偏光入射部２１を備え、両光変換部２３，２４は、サンプル２２の一側に並列して配置され、円偏光を同一方向に出射するように構成され、円偏光入射部２１は、一の光変換部２３から出射された円偏光を反射し、サンプル２２に少なくとも１往復透過させた後、他の光変換部２４に入射させる反射手段２５をさらに備え、反射手段２５は、入射してきた円偏光を偶数回反射させて、サンプル２２に出射する偶数個の反射ミラー２５ａからなる。 （もっと読む）

【課題】撮像領域内の偏光特性分布の誤認識が発生することを避けることを課題とする。
【解決手段】受光素子Ｃ０〜Ｃ５が２次元配置された画像センサ４の入射側に、偏光方向が互いに異なるＰ偏光成分及びＳ偏光成分のいずれかを透過させるフィルタ領域ｆ０〜ｆ５が画像センサ上における１つの受光素子４ａに対応して配置された偏光フィルタアレイ２を配置し、画像センサで検出された各受光素子の受光量に基づいて、Ｐ偏光成分及びＳ偏光成分についての偏光画像情報を出力する。この撮像装置には、撮像領域内の位置Ａからの光の入射光路１０それぞれを、偏光フィルタアレイ上のＳ偏光フィルタ領域ｆ１に向かう直進光路１０ＡとＰ偏光フィルタ領域ｆ２に向かうシフト光路１０Ｂとに分岐させる光路分岐手段３が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 走行している長尺の光学異方性膜が所望の光学特性が得られているか否かの判定をインラインでの測定で可能にする評価方法、かかる評価方法を可能にする測定装置、および該評価結果を用いて所望の光学特性を有する光学異方性膜を製造する方法を提供する。
【課題手段】 光学異方性膜に対し垂直方向、面内遅相軸方向に対し方位角−５°〜＋５°かつ極角θ_１（ただし、３０°≦θ_１≦７０°である）の方向、および面内遅相軸方向に対し方位角θ_２（ただし、３０°≦θ_２≦６０°である）かつ極角θ_３（ただし、３０°≦θ_３≦７０°である）の方向に光を照射してそれぞれの透過偏光状態の変化を測定する工程、およびその測定値と、所望の光学特性を有する光学異方性膜について同様の測定を行って得られる透過偏光状態の変化とを対比する工程、を有する光学異方性膜の評価方法。 （もっと読む）

【課題】テラヘルツ波の波長以下の微小な試料でも、ペレットを使用することなくテラヘルツ波を用いて短時間で分光情報が得られる分析装置を提供する。
【解決手段】パルス状のテラヘルツ波からなる第１の電磁波を試料１５に照射する第１の照射系２１と、第１の電磁波の照射により試料１５から放射される第２の電磁波を伝播する電気光学結晶１４と、電気光学結晶１４における第２の電磁波の伝播領域に、該伝播領域における第２の電磁波の伝播タイミングに合わせて、第１の電磁波よりも波長が短いパルス状の第３の電磁波を照射する第２の照射系２２と、電気光学結晶１４と相互作用した伝播領域における第３の電磁波の偏光状態を検出する検出部２３と、検出部２３の出力に基づいて試料１５の分光情報を取得する処理部２４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】波長依存性の少ないリターダーシステムを提供する。
【解決手段】入射電磁ビームが２つの平行四辺形状の菱面体のそれぞれにおいて少なくとも１回は内部全反射するように互いに向きを定めて置かれ、それらの第１の面ＲＳ１と第３の面ＲＳ３、及び第２面のＲＳ２と第４面のＲＳ４がそれぞれ実質的に平行となるように向きを定めて置かれている。それらの一方の菱面体の第１の面に、その面に対して実質的に垂直に入射するようにされた電磁放射線のビームは、このビームが、一方の菱面体の第４の面ＲＳ４及び第２の面ＲＳ２で内部反射され、続いて、一方の菱面体の第３の面から出射するように進み、このビームの出射方向は、このビームがもう一方の菱面体の第１の面に、この面に対して実質的に垂直に入射し、続いて、このビームが平行四辺形状の菱面体の第２の面及び第４の面で内部反射されて、もう一方の菱面体の第３の面から出射する。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】対象物を多くの種類のなかから特定することができる光学センサを提供する。
【解決手段】 光源１１、コリメートレンズ１２、２つの受光器（１３、１５）、偏光フィルタ１４、２つのミラー（２１、２２）、筐体１６、標準板１７、保持部材１８などを有している。受光器１３は、内部拡散反射光に含まれるＰ偏光成分を受光し、受光器１５は、表面正反射光を主として受光するように配置されている。また、紙種判別処理が行われるときには、筐体１６の開口部を開放し、紙種判別処理が行われていないときには、該開口部を封止している。 （もっと読む）

【課題】インプリント装置により基板に形成されたパターンの残膜厚を計測する精度の点で有利な技術を提供する。
【解決手段】インプリント装置により透過膜を有する基板に形成されたレジストの凹凸パターンの凹部の厚さを計測する計測装置の計測感度の目標値を設定し、当該目標値を満たす透過膜の厚さを前記基板に形成すべき透過膜の厚さとして決定する決定ステップを有し、前記計測感度は、前記凹凸パターンの形状の変化に対する前記凹凸パターンからの反射光の強度の変化又は位相の変化で定義され、前記決定ステップでは、複数の厚さの透過膜のそれぞれについて、前記凹凸パターンの形状の変化に対する前記凹凸パターンからの反射光の強度の変化又は位相の変化に基づいて前記計測感度を示す情報を取得し、当該情報から前記目標値を満たす透過膜の厚さを特定することを特徴とする決定方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】高感度なタンパク質結晶化分析装置を提供する。
【解決手段】
タンパク質の結晶化を分析するタンパク質結晶化分析装置Ｘを用いる。測定試料部３は、タンパク質結晶化溶液の入った溶液セルを固定する。この測定試料部３の溶液セルに光源１から、入射光調整部２を介して入射光を導入する。測定散乱光導入部７は、測定試料部３の溶液セルからの散乱光のみを散乱光検出部５へと導く。測定散乱光導入部７により導かれた結晶化溶液の前方小角散乱光又は後方小角散乱光は、散乱光検出部５で検出する。制御解析部９は、散乱光検出部５で検出された小角散乱光又は後方小角散乱光の強度を解析し、前記結晶化溶液におけるタンパク質の結晶化状態を分析する。 （もっと読む）

【課題】液晶パラメータ測定の方法及び装置の提供。
【解決手段】第１電気コントローラにより線偏光ジェネレータを調整し、第２電気コントローラにより偏光分析器を調整する。該線偏光ジェネレータは光源からの入射光を受け取り並びに複数の偏光の特徴を抽出し、第１電気コントローラにより制御されて、この複数の偏光を測定サンプルに照射する。該測定サンプルを透過した光は偏光分析器に受け取られる。第２電気コントローラは該偏光分析器を制御して特定の偏光を抽出して後端のデータ処理装置に送る。該データ処理装置は該偏光分析器からの偏光データを受け取り液晶分割層モデルを使用して少なくとも一つの液晶パラメータを得る。 （もっと読む）

【課題】 被測定物内の線状領域に直交する方向において、複数個所のイメージングを同時に行う技術が望まれる。
【解決手段】 第１の光学系が、パルス状の検出用電磁波を被測定物に照射し、透過、又は反射した前記検出用電磁波を電気光学結晶に入射する。第２の光学系が、検出用電磁波のパルス面に対して、プローブ波のパルス面を傾斜させて、プローブ波を電気光学結晶に照射する。電気光学結晶を透過したプローブ波をカメラで検出する。第１の光学系又は前記第２の光学系は、検出用電磁波のパルス面とプローブ波のパルス面とに直交する仮想平面内において、検出用電磁波またはプローブ波のビーム断面を複数の単位領域に区分し、単位領域を通過するビームの光路長を相互に異ならせる補償光学部材を含む。補償光学部材は、電気光学結晶の表面と、前記仮想平面との交線方向の複数個所で、検出用電磁波のパルス面とプローブ波のパルス面との位相ずれを補償する。 （もっと読む）

【課題】光学マルチ波長インターフェロメトリーを使用した薄膜素子測定方法の提供。
【解決手段】光学マルチ波長インターフェロメトリー使用の薄膜素子測定方法が開示される。本発明は異なる波長での薄膜の反射係数を使用して薄膜の厚さと光学定数を測定する。試験表面と参考表面の間の反射位相差由来の位相差は異なる波長での測定を行うことで参考光束と試験光束の間の空間経路差に由来する位相差と区別され、なぜならそれらは測定波長変化に伴い異なった変化を示すためである。反射位相がそれから得られる。薄膜の測定反射率と結合され、薄膜の反射係数が得られる。各点の反射係数が収集され、該薄膜の厚さと２次元の光学定数分布が計算される。表面輪郭が、参考光束と私見光束の間の空間経路差を通して知られる。これらは動的干渉計で測定されて振動影響が回避される。 （もっと読む）

【課題】磁気光学効果として観測される信号の絶対値を校正すると共に効率よく測定する。
【解決手段】磁気光学スペクトル分光装置１は、偏光面の角度φ_１，φ_２が調整可能な回転機構付き直線偏光板４，７と、回転偏光子法を用いた各直線偏光板４，７における偏光面の角度別のそれぞれの測定値４１に基づいてカー回転角の絶対値４３をそれぞれ算出する第１算出手段５１と、カー回転角の絶対値４３と第１直線偏光板４における偏光面である入射光偏光面の角度φ１との相関の有無を判別する相関判別手段５２と、相関が無いと判定された場合、偏光変調法を用いた測定値４２に基づいて試料のカー回転角のスペクトル４４を算出する第２算出手段５３と、スペクトル４４におけるカー回転角の値をカー回転角の絶対値４３に適合させる乗算を行い、校正されたスペクトルを当該試料の磁気光学特性のスペクトル４５として算出する第３算出手段５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】呼気中のアルコール濃度を測定する場合に、水蒸気濃度による影響を補正し、高精度にアルコール濃度を測定すること。
【解決手段】光源１０の光は、偏光ビームスプリッタ１３によってｐ偏光は透過し、ｓ偏光は反射されて２つに分割される。ｐ偏光は光センサ素子１１によって反射され、偏光ビームスプリッタ１３によって反射されて出力光１として光検出器１５に出力される。ｓ偏光は１／４波長板１４を通して光センサ素子１２に反射され、再び１／４波長板１４を透過し、偏光ビームスプリッタ１３を透過して出力光２として光検出器１５に出力される。光センサ素子１１はアルコール濃度および水蒸気濃度に感応して反射率が変化し、光センサ素子１２は水蒸気濃度に感応して反射率が変化する。出力光１の光強度は光センサ素子１１の反射率減少に対して増加し、出力光２の光強度は光センサ１２の反射率減少に対して減少する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ発光開始直後の不安定動作を排除する。
【解決手段】検出装置は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を具備し、前記ＬＥＤの光を用いて検出を行う検出装置であって、前記ＬＥＤの発光開始直後の光量の不安定な時間（不安定時間）を判断するための不安定時間判断情報を記憶し、前記ＬＥＤの発光開始時に、当該ＬＥＤの前記不安定時間を前記不安定時間判断情報に基づいて判断し、発光開始から当該不安定時間の間の前記ＬＥＤの光を検出に用いない検出制御手段を具備する。 （もっと読む）