【課題】ビーム伝送系のレーザから直接放出されたレーザ光よりもコヒーレンスが低減された光ビームを供給するビーム伝送系を提供する。
【解決手段】投影露光系のビーム伝送系は、キャビティ内の複数の縦レーザモードからレーザ光ビームを生成するレーザを含む。１つの縦レーザモードによって生成される光は平均線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、ビームの各横位置において、横レーザモードに対応する第２の線幅λ_latを有し、ビームのレーザ光は、その断面全体にわたって平均化した場合、複数の横レーザモードに対応する線幅λ_bを有し、λ_m＜λ_lat＜λ_bである。ビーム上に配置される光遅延装置は、光路差ΔＩを与える。但し、λ₀は第１のレーザ光ビームの光の平均波長であり、λ_latは第２の線幅を表している。 （もっと読む）

【課題】被露光体上を走査する光ビームの走査距離を短くして露光工程のタクトを短縮する。
【解決手段】一定方向に一定速度で搬送される被露光体４の搬送方向と交差する方向に一定の配列ピッチで一列に平行に並んだ複数のレーザビームに強度変調を与えて射出するパターンジェネレータ６と、パターンジェネレータ６から射出した複数のレーザビームを被露光体４上に一定間隔に並べて集光するｆθレンズ７と、ｆθレンズ７を射出した複数のレーザビームを被露光体４の搬送方向と交差する方向に回折させて、互いに隣接するレーザビームの間の領域を同時に往復走査する音響光学素子８と、を備え、音響光学素子８は、レーザビームの回折方向の軸が光軸を中心に被露光体４の搬送方向と直交する方向に対して一定角度だけ回転した状態に配設され、音響光学素子４の光射出側には、複数のレーザビームの０次回折光を遮断する遮光マスク２２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型化可能で、かつ良好な特性が得ることができる光学装置を提供すること。
【解決手段】本発明は、第１出力光導波路２６ａと第２出力光導波路２６ｂとが接続された第２ＭＭＩ２５を備えたマッハツェンダ変調器１０と、第１出力光導波路２６ａから出力される第１出力光、及び第２出力光導波路２６ｂから出力される第２出力光の両方と光結合して設けられた光アイソレータ６０と、光アイソレータ６０を介して第１出力光と光結合し、第２出力光と光結合しない光ファイバ６４と、を具備する光学装置である。 （もっと読む）

【課題】フィルタの特性を任意に変化することができる光可変フィルタ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１からの入射光を周波数分散素子１５に入射する。周波数分散素子１５は入射光をその周波数に応じて異なった方向に分散させレンズ１６に加える。レンズ１６では入射光を周波数に応じて帯状にｘｙ平面に展開する。周波数選択素子１７は周波数分散方向に配列された画素構造であり、選択すべき周波数に応じた位置の画素を反射状態とする。周波数選択素子１７で選択された光は同一の経路を介して光ファイバ１４より出射される。周波数選択素子１７の反射特性を各画素毎に変化させることによって、光フィルタの特性を任意に変化させ、パスバンド幅の変更、周波数のシフトを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】より小型の光操作装置を提供すること。
【解決手段】外部から光が入力される、または外部に光を出力する光入出力ポートと、光入出力ポートから入射した光を光入出力ポートに向けて出射する、偏波依存特性を有する空間光変調器と、光入出力ポートと空間光変調器との間に配置され、光入出力ポートと空間光変調器と光学的に結合させる集光素子と、集光素子と空間光変調器との間に配置され、入力された光の偏波状態を、単一の偏波方向のみからなるように操作して出力する偏波操作素子と、を備える。 （もっと読む）

【課題】強誘電体結晶により構成される強誘電体基板に周期分極反転構造が形成される光学デバイスに関し、その強誘電体結晶の薄膜化および周期分極反転構造の高精度化を可能とする。
【解決手段】単分極化された強誘電体結晶により構成された強誘電体基板１１の一方主面Ｓ1Aと、強誘電体基板１１よりも厚い支持基板１４の一方主面Ｓ1Bとの間に接合部１３を介在させて強誘電体基板１１を支持基板１４で支持しながら一体化しているので、上記した平面研磨処理により強誘電体基板１１、つまり強誘電体結晶を薄膜化することができ、その結果、周期分極反転構造を薄くすることができる。そして、こうして薄膜化された強誘電体基板１１に対し、上記したように電圧印加法により分極反転部を形成する。 （もっと読む）

【課題】 高出力のパルスレーザ光を生成することが可能なレーザ装置を提供する。
【解決手段】 レーザ装置１ではチャネル増幅器１４において、レーザ装置１Ａではスラブ型固体レーザ装置４４において、連続光であるレーザ光Ｌ_１のそれぞれを増幅する。このため、パルスレーザ光を増幅する場合に比べて、増幅率を高く設定できる。そのように増幅されたレーザ光Ｌ_２のそれぞれを回折格子１６の集光位置Ｐ_１で合波して合波光Ｌ_３を生成する際に、集光位置Ｐ_１において合波光Ｌ_３の出力のピークが（同じパルス時間波形が）所定の時間間隔で繰り返し現れるように、レーザ光Ｌ_１のそれぞれの位相を制御する。これにより、回折格子１６の集光位置Ｐ_１において、増幅された複数のレーザ光Ｌ_２によりパルスレーザ光が生成される。よって、このレーザ装置１によれば、高出力のパルスレーザ光を生成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】任意の偏光状態を実現可能な偏波制御装置を提供する。
【解決手段】偏波制御装置は、入力された直線偏波の光を２分岐する分岐部と、２分岐された入力光をそれぞれ強度変調する第１強度変調器および第２強度変調器と、前記第１強度変調器と前記第２強度変調器の出力のうち少なくとも一方を位相変調する位相変調器と、前記変調を受けた２つの光を、一方の偏波を直交させて合波する偏波合成部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】複数の第１電極３３３が配置された電極基板３３２の下方主面（他方主面）に対向して電気回路基板３３６が配置されるとともに、当該電気回路基板３３６に対し、複数の第１電極３３３の配線領域Ｒａ上の端部に一対一で対応して複数の配線３３７が形成されて誘導結合により複数の第１電極３３３とそれぞれ電気的に接続される。そして、変調部から各配線３３７を介して対応する第１電極３３３に付与する電圧が制御され、これによって複数の第１電極３３３と第２電極３３５との間で発生する電界がそれぞれ制御される。 （もっと読む）

【課題】光配向膜における配向方向の異なる配向処理を１回の工程で実現可能にして配向処理工程を短縮する。
【解決手段】電気光学結晶材料から成る複数の光変調素子８を一定の配列ピッチで少なくとも一列に並べて有する空間光変調手段３と、前記各光変調素子８を個別に駆動して、前記空間光変調手段３に対向して配置され表面に光配向膜を塗布した基材７上に照射する偏光の偏光面の回転角度を制御する制御手段６と、前記空間光変調手段３を前記基材７に対して前記光変調素子８の並び方向と交差する方向に相対移動させる移動手段５と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】高速に動作し、十分な変調強度比が得られる空間光変調器を提供する。
【解決手段】入射光を反射或いは透過させて、反射光或いは透過光の空間的な強度を変調する構成であって、垂直磁化膜によって構成された磁性体細線１１と、この磁性体細線１１の一部分の磁化状態を変化させる磁化機構１２と、磁性体細線１１内に一方向の電流を供給して、磁化機構１２により変化した磁化状態を、磁性体細線１１内で伝播させる電流供給機構とを含む、空間光変調器を構成する。 （もっと読む）

【課題】クロストークと挿入損失を低減し、偏光無依存の光スイッチを提供する。
【解決手段】光スイッチは、間にある相互接続領域を有する２つの強誘電体液晶空間光変調器を使用する。このスイッチは、光を入力ファイバアレイから第１の空間光変調器に集束させ、並びに、第２の空間光変調器から出力アレイに集束させるためにバルクレンズを使用する。各空間光変調器は、予め計算されたセットから選択されたそれぞれのホログラムを表示し、それによって、入力ファイバアレイから出力アレイへの光の所望のスイッチングを生じさせる。 （もっと読む）

【課題】光位相の連続可変と高速制御が可能で、低損失で、部品点数を削減し、小型化でき、高価な光学部品を減らしてより一層の低コスト化を実現する。
【解決手段】入力光を、偏光方向が互いに直交する２つの直線偏光に偏光分離する偏光子１０と、その光路の異なる２つの直線偏光をそれぞれ偏光面が同一方向に回転する円偏光に変換する四分の一波長板１２と、２つの円偏光をそれぞれの偏光面を回転させながら透過させる可変ファラデー回転子１４と、透過した２つの円偏光の光路方向を変える集光用レンズ１６と、２つの円偏光を反射する反射鏡１８とを具備し、反射鏡は集光用レンズの焦点位置に設置されていて、集光用レンズと反射鏡の組み合わせによって、入力側から反射鏡に向かう往路光と反射された復路光の光路が入れ替わるようにし、偏光子を逆進して偏光合成された出力光の位相を、可変ファラデー回転子のファラデー回転角に応じて変化させる。 （もっと読む）

【課題】複数の異なる単一波長の超短パルスレーザ光を、時間幅の拡がりを最小限に抑えつつ同時に光伝送して顕微鏡による観察等を高速に行えるようにすること。
【解決手段】中空コアフォトニック結晶ファイバ（８、ＨＣ−ＰＣＦ）のゼロ分散波長付近で動作する超短パルスレーザ光源（２Ａ）と、異なる波長の超短パルスレーザ光源（２Ｂ）のプリチャーパ（３Ａ、３Ｂ）出力をダイクロイックミラー（５）で合波し、光変調器（６）で透過波長と平均強度を制御した後に、ＨＣ−ＰＣＦ（８）に入射して光伝送し、この出力光を顕微鏡本体（１Ｃ）に入力する。 （もっと読む）

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。
【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの１つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする４象限光検出器９と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構１１と、前記４象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段１０と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】複数チャンネルのＷＤＭ光から所望のチャンネルの所望の波長を選択することができる光可変フィルタアレイ装置を提供すること。
【解決手段】光ファイバ１１−１〜１１−ｍからの波長λ１〜λｎから成るｍチャンネルのＷＤＭ信号光を凹面鏡１６を介して波長分散素子１７に入射する。波長分散素子１７は入射光をその波長に応じて異なった方向に分散させ凹面鏡１８に加える。凹面鏡１８では光の各チャンネルの光を帯状に平行とすることによりチャンネルと波長に応じてｘｙ平面に展開する。波長選択素子１９は格子状に形成された画素構造であり、選択すべき各チャンネルと波長に応じた位置の画素を反射状態とする。波長選択素子１９で反射した光は同一の経路を介して光ファイバ１５−１〜１５−ｍより出射される。波長選択素子１９の反射特性を各画素毎に変化させることによって、任意のＷＤＭ光の任意の波長を選択することができる。 （もっと読む）

【課題】横幅方向の小型化を図ることができると共に、波長精度及び光出力精度を向上させることができる半導体光変調素子及び光半導体モジュールを提供する。
【解決手段】光導波路５を備える導波路型光変調器４において、導波路型光変調器４の光出射側の端面における光導波路５の有する光伝搬の有効範囲、すなわち、半導体光導波路構造を伝搬する光の基本モードが分布する領域の外の領域を、光導波路５を中心に横方向に対称に斜めに加工した。 （もっと読む）

【課題】出力光ビーム位置を空間的にシフトさせるための偏波ビームディスプレーサを不要とする、偏光依存性を有するアレイ導波路回折格子合波器を用いた波長選択スイッチを提供する。
【解決手段】空間光学系(51, 61, 62, 52)により結合された、入力ポートを有する波長分波器(1)と、波長分波器により分波された各波長の光信号の偏光状態を独立に制御する偏光制御素子アレイ(2)と、２つの出力ポートを有するアレイ導波路回折格子合波器(241)とを備えた波長選択スイッチにおいて、アレイ導波路回折格子合波器(241)が、偏光制御素子アレイにより偏光状態が制御された各波長の光信号を合波して２つ出力ポートのいずれかから出力し、かつ出力ポートの透過中心波長が偏光依存性を有しており、当該偏光依存性による透過中心波長シフトが２つの出力ポート間の透過中心波長差に等しくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】制御光パワーをできる限り低くし、信号光の光路切替速度をできるだけ速くし、更に、直進信号光および隣接する別方向への信号光光路とのクロストークをできる限り小さくし、光路変更信号光の検出効率を上げる。
【解決手段】本発明に係る光路切替装置は、信号光と制御光とを入射面が重力の方向に対して垂直に設置された熱レンズ形成光素子へ縮小光学系にて重力方向に入射させ、各々収束点を光軸に対して垂直方向で異ならせて収束させ、前記制御光が照射されない場合の直進信号光と、前記制御光が照射され光路切替された信号光とが、同一の光学系手段によって収束または集光される受光手段を備え、更に、光路切替された前記信号光の通過位置にくさび型プリズムを設けて光路変更信号光と直進信号光の光軸間距離を広げる。 （もっと読む）

【課題】高い耐パワー性能と短波長光での光損傷性能が高く、かつ高速な変調が可能な光変調デバイスおよび当該光変調デバイスを用いた露光装置を提供する。
【解決手段】両端面１１ａ、１１ｂを露出させたまま電気光学結晶層１１の周囲が結晶部１４（電気光学結晶層１２、１３）で取り囲まれて四角柱形状の外観を有する電気光学結晶基板１５が形成されている。また、電気光学結晶基板１５の上面および下面に電極１６ａ、１６ｂがそれぞれ形成される。電極１６ａ、１６ｂは電位付与部１７と電気的に接続されており、電位付与部１７から電極１６ａ、１６ｂに正電位および負電位を与えると、電気光学結晶層１１および結晶部１４の屈折率がそれぞれ増加および減少して入射光Ｌinを電気光学結晶層１１に封じ込めて伝搬する。逆電位を付与すると、入射光Ｌinが結晶部１４に吸い込まれるように広がる。 （もっと読む）