Fターム[2H147GA00]の内容
光集積回路 (45,729) | 目的、課題、効果 (3,025)
Fターム[2H147GA00]の下位に属するFターム
温度無依存、温度補償 (111)
ドリフト対策 (15)
温度分布の均一化 (1)
断熱、熱的クロストークの抑制 (29)
高温・熱対策 (228)
高速化 (53)
小型化、高密度化 (540)
偏光無依存 (98)
反り抑制、熱膨張係数の整合 (65)
コアの変形防止 (55)
膜・結晶の質の向上・均一化 (60)
膜や基板表面・端面の平坦化 (109)
膜の密着性向上 (98)
損失低減、透過率向上 (685)
防水、耐湿、結露防止 (55)
多チャンネル化、大規模化 (22)
広帯域化、波長無依存化 (89)
狭帯域化、高Q値化 (21)
光学的な雑音・クロストーク等の抑制 (283)
電気的特性の改善 (150)
Fターム[2H147GA00]に分類される特許
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波長可変光フィルタ及びその制御方法
【課題】グレーティング導波路での反射波長を変化させる波長可変動作時におけるクロストークの発生を回避する波長可変光フィルタを提供する。
【解決手段】グレーティングが形成された第1および第2の導波路1、2と、第1の導波路1と第2の導波路2との間に配置され、第1の導波路1と第2の導波路2とを直列に接続する第3の導波路3と、各導波路1、2、3に設けられ、各導波路1、2、3の屈折率を変化させる屈折率変化手段4、5、6と、各導波路1、2、3の屈折率変化手段4、5、6を制御して、各導波路1、2、3の屈折率をそれぞれ独立して変化させる屈折率制御手段9とを有している。
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スポットサイズ変換素子の作製方法
【課題】幅方向に加えて膜厚方向にも寸法が漸次変化するテーパ形状のシリコンコアが、容易に形成できるようにする。
【解決手段】副パターン142は、主パターン141のテーパー形状の部分において、先端に行くほど主パターン141との間隔が広くなるように形成する。これらのように、酸化シリコン層103の上にレジストパターン層104を形成したら、よく知られたドライエッチング(反応性イオンエッチング)により、レジストパターン層104をマスクとして酸化シリコン層103を選択的にエッチングする。例えば、容量結合型高周波プラズマを用いたドライエッチング装置を用いればよい。また、エッチングガスとして、ハロゲン系ガスを用いる。
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光電気混載基板および電子機器
【課題】光損失の少なく、電気配線の絶縁性に優れた光電気混載基板、およびかかる光電気混載基板を備えた電子機器を提供すること。
【解決手段】光電気混載基板1は、上面側に光素子50を搭載するための光素子搭載部を有し、光素子搭載部に光素子50を搭載したとき、光素子50の電極部の位置に貫通孔101を備えたフレキシブル基板10と、貫通孔101を充填する導体ポスト30と、導体ポスト30に連結され、基板10の上面から突出するように設けられた、光素子50との電気的接続に供される突起部31とからなる突起電極と、基板10の下面側に設けられ、ミラー23を備える光導波路20と、基板10と光導波路20との間に設けられた配線パターン40とを有しており、光導波路20と光素子50とが光学的に接続され、かつ配線パターン40は、突起電極を介して光素子50と電気的に接続されるよう構成されていることを特徴とする。
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光モジュール及び光モジュールの作製方法
【課題】2つの光デバイスの端面間の距離を高精度に測定して光接続した光モジュール及びその作製方法を提供する。
【解決手段】光モジュール100は、第1PLC110と第2PLC120の2つのPLCを接続して構成されている。そして、第1PLC110および第2PLC120を跨いでMZI回路101が形成されている。MZI回路101は、一部が第2PLC120に形成され、他の部分が第1PLC110に形成されている。MZI回路101を端面距離測定用光回路として用い、これにより端面間距離Dを高精度に測定することが可能となる。
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光波長多重信号監視装置および方法
【課題】各チャネルの信号光の強度だけでなく、信号光の波長およびノイズ光の強度についても監視が可能な光波長多重信号監視装置および方法を提供する。
【解決手段】M本の入力導波路とN本の出力導波路を備えるアレイ導波路回折格子(AWG)において、出力導波路は、各透過波長がΔλ間隔になるように配置されており、入力導波路は、各透過波長がΔλ+u間隔になるように配置される。このとき、j番目(j=1,2,・・・,M)番目の入力導波路から、i+M−j番目(i=1,2,・・・,N−M+1)の出力導波路への透過波長は、順次uずつシフトする。この特性を利用し、AWGの入力導波路を切り替えながら所定の出力導波路へ出力される光強度を検出すれば、所定の透過バンド幅を透過する光強度を、順次透過中心波長をシフトしながら検出することになる。これにより、各チャネルの信号光の強度だけでなく、光強度スペクトルを測定することができる。
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コア部形成用樹脂組成物及びこれを用いたコア部形成用樹脂フィルム、ならびにこれらを用いた光導波路
【課題】屈曲耐久性、捻回耐久性、及びスライド耐久性に優れる光導波路を作製するための材料を提供すること、及び上記特性を有する光導波路を提供すること。
【解決手段】(A)ベースポリマー、(B)単官能エポキシ(メタ)アクリレート、及び(C)光ラジカル重合開始剤を含有する光導波路のコア部形成用樹脂組成物、該コア部形成用樹脂組成物を用いたコア部形成用樹脂フィルム、コア部を該コア部形成用樹脂組成物、又は該コア部形成用樹脂フィルムを用いて形成した光導波路である。
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コア部形成用樹脂組成物及びこれを用いたコア部形成用樹脂フィルム、ならびにこれらを用いた光導波路
【課題】屈曲耐久性、捻回耐久性、及びスライド耐久性に優れる光導波路を作製するための材料を提供すること、及び上記特性を有する光導波路を提供すること。
【解決手段】(A)ベースポリマー、(B)エチレンオキシド基及び/又はプロピレンオキシド基の平均付加モル数が合計4〜30モルである(メタ)アクリレート、及び(C)光ラジカル重合開始剤を含有する光導波路のコア部形成用樹脂組成物、該コア部形成用樹脂組成物を用いたコア部形成用樹脂フィルム、コア部を該コア部形成用樹脂組成物、又は該コア部形成用樹脂フィルムを用いて形成した光導波路である。
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光路変換体とそれを具備する光伝送基板
【課題】 低損失な光路変換を可能にする光路変換体、およびそれを具備する光伝送基板を提供する。
【解決手段】 光導波路4の光の伝送方向を変換して外部へ導出する又は外部からの光の伝送方向を変換して光導波路4に導入するための光路変換体1であって、光導波路4の内部に設けられ、光を伝送させる第1のコア部31aを有し、光導波路4の光の伝送方向を別の伝送方向に変換する光路変換部2と、光導波路4上に突出するように設けられた突出部3であって、光導波路4の上面と密着可能な接触面32を含み、第1のコア部31aと連続して設けられ、光路変換部2によって別の伝送方向に変換された光を伝送させる第2のコア部31bを有する突出部3と、を具備する。
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高分子光導波路及びその製造方法
【課題】光導波路の表面(導波光の進行方向に平行な方向の表面)に露出した2種のクラッド部の境界に起こりやすいクラックの発生を防ぎ、フレキシブル性能を確保しつつ、高精度の実装と端部の45°面加工等が容易であり、且つ、屈曲耐久性が高い高分子光導波路を提供する。
【解決手段】複数のコア部14,15と、前記複数のコア部のうち少なくとも光が伝搬するコア部14を前記光が伝播する方向に沿って包囲するクラッド部と、を有し、少なくとも一方の端部における前記複数のコア部の間に位置するクラッド部として、前記コア部よりも曲げ弾性率が高い第1のクラッド部16を有し、前記複数のコア部にまたがって位置するクラッド部として、前記第1のクラッド部よりも曲げ弾性率が低い第2のクラッド部12,17,18が設けられていることを特徴とする高分子光導波路10。
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導波路の作製方法
【課題】本発明は、導波路の狭メサ化及び側壁円滑化が図れる導波路の作製方法を提供することを課題とする。
【解決手段】スラブ導波路層を有する第1の基板を用意する工程と、該第1の基板の上にシリコン酸化膜を堆積する工程と、その上に所定のパターン開口を有するマスク層を形成する工程と、該マスク層をマスクとして開口部のシリコン酸化膜及びこれに隣接するマスク層下のシリコン酸化膜の一部を除去する工程と、マスク層及びスラブ導波路層上に第1の金属及びスラブ導波路層よりエッチング選択性の小さい第2の金属との積層構造を形成する工程と、該マスク層及びシリコン酸化膜を除去する工程と、第2の金属をマスクにスラブ導波路層をパターニングしてメサ導波路とする工程と、第1の金属とともに第2の金属をリフトオフする工程とを含む導波路の作製方法である。
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導波路型波長ドメイン光スイッチ
【課題】従来の波長ドメイン光スイッチと導波路型波長選択スイッチの短所を解消した導波路型波長ドメイン光スイッチを提供する。
【解決手段】導波路型合分波素子が3枚以上積層された導波路型合分波素子積層体101と、上記導波路型合分波素子積層体の分波側に位置するレンズシステム202と、該レンズシステムに対して上記導波路型合分波素子積層体とは反対側に位置する反射型の光位相変調セル109とを備え、レンズシステム202は、レンズアレイ102と、像倍率変換光学システム203と、f−fレンズ(Y)107と、f−fレンズ(X)106とを備える
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光結合デバイス
【課題】 高圧縮率で高効率のモード変換を行うことができ、且つ小型で作製も容易な光結合デバイスを提供する。
【解決手段】 光ファイバや空間中を伝播する光信号を光導波路デバイスに結合させる光結合デバイスであって、基板10上に一方向に沿って設けられ、一端側に対し他端側の幅が絞り込まれた下部導波層20と、基板10上に一方向に沿って設けられ、下部導波層20の他端と接続された光導波路40と、下部導波層20上に一方向に沿って設けられ、一端を下部導波層20の一端と揃えて形成され、一端側に対し他端側の幅が絞り込まれ、且つ一方向に沿った側面の該方向に対する傾斜角が一端側で大きく他端側で小さい上部導波層30とを備えている。
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光電気配線用パッケージ及び光導波路付リードフレーム
【課題】光素子と光導波路とを光学的に結合するミラーを容易にかつ高精度に形成することを可能とし、光配線によって電気配線を容易に置き換えることができる光電気配線用パッケージを提供する。
【解決手段】光導波路22を支持する支持板12と、該支持板12の両端縁を、辺方向に沿って支持板の面方向に対し45度の角度に折曲して形成されたミラー面部を備えるミラー部14a、14bと、光素子と電気的に接続されるリード部16a、16bとを備え、前記支持板12、ミラー部14a、14b及びリード部16a、16bが、金属材料をプレス加工して形成され、ミラー付リードフレームの前記支持板12に、クラッドに囲まれて複数本のコア部が並列に配置された光導波路22を搭載する。
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光スイッチ
【課題】光スイッチにおいて、光信号のビットレートやフォーマットに依存しない光スイッチを用い、この数を低減することで、光信号損失を抑制し、制御の複雑さを抑制する。
【解決手段】2入力2出力の光スイッチ素子から構成された複数の光スイッチサブブロック1〜4と、同様に2入力2出力の光スイッチ素子から構成された複数の光スイッチサブブロック5〜8とを備える。また、複数の光スイッチサブブロック1〜4の出力ポートが入力側に接続され、複数の光スイッチサブブロック5〜8の入力ポートが出力側に接続されるアレイ導波路回折格子9を備える。また、アレイ導波路回折格子9は、入力側のいずれの光スイッチサブブロック1〜4から入力した各々異なる波長の全ての光信号を、出力側のいずれかの光スイッチサブブロック5〜8に出力可能としている。
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光導波路及びその製造方法
【課題】光導波路の外形形成や光部品との光結合に利用可能な位置認識マークを有する光導波路を提供する。
【解決手段】光が伝播するコア部20と、前記光が伝播する方向に沿って前記コア部の周りを囲むクラッド部12,16,18とを有する光導波路であって、前記光導波路の主面に対して垂直な方向から見て前記コア部とは重ならない位置に、位置認識マーク用の有色の樹脂24が埋め込まれていることを特徴とする光導波路10。好ましくは、位置認識マーク用の有色の樹脂がコア部と平行になる位置に埋め込まれている。より好ましくは、位置認識マーク用の有色の樹脂が、光導波路の主面に対して垂直な方向から見て、コア部と平行になるように形成された第1溝部23Aと、該第1溝部と交差し、且つ、コア部とは重ならないように形成された第2溝部23Bとの交差する部分に埋め込まれており、第1溝部と第2溝部とが交差する角度θが20度以上80度以下である。
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半導体装置の製造方法およびプラズマエッチング装置
【課題】化合物半導体とマスクとの間の選択比を向上させ得る半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】この製造方法は、インジウムを必須の構成元素とする化合物半導体からなる被加工物10の上にエッチングマスクを形成する工程と、被加工物10の上にヨウ化水素ガスおよび四塩化ケイ素ガスの2成分からなる混合ガスを導入するとともに混合ガスをプラズマ化する工程と、当該プラズマ化された混合ガスを被加工物に入射させて被加工物を選択的にエッチングする工程と、を含む。混合ガスの総流量に対するヨウ化水素ガスの流量の配合比は、60%以上85%以下である。
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光インターフェースモジュールの製造方法、及び、光インターフェースモジュール
【課題】 発光素子や受光素子と光導波路とを、容易に、かつ、確実に接続する方法を用いた光インターフェースモジュールの製造方法を提供すること。
【解決手段】 第1面と第2面とを有する基板の第1面上に下層クラッド層を形成し、下層クラッド層上にコア層を形成し、コア層の一部に2本の溝を設け、2本の溝で挟まれ、一端と他端とを有する第1コア部を形成し、コア層上及び溝内に上層クラッド層を形成し、基板の第1面上に発光素子を実装し、基板の第1面上に受光素子を実装し、発光素子と第1コア部の一端との間の上層クラッド層及びコア層にレーザ加工により2本の溝を設け、発光素子及び第1コア部の一端のそれぞれと光学的に接続している第2コア部を形成し、受光素子と第1コア部の他端との間の上層クラッド層及びコア層にレーザ加工により2本の溝を設け、受光素子及び第1コア部の他端のぞれぞれと光学的に接続している第3コア部を形成する光インターフェースモジュールの製造方法。
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光導波路フィルム、及び光送受信モジュール
【課題】近赤外域での反射率を持つと共に劣化が抑制された反射層を有する光導波路フィルムを提供すること。
【解決手段】クラッド114と、クラッド114に埋設された光導波路コア112と、を有する光導波路フィルム本体116を備える。また、光導波路フィルム本体116には、その長手方向両端部に光導波路コア112に伝播する光の光路変換部となるミラー面116A(傾斜面)を設けており、当該ミラー面116A上には、ミラー層118(反射層)を形成させる。そして、ミラー層118は、チタン層120Bを含む保護層120で覆わせる。また、保護層120は、チタン合金層でであってもよく、チタン層120Bを覆って設けられる窒化チタン層120Cを有していてもよい。
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光素子、光分岐素子および光波長合分波器
【課題】入射側導波路から、平面導波路に出射される光の強度のバラツキを抑えること。
【解決手段】平面導波路18の一端面に設けられた分岐導波路23g−1,23gは分岐光Bg−1,Bgをガウスビームとして平面導波路18へ入射させ、下記条件を満たす配置で平面導波路と接続されている。1)第1及び第2分岐導波路から出射される光を第1及び第2光とし、2)ガウス型強度分布を持つ光の光強度の半値に対応する2点をそれぞれ第1及び第2点とし、3)第1及び第2点を連続的に結んだ直線を第1及び第2半値線とし、4)光の強度ピーク点を結んだ直線をピーク直線とするとき、第1光の第1半値線BH(g−1):1と第2光の第2半値線BH(g):2とがピーク直線の交点よりも遠い位置で交差して、交差点から一端面までの距離が隣接する任意の分岐導波路対に対して等しい。
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光分岐装置
【課題】 並列配置された複数の階段状導光路の出射部と外部の光伝送媒体との接続を従来の上下方向で行うものと比べ精度良く行うことができる光分岐装置を提供する。
【解決手段】 光分岐装置10は、入射した光を階段状に設けられた複数の出射部1に分岐する並列配置された複数の階段状導光路(コア)2と、階段状導光路2の出射部1に光学的に接続され1つまたは複数の階段状導光路2と交差して延びる接続導光路(コア)3とを備える。接続導光路3は、階段状導光路2と交差し光分岐装置10の端部まで延びる。交差部4の屈折率は、好ましくは階段状導光路2の屈折率よりも高くされる。階段状導光路2の出射部1と接続導光路3との接続部には光の経路を変更する光反射傾斜面5が設けられる。
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