【課題】表面処理用ノズル装置から処理ガスが漏洩するのを防止する。
【解決手段】ノズル装置３の板状の供給溝形成部材１１の主面１１ｆに処理ガス供給溝４０を形成し、主面１１ｆを被覆部材１２で覆い、処理ガス供給溝４０に処理ガスの供給手段４を接続する。開口溝部４２を供給溝形成部材１１の主面１１ｆと交差する先端面に開口させる。更に主面１１ｆ又は被覆部材１２の被覆面１２ｒの処理ガス供給溝４０より外側の部分に外側溝８０を形成し、外側溝８０をガス吸引手段５に接続する。 （もっと読む）

【課題】放電ランプから出射される紫外線の処理対象物への到達効率を可及的に向上させる。
【解決手段】設定搬送経路に沿って搬送される処理対象物ＴＴに向けて紫外線を照射する放電ランプ４と、前記設定搬送経路における前記放電ランプ４と前記処理対象物ＴＴとの間の空間にガスを供給するガス供給手段ＧＳとが設けられ、前記ガス供給手段ＧＳは、前記ガスの流路における前記放電ランプ４及び前記設定搬送経路の下流側に前記ガスを排出する排出部ＧＥが備えられて構成された紫外線照射処理装置において、前記設定搬送経路の入口ＧＩ又は出口ＧＯから入った外部からの空気流が前記放電ランプ４の前記処理対象物ＴＴに対する紫外線照射領域へ侵入するのを妨げる部材ＳＥが備えられている。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプの反りを抑制する移動制限部材を備え、被照射物に対して均一な紫外線照射を維持しつつ、放電容器の電極部からのパーティクルの落下を防止する。
【解決手段】金属製の筐体２と、筐体２の下方側に筐体２と離間して保持された、放電容器３１の外面に電極部３２が配設され、放電容器３１の筐体側内面に紫外線反射膜を備えたエキシマランプ３とを有し、エキシマランプ３から放射される紫外線を被処理物７に照射するエキシマランプ装置において、放電容器３１の一方の端部は筐体２に固定保持され、他方の端部は長手方向へ移動自在に筐体２に保持され、筐体２と筐体２の下方に位置するエキシマランプ３との間に、筐体２に対するエキシマランプ３の上方への移動を制限する移動制限体５を備え、移動制限体５はエキシマランプ３の長手方向に回転可能に設けられた回転コロ５１を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】微小放電プラズマの生成領域を制御して処理対象の所望部位のみに親水性を高める処理を施すため、必要最低限の局部領域に対して表面改質を行なうことができる微細放電表面改質方法および装置を提供する。
【解決手段】二次元平面上に所定の間隔に配置された線状の高電圧電極と、二次元平面と実質的に平行な他の二次元平面上に所定の間隔に配置された線状の接地電極と、を二次元投影平面視野において互いに交差するように配置し、高電圧電極と接地電極との間に被処理基板を配置し、かつ接地電極を被処理基板と接触導通させ、かつ高電圧電極と被処理基板とを対向して配置し、高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するとともに、高電圧印加領域に放電ガスを供給し、微細な非平衡放電プラズマを生成し、高電圧電極および接地電極に対する給電動作を制御することにより、二次元投影平面視野において高電圧電極と接地電極とが交差する領域に微小放電プラズマを発生させ、被処理基板の表面の所望部位を改質する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、絶縁物で特にプリント基板の表面改質に係り、主に微小領域に対する処理対象の表面に付着する微小な有機物除去による洗浄および親水性向上を目的とし、微小放電プラズマを用いた、薬品・溶剤レスのドライ処理によりパターン印刷部のみの表面改質を行ない、製作工程の低減、環境面負荷低減、製品の歩留まり向上ならびに工業的付加価値を高める放電表面処理装置及び放電表面処理方法に関する。
【解決手段】 基板を可動ステージ上に載置し、少なくとも一方が誘電体で覆われた高電圧電極と接地電極を有する微細放電電極と基板とを相対位置合せし、高電圧電極と接地電極との間に高電圧を印加するとともに、微細放電電極に放電ガスを供給することにより、微細放電電極に微細な非平衡放電プラズマを発生させ、前記プラズマのなかで生成される活性種を被処理基板に対して吹きつけながら、可動ステージにより基板をＸＹ面内でＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させ、活性種を基板の表面に次々に作用させて該表面を改質する。 （もっと読む）

【課題】 走行するシート状物の表面に付着している異物を、インラインでシート状物にダメージを与えずに漏れなく捕集できる異物除去装置および方法を提供する。
【解決手段】 走行するシート状物表面に付着した異物を除去する異物除去装置において、シート状物を非接触で支持するエアー浮上式ガイドバーと、シート状物が付着した異物を下流側のロールに巻き込んで接触する前に、ガイドバー上でエアーを吹き付けるエアー吹付手段と、エアー吹付手段の反対方向に設置したフード付き吸引手段とを、具備することを特徴とするシート状物の異物除去装置および方法により、上記課題を解決し得る。 （もっと読む）

【課題】テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去する効果の高い異物除去装置を実現する。
【解決手段】本発明の異物除去装置２０は、２つのクリーナ部２を備え、上記２つのクリーナ部２は、各クリーナ部２の清掃機能面３が上記テープ状部材１のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、各クリーナ部２は上記清掃機能面３に、対面する上記テープ状部材１の面にエアを吹き付けるエア吐出口４と、エアと共に異物３０を吸い込むエア吸引口５とを備え、上記クリーナ部２は超音波発振部６を備え、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吐出口４は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置され、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吸引口５は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置されている。それゆえ、柔軟なテープ状部材１の両側の面に付着した異物３０を除去でき、かつ効果の高い異物除去装置２０を実現できる。 （もっと読む）

【課題】製造コストの高騰を招くことなく、処理対象体にコンタミが生じる事態を回避し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ放電用ガスＧを供給するガス供給管３０と、高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４と、ガス供給管３０および放射器１４が内部空間に配設されたトーチ型の筐体１１とを備え、ガス供給管３０を介して筐体１１内にプラズマ放電用ガスＧを供給した状態において放射器１４から高周波信号Ｓを放射して放射器１４の近傍にプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、筐体１１の内面とガス供給管３０との間に放射器１４が配設されると共に、高周波信号Ｓの放射によってガス供給管３０内に発生させたプラズマＰをガス供給管３０の一端部から噴出させて処理対象体Ｚに照射可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減を図りつつ、各種の径のプラズマを低コストで照射し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４と、放射器１４が内部空間に配設されたトーチ型の筐体１１と、筐体１１内にプラズマ放電用ガスＧを供給するガス供給部３と、放射器１４が挿通されると共に筐体１１の内面に取り外し可能に取り付けられた絶縁管３０ａ〜３０ｃ（管状の絶縁体）とを備え、プラズマ放電用ガスＧを供給した状態において放射器１４から高周波信号Ｓを放射して放射器１４の近傍に発生させたプラズマＰを絶縁管３０ａ〜３０ｃの噴出口３１ａ（一端部）から噴出させて処理対象体Ｚに照射可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】処理範囲を大面積化することができると共に、均一な処理を行うことができ、しかも処理対象に応じて容易に設計変更が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】一端側の開口からプラズマ生成用ガスＧが流入すると共に他端側の開口から活性化されたプラズマ生成用ガスＧが流出する複数の貫通孔２と、各貫通孔２内でそれぞれ放電を発生させるための一対の電極３，４とが設けられた平板状の絶縁基材１からなる反応器Ｒを具備する。上記一対の電極３、４は層状に形成されて上記貫通孔２におけるプラズマ生成用ガスＧの流通方向で対向して両方とも絶縁基材１に埋設される。上記貫通孔２におけるプラズマ生成用ガスＧの流通方向において下流側の電極３の周端部を上流側の電極４の周端部よりも外側に突出させる。 （もっと読む）

【課題】省エネルギー効果によるＣＯ２削減と光触媒機能によって大気汚染防止の一助となる省エネ型光触媒ＬＥＤ蛍光灯を提供する。
【解決手段】ＬＥＤ蛍光灯回路のチョークコイルを調整して適切な整流波形を形成してＬＥＤ蛍光灯を駆動させることが出来た。発光が放電方式でないため、あらゆる点灯方式の器具に装着できる。大気浄化の手法として光触媒を活用した。ＬＥＤ蛍光管保護ケース内側で照明の反対側に二酸化チタン光触媒を塗布する。ケース内に通気孔を形成し、照明用ＬＥＤ装着の反対側基盤にＵＶＬＥＤを数個装着して光触媒塗布面を照射する。温度差によって空気が対流し、有機物を分解除去することが可能である。 （もっと読む）

【課題】複数の誘電体バリア放電ランプからの紫外光を被照射体に高い均斉度で照射させることを実現する。
【解決手段】誘電体バリア放電ランプ１０は、紫外線透過性の材料からなる細長い管状をなす気密容器１１内に、エキシマ生成ガスを封入させ、気密容器１１内部の管軸方向の全域に内部電極１２を配置し、気密容器１１外部の半円周形状に外部電極１３を密着して配置して構成する。この誘電体バリア放電ランプ１０を、不活性ガスの吸気口を設け、気密性のよいランプハウス２４に４本を並列的に配置して収容する。ランプハウス２４に形成され、誘電体バリア放電ランプから放射されるエキシマ光を照射する側の面に窓材２６を配置する。４本の誘電体バリア放電ランプ１０の外側に位置するランプを窓材２６に他のランプよりも近づけて取り付ける。これにより、被照射体に対する均斉度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、有機物質でコーティングされた材料２の表面を連続的にクリーニングするための方法を提供する。
【解決手段】本発明の方法は、酸素を含むガス流が供給される処理領域へ材料２を導入する工程と、材料２を接地する工程と、材料２の表面と誘電体で覆われた少なくとも１つの電極３との間に電界を課すことによりプラズマを生成する工程とを備える。電界は、パルス状を成すとともに、材料２に対して正および負の一連の電圧パルスを含む。さらに、正パルスの最大電圧Ｕ^＋が、アーク開始電圧Ｕ_ａよりも大きく、負パルスの最大電圧Ｕ⁻の絶対値が、アーク開始電圧Ｕ_ａよりも小さい。本発明はまた、上記の方法を行なうために使用する発生器と装置に関する。 （もっと読む）

【課題】ランプの通算点灯時間に応じて、適切な初期点灯電力で点灯させることができる紫外線照射装置及び該装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】エキシマランプ１に設けられたＩＣタグ１ａに、該ランプの点灯時間の積算値である通算点灯時間、点灯履歴情報などの情報に加え、初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値、定常周波数規定値等の該ランプに固有の電気的特性値を記録しておく。装置を起動する際、制御部４は、ＩＣタグ１ａから上記情報を読み取り、ランプの通算点灯時間と該ランプに固有の電気的特性値に基づき、初期点灯時にランプに印加する電圧、周波数などを設定してランプを初期点灯させる。初期点灯後、定常点灯に移行させ、ランプ１へ印加する電力の定電力制御を行なう。 （もっと読む）

【課題】長尺の筐体に装備されるランプ支持体の位置を常時一定に保持して、ランプ支持体と被処理物と擦すれず、隔壁の熱変形によるランプ支持体の位置の変動をなくし、かつエキシマランプの周囲から発生するオゾンによる筐体内に搭載される機器の腐食を防止する。
【解決手段】エキシマランプ装置１は、筐体１と、筐体１に支持された懸架体４と、懸架体４に支持されたランプ支持体６と、ランプ支持体６に支持されたエキシマランプ５と、エキシマランプ５と懸架体４との間に設けた隔壁７とを備え、ランプ支持体６は、隔壁７に設けた貫通穴８に遊嵌して懸架体４に支持されていることを特徴とする。また、懸架体４に対するランプ支持体６の上下方向の位置を調整する調整手段を設け、貫通穴８と貫通穴８に遊嵌するランプ支持体６間における気体の通過を防止する遮蔽手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】装置内に付着した処理剤の付着物を除去することで表面処理精度を向上させることが可能な表面処理装置および表面処理方法を提供する。
【解決手段】本発明の表面処理装置１は、基板Ｗを配置する成膜室３と、気化したシランカップリング剤Ｙ２を成膜室３に供給する処理剤供給装置１と、成膜室３内を減圧するポンプ５と、を有し、気化したシランカップリング剤Ｙ２の流動経路４４上に、流動経路４４に対する付着物を除去する付着物除去装置４０が設けられている。 （もっと読む）

無機支持体の表面調製のための方法であって、それが、支持体を反応室内に導入するか、又は支持体を反応室内で走行させる、但し、反応室では少なくとも二つの電極が配置され、少なくとも一つの誘電バリヤーがこれらの少なくとも二つの電極の間に配置される；高周波電圧を発生する、但し、前記電圧は、それが少なくとも二つの電極間にフィラメント状プラズマを発生するようなものである；電圧を発生する設備の固有インダクタと並列に配置された調整可能なインダクタを使用して、発生される電流と電圧の間の位相シフトを減少する；少なくとも一つのタイプの分子を反応室内に導入し、プラズマと接触すると、それらの分子が支持体の表面と反応することができる活性種を発生するようにする；発電機回路によって送出される電圧及び／又は周波数、及び／又は調整可能なインダクタのインダクタンスを、方法の開始時または方法の間に、最適な反応特性を得るように適合する；支持体を、前記支持体の少なくとも一方の側上に所望の表面調製を得るのに十分な時間の間、室内に保持する；及び発電機回路によって送出される電圧及び／又は周波数、及び／又はインダクタのインダクタンスを、電圧が放電を持続するための電圧より高い時間を延ばす高調波の生成を促進するように適合する操作を含む。 （もっと読む）

【課題】空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易な除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、放電針の針先付近へ空気を供給してイオンを噴射する空気噴射手段と、光源と、少なくとも、空気噴射手段による空気の噴射が停止した後の期間（Ａ期間）、光源を点灯し、当該期間の終了時に光源を消灯する光源制御手段と、を備える。作業者は光源の点灯を自身で行わなくてもよいので、空気の噴射が停止した後の除塵結果の確認が容易である。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面処理に際し、被処理物上の異物等を確実に、かつ被処理物等を損傷することなく検知する。
【解決手段】表面処理装置１の処理部３を被処理物９と対向させ、被処理物９に対し平面ＰＬと平行な移動方向に相対移動させる。処理部３に表面状態検知手段１０の回転体１２を設ける。表面状態検知手段１０の回転体１２は、好ましくは円筒体であり、その回転軸１２ａが、平面ＰＬと平行で上記移動方向と交差している。支持部１３によって、回転体１２を回転軸１２ａのまわりに回転可能に支持し、かつ回転軸１２ａを平面ＰＬと交差する方向に変位可能にする。回転体１２の回転を回転センサ２１で検知する。 （もっと読む）

【課題】操作が簡便で操作性の良い除電除塵装置を提供すること。
【解決手段】除電除塵装置１０の本体ケース１１（胴部１１ａ）には、照光ランプＬの点灯モードを設定するための点灯モード設定スイッチＳＷ２が設けられている。点灯モードは、トリガー１４のオン・オフに同期して照光ランプＬを点灯・消灯する同期点灯モードを含む。 （もっと読む）