【課題】モードを適宜切り替えながらの作業効率を向上させることができる手持ち式の除電除塵装置を提供する。
【解決手段】本体ケース１１には、外部操作に基づき連続出射モード、第１間欠出射モード、及び第２間欠出射モードのいずれかで、電磁弁ユニット１５を動作させるためのモード切替手段としてのモード切替スイッチＭ１及びモードスイッチ回路Ｍ２が本体ケース１１に設けられる。 （もっと読む）

【課題】操作が簡便で操作性の良い除電除塵装置を提供すること。
【解決手段】除電除塵装置１０の本体ケース１１（胴部１１ａ）には、照光ランプＬの点灯モードを設定するための点灯モード設定スイッチＳＷ２が設けられている。点灯モードは、トリガー１４のオン・オフに同期して照光ランプＬを点灯・消灯する同期点灯モードを含む。 （もっと読む）

【課題】本体ケースやその内部部品の破損を未然に防ぐことができる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】本体ケース１１は、筒形状の胴部１１ａと、その胴部１１ａの下部から延出形成された把持部１１ｂとを有し、その胴部１１ａに外部からの衝撃を吸収するための衝撃吸収部材としてのカバー部材３を備える。 （もっと読む）

本発明は、溶接トーチ（５）のクリーニング装置（１）に関し、少なくとも２つのコイル（４，１１）と、電磁クリーニングのために溶接トーチを導入するための開口（３）と、コイル（４，１１）と接続された供給装置（７）と、必要に応じて、クリーニング液を溶接トーチ（５）の先端に塗布するための装置とを備え、好ましくは、全てのコンポーネントが共通のハウジング（２）内に配置され、制御装置（８）によって制御される。また本発明は、溶接トーチ（５）のクリーニング方法に関する。クリーニング品質およびクリーニング範囲を増加させるために、本発明によれば、コイル（４，１１）は、溶接トーチ（５）のクリーニングのために、相互に独立した供給装置（７）によって電気エネルギーが供給可能であり、そして、コイル（４，１１）を冷却するための冷却装置（１４）が設けられる。
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【課題】各種の処理対象体を均一にプラズマ処理し得るプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】処理対象管Ｚ（処理対象体）を貫通させる貫通孔２２ａが形成された筐体１１と、筐体１１に立設されると共に高周波信号Ｓを入力して放射する放射器１４とを備えて、高周波信号Ｓの放射によって放射器１４の近傍にプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、貫通孔２２ａに貫通させた状態で筐体１１に取り外し可能に取り付けられると共に、筐体１１の内面に対する接離方向への処理対象管Ｚの移動を規制しつつ、貫通方向に沿っての処理対象管Ｚの移動を許容する位置決め部材１５を備えている。 （もっと読む）

【課題】複数のプリント配線基板の全面領域にわたって処理の均一性を改善できる多電極プラズマ処理システムの提供。
【解決手段】装置は、真空チャンバ１４と、隣接する対が真空チャンバ１４の内側に配置された、複数の並列配置された電極２８と、電極２８に電気的に接続されたＲＦ発生器３０とを具備している。装置は、ガス分配マニホールドと、ガス分配マニホールド６０に結合された複数のガス分配管６２とを具備している。それぞれのガス分配管６２は、開口部６３ａを有し、それぞれの隣接する電極２８の対の間に、源ガスを注入するように構成されている。装置はさらに、流れ制限部材を具備し、これが動作して、それぞれの隣接する電極の対の間の周辺ギャップを部分的に塞ぎ、それぞれの隣接する電極の対の間にて処理チャンバからの源ガスの逃げを制限する。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、一般的に構成部品に関連する慣らし運転期間の必要性を排除すると共に、その摩耗期の構成部品の耐用年数を延長させるために、プラズマ・エッチング工程と、任意の強化超音波とメガソニックの少なくとも一方の前処理段階とを用いて半導体製造用部品を前処理する方法を提供する。
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【課題】
本発明の目的は、電装部を密閉しつつ、その密閉された電装部の内部を冷却する紫外線照射装置を提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係る紫外線照射装置は、放電容器と該放電容器の放電空間を介して対向配置された電極とからなるエキシマランプと、複数の該エキシマランプにそれぞれ電気的に接続されたトランスと、該複数のエキシマランプと該複数のトランスとを保持すると共に、該複数のエキシマランプと該複数のトランスとの間に設けられた隔壁を具備する筐体と、該筐体内で該隔壁を介して該複数のトランスを取り囲む電装部と、からなる紫外線照射装置において、該電装部には、冷却液の流路を具備する冷却手段が設けられ、該各トランスの外方には、該各トランスを個別に囲うと共に、該トランスを介して対向された一対の開口部を具備した風洞体が設けられ、該電装部の内部には、該風洞体の一方の開口部から他方の開口部に送風する送風手段が設けられたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ドライアイス洗浄時に乱気流の発生を抑えつつ異物の除去が可能なフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】ロール状に巻かれたウェブフィルムＷを巻き出す巻出し装置２と、ウェブフィルムＷを液体で洗浄する第１洗浄部３１、第２洗浄部３３と、洗浄したウェブフィルムＷを乾燥する第１乾燥部３２、第２乾燥部３４と、乾燥したウェブフィルムＷに対して気体とともにパウダー状のドライアイスを吹き付ける吹付けノズル４１を有し、吹付けノズル４１でドライアイスを吹き付けてウェブフィルムＷを洗浄するドライアイス洗浄部４と、ドライアイス洗浄したウェブフィルムＷをロール状に巻き取る巻取り装置６と、を備え、吹付けノズル４１は、ドライアイスの吹付け方向がウェブフィルムの洗浄面に対して斜めに傾けて設置されている。 （もっと読む）

【課題】イオン化された空気を間欠的に放出する動作を実行しつつ圧力異常時に所定の異常時処理を実行できる除電除塵装置を提供する。
【解決手段】放電針と、前記放電針に電圧を印加してイオンを発生させる電圧印加手段と、空気供給源からの空気を前記放電針の針先付近へ供給して前記イオンを除電除塵対象物へ吹き付ける空気供給流路部と、前記空気供給流路部を流れる空気流を間欠制御または強弱制御する空気流制御手段と、前記空気供給流路部内の空気の圧力であって前記空気流制御手段より上流側の空気の圧力を測定する圧力センサと、前記圧力センサで測定された圧力を監視し、圧力異常を検出すると所定の異常時処理を実行する異常処理制御手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】紫外線を安定的に照射することができ、且つ紫外線照射時の熱の発生を抑えることができるドライ洗浄装置を提供する。
【解決手段】本発明のドライ洗浄装置は、半導体ウエハ等の被洗浄物が収容される反応容器１１の内部に紫外線を照射する発光ダイオード１４と、前記反応容器１１内にオゾンを含む洗浄用ガスを導入するガス導入手段を備えている。発光ダイオード１４が発光する紫外線は強度が安定しているため、被洗浄物の表面を斑なく洗浄することができる。また、発光ダイオード１４は、発光する紫外線照度の立ち上がりが早いため、洗浄装置１０の処理能力を高めることができる。さらに、発光ダイオードは紫外線ランプに比べて輝度を容易に調整することができる。さらにまた、発光ダイオードは熱の照射が極めて少ないため、被処理物が熱で変形することがなく、材料選択の自由度が大きい。 （もっと読む）

【課題】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、除去効率が悪くならず、大掛かりな装置を必要としないで洗浄する。
【解決手段】成膜用治具１を洗浄する装置である。成膜用治具１を設置する洗浄台３と、この洗浄台３に設置された成膜用治具１の洗浄面１ａに電解液７を噴射すべく、洗浄面１ａに対向配置されたノズル体５と、このノズル体５を一方の電極、洗浄台３を他方の電極とすべく、これらノズル体５と洗浄台３の間に電圧を印加する電源８と、ノズル体５に電解液７を供給する電解液供給手段６と、洗浄面１ａを洗浄した後の廃液を回収し、再び電解液７として電解液供給手段６に供給する循環経路１０を備える。
【効果】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、また成膜用治具の形状に関係なく、簡易な装置で成膜用治具に付着した金属系付着物を洗浄して除去できる。 （もっと読む）

【課題】
ＦＭ波や赤外線を利用したワイヤレスマイクにおいて、マイクロホン保守者や利用者が風防を一々外したりする手間もなく、通常の充電作業において、何ら特別な操作も要さず自動的に風防内部を除菌消臭し、抗菌することができるマイクロホンの提供を課題とする。
【解決手段】
マイクロホンの風防内部に抗菌作用のある紫外線を放射する紫外線放射手段の制御を、所定の充電器からの充電開始に基づき行うことにより、マイクロホン保守者や利用者が、風防を一々外したりする手間もなく、自動的に風防内部を除菌招集し、抗菌できるマイクロホンを構築した。 （もっと読む）

容器、例えば特にガラス管から残留物質および／または粒子を除去する方法および装置（５０）は、前記管（５）内の静電力を調整する手段（４０）と、前記残留物質を除去する手段（６０）とを備える。前記除去手段（６０）は、ノズル（２）によって前記容器（５）内に噴射する、調節した速度の流体噴流を用いることができる一方で、前記静電力を調整する手段（４０）は、調節した抵抗率を有する導電性流体（８）を前記容器（５）に流入させる要素（１）を有することができる。このようにして、前記流体（８）、例えばイオン化空気は、前記残留物質（３０）と前記容器の表面との間の静電荷を、従って静電力を減少させおよび／または消去するために作用し、流体の噴流または吸引手段による除去に役立つ。
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【課題】光透過窓と被処理物との間へ不活性ガスを充分に導入することができ、且つ、不活性ガスの使用量を低減させる紫外線照射方法及び紫外線照射装置を提供すること。
【解決手段】エキシマランプ１３を備えたランプハウス１１Ｂ内の不活性ガスを、紫外線を被処理物３０へ照射する光透過窓１４の周縁部から流出させ、光透過窓と被処理物との間での紫外線の減衰を抑える紫外線照射方法。ランプハウス内への不活性ガス流入口１５、エキシマランプ、エキシマランプからの紫外線を被処理物へ照射する光透過窓１４を少なくとも具備し、光透過窓の周縁部にランプハウス内の不活性ガス４０を光透過窓と被処理物との間に流出させる不活性ガス流出口１７が設けられていること。不活性ガス流出口が複数の孔からなるスリットＳ２である。 （もっと読む）

【課題】被処理物の表面に到達する紫外光の強度の低下を抑制しつつ、被処理物の表面における静電気の発生を抑制することのできる紫外光照射処理装置を提供する。
【解決手段】搬送される被処理物Ｗに紫外線ランプ３２を備えたランプハウス３０からの紫外光を照射することで被処理物Ｗの表面の洗浄を行う紫外光照射処理装置２０であって、被処理物Ｗの周囲に不活性ガス及び電子親和性分子を混合した混合ガスを供給するガス供給ダクト３７を備えることを特徴とする。前記混合ガス中における前記電子親和性分子の濃度は、１．０％以上６．０％以下であることが好ましい。前記不活性ガスは、窒素ガスであることが好ましい。前記電子親和性分子は、酸素分子であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で不所望な負荷によるエキシマランプの破損を防止すると共に、酸素濃度の変動した大気の対流による測定値変動を抑制した光センサおよびこれを備えたランプユニットを提供すること。
【解決手段】紫外線を放射するエキシマランプ５と、紫外線を受光する光センサ６と、少なくとも光センサ６を収納保持する筐体４と、からなるランプユニットにおいて、光センサ６は、可視光を検知する光検知体６１と、光検知体６１に付設された筒状の保持体６３と、保持体６３内に移動可能に保持されると共に、エキシマランプ５に当接可能に設けられた筒状または柱状の可動体６４とを備え、エキシマランプ５からの紫外線を透過する透過部材６４５と、透過部材６４５を透過した紫外線を可視光に変換する変換部材６４６とは、該光検知体と該保持体と該可動体とに取り囲まれるように設けられたことを特徴とするランプユニットである。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ処理容器のアルマイト処理に要する作業時間とコストを極力軽減する。
【解決手段】 プラズマ処理容器において、ライナー１０２は、側壁１ｂと天板１ｃとの接合部位に挿入されており、その先端は、内側Ｏリング１１１に達している。プラズマや腐食性ガスは内側Ｏリング１１１の位置で遮断されるので、側壁１ｂと天板１ｃとが直接当接する位置までプラズマや腐食性ガスが到達することがなく、天板１ｃのアルマイト処理が不要になる。 （もっと読む）

【課題】汚れ付着によるロール劣化が軽減され、従来以上の長期にわたって搬送、転写を安定的に行なえる搬送装置及び積層体の製造装置を提供する。
【解決手段】ゴム層６５ａを有する圧着ローラ６４ａ及びゴム層６５ｂを有する圧着ローラ６４ｂとゴム層６５ａにＵＶ−Ｂ光を照射するＵＶ−Ｂランプ８１とを備えており、ゴム層６５ａの表面に汚れが生じていると判定されたときに、ゴム層６５ａに積算照度が所定値に達するまでインラインでＵＶ−Ｂ光を照射して洗浄できるようになっている。 （もっと読む）

【課題】放射線の短い露出時間でもワークの内面を処理できる処理装置および処理方法を提供することにある。
【解決手段】ビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）と、該ビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）を発生する少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）と、該少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）を一回転軸線（１３、３４、４７、６３、８７、９３）の回りで回転させる駆動ユニット（４５、８６、９４）とを有し、前記少なくとも１つの発生ユニット（２、２０、４１、６２）が、発生されるビーム（Ｐ、Ｐ’、Ｉ）を、処理すべき表面（Ｏ）に向かう優先方向（Ｖ、Ｖ’、Ｖ”、Ｖ’’’、Ｖ’’’’）に指向させるように設計されている、ワーク（Ｗ）の内面（Ｏ）を処理する装置（１、２０、４０、６０、８０、９０）。 （もっと読む）