プロセスチャンバのコンポーネント上に形成されたプロセス堆積物が洗浄される。洗浄法においては、コンポーネント内のガスホールに機械的にピンを押し込み、その中のプロセス堆積物を洗浄する。その後、コンポーネントのセラミック部分を、フッ化水素酸や硝酸のような酸性溶液に晒す。酸洗浄プロセスステップの後、ガスホールのメカニカルピンニングを繰り返すことができる。その後、コンポーネントを、プラズマゾーンに非反応性ガスを導入するとともにプラズマゾーン内に非反応性ガスのプラズマを形成することによりプラズマゾーン内でプラズマ安定化させる。一変形例においては、コンポーネントは、電極を覆っているセラミックを備え且つその中にガスホールを有する静電チャックを備えている。 （もっと読む）

簡単、フレキシブルかつ確実な工作物位置コントロールが可能である、洗浄すべき工作物のための少なくとも１つの工作物収容部（１１４）を有する、工作物（１０６）を洗浄する洗浄装置を提供するために、洗浄装置が少なくとも１つの距離センサ(range sensor)（１２６）を有しており、その距離センサが信号を形成し、その信号から、工作物が工作物収容部の正しい位置に収容されているか、を導き出すことができることが、提案される。
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【課題】 光学部品用樹脂が付着した調合釜及び配管などの付帯設備や母型や治具などを洗浄する洗浄液であって、付帯設備や母型や治具、洗浄機などに損傷を与えず、環境に与える影響が少なく、取り扱い上の制約も少なく、かつ、十分な洗浄性を有する洗浄液組成物を提供する。
【解決手段】 Ａ：アミド類及びイミダゾリジノン類から選択された少なくとも１種と、Ｂ：スルホキシド類と、Ｃ：ｐＨが９以下であり、かつ塩基の規定度が１．０×１０^-3Ｎ以下である水を含有することを特徴とする光学部品用樹脂洗浄液組成物。 （もっと読む）

【課題】 棒状電極表面の皮膜や汚れ等を大気に触れること無く自動的に除去できるようにすると同時に、測定中に生じる恐れのある汚れなどの付着を防止し、棒状電極表面の安定化に要する時間の短縮を図り、メンテナンスを不要とすることで測定を長期にわたって連続的に行うことができるようにする。
【解決手段】 棒状電極１４が遊嵌する貫通穴３６を備えたボス部３８と、その周囲に固着された複数の羽根４０とを備え、全体が棒状電極を支軸として回転自在となっている電極表面洗浄器具３２と、それを保持する支持具３４とを具備し、測定液体の流動により前記電極表面洗浄器具が回転し、貫通穴内面が棒状電極外面と擦れ合うことで棒状電極表面の洗浄を行なう。 （もっと読む）

【課題】 例えば、アルミニウムやマグネシウム等が蒸着したマスク、液晶ディスプレイ基板、金属ミラー等のように、被洗浄物の洗浄面にダメージを与えることなく平滑的に、しかも、付着金属の除去したい厚さによって洗浄速度をコントロールできる洗浄剤を提供する。
【解決手段】 ＳＣＮ⁻、Ｉ⁻、ＣｌＯ₄⁻、ＮＯ₃⁻およびＢｒ⁻のようなカオトロピックイオンを含有する、ｐＨが１０以上の水溶液からなる洗浄剤。該カオトロピックイオンの濃度が０．１モル／ｌ以上、最も好ましくは０．８〜１．５モル／ｌである場合に特に効果に優れる。 （もっと読む）

【課題】 水系洗浄であっても、リンスを不要にして、被洗浄物の表面に付着したパーティクルを除去することができ、洗浄時間を短縮することができる洗浄装置および洗浄方法を提供すること。
【解決手段】 本実施形態に係る洗浄方法は、二酸化炭素、オゾン、水素のうち少なくとも１つ以上を純水に溶解させた機能水３を配した洗浄槽５中に、レンズ２を浸漬して超音波を照射する浸漬・照射工程と、機能水３が表面に付着した状態のレンズ２をそのまま回転モータ７により回転して乾燥する乾燥工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 負荷の共振周波数の変化が早くても、単位時間当たり平均して一定の超音波電力を超音波洗浄装置の超音波振動子に供給することができる超音波洗浄装置の超音波電力供給方法および超音波電力供給装置を提供すること。
【解決手段】 超音波発振器で発振された超音波信号をドライブアンプで増幅し、さらにパワーアンプで電力増幅した後、超音波洗浄装置の超音波振動子に供給するようにした超音波洗浄装置の超音波電力供給方法において、パワーアンプの熱損失による温度上昇を測定し、測定された温度が、熱損失が少ない所定の温度となるようにパワーアンプの信号入力状態を制御することにより、パワーアンプ出力の超音波電力を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作で、かつ効率的に浄化手段を汚染する有機物を除去することができる浄化手段洗浄方法および浄化手段洗浄装置を提供する。
【解決手段】（ａ）有機物を捕捉した浄化手段と、酸化性物質を含む酸化水とを接触させる工程、および（ｂ）有機物を捕捉した浄化手段と酸化水とを、所定の温度で加熱して、浄化手段から有機物を除去する工程を包含する流体に含まれる有機物を捕捉した浄化手段の洗浄方法、ならびに、その方法を実施するための、（１）流体に含まれる有機物の少なくとも一部を捕捉する浄化手段を収容するための収容部、（２）酸化性物質を含む酸化水を収容部に供給するための酸化水供給手段、（３）収容部内に供給された酸化水を加熱するための加熱手段を備える浄化手段洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 画像認識装置等の特別な装置を要することなく、ガラス基板等の被測定体の清浄度を高速に且つ簡便に測定する。
【解決手段】
ガラス基板等の被測定体１の表面に液滴１０をディスペンサ２により滴下する。被測定体１は、予めある程度の洗浄仕上げがされているため、滴下された液滴１０は時間の経過とともに円形に広がっていく。被測定体１の下部にはスケールであるスクリーン３が配置され、被測定体１の上部から光を供給すると、液滴１０の像がスクリーン３に投影される。スクリーン３にはＸ軸及びＹ軸からなる目盛Ｍが形成されており、当該目盛Ｍとスクリーン３に投影された液滴１０の像とに基づいて、被測定体１の清浄度を測定する。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハなどの被洗浄材を効果的に洗浄する。
【解決手段】 過硫酸溶液を洗浄液として被洗浄材を洗浄する洗浄装置１と、電解反応により溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して過硫酸溶液を再生する電解反応装置２０と、洗浄装置１と電解反応装置２０との間で溶液を循環させる循環ライン４、５、６、１０、１１と、溶液中のＳＳを除去するＳＳ捕捉フィルタ１３を備えるＳＳ除去装置１２とを有する。ＳＳ除去装置は、複数の洗浄槽の内、最初の洗浄順位の洗浄槽１ａの循環ライン１０に介設する。最初の洗浄順位の洗浄槽１ａは独立して洗浄液を循環可能とし、後側洗浄順位の洗浄槽１ｂ、１ｂは直列にして洗浄液を循環可能にする。過硫酸溶液を電解反応装置によって再生して洗浄に使用できる。また、システムで生成されるＳＳは、ＳＳ除去装置で効果的に除去される。 （もっと読む）

【課題】 界面活性剤による洗浄作用と、オゾンによる分解，殺菌作用を同時に得ることができる新規な洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 下記一般式で表される炭素間二重結合を持たない飽和脂肪族系界面活性剤の溶液に、オゾンを溶解させたオゾン含有洗浄液を用いて、界面活性剤による洗浄と、オゾンによる分解，殺菌を一工程で行う。
（Ｒ）_ｎ−Ｘ
（式中、Ｒは飽和炭化水素または飽和ハロゲン化炭素化合物からなる疎水性基、
ｎは１〜３の整数、Ｘは炭素間二重結合および芳香族基を持たないエーテル基、
水酸基、エステル基、カルボキシル基、スルホン基、アミノ基の内のいずれか１
つを有する親水性基化合物を表す。） （もっと読む）

【課題】洗浄（液処理）工数が大幅に削減でき、しかも、溶剤等の洗浄液（処理液）が少量で済み、さらには、作業環境の見地からも望ましい新規なミクロ体の洗浄（液処理）方法を提供すること。
【解決手段】 ビーズミル等で使用した被洗浄物であるビーズ（ミクロ体）を洗浄する方法。被洗浄物を、整流板２６を備えた洗浄槽１８に投入して、振動及び送気（エアレーション）により流動層（洗浄ゾーン）Ｆを形成するとともに、該流動層Ｆで溶剤等の洗浄液と接触させて洗浄（液処理）を行う。 （もっと読む）

【課題】強い衝撃が加わっても振動素子がシンクボールの底面裏側から離脱するおそれなく、振動に伴なう騒音が小さい超音波洗浄機能を有するシンクの提供。
【解決方法】シンクボール１１の底面に少なくとも１つ穿孔されたボルト孔と、シンクボール１１底面裏側のボルト孔開口部周辺に配設された多孔性シート２１と、上面が多孔性シート２１に接触し上面中央にナット２３が固着され、ナット２３上にワッシャーが設けられた振動素子２０と、シンクボール１１の内側から気密パッキングを介してシンクボール１１の底面に振動素子２０を１次固定する締結ボルト１５と、多孔性シート２１と振動素子２０をシンクボール１１の底面に２次固定する接着層５０と、シンクボール１１の外周面下部に周設された騒音吸収部材６０と、シンクボール１１の外側面を覆う防水・遮音カバーを含む超音波洗浄機能を有するシンクの構造。 （もっと読む）

【課題】２個の開閉扉を有し、いずれの開閉扉からも搬入・搬出が可能で、装置が小型かつ設置スペースを節約でき、スペース的・コスト的に簡素なシステムを構築でき、かつワークが大きい場合にも、ワークの搬入・搬出時に溶剤蒸気が大気中に飛散することがない炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供。
【解決手段】真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。両端の開閉扉 3上部に洗浄剤17の蒸気を吸入する排気フード 25、27を設けかつ各排気フード 25、27上端に排気ポンプである蒸気吸入装置28を配管29を介して接続した。 （もっと読む）

【課題】 油分、フラックスなどの異物が付着したり、バリが残っている被洗浄物を超音波によって効果的に洗浄、バリ取りなどを行うことを可能にする。
【解決手段】 洗浄液１０を収容して、該洗浄液１０に被洗浄物１１を浸漬して洗浄する洗浄槽１と、洗浄槽１内の洗浄液１０に超音波振動を与える超音波発生手段５、７と、洗浄液１０に時間とともに強さが変化する磁場を作用させる磁場発生手段２を備える。または、洗浄液１０を収容して、該洗浄液１０に被洗浄物１１を浸漬して洗浄する洗浄槽１と、洗浄槽１内の洗浄液１０に超音波振動を与える超音波発生手段５、７を備え、該超音波発生手段は、基本波と該基本波の４〜２０倍の周波数を有する高周波を合成した多重波からなる超音波を発生可能とする。 （もっと読む）

【課題】靴底に付着した油脂分の脱脂洗浄を、油脂分の分解作用を持つ化学洗浄液を用いて効果的に脱脂洗浄できる湿式靴底脱脂洗浄装置を得る。
【解決手段】電動機により駆動される駆動用ローラー、テンションローラー、により構成される無限軌道駆動機構上を回転する平ベルトの下方部に、油脂分解作用を持つ水溶性化学洗浄液の貯留容器を配置し、平ベルト上面部に洗浄液貯留容器内の洗浄液を補給すると同時に平ベルト上の付着物を洗浄するための機構として洗浄液容器より吸い上げて噴射する為の吸上げポンプ及び洗浄液噴射ノズルを持つ湿式靴底脱脂洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】製品を洗浄する方法において、大量の純水を精製して使用せずに、循環して高周波により殺菌すると共に加熱・冷却により、適宜の温度で効率良く、安価に、生菌による汚れがな製品を洗浄することを目的とする製品の洗浄方法を提供する。
【解決手段】
製品を洗浄する純水が循環して、加温冷却により所定の温度で製品を洗浄する方法であって、前記、循環する純水が高周波により殺菌して使用されることを特徴とする製品の洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】 農作物に付着した残留農薬を一般家庭や飲食店などにおいて、容易かつ確実に除去することができるようにした超音波洗浄流し台を提供する。
【解決手段】 底面に排水口１１が形成された一または二以上の貯水槽１０と、該貯水槽１０内に貯留された洗浄水を振動させる超音波発生手段２０と、前記貯水槽１０内に貯留された洗浄水に浸漬される蓋３１付きの容器３０とが備えられている。残留農薬が付着した農作物は、容器３０内に入れられ、貯水槽１０内に貯留された洗浄水に浸漬され、超音波発生手段２０が作動することによって洗浄される。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成でありながら、スライドガラス等の基板に適性かつ均一に試薬を展開可能にする。
【解決手段】試薬を展開すべき基板１００を収容支持する処理槽１１と、処理槽１１内で試薬を霧化する試薬霧化手段１２とを有し、霧化した試薬を処理槽１１内に行き渡らせることにより、基板表面１００に試薬を展開する。試薬霧化手段１２として、処理槽１１の底部に配設した１または複数の超音波振動子を有する。超音波振動子によって試薬を加振して霧化する。処理槽１１の内表面に撥水処理を施す。試薬霧化手段１２の配設部位周辺が概略すり鉢状に形成される。 （もっと読む）

【課題】ジェット式処理機械で紐状の繊維製品を洗浄する方法または装置において、生産コストが最低限に抑えられるように洗浄液消費量と洗浄時間を調節する。
【解決手段】エンドレスの紐製品４の形態の繊維製品がベンチュリ搬送ノズル６により容器１内で気体状の搬送媒体によって循環させられる。この洗浄は、紐製品の進行方向で見て搬送ノズルの前および／または内部および／または後で紐製品に塗布される洗浄液で行われる。このとき、単位時間あたりの洗浄液塗布および／または紐製品の循環速度が、繊維製品の製品固有のデータおよび／または機械固有のデータおよび／または方法固有のデータに依存して制御される。 （もっと読む）