【課題】構成を複雑化することなく安定かつ高精度な搬送性を得ることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台６３の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８と、ハンドとリニアガイドのスライダー６７ｂとの間を連結する連結部材８１とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第１の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第２の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。 （もっと読む）

【課題】ハンドの原点位置において多関節アームの姿勢を安定に保持する。
【解決手段】一端が基台６３の支持軸９１に支持され、他端が基板支持用のハンド６２に接続された多関節アーム６１と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド６６と、ハンドをリニアガイドのガイドレール６７ａに沿って移動させるベルト７６と、ベルトを駆動する駆動機構６８とを備え、多関節アーム６１の第１アーム７１Ａ，７１Ｂと第２アーム７２Ａ，７２Ｂがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸９１の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構１００を備える。ロック機構１００は、ロックバー１０１と保持アーム１０２の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー１０１は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト７６と同期して移動するとともに、保持アーム１０２との接触状態を維持する。 （もっと読む）

【課題】移動ロボットの運転時間が長い場合であっても、小さな容量の圧力タンクで対応することができる移動ロボット用粉塵除去機構を提供する。
【解決手段】粉塵除去用のエアーノズル４と、圧力タンク５と、移動ロボット１の駆動エネルギーを利用して駆動するエアーポンプ６と、エアーノズルと圧力タンクとの間に介設された弁装置８と、圧力タンク５内のエアー圧を検知する圧力センサー９とが備えられ、制御機構部１０により、圧力センサー９で検知されたエアー圧が所定の高圧圧力値に達したとき、弁装置８を開いてエアーノズル４から高圧エアーを吐出させ、吐出後、弁装置８を閉の待機状態に復帰させる制御が行われるようになされている。 （もっと読む）

受動型の動歩行を伴うエネルギー効率の良い二足歩行のロボットシステムは、枠を有する本体を含む。エネルギー回復機構は枠内に懸架される。エネルギー回復機構は荷重、荷重と枠とを相互接続する機械的エネルギー蓄積機構、及び荷重と枠に固定されたガイド手段を含む。機械的エネルギー入力機構は荷重と電気エネルギー発生機構とを相互接続する。出力手段は生成された電気エネルギーをエネルギー蓄積装置に移す。ロボットはまた本体部分に接続された脚を含む。受動型の動歩行中の周期的な脚の運動は、機械的エネルギー蓄積機構を通じて荷重に伝達され、結果として生じる荷重の振動運動は、機械的エネルギー入力機構によって電気エネルギー発生機構に移される。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータのパワーを高めることなく、前進方向への移動性能を向上させた脚式移動ロボットを提供すること。
【解決手段】本発明にかかる脚式移動ロボット１０は、脚部における複数の関節のそれぞれに設けられたアクチュエータを駆動して揺動軸回りに動作させることによって歩行動作を行うものである。複数の関節のうち、例えば、腰ロール関節４２の揺動軸を脚式移動ロボット１０の前方向から４５度に配置し、腰ピッチ関節４３の揺動軸を脚式移動ロボット１０の前方向から４５度に配置する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ロボットを分解するとなく移送でき、容易に設置できる多関節ロボットを提供する。
【解決手段】搬送物を載置するハンド部８と、前記ハンド部８と連結され、少なくとも２つ以上の回転関節３、４、５を備え、前記ハンド部８を１方向に移動するように伸縮し、軸方向に対向するように配置された多関節アーム２と、前記多関節アーム２と上下に移動するコラム１２に取り付けられた移動機構１１とを連結する支持部材１０と、前記移動機構１１に備えられた旋回機能を有する台座１３とからなる多関節ロボット１において、前記コラム１２は、複数のコラムブロック１６が連結されて形成されたものである。 （もっと読む）

加工システム（１０）が、産業用ロボット（１６）によって、移動するワークピース（１２）の加工を行い、産業用ロボット（１６）を、ワークピース（１２）及び／又は移動可能なワーク担持ユニット（１４）に一時的に固定結合させることができ、産業用ロボット（１６）は、非結合動作位置（４２）で、能動的に作用する駆動ユニット（２０）によってワークピースとは無関係に移動させることができる担持デバイス（１８）によって担持され、結合動作位置（４４）で、浮動軸受システム（２２）によって、担持デバイス（１８）に対して浮動に取り付けられ、さらに、産業用ロボット（１６）の制御ユニット（３６）及び／又は少なくとも１つの製造ユニット（４０）が、担持デバイス（１８）上に配置されることを特徴とする。
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【課題】安価でかつ出入口を限定することなく移動ロボット表面の埃を除去し移動先の環境汚染を防ぐことができる移動ロボットおよび移動ロボットの清掃方法を提供する。
【解決手段】振動発生装置４を備え、振動発生装置４によって移動ロボット１の外装を振動させ、外装２に付着した埃６を除去する。または、アーム１７は先端に把持部１８を備え、把持部１８によって清掃用具２０を把持して移動ロボット１の外装２に接触させ、外装２に付着した埃６を除去する。 （もっと読む）

【課題】押出し加工を利用しつつ、回転動作に適した形状の筐体を実現できるロボットを提供する。
【解決手段】スカラロボット１は、ベース２と、ベース２に対して第１軸Ａ１回りに回転可能な第１アーム３とを備え、ベース２の外形を構成する筐体８のうち第１軸Ａ１に沿う外周部１０は、第１軸Ａ１の軸方向への押出し加工により形成されている。 （もっと読む）

【課題】 大型の滅菌装置を用いることなく、効果的に滅菌可能なロボットを提供する。
【解決手段】 封止部１８８によって、清潔空間外１０７から清潔空間１０４内に汚染物質が侵入することを防ぐことができ、滅菌駆動部１２０を清潔空間１０４に配置し、動力伝達部１２１を清潔空間外１０７に配置することができる。滅菌駆動部１２０を動力伝達部１２１から分離させて、高温高圧滅菌することで、清潔空間１０４に属するロボット部分で雑菌が繁殖することを抑えて清潔空間１０４を清潔に保つことができる。また滅菌駆動部１２０を、動力伝達部１２１に対して分離することで、ロボット全体を滅菌する場合に比べて、小形の滅菌装置を用いて滅菌することができる。 （もっと読む）

【課題】無駄な機能を購入することなくネットワークを用いた簡単なシステムで多様な作業を行うことができる機能可変型ロボットシステムを提供する。
【解決手段】車輪を駆動して移動する自律移動型ロボット１０と、当該自律移動型ロボット１０に着脱自在に取り付けられ、所定の機能を実行する複数の機能モジュール２０と、自律移動型ロボット１０の移動を制御するパーソナルコンピュータと、複数の機能モジュール２０の制御プログラムを格納しているデータベースと、複数の機能モジュール２０の各々に付加され、当該機能モジュール２０固有の情報を格納している記憶手段２４と、自律移動型ロボット１０に搭載され、記憶手段２４に記憶されている当該固有情報を読み取り、当該機能モジュールを識別する識別手段１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】比較的重量物であるワークに対してもアームを肥大化させることなくコンパクト化を図ることができ、ワークの積み降ろしにかかるサイクルタイムを短縮することができる走行型ロボット装置及びその制御方法を提供すること。
【解決手段】複数のリンク機構（第一リンク機構１１・第二リンク機構１２）により水平方向に旋回可能及び伸縮可能に構成されるアーム７と、アーム７の先端部に設けられワークを支持するフォーク９（ワーク支持体）を支持するとともに昇降及び旋回させるロボットアーム２０（昇降旋回手段）とを有するロボット６を、走行台５上に備える走行型ロボット装置１であって、フォーク９と連結され、該フォーク９の、ロボットアーム２０による昇降動作、旋回動作及びアーム７の伸縮による水平方向の移動動作をアシストするアシスト手段３０を設けた。 （もっと読む）

【課題】薄型ガラス基板等を搬送する産業用ロボットにおいて、制御軸数を増やす事無く、安価な方法で、上下軸の姿勢変化によるガラス基板の角度変化量を最少にする産業用ロボットを提供。
【解決手段】基台０上の第１軸ａに回転移動する第１リンク 1・1と、基台０上に固定されたブラケット 0・1上の第２軸ｂにに回転自在に支持された第１補助リンク 1・2とが第１の平行４辺形を構成し、第１リンク 1・1先端部の第３軸ｃとに回転移動する第２リンク 2・1と、第１ヒンジ１上の第５軸ｅに回転自在に支持された第２補助リンク 2・2とが第２の平行４辺形を構成し、複数の平行四辺形リンクを直列に並べた形態で構成される上下軸において、１つ以上のリンク1・1、2・1 又は補助リンク1・2、2・2 の長さを意図的に短くし、又は、平行四辺形を成す１つの軸 a〜ｆの軸位置を意図的に変更した。 （もっと読む）

【課題】大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供する。また、作業場所の省スペース化に資する多関節型ロボットを提供する。
【解決手段】多関節型ロボット１に、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード等する方向とはほぼ直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード等する方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を設け、基台側リンク部４の長さは、アーム部側リンク部５の長さよりも長く形成され、リンク機構３の基台２は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されている。 （もっと読む）

【課題】線状柔軟リンクの巻き取りとロボットアームの振りを協調的に行わせることにより、装置を大型化することなく把持部材に大きな瞬発力を与え、把持部材が床を引きずられることなく物体を移動させる方法及び装置を提供すること、ならびにリンクの剛性を可変にできる機構を提供する。
【解決手段】線状柔軟リンクの引っ張り動作と線状柔軟リンクの巻き取り動作を協調して行うことにより、線状柔軟リンクの先端の把持部材に把握された物体を移動させる。また、ロボット本体に設置された駆動関節に剛体アームを装着し、該剛体アームには線状柔軟リンクの巻き取り手段及び案内手段を設け、剛体アームの揺動と線状柔軟リンクの巻き取りとを協調して行う制御手段を設ける。 （もっと読む）

【課題】ロボット内部への液体の浸入を防ぐとともに、アームの位置決めを安定的にすることができ、さらに交換が簡単なロボットの防水機構を提供する。
【解決手段】ロボットのアーム１１６を支持するシャフト軸１１１とフランジ１１４との隙間から侵入する液体を防止する防水機構１として、フランジ１１４から突出した部分のシャフト軸１１１を、軸受１３を介して回転可能に支持するハウジング部材１２と、ハウジング部材１２に一端面が固定され、他端面がフランジ１１４に固定され、上下に伸縮可能なジャバラ８と、からなる構成とした。 （もっと読む）

【課題】液晶などの搬送ロボットにおいて、剛性を向上させた上下機構を提供することよって、ロボットの倒れを防止できるようにする。また、剛性を向上させることにより、上下機構の加減速時間を短縮することで、ロボットのサイクルタイムを減少させる
【解決手段】上下機構には、水平方向に延在するベースアームと、その両端部に鉛直方向に立設された２本の上下軸アームと、２本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段と、からなる複数の上下軸スライダ１７、１８、１９を設けると共に、複数の上下軸スライダは、各々のベースアームの両端部が、他の上下軸スライダの上下案内手段に順次接続され、ベースアームには、前記２本の上下軸アームの各々に設けられた上下案内手段を駆動する駆動手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】死点通過を円滑に行いながら、第２アームの過拘束を防ぐ。
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置１０は、第１アーム１１と第２アーム２１とが互いに平行となる死点位置を通過する時のみ、第２アーム２１に対して回転力を付与する死点脱出機構１５を備えている。死点脱出機構１５は、第１アーム１１を回転させる回動軸１の周りに設置された固定ギヤ１６と、この固定ギヤ１６に係合する第１回転ギヤ１７と、この第１回転ギヤ１７の回転力をリンク１９を介して伝達される第２回転ギヤ１８と、第２アーム２１が死点位置を通過する時のみ第２回転ギヤ１８と係合し第２アーム２１に軸トルクを付与する係合ギヤ２０とを備えている。この構成により、死点通過を円滑に行いながら、第２アーム２１の過拘束を防止して基板の安定した直進性と搬送精度の向上を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】プーリ軸の剛性とプーリの取付強度を高め、アームの動作安定性を格段に向上できるようにした産業用ロボットのアーム機構を提供する。
【解決手段】産業用ロボットのアーム機構２０を支持する固定部２１と、固定部２０に一端部が回動自在に連結された第１のアーム２２と、この第１アーム２２の他端部に回動自在に連結され、第１アームと同一のアーム長を有する第２のアーム２３と、駆動モータの回転を前記第１アームに減速して伝達する減速機２４と、第２アーム２３の先端部が直線上を運動するように第１アーム２２に連動させて第２アーム２３を回動させる倍速伝達機構と、を備えたアーム機構２０において、倍速伝達機構の駆動側の回転伝動要素３０を、固定部２０と一体でかつ減速機２５を内包する中空構造部３３に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】平行リンク機構の平行度の調整を簡易迅速に行え、ロボットの運用を容易に行えるようにする。
【解決手段】固定ベース２３に回動自在に支持された第１のレグ２４と、第１レグ２４に回動自在に支持された第２レグ２５と、第２レグ２５の先端部に回動自在取り付けられ、ロボットのアーム機構２２を支持するアームベース２６と、第１レグ２４、第２レグ２５にそれぞれ平行で、かつ、第１レグ２４、第２レグ２５、アームベース２６とともに平行リンク機構を構成する第１および第２リンク部材２７、２８と、第１レグ２４と平行な第１リンク部材２７を固定ベース２３に回動自在に連結する第１リンク連結部３０と、第２レグ２５と平行な第２リンク部材２８をアームベース２６に回動自在に連結する第２リンク連結部３１と、を備え、第１リンク連結部３０の取付位置を可動に構成する。 （もっと読む）