【課題】製箔ローラ表面の凹凸を簡易に、かつ高い精度で検出し補修する製箔ローラ検査装置を提供する。
【解決手段】製箔ローラ検査装置は製箔ローラの表面に接触し研磨剤で研磨する研磨ローラと、研磨ローラに研磨材を供給する研磨材供給手段からなる研磨手段と、製箔ローラの表面を洗浄する洗浄手段と、製箔ローラの表面の凹凸を検査する検査手段と、検査結果に従い製箔ローラの表面研磨の要否を判断する制御手段と、研磨手段、洗浄手段、および検査手段を一体化した検査研磨機構を製箔ローラに対して接離方向に移動可能に支持し、製箔ローラに接近し表面の凹凸検査および表面の研磨を行う検査補修位置と、製箔ローラから離れて製箔工程への干渉を避ける退避位置との間を移動させる移動手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】製造プロセス中のウエハの反りを防止する。
【解決手段】基板処理装置は、ウエハにおける、サポートプレートが貼り付けられている面とは反対側の被支持面の内周部を支持する支持ピンにより支持された積層体を減圧環境下において搬送する搬送ユニット２０とを備え、製造プロセス中のウエハの反りを防止することを可能とした。 （もっと読む）

【課題】端面研磨工程における加工精度、生産性を高め、取り扱いが容易であり、さらに、ガラス基板積層体を解体することなく、外周端面研磨、内周端面研磨を行うことが可能なガラス基板積層治具を提供することを目的とする。
【解決手段】中心部に円孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板を積層したガラス基板積層体の外周端面研磨及び／又は内周端面研磨に用いるガラス基板積層治具であって、前記磁気記録媒体用ガラス基板の円孔に挿入され、前記ガラス基板積層体の内周端面を支持し、前記磁気記録媒体用ガラス基板の位置合わせをするシャフトを有しており、前記シャフトは、シャフトの両端にクランプボルトを嵌合可能なクランプボルト嵌合部と、シャフトの周囲にガラス基板積層体を支持する軸止部と、を備えることを特徴とするガラス基板積層治具及びそれを用いた磁気記録媒体用ガラス基板の端面研磨方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】工作物の研削部位の正確なたわみを研削中に測定し、これと研削抵抗を用いて正確な研削位置剛性を測定できる剛性測定方法および研削盤を提供する。
【解決手段】研削作用位置から回転方向に１８０度未満に位置する加工部の表面の位置である測定開始位置Ａを含む直径である開始位置直径Ｄ_０を測定する。測定開始位置Ａが工作物Ｗの回転軸心Ｏに関して研削作用位置と対向する位置に到達した時に、測定開始位置Ａに対する工作物の両軸端部における回転中心を結ぶ直線の距離である表面距離Ｌと、この時作用している法線研削抵抗力Ｒを同時に測定する。開始位置直径Ｄ_０を測定してから工作物Ｗが１８０度回転した時の測定開始位置Ａを含む直径である終了位置直径Ｄ_２を測定する。工作物Ｗの研削作用位置における剛性である研削位置剛性ｋを式ｋ＝Ｒ／（Ｌ−（Ｄ_０＋Ｄ_２）／４）を用いて演算する。 （もっと読む）

【課題】管状弾性体を高い振れ精度となるように研磨できる管状弾性体の研磨方法、振れ精度が高い弾性層を有する弾性ローラ及びこの弾性ローラの製造方法を提供すること。
【解決手段】軸体７１の外周面に配置された管状弾性体７を研磨する方法であって軸体７１の端面から１０ｍｍ以内であって管状弾性体７１ｃの端面から突出する軸体７１の軸線長さに対して８〜２１％の軸線長さの円筒状外周面１７ｃをコレットチャック３で把持する工程と管状弾性体７を相対的に回転させる工程とコレットチャック３の周辺環境を調整することなく管状弾性体７の外周面を砥石４で研磨する工程とを有する管状弾性体７の研磨方法、軸体７１の外周面に管状弾性体７を配置してローラ原体６を作製する工程と管状弾性体７の研磨方法で管状弾性体７を研磨する工程とを有する弾性ローラの製造方法、並びに、この製造方法で製造された振れ精度が０．１０ｍｍ以下の弾性ローラ。 （もっと読む）

【課題】１つの偏芯部を有する偏芯ワークにおいて、研削盤の加工中心（スピンドル軸の軸芯）と前記偏芯部の中心とを正確に一致させる高速自動芯出し方法を提供する。
【解決手段】測定装置Ｄにより測定された偏芯ワークＷ₁の偏芯部Ｂの中心位置Ｃ₂と研削盤の加工中心Ｃ₀との上下方向のずれ量をｄとすると共に、前記偏芯部Ｂの中心Ｃ₂と加工中心Ｃ₀を一致させるために、前記偏芯ワークＷ₁の軸部Ａを回転させる位相回転角度をθとした場合に、（ｓｉｎθ＝ｄ／ｅ）が成立する位相回転角度θを演算するための演算装置を備え、ワーク回転装置は、偏芯ワークＷ₁の軸部Ａを把持するクランプ具がエンコーダ付のサーボモータで回転される構成であり、前記エンコーダにより割り出された前記位相回転角度θだけ、前記ワーク回転装置により偏芯ワークＷ₁の軸部Ａを一挙に回転させて芯出しを行う。 （もっと読む）

【課題】安定した加工状態を得ることが可能な超仕上げ加工方法および超仕上げ加工装置を提供する。
【解決手段】回転する工作物９に砥石台４に支持した砥石１０を揺動させながら押し当てる超仕上げ加工装置の砥石台４に、回転する工作物９の接線方向の分力Ｑを検出する主分力センサ６ａ、押し当て方向の分力Ｐを検出する背分力センサ６ｂ、砥石１０の揺動方向の分力Ｒを検出する揺動荷重センサ６ｃ、砥石１０の押し当て方向の移動量を検出する移動量センサ７、工作物９の寸法減少量を検出するインプロセスゲージ８を設ける。そして、「粗」→「仕上げ」に応じて変化するセンサ６ａ、６ｂの出力に基づき加工状態を判定し、加工条件（回転数、揺動数、押し付け力）を変化させて加工効率を改善する。また、前記センサ６ａ、６ｂ、移動量センサ７とインプロセスゲージ８の出力を用いて研削異常を検出し砥石の不具合への対処を行うことにより、安定した加工状態を得ることができるようにする。 （もっと読む）

【課題】 倣いローラによる表面のすれを抑制することができる研磨装置を提供する。
【解決手段】 基準となる一直線上に軸が位置決めされた状態で軸周りに回転している金属管の外表面の一部に研磨部材を接触させるとともにこの研磨部材が接触する箇所と反対側の金属管の箇所を倣いローラに接触させてこの研磨を行う箇所の金属管の軸を一直線上に保持させながらこの研磨部材を金属管の軸方向に移動させて金属管の外表面の研磨を行う。倣いローラが、一直線に平行な軸周りに回転可能に支持され、この倣いローラを揺動可能に支持する揺動部を設ける。 （もっと読む）

【課題】円筒状サファイアインゴットブロックの外周面を円筒研削加工する際、研削屑の発生量を減少させたい。
【解決手段】 オートローダー機器１３でワークをクランプ装置７ａ，７ｂに自動クランプさせる際、一旦ワークをクランプさせた後、クランプされたワークの外周面高さを高さ測定機器ＨＳで測定し、最大高さ（Ｈ_ｈ）と最小高さ（Ｈ_ｍ）の差の半分の値（Ｈ_ｈ−Ｈ_ｍ）／２だけワークのＣ軸心位置を移動させる再クランプを行った後にカップホイール型砥石１０ｇを用いてワークのインフィード円筒研削加工を開始する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板積層体の外周端面に研磨ブラシを押し当ててもたわまず、均一にガラス基板積層体の外周端面を研磨できる支持治具を提供すること。
【解決手段】中心部に円形孔を有する円盤形状の磁気記録媒体用ガラス基板を、複数枚支持する支持治具であって、前記支持治具は、前記円形孔に挿入されて複数枚の前記磁気記録媒体用ガラス基板の位置を合わせる支持軸を有し、前記支持軸は、ヤング率が１５０ＧＰａ以上である、支持治具。 （もっと読む）

【課題】ワークに形状不良および砥石焼けが発生することを抑制でき、ワークの加工精度を安定させることが可能な円筒研削加工方法、および円筒研削加工装置を提供する。
【解決手段】円筒研削加工装置１０を用いて行われる、ワーク１を研削加工する方法であって、ワーク１の研削加工を行っている場合で、クーラント量測定手段１４の測定値が所定の下限クーラント閾値Ｑ１より小さい値になるときには、クーラント量変更手段１３によりクーラント供給手段からのクーラント供給量を増加させ、クーラント量測定手段１４の測定値が所定の上限クーラント閾値Ｑ２より大きい値になるときには、クーラント量変更手段１３により前記クーラント供給手段からのクーラント供給量を減少させ、たわみ量測定手段１６の測定値が所定のたわみ閾値ｘ１より大きい値になるときには、砥石送り手段により砥石１１の送り速度を減少させる。 （もっと読む）

【課題】切削抵抗もしくは研削抵抗などの加工負荷に起因する工具の撓みを解消し、高精度加工を行うことができる高精度加工装置を提供する。
【解決手段】円柱形状の加工面を有し加工面を回転軸２４にて回転する工具４を備え、ワーク１に工具４の円柱形状の加工面を回転させながら当接させて加工を行う高精度加工装置において、ワーク１に対して工具４の回転軸２４を水平方向に旋回する旋回駆動モータ５と、旋回駆動モータ５の非加工時の出力値および加工時の出力値を取得するトルクセンサ１７、旋回駆動モータ５の非加工時の出力値と加工時の出力値とから工具４の回転軸２４に対する撓み量を算出して、撓み量を解消するための旋回の旋回量を決定する演算部１４と、工具４の回転軸２４が旋回の旋回量と成るように旋回駆動モータ５を制御する制御部１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】砥石車の砥石基準点の位置に対する実際の旋回中心点の位置を高精度に測定することができる砥石旋回中心測定方法および砥石旋回中心測定装置を提供する。
【解決手段】砥石車４２を第１〜第４旋回角度位置に位置決めし、４つのプレート基準点Ｐ０と制御上の旋回中心点Ｃｃとの位置関係を求める。そして、４つの位置関係およびマスタプレート２４の既知の寸法等から、幾何学的に砥石車４２の砥石基準点Ｐｇと実際の旋回中心点Ｃｒとの位置関係を演算する。この方法によれば、砥石台４０を旋回させて砥石車４２のＲ形状を成形するツルーイングの砥石形状精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】閾値をより適切に設定することにより、工作物に加工変質層が発生した場合でも研削異常の判定精度を向上することができる研削異常監視方法および研削異常監視装置を提供する。
【解決手段】工作物Ｗを研削したときの研削負荷が変化すると工作物Ｗの加工変質層の厚さが変化する関係に基づいて、研削送り位置に対する研削負荷についての閾値を設定する。これにより、工作物Ｗに加工変質層が発生した場合でも、その後の研削により加工変質層を取り除くことが可能となり、研削異常の判定精度を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】移動可能なキャリッジとリニアガイドを備えた装置を提供する。
【解決手段】装置は、移動可能なキャリッジと、該キャリッジを案内するためのリニアガイドであって、第１滑り面を形成する第１案内経路部と、第２滑り面を形成する第２案内経路部とからなる。第１滑り面を形成するために、キャリッジは、少なくとも１つのポケットを有し、このポケットが、第１案内経路部に沿って滑ることができ、キャリッジに作用する軽減力を作り出すために潤滑剤がポケットに圧力下で保持されている。第２案内経路部は、キャリッジに作用する摩擦力を生じる島状面を有し、軽減力を作り出すために少なくとも１つのポケットに圧力媒体が保持される時に、第１滑り面が第２滑り面の荷重を軽減するように配置される。 （もっと読む）

【課題】研削動力の目標電力を設定し、目標電力に実削電力が極力追従するように送り速度を演算して制御することにより、品質を安定させ、生産性を上げる。
【解決手段】ワーク切込台１と、ワーク切込台に目標電力に基づく送り速度Ｖで切込送りを与える切込モータ２と、研削砥石６を回転させる駆動モータ７と、該駆動モータでの実削電力を検出する電力検出部８と、電力検出部で検出された実削電力の変化量に基づいて補正係数を求め、その補正係数を、目標電力に基づいて予め設定された設定送り速度に掛けて送り速度指令値を演算する送り速度指令値演算部５と、送り速度指令値に基づいて送り速度をフィードバック制御する切込台制御部３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】円筒研削盤等の工作機械は、経年劣化により芯ずれを起こす場合があり、これが加工精度の低下の原因となることがある。
【解決手段】柱状の構造物又はその構造を有する物と嵌合するための穴６ａ，６ｂと球面状の背面を有する第一の嵌合手段１ａ，１ｂと、当該嵌合手段を軸受けするための軸受手段２ａ，２ｂと、当該軸受手段を格納するための溝と柱状の構造物又はその構造を有する物と嵌合するための穴７を有する第二の嵌合手段４と、当該軸受手段を当該第二の嵌合手段内の特定の位置に固定するための固定手段３ａ，３ｂにより構成された物を芯ずれを起こしている箇所に適用する。 （もっと読む）

【課題】 工作物回転治具が、工作物の焼入れ後にも使用でき、工作物に傷を付けることがなく、また工作物の形状が限定されず、加工の自動化が可能な工作機械を提供する。
【解決手段】 主軸２１と芯押軸とで支持される工作物３０に主軸２１の回転を伝達する工作物回転治具１を設ける。この治具１は、治具本体２と、複数の摩擦接触部材３と、複数の接触部材付勢手段４とを備える。治具本体２は、主軸２１の先端に同軸状に着脱可能に取付けられ、工作物３０の端面に形成されたセンタ孔３１に係合するセンタピース５を先端面の中心に有する。摩擦接触部材３は、治具本体２の軸心周りに配置されて、工作物３０の端面に当接可能となるように軸方向に進退自在とされる。各摩擦接触部材３は、個々に設け接触部材付勢手段４により付勢する。 （もっと読む）

【課題】ワークの芯出しを極めて短時間に行なうことができるようにしたチャック装置を提供する。
【解決手段】円筒部２の開口端部内にマグネットチャック３を取り付ける。マグネットチャック３に吸着支持される円筒状ワークＷの内径面を挟持する内径挟持アーム８およびワークＷの外径面を挟持する外径挟持アーム９を有し、後端部において一体化された複数のチャックアーム７を、周方向に間隔をおいて設け、それぞれの後端部を揺動自在に支持する。主軸１の軸心上にバー挿入孔５を形成し、ドローバー６の前後動によりリンク機構１１を介して半径方向に揺動させ、半径方向内方への揺動時に外径挟持アーム９でワークＷの外径面を挟持してワークＷを芯出し、また、半径方向外方への揺動時に内径挟持アーム８でワークＷの内径面を挟持してワークＷを芯出し、チャックアーム７の挟持力とマグネットチャック３の吸着力とによって、ワークＷの固定時の安定化を図る。 （もっと読む）