【課題】 半導体集積回路の形成に用いるフォトマスクの加工修正など、ごく微小な加工に使用される微小加工装置用プローブおよび微小加工装置を提供する
【解決手段】 カンチレバー２２と、カンチレバー姿勢維持機構３０と、カンチレバー２２および前記カンチレバー姿勢維持機構３０に設けられた接触検知機構１０と、カンチレバー２２の基端部を先端部が自由端となるように片持ち状態で固定する本体部２３と、を備え、カンチレバー２２の先端には、尖鋭化された探針部２１がカンチレバー２２上から突出して設けられている微小加工装置用プローブとした。 （もっと読む）

【課題】製造工程を短縮化することができる電鋳品及びその製造方法を提供する。
【解決手段】マスター金型１１の表面に、電気めっきを施してマスター金型１１と逆パターン形状の電鋳層２を形成し、その電鋳層２をマスター金型１１から離型して電鋳品を製造する製造方法において、マスター金型１１に少なくとも導電性材料を有する補強枠３を接触させて、その状態でマスター金型１１と補強枠３とに電気めっきを施して補強枠３と一体化された電鋳層２を形成し、一体化された電鋳層２と補強枠３とをマスター金型１１から離型して電鋳品１を製造する。 （もっと読む）

【課題】無痛で皮膚下に穿刺可能とするとともに、効果的な医薬物供与を広範囲に渡って高効率に行うことができる医薬物運搬用器具の提供。
【解決手段】基部と、その表面に凸部を有する医薬物運搬用器具であって、前記凸部が、前記基部に対して略垂直な第１の角度で立設された柱部と、該柱部上に前記第１の角度よりも小さい第２の角度で連設された略四角錐状をなす先端部とから形成されていることを特徴とする医薬物運搬用器具。 （もっと読む）

【課題】被加工面の接触による表面欠陥を抑制でき、またマスク基板の変形を抑え、微細パターンを高精度に加工することができ、かつ生産性の良いマスク基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】加工対象の基板の加工部分以外の部分を保護するためのシリコンを材料とするマスク基板１であって、加工対象の基板と接する面側には、異方性ドライエッチングにより、加工部分の形状に対応させた形状に形成された接面側開口部２と、この接面側開口部と独立に設けられ、加工部分以外の所定の部位と接触させないように形成された凹部４とを備え、加工対象の基板と接する面と反対側の面側には、異方性ウェットエッチングにより所定の結晶面方位に沿って残されたシリコンにより壁面が形成され、接面側開口部と連通する外面側開口部３を備え、接面側開口部２の側壁厚さａを凹部４の深さｂよりも厚く形成する。 （もっと読む）

本発明は、ＤＲＩＥプロセスおよびＬＩＧＡプロセスを組み合わせた、シリコン／金属複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）を製造する方法に関する。
さらに、本発明は、一部（５３）がシリコンから作製され、別の一部（４１）が金属から作製されて、複合体マイクロメカニカル構成要素（５１）が形成される、層を備えるマイクロメカニカル構成要素（５１）に関する。
本発明は、時計ムーブメントの分野に関する。
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【課題】生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定したマイクロアレイを大量に製造するために必要な、微小針母型を精度良く作製すること。
【解決手段】所望の微小針に対応する貫通孔を有するＳｉ平板にＵＶ硬化樹脂を充填しＵＶ照射後、整形してパイレックスガラス基板上の固定する。そして、Ｓｉ平板を溶解除去して精度の良好なＵＶ硬化樹脂製の微小針母型を作製する方法である。更には、得られた母型の耐久性を改善するために、金属メッキ等で被覆し、ＵＶ硬化樹脂製の微小針母型の耐空性を強化した。 （もっと読む）

【課題】作用部と固定電極との接触面積を可及的に大きくすることを可能にする。
【解決手段】基板１と、基板上に設けられた支持部２と、基板上に設けられた固定電極１１と、第１の電極４と、第１の電極上に形成された圧電膜５と、圧電膜上に形成された第２の電極６とを有し、一端が支持部を介して基板上に固定され、他端が固定電極に対向するように配置されて作用部１０となるアクチュエータ３と、を備え、作用部は、第１の電極、圧電膜、および第２の電極を貫通する複数のスリットによって複数の電極部に分割され、各電極部は少なくとも一部が隣接する電極部の一部に連結され、各電極部は個別に曲げ変形を生じることが可能である。 （もっと読む）

【課題】 駆動時でも可動部の平坦性を維持した揺動体装置を提供することである。
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と、可動部と、可動部を支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、可動部を振動させる駆動手段とを有する。可動部は、単結晶シリコンで形成され、可動部の主面の結晶面は（１１０）面であって、可動部の主面と平行で、且つねじり軸と垂直な方向の結晶方位が［１１１］方位である。 （もっと読む）

【課題】
微細加工をするためのＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）の機能を利用した加工法に使用する加工用カンチレバーについて、加工抵抗によってプローブの姿勢が変化しない加工用カンチレバーを実現し、これによって、高精度な微細形状の形成を可能とすること。
【解決手段】
工作物を加工するためのプローブが固定されていて、弾性変形することによって工作物に荷重を負荷するためのレバー部を有する加工用カンチレバーについて、そのレバー部の支持部を複数設け、そのレバー部の重心位置にプローブを配置したこと。 （もっと読む）

【課題】ヒンジ等で支持されない板状のミラー部材を、静電引力により、支点部材を支点として傾斜変位させるタイプの光偏向装置の駆動電圧を低電圧化する。
【解決手段】板状部材（ミラー部材）１０４の基板１０１の面方向への移動範囲を規制するために設けられる規制部材１０２の基板近傍部分を順テーパ形状とする。このようにすると、規制部材の表面が基板面に対し垂直の場合に比べ、板状部材を最大傾斜角度に傾斜した状態から別の方向へ変位させる動作の初期において、板状部材と規制部材との接触によって発生する板状部材の変位を妨げる力を減らし、あるいは、変位を促進させる向きの力を発生させることができる。 （もっと読む）

【課題】高度のアライメント精度を必要とすることなく、接点間の容量結合成分を可能な限り小さくすることにより、アイソレーション特性が高く、容易に製造可能なマイクロリレーを提供する。
【解決手段】可動電極を備えた可動基板と、
前記可動基板に対向して配置され、かつ固定電極を備えた固定基板とからなり、
前記可動基板の一部は前記固定基板に接合され、かつ弾性的に支持されており、
前記可動基板の前記固定基板に対向する側に可動接点が配置されており、
前記固定基板の前記可動基板に対向する側に、その端部が固定接点である一対の信号線が前記端部を対向させるように配置されており、
前記可動接点と前記固定接点が接離可能であるマイクロリレーにおいて、
少なくとも一方の固定接点において、前記可動接点と前記固定接点が当接する箇所の少なくとも一部に凹部を設けていることを特徴とするマイクロリレー。 （もっと読む）

【課題】極めて小型で、例えば数十ｋＨｚ帯の共振周波数を得ることができる圧電振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係る圧電振動子１００は，基板２、基板の上方に形成された絶縁層３、および絶縁層の上方に形成された半導体層４を有する基体１と、半導体層の一部からなる支持部４０と、半導体層の一部からなり、一端を支持部に固定し他端を自由にした１本の振動部１０と、振動部の上方に形成され、振動部の屈曲振動を生成する駆動部２０と、を含み、駆動部は、第１電極２２と、第１電極の上方に形成された圧電体層２４と、圧電体層の上方に形成された第２電極２６と，を有する。 （もっと読む）

【課題】効率の向上したマイクロモータを得る一方、モジュールの製造のために必要なシリコンの面積を最適化する。
【解決手段】本発明は、結晶またはアモルファス材料、詳細にはシリコン基の材料からなる板中に作製されるＭＥＭＳマイクロモータであって、基板を構成する下層と、円筒形状の軸（６４）を中心にロータを回転駆動する少なくとも１つのアクチュエータおよびロータがエッチングされた上層と、を備えるＭＥＭＳマイクロモータにおいて、軸（６４）は板に接続され、軸（６４）は板の孔を通って軸方向に延び、軸（６４）は、基板中にエッチングされてかつ孔の周上に配置された固定用の弾性構造体により、孔に心出しされて締付けられることを特徴とするＭＥＭＳマイクロモータを、提案する。 （もっと読む）

【課題】反応物質を気密カプセル化するためのマイクロコンテナを提供すること。
【解決手段】原子時計などの超小型電気機械システムのためのマイクロコンテナデバイスが提供される。マイクロコンテナデバイスは、基板と、該基板内に、上縁を有する側壁によって画定された空洞とを備えている。空洞は、ルビジウムまたはセシウムなどの反応物質を保持するように構成されている。下部表面を有する蓋は、空洞を覆って密閉するように構成されている。側壁の上縁の外側の周囲の周りに第１の気密材料が配置され、蓋の下部表面の周囲の周りに第２の気密材料が配置されている。側壁の上縁の内側の周囲の周りに、反応物質と化学的に適合する封止材料が、第１の気密材料に隣接して配置されている。 （もっと読む）

【課題】２次デバイスの露出を制御するためのマイクロチップデバイスを提供すること。
【解決手段】基板を含むマイクロチップデバイスが提供される。上記基板は、複数のリザーバを有する。上記複数のリザーバは、２次デバイス、反応性成分、またはこれらの組み合わせを含む。少なくとも１つのバリア層が各リザーバを被覆して、上記リザーバの外部にある１つ以上の環境成分から上記リザーバの内容物を保護する。上記バリア層は、選択的に分解させるかまたは浸透性にすることが可能であり、これにより、上記分離された内容物を上記１つ以上の環境成分に露出させる。上記２次デバイスは好適には、センサまたは感知コンポーネント（例えば、バイオセンサまたは光検出もしくは画像生成デバイス（例えば、光ファイバ））を含む。好適な反応性成分としては触媒および試薬があり、上記触媒および上記試薬は、上記リザーバ内部に固定化することが可能である。 （もっと読む）

能動流体デバイス（４）を含む第一の層（１）、デバイス（４）を流体源および／または出口および／または他のデバイスに連結するための１つの相互連結流路（６）を含む第二の層（３）、およびデバイス（４）と相互連結流路（６）間の流体通路を定める少なくとも１つのビア（５）を定める中間層（２）を含むマイクロ流体構造であって、ここでデバイス（４）および相互連結通路（６）を通る流路が概して平行である。
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【課題】熱管理のための流体ポンプ
【解決手段】熱発生デバイスは、流体ポンプに流体的に結合される熱交換器に接触させて配置される。流体ポンプは、熱交換器と熱が放散される箇所との間の閉じた流体システムを通して流体をポンプ作用で注入するように作動する。一態様では、アクチュエータは、ポンプの壁を通過せずに流体をポンプ作用で注入するように作用する。一態様では、ポンピング要素としてインピーダンスポンプを使用する。 （もっと読む）

【課題】 運動発生機構を構成する構成要素の構造を単純化する。
【解決手段】本発明は、ウエハ（１１）におけるエッチングによって形成された駆動装置に関するものであり、駆動装置は被動要素と順次噛み合うのに適した駆動要素（２５０）および被動要素を駆動するためにヒステリシス運動によって駆動要素（２５０）を移動させるのに適した作動要素を含み、駆動要素（２５０、２７０）がウエハ（１１）の外縁に配置されていることで駆動要素と向かい合って配置された被動要素との噛み合いを可能にすることを特徴とする駆動装置。本発明はかかる駆動装置および駆動装置によって回転駆動されるのに適した入力車を含む時計機構にも関するものである。 （もっと読む）

共振ＭＥＭＳ走査システムは、その共振周波数でＭＥＭＳスキャナを動作させて、走査角を最大限にし、かつ消費電力を最小限にする。コントローラは、位相ロックループ、振幅サーボ制御ループ、および共振周波数サーボ制御ループを含む。マイクロプロセッサは、ループを制御し、起動のような状態の間オーバーライドを提供する。共振周波数は動的かつ熱的に調整されて、デバイスがより高いＱ値で操作されることが可能になる。位相ロックループはプレロック条件で動作して、より速い起動が可能になる。アイドルおよび起動の間、共振周波数は制御された開ループである。駆動電圧は、起動の間は高く設定されて、走査角の急速な増加が達成される。
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