【課題】基板汚染の原因となるパーティクルを発生させることなく、基板を安定して搬送できるようにする。
【解決手段】基板Ｗを支持するローラ部１８１と、回転軸１８２と、回転軸１８２の一方端側に設けられた第１磁気部材１１とを有する複数の搬送ローラ１８と、各搬送ローラ１８の回転軸１８２の他方端側を回転自在に支持する第１支持部１０１と、第１磁気部材１１に対向する位置に第１磁気部材１１と同一極性の第２磁気部材１３が設けられ、基板搬送方向に直交する方向における基板の中央寄りに配置された各搬送ローラ１８の回転軸１８２の前記一方端側を、第１磁気部材１１と第２磁気部材１３との間の反発力により軸支する第２支持部１０２と、駆動モータとを備え、搬送ローラ１８は第１支持部１０１及び第２支持部１０２に支持され、隣り合う搬送ローラ１８と一定間隔を空けて配置される。 （もっと読む）

【課題】簡単かつコンパクトに構成でき、被搬送物を徐々に減速して確実に搬送できるコンベア設備を提供する。
【解決手段】傾斜ローラコンベア２１を、ローラ２５に対して駆動ベルト４０を当接させるベルト駆動形式に構成するとともに、搬送方向において複数に分割し、これら分割コンベア部２１Ａ，２１Ｂを、下流側ほど低速として駆動するように構成した。各分割コンベア部では、駆動ベルトによりローラ群を所定の回転速度で駆動回転させることで、それぞれの搬送速度によって被搬送物を駆動搬送可能にできる。簡単かつコンパクトに構成できるものでありながら、傾斜ローラコンベアでの被搬送物の駆動搬送は、被搬送物の形状や重量などに関係なく、常に所定の速度で衝突させることなく、かつ段階的に減速させて確実に行えるとともに、高速で搬入された被搬送物を所定の速度に徐々に減速でき、以て傾斜ローラコンベアでの被搬送物の駆動搬送を、衝撃を少なくして円滑にかつ損傷させることなく行える。 （もっと読む）

【課題】被搬送物の種類、形状に関係なく、所期のカーブ搬送を常に円滑に行えるカーブコンベア装置を提供する。
【解決手段】円弧状フレーム２２，２３における円弧方向Ｂの複数箇所に、その長さ方向Ｃを円弧中心Ｄに向けた状態としてローラ３１を配設してカーブ経路２０Ａを形成したカーブコンベア装置２０である。各箇所のローラ３１を、長さ方向Ｃにおいて短尺ローラ部３１Ａと長尺ローラ部３１Ｂとに分割した。短尺ローラ部３１Ａと長尺ローラ部３１Ｂの間に生じる隙間部３１Ｃの位置を、カーブ経路２０Ａの方向において不揃いとしてローラ３１群を配設した。カーブコンベア装置での搬送の際に、被搬送物の下部が、ローラにおける隙間部に対向したとき、別のローラでは隙間部が対向していないことで、隙間部に対向している下部が、この隙間部に落ち込むことを防止できる。被搬送物の種類、形状に関係なく、所期のカーブ搬送を常に円滑に行え、振動や大きな音（騒音）の発生を防止できる。 （もっと読む）

【課題】下面が平坦面でなく凹凸がある被搬送物を、滞留させることなく確実に水平搬送することのできる被搬送物の水平搬送方法および水平搬送装置を提供する。
【解決手段】下面１２ａに少なくとも１つの凸部を形成しかつ剛性のある被搬送物１２の前記下面１２ａを接触支持して摩擦力により被搬送物１２を水平搬送する搬送表面１０を持った回転駆動軸５を多数平行に配置する。水平搬送途中で被搬送物１２の下面の凸部がその前方の回転駆動軸５の搬送表面１０の回転上昇面１０ａに接して、それら凸部と搬送表面１０の回転上昇面１０ａとの間ですべり接触を生じて被搬送物１２の水平搬送が滞留したときに、回転する回転駆動軸５の搬送表面１０の周方向に設けた切欠部１１の係合作用により、同回転駆動軸５の回転途中で、被搬送物１２の下面の凸部１３Ｂを押し上げて前記すべり接触に係わる回転駆動軸５を乗り越えせしめ、被搬送物の水平搬送を再開せしめる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、搬送開始時には直ちに荷が移動を開始し、荷が搬送軌道から外れることの無い、物品搬送時間が所定時間（サイクルタイム）内に収まる、直方体物品搬送装置を提供することにある。
【解決手段】本発明に係る直方体物品搬送装置は、側面に搬送方向に沿った第１案内面と、底面に該第１案内面に略平行な凹状の第２案内面と、を有する略直方体物品を、下流に一定速度で搬送する直方体物品搬送装置であって、複数の搬送ローラと、前記第１案内面をガイドする第１ガイドと、前記第２案内面をガイドする第２ガイドと、を備え、前記第２ガイドは、前記搬送ローラに回転自在に装着されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】下部閉鎖型のコンベヤフレームや無脚のローラコンベヤでも、その内部清掃を容易に行えるようにする。
【解決手段】コンベヤフレーム１にホイール４を並設して物品搬送用の搬送路を形成し、その各ホイール４を駆動機構７により回転駆動させるローラコンベヤであり、コンベヤフレーム１は、ホイール４を回転自在に支持する上部フレーム２と駆動機構７が装備される下部フレーム３とで構成される。下部フレーム３上には上部フレーム３が着脱自在に設けられると共に、上部フレーム３により支持される各ホイール４の回転軸５には、それぞれ駆動機構７から回転トルクを受ける従動部材６が固着される。駆動機構７は、各ホイール４による物品の搬送方向に沿って下部フレーム３に取り付けられる駆動軸７１と、この駆動軸を回転駆動させる回転アクチュエータとを含み、駆動軸７１には従動部材６に回転トルクを伝達するための伝動部材７２が固着される。 （もっと読む）

【課題】 たわみを抑制できる強度と酸またはアルカリの処理液に対する耐性を有し、かつ軽量化された搬送手段を備えた板材処理装置及びこれを用いた板材製造方法を提供する。
【解決手段】 水密構造の筐体１内に、水平姿勢のガラス板Ｇを水平方向に搬送する下側搬送ロール２、３及び上側搬送ロール４と、ガラス板Ｇの表面に処理液を供給するノズル５、６を備える。下側搬送ロール２、３は、炭素繊維強化樹脂からなる主軸を有し、該主軸に取り付けられた複数のホイール部材を備える。筐体１の少なくとも内面をポリ塩化ビニル樹脂またはポリプロピレン樹脂とする。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の拡大化と洗浄液とによる搬送シャフトの撓みを解消し、基板搬送性能を向上させる枚葉式の基板搬送装置を提供する。
【解決手段】 ベース板４に設置された２つのシャフト支持部３に支持され、複数のローラ２を具備したガラス基板５を搬送する搬送シャフト１と、搬送シャフト１の中央部に取り付けられた複数のローラ２の内の１つのローラ２及び補助ローラ８と、補助ローラ８を支持する２つの軸受け９と、ベース板４に設置されて、２つの軸受け９を支持する中間支持部７とを含む。 （もっと読む）

【課題】ローラ群を簡単に着脱できるようにして、清掃や部品交換等のメンテナンスを短時間で行ない得るようにする。
【解決手段】機台１０の一側方に、複数の駆動軸１４が幅方向に並列で回転自在に配設される。各駆動軸１４に、駆動磁石２４が同心状で一体回転可能に配設される。取着部材３２に、駆動軸１４と同数のローラ２６が物品搬送方向に並列で回転自在に配設されてローラユニット２８が構成される。各ローラ２６の軸方向の一端部側に、従動磁石３６が同心状で一体回転可能に配設される。取着部材３２の係合孔３０ａに、機台１０の突部４０が嵌挿されるようにしてローラユニット２８を機台１０に取着する。このとき、駆動磁石２４に対して対応する従動磁石３６は、磁力が作用可能な所定の間隔で上方に離間する位置に保持される。 （もっと読む）

【課題】 異なる高さ及び／又は異なる傾斜角度で敷設される２以上のローラコンベアレールを繋ぐ接続用ローラコンベアレールにおいて確実にキャリアを搬送する。
【解決手段】 ローラモジュール１１ｂを水平位置に保持してキャリア５をコンベア１２から搬送する。検出センサでキャリア５の進入完了を検出すると、ローラモジュール１１ｂの駆動ローラを停止させてボールネジにより回転動作を作動させて傾斜状態まで回転させる。駆動ローラを駆動させ、傾斜状態で保持されるローラモジュール１１ａまでキャリア５を搬送させる。検出センサでキャリア５の進入完了を検出すると、ローラモジュール１１ａの駆動ローラを停止させてボールネジにより回転動作を作動させて水平状態まで回転させる。駆動ローラを駆動させ、コンベア１０までキャリア５を搬送させる。 （もっと読む）

【課題】ローラコンベアにおいて、搬送ローラを支持する長スパンのシャフトを用いる場合、その中間位置に、メンテナンス性を損なうことなく、且つ、粉塵を発生させることなく中間ベアリングによって支持する。
【解決手段】ローラコンベア１０は、搬送用ローラ１４を支持するシャフト１２を中空のサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂとから構成し、このサブ中空シャフト１３Ａ、１３Ｂを軸方向の隙間４０をあけてカップリング３８により連結し、このカップリング３８を中間ベアリング３２によって支持する。中間ベアリング３２の両側は、中間カバーケース３６によって囲まれ、中間ベアリング３２で発生した粉塵が、中間カバーケース３６のスリット状連通孔４１Ｂとカップリング３８のスリット状連通孔４１Ａを通って前記隙間４０を経て、サブ中空シャフト１３Ａ内の内側空間１３Ｃを介して、排出される。 （もっと読む）

【課題】コンベヤチェーンに保持させたフリーボールを全方向に回転可能にして３６０度の全水平面内で搬送可能な搬送方向転換機能と倍速機能を発揮させるとともに、物品の安定した搬送と搬送環境の汚染を抑制できるコンベヤチェーンを提供すること。
【解決手段】前方端縁と後方端縁から千鳥状に突出する複数のヒンジ部１１２を備えた多数のチェーンリンク１１０がヒンジピン１２０を介してチェーン長手方向にそれぞれ連結されているとともに、チェーンリンク１１０の表裏両面に突出するフリーボール１３１がチェーンリンク１１０に回転自在に保持されたコンベヤチェーン１００であって、フリーボール１３１とこのフリーボール１３１を保持するボール保持部１３２のいずれか一方が、ポリアセタールで形成され、他方がポリアミドまたはポリエステルで形成されているコンベヤチェーン１００。 （もっと読む）

【課題】基板処理のスループットを低減させることなく、基板搬送路上で基板を真っ直ぐに搬送しつつ、基板を傾斜姿勢に変更することができる基板搬送装置の提供。
【解決手段】駆動軸２３の各マグネットギア２３１と、各搬送ローラ２１のマグネットギア２１５とは、近接かつ非接触となる位置に配置されている。これにより、駆動軸２３が上記駆動モータ等からの回転駆動力で回転すると、駆動軸２３のマグネットギア２３１から、搬送ローラ２１のマグネットギア２１５に向けて回転駆動力が伝達されるようになっている。各搬送ローラ２１は、その基板搬送方向上流側の搬送ローラ２１から、下流側の搬送ローラ２１となるに連れて、基板Ｂの搬送方向に対して直交する方向において水平となる姿勢から徐々に傾斜が大きくなるように設けられる。 （もっと読む）

コンテナが貨物輸送手段内で横方向および縦方向の両方に動かされる必要がある戸口など、コンテナを互いに垂直方向に移動させるため輸送手段に取り付けられる操縦可能且つ後退可能な動力駆動ユニット（ＳＲＰＤＵ）を提供する。ＳＲＰＤＵは外部からの命令を受けると回転し、駆動ユニットを要求された方向に合わせ、貨物コンテナを駆動する。ＳＲＰＤＵは、輸送手段の構造体に固定して取り付けられた固定支持部（１０１０）と、固定支持部に回転可能に取り付けられた回転支持部（１０２０）とを備えている。回転支持部には、駆動アッセンブリが移動可能に取り付けられている。駆動アッセンブリは、ローラ(１２０)と、ローラを回転させる第１の電子制御モータとを備えている。駆動アッセンブリに取り付けられたリフトアッセンブリ(１５０)は、ほぼ回転支持部の内側にある後退位置からローラが貨物と当接して駆動させる突出位置まで回転支持部に対して駆動アッセンブリを移動させる第２の電子制御電気モータを有している。回転駆動アッセンブリは、回転支持部に固定支持部に対して回転支持部を回転させる第３の電子制御電気モータ(１０３０)を有している。電子制御器（１０６０）が第１のモータと第２のモータと第３のモータとを制御する。
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【課題】単一のチェーンリンクにボールユニットを個別かつ簡便に脱離しないように取り付けることができ、取り外しも容易なコンベヤチェーンを提供すること。
【解決手段】前方端縁と後方端縁から千鳥状に突出する複数のヒンジ部１１２を一体成形した多数のチェーンリンク１１０がチェーン長手方向にそれぞれ連結されているとともに、前記チェーンリンク１１０の表裏両面に露出して回動するフリーボール１３１を保持したボールユニット１３０が、ヒンジ部１１２，１１２間とヒンジピン１２０とで画成されるユニット装着領域１１３内にチェーン長手方向から着脱自在に装着され、チェーンリンク１１０と係合してチェーン表裏方向及びチェーン長手方向に位置決め固定されているコンベヤチェーン１００。 （もっと読む）

【課題】 各部の円滑な運動を担保することができる上に、設置場所を選ぶことなく、粉塵の発生を嫌うクリーンルーム等でも使用することができる球体支持ユニットを提供する。
【解決手段】 被搬送物Ｐを支持するための球体１と、球体１を回転自在に内装する凹部２０が形成された球体支持器２と、球体支持器２を移動可能に内装する内装穴３０、及び内装穴３０内における球体支持器２の下端面よりも下側に圧縮空気を供給する作動流路３１が形成されたユニット本体３とを備えた球体支持ユニットにおいて、球体支持器２には、凹部２０の内部と外部とを連通させる貫通孔２３が形成され、ユニット本体３には、配管系を接続する接続ポート３３が形成されると共に、接続ポート３３と貫通孔２３とを連通させる連通流路３４が形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理液の蒸気やミストが処理室内から処理室外へ漏れるのを防止する。
【解決手段】チャンバ２の内部に、処理室が形成されている。チャンバ２は、非磁性材料で構成されている。スプレー３は、処理室内で、処理液を基板１の表面へ吹き付ける。処理室内には、シャフト１１が、所定の間隔で複数設置されている。シャフト１１には複数のローラ１０が取り付けられており、一端には磁石１３が取り付けられている。処理室外には、モータが設置され、モータにはシャフト２１が連結されている。シャフト２１には、チャンバ２を隔てて各磁石１３と対向する位置に、複数の磁石２３が取り付けられている。モータの駆動により磁石２３が回転すると、磁石１３が回転して、モータの駆動力が、処理室の内外の空間を介し、シャフト１１に取り付けられたローラ１０へ非接触で伝達される。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で部品点数が少なく被搬送物を確実に搬送することができ、また作業性、生産性を向上させることができるようにしたフリーフローコンベア装置を提供する。
【解決手段】レンズラックを搬送するための搬送路の両側にそれぞれ所定の間隔をおいて複数個の駆動プーリー３１を配設し、その軸部３４に従動ローラ３５を嵌装する。また、プーリ１つおきに摩擦部材３６を駆動プーリ３１と従動ローラ３５との間に介装し、駆動プーリ３１と従動ローラ３５との間の摩擦力を１つおきに異ならせる。これにより、摩擦力が大きい従動ローラ３５にはレンズラックの搬送と支持を受け持たせ、摩擦部材３６が介装されず摩擦力が小さい従動ローラ３５にはレンズラックの支持のみを受け持たせる。 （もっと読む）

【課題】 めっき処理やエッチング処理を施すために基板を処理槽等に搬送する際に、基板に形成された導体パターンやレジストを損傷させることなく確実に搬送することを可能とし、製品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】 軸線方向に所定間隔をあけてコンベヤロール２２が取り付けられたロール軸２４を、軸線方向を互いに平行にして並置し、各々のロール軸を一方向に回転駆動する回転駆動機構を設けた配線基板１０の搬送機構において、前記コンベヤロール２２の前記ロール軸２４上における軸線方向の取り付け位置が、前記配線基板が前記搬送機構によって搬送される際に搬送方向に連通して設けられたダミー領域が通過する通過幅内に位置調節され、前記配線基板１０の送り機構に、前記配線基板の搬送方向に直交する方向への位置ずれを防止するガイド機構２６が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、静電気放電（ESD）に非常に弱い素子を扱う製造ラインで用いられるコンベアに関する。
【解決手段】被加工体を積載保持するパレットを、順次、所定の加工を行うステージへ搬送するコンベアであって、パレットを保持し移動させるローラとして、非金属ローラと金属ローラとを備え、金属ローラは、パレットに常時１つ以上接触する位置に配置されていることを特徴とするコンベア。 （もっと読む）