【課題】生産性の高い検査装置、及び搬送装置を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかる検査装置は、前段搬送ベルト２１と後段搬送ベルト２３との間において、基板１０を支持して、照明する照明ステージ２２と、基板１０を持ち上げる移載部３１を有し、前段搬送ベルト２１から照明ステージ２２に受け渡すともに、照明ステージ２２から後段搬送ベルト２３に基板１０を受け渡すための動作を行うクランク機構３２と、移載部３１に設けられ、移載部３１で持ち上げられた基板１０に向けて下側から照明光を照射する照明部３１ａと、一の基板１０が照明ステージ２２を介して前段搬送ベルト２１から後段搬送ベルト２３に移載されるまでの間に、照明ステージ２２及び照明部３１ａで照明された一の基板１０を撮像する撮像部３５と、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】経路上に進入禁止区間が設けられた場合であっても、効率的な搬送作業を可能とする搬送車システムを提供すること。
【解決手段】経路１４０と、複数の搬送車３００と、複数の搬送車３００の制御を行うコントローラ１２０とを備える搬送車システム１００であって、ＭＣＳ１２０は、搬送要求を受信する通信部１２１と、進入禁止区間を示す区間情報および予備期間を示す予備期間情報を記憶する記憶部１２２と、搬送要求が、予備期間内において実行の開始が予定され、かつ、目的地が進入禁止区間に含まれている特定搬送要求であるか否かを判定する判定部１２５と、当該搬送要求が特定搬送要求であると判定された場合、目的地の代わりとなる代替目的地を決定する代替目的地決定部１２６と、決定された代替目的地に、複数の搬送車２００のうちのいずれかの搬送車２００を向かわせるための搬送指令を送出する指令送出部１２７とを備える。 （もっと読む）

【課題】工程の形態に合わせて柔軟に構成の変更が容易な電子部品の検査装置、測定装置、包装装置およびシステムを提供すること。
【解決手段】電子部品を検査する検査部４ａと、検査部４ａに供給する複数の電子部品を貯留する供給貯留部１２と、検査部４ａにて検査された後の複数の電子部品を貯留する排出貯留部２２と、排出貯留部２２に貯留された複数の電子部品を、次工程の別の下流側装置からの信号を受けて当該下流側装置に送り出すエジェクタ装置３０と、前工程の別の上流側装置に対して電子部品を送り出すように信号を送る制御装置６０と、を有する検査装置である。供給貯留部１２は、上流側装置から送り出される電子部品を受け取るための受取接続部４４を有し、排出貯留部２２は、下流側装置へ電子部品を送り出すための送出接続部３４を有する。 （もっと読む）

【課題】コンベアユニット間のワークの乗移りを円滑に行うことができる搬送コンベアを提供する。
【解決手段】互いに離れて配置される少なくとも２つのローラにベルトが架け渡されており、ローラの駆動に伴ってベルトを回転させることにより、ベルトの表面上のワークを吸着させつつ搬送させるコンベアユニットを複数備え、これらコンベアユニットを搬送方向に複数配列させて順次下流側のコンベアユニットに乗り移らせることによりベルトの表面上のワークを下流側に搬送させる搬送コンベアであって、前記コンベアユニットの下流側に配置され、搬送中のワークの下面側に入り込むことにより、ワークをベルトの表面から引き剥がすスクレーパーと、前記コンベアユニットの下流側ローラの手前に設けられ、前記ベルトの裏面側からワークの下面にエアを吹き付けるエア噴出部と、を備えるコンベアユニットとする。 （もっと読む）

【課題】作業工程フローの変更や作業工程の増減、ワークの外形寸法の変更などの標準化されてない作業工程に対して、柔軟に対応でき、かつ、生産性（スループット）を向上できるとともに、設備の設置面積が大きくなるのを抑制できる搬送装置を実現する。
【解決手段】搬送装置１には、ワーク台６とスカラロボット３とロータリーインデックス４とを備えた搬送ユニット２ａ・２ｂ・・２ｅが複数個備えられ、隣接する二つの搬送ユニット２ａ・２ｂ中、搬送ユニット２ａのワーク台６上のワークＷ１は、搬送ユニット２ｂのスカラロボット３によって、搬送ユニット２ｂのロータリーインデックス４上の第１の位置Ｐ１に移載され、ロータリーインデックス４上に移載されたワークＷ１は、第１の位置Ｐ１および／または第２の位置Ｐ２で所定工程が施され、上記所定工程が施されたワークＷ２を第１の位置Ｐ１から搬送ユニット２ｂに備えられたワーク台６上に移載する。 （もっと読む）

【課題】原版を迅速に、かつ安全に搬送するのに有利な搬送システムを提供する。
【解決手段】この搬送システム１は、原版３に形成されたパターンを基板に露光する少なくとも１つの露光装置２と、原版３を保持し露光装置２に搬送する搬送車４と、該搬送車４が走行する走行路５とを有する。このとき、露光装置２が敷設される面から、露光装置２に設置された原版３を搬入する搬入口９までの高さが、搬送車４が走行する面から、搬送車４が原版３を保持して走行する際の原版３の保持位置までの高さよりも高く、搬送車４の保持位置と、露光装置２が搬入口９から原版３を受け取る位置とが一致する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、基板搬送部材に設けられた凸状の支持部に基板を支持させることができる基板移載装置を得る。
【解決手段】第一制御部３８は、平面視でベルトコンベア１６とベルトコンベア２６とが直線状に配置されるように、第一移動部材２２を移動する。さらに、第一制御部３８は、ベルトコンベア２６の回転駆動を制御して、ベルトコンベア１６によって搬送された基板１２をベルトコンベア２６に受け取らせる。また、リフター３６を制御して搬送パレット１８を上昇させて支持部２０で基板１２を支持させる。これにより、ベルトコンベア２６と基板１２とは分離（離間）する。このように、リフター３６が搬送パレット１８を上昇させるという簡易な構成で、搬送パレット１８に設けられた支持部２０に基板１２が支持される（載せられる）。 （もっと読む）

【課題】天井搬送車において、簡易な構成で、被搬送物の搬送中に一対のチャック部が開くのを防止する。
【解決手段】天井搬送車は、天井に敷設された軌道に沿って走行し、被搬送物を把持する把持部（１０１）を昇降部（１２）が巻き上げ及び巻き下げして被搬送物を搬送する天井搬送車であって、把持部は、ベースプレート（１１０）と、このベースプレートに設けられたガイドレール（１２０）と、このガイドレールに沿って互いに接近及び離間するように略水平方向に移動可能とされ、被搬送物を把持するための爪部（１４３）を有する一対のチャック部（１４０）と、このチャック部に設けられ、弾性体を含んでなるクッション部材（１６０）とを備え、昇降部が把持部を巻き上げた際には、クッション部材が昇降部に当接して押圧され、昇降部との間で発生する摩擦力によってチャック部の移動が規制される。 （もっと読む）

【課題】被搬送物を連続的に上昇および下降させることでき、かつコンパクトな昇降搬送装置を提供する。
【解決手段】２条のエンドレスチェーン１１，１２を有するアームエレベータ３を備える。エンドレスチェーン１１，１２に所定間隔おいて設けられた複数の支持部材２１を備える。エンドレスチェーン１１，１２を間欠的に一方向へ移動させるモータ１８を備える。トレイ２を上昇用搬送路２６内に送る下部投入装置４を備える。トレイ２を下降用搬送路５９から取り出す下部取出し装置５を備える。トレイ２を前記上昇用搬送路２６から取り出す上部取出し装置６を備える。トレイ２を前記下降用搬送路５９内に送る上部投入装置７とを備えた。 （もっと読む）

【課題】基板の支持方式を転換する転換部において、基板を浮上支持する部分の搬送方向の長さを抑制し、かつ、昇降ローラと他の部材との接触を容易に回避できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置１の転換部２０は、複数の昇降ローラ２１と、複数のフリーローラ２４と、入口浮上ステージ２５と、を有する。基板９の支持方式を転換するときには、基板９の搬送方向上流側の一部分が、複数の昇降ローラ２１から複数のフリーローラ２４へ移載される。このため、入口浮上ステージ２５の搬送方向の長さを抑制しつつ、基板９の支持方式を転換できる。フリーローラ２４は、簡易な構造で確実に基板９を支持できるとともに、狭小な領域に配置できる。したがって、複数のフリーローラ２４を、複数の昇降ローラ２１と接触しない位置に、容易に配置できる。 （もっと読む）

【課題】搬送アーム装置の提供。
【解決手段】本発明の搬送アーム装置は、動力源、動力源に駆動される伝動セット、伝動セットに駆動される可動シート及び可動シートに結合された搬送ヘッドにより構成される。軽量物品に対しては、短行程の搬送作業を行う。伝動セットは主動軸と従動軸を具え、該主動軸と従動軸は平行に設置され、主動軸は動力源により駆動され、並びに主動軸と従動軸の動力源より離れた一端よりそれぞれ主動偏心軸と従動偏心軸が延伸され、主動偏心軸と従動偏心軸はそれぞれ可動シートに枢設される。これにより、４リンク機構に類似の構造形式を構成し、可動シートにおいて円弧線運動を行う過程中に、自身の垂直度と水平度を保持できる。 （もっと読む）

【課題】搬送システムの設置作業を簡易化する。
【解決手段】容器Ｆの下面には位置決め用の穴が形成されている。製造装置上の載置ポートには容器Ｆ側の位置決め穴に対応する位置決め突起が形成されている。搬送台車２００から容器Ｆを載置ポート上に載置する際は、載置ポートの位置決め突起を位置決め穴にはめ込むことで、容器Ｆの載置位置を規定する。保管装置３００には、製造装置の載置ポートとは異なる載置ポートが設けられている。この載置ポートには位置決め突起が設けられておらず、上面に滑り止め部材３１１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を複数階に跨いで搬送する階間搬送リフターを出来る限り小さな区画で設置可能なものとし、更に階間搬送リフターの搬送部を軽量化して、その結果、高速搬送可能で設備費用を抑えた階間搬送リフターを提供する。
【解決手段】基板を階間を跨いで昇降搬送する階間搬送リフターにおいて、基板を水平搬送する水平搬送機構と、水平搬送された基板を水平方向から方向変換する第一の方向変換機構と、方向変換させられた基板を昇降搬送する昇降搬送機構と、昇降搬送された基板を水平方向に変換する第二の方向変換機構とを有することを特徴とする階間搬送リフター。 （もっと読む）

【課題】移送装置を提供する。
【解決手段】垂直軸線を形成するプロファイルと、プロファイルに隣接して設けられて被移送物を支持し、プロファイルの垂直軸線に沿ってプロファイルに対して相対的にアップ／ダウン移動するカーアセンブリーと、プロファイルとカーアセンブリーとのうち少なくとも何れか一つに設けられてカーアセンブリーのアップ／ダウン移動時、プロファイルに対するカーアセンブリーの移動経路を非接触式で案内する非接触式アップ／ダウン案内ユニットと、を含むことを特徴とする移送装置。本発明によれば、被移送物に対する高速移送が可能でありながらも、移送速度を安定的に維持及び制御し、かつ被移送物の移送過程中にパーティクルの発生を防止できるということはもとより、従来よりさらにノイズを減らせて、耐久性を向上させうる。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体素子製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の被搬送物を、複数の階層の間で搬送する搬送装置において、比較的簡単な構成により複数の階層の間で被搬送物をやり取りする。
【解決手段】搬送システム（１００）は、上階層及び下階層を相互から区分すると共に上階層及び下階層を相互に連通する連通口が開けられた区分部材（１）と、上階層に敷設された上側軌道（２）と、上側軌道に沿って被搬送物（１０）を搬送する上側搬送車（１２）と、下階層に敷設された下側軌道（３）と、下側軌道に沿って被搬送物を搬送する下側搬送車（１３）と、連通口の下方に配置され、上側搬送車及び下側搬送車との間で夫々被搬送物を移載可能に構成されており、被搬送物を一時的に保管する一時保管棚（４）とを備える。 （もっと読む）

【構成】 第１の支持手段により物品を支持して搬送する第１の搬送車を設ける。第１の搬送車の走行ルートと平行な区間を含む周回軌道に沿って周回走行すると共に、平行な区間で第１の搬送車と同期して等速走行自在で、かつ第１の支持手段とは異なる箇所で物品を支持する第２の支持手段と、第２の支持手段を昇降させるリフタとを備えた移載装置を設ける。
【効果】 搬送車を停止させずに物品を受け渡しでき、また複雑な走行ルートでも、搬送車の分岐走行を不要にする。 （もっと読む）

【課題】互いに直交した搬送経路に沿って基板を傾斜姿勢で搬送しながらより少ないスペースで効率良く基板の搬送方向を転換できるようにする。
【解決手段】姿勢変換装置２２は、支持テーブル２２１とこのテーブル２２１を揺動させる揺動機構とを含む。揺動機構は、テーブル上面が特定方向から見て傾斜しかつ当該方向に傾斜姿勢で搬送される基板Ｓを受入れる基板受入れ姿勢と、テーブル上面が特定方向と直交する方向から見て傾斜しかつテーブル上に支持した基板Ｓを当該方向に傾斜姿勢で送り出す基板受渡し姿勢とに亘って支持テーブル２２１を揺動させる。基板受渡し姿勢は、基板受入れ姿勢で受入れた基板Ｓの先頭側の辺Ｓ１を一辺として基板Ｓ上に形成した仮想正方形の対角線のうち当該基板Ｓの先頭下位側の頂部を通る対角線と平行な軸回りに辺Ｓ１が前記直交方向と平行となる位置まで基板Ｓを回動させた姿勢とされる。 （もっと読む）

【課題】搬送時に制振装置に作用する振動及び衝撃を十分に抑制しつつ、制振装置を第１の作業台上から第２の作業台上へ円滑に搬送でき、かつ制振壁パネルを効率的に製造する。
【解決手段】パネル製造ラインでは、移動台車１２０を搬送方向Ｆに沿って内側ロール列１４０の先端側の一部が一対の中間ロール列１５６の間に挿入される受渡位置と、内側ロール列１４０が一対の中間ロール列１５６から離間する受入位置との間で移動可能とされている。これにより、制振装置１２が載置された移動台車１２０を受渡位置まで移動させれば、制振装置１２を一対の外側ロール列１２６、内側ロール列１４０及び中間ロール列１５６を用いて移動台車１２０上から第１組付作業台１５０上まで円滑に移動させることができる。 （もっと読む）

【課題】上段と下段との間でコンベヤを昇降させるに際して、コンベヤ上に載せられる板状ワークの昇降速度を不当に高めることなく、且つコンベヤの載置面積を不当に広くすることなく、垂直搬送装置の機構上の動作を大幅に低減または簡略化させる。
【解決手段】上段Ｆ２に設置された上側搬送コンベヤ２の端部に隣接する上側移載エリアＥ２と、下段Ｆ１に設置された下側搬送コンベヤ３の端部に隣接する下側移載エリアＥ１との間を昇降する移載コンベヤ７、８を、アーム５からなる回転支持体の外周端における少なくとも１８０度を隔てた２箇所に配設すると共に、これらの移載コンベヤ７、８は、アーム５の回転角度の変化に拘わらず板状ワークＧを平置き状態で載置可能な姿勢とされ、且つアーム５の回転が停止した時点で上側移載エリアＥ２と下側移載エリアＥ１とにそれぞれ同時に位置するように構成される。 （もっと読む）

【課題】磁性体でなる薄板状のワークを垂直に立てた状態でワーク搬送元からワーク搬送先まで移動させ、かつ、搬送元と搬送先でワーク両面に触れないでワークの着脱を行うことができるワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】磁性体よりなる薄板状のワークＷを、ワーク搬送元Ａに位置する非磁性体よりなるワーク受承体１１に垂直に立てて載せ、かつ、ワーク受承体１１の背面に磁石１４を密着させることでワークＷを垂直に立てた状態を維持し、この状態でワーク搬送先まで移動し、ワーク搬送先で磁石１４をワーク受承体１１の背面から離間させることでワークＷをワーク受承体１１から取り外せる状態にする。 （もっと読む）