【課題】半導体製造装置から排出される排ガスを処理する装置を小型化する技術を提供する。
【解決手段】排ガス処理システムは、半導体製造装置１から排出される少なくとも水素およびモノシランを含む混合ガスを処理する。排ガス処理システムは、水素を選択的に透過させる半透膜を有し、混合ガスからモノシランと水素を分離する膜分離部４と、膜分離部４によって分離された水素の回収率に関する情報を取得し、水素の回収率を算出する水素回収率取得手段と、水素回収率の変化に応じて膜分離部の透過側圧力を制御する圧力制御部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】調整槽がなくても高圧ＲＯポンプへ安定して海水を供給することが可能であり、かつ、システムの小型化及び水質劣化の抑制を図ることが可能な海水淡水化システムを提供する。
【解決手段】制御部１１５は、流量計１３で計測された流量Ｑ１を流量Ｑ２＋Ｑ３に追従させるように、膜ろ過ポンプ１２の回転数を制御する。また、制御部１１５は、流量計１１１で計測された流量Ｑ２を目標値Ｘ１に追従させるように、高圧ＲＯポンプ１５の回転数を制御する。また、制御部１１５は、圧力計１９で計測された圧力Ｐ２が下限値Ｐｍｉｎ１から上限値Ｐｍａｘの範囲内で維持されるように、排水弁１１４の弁開度を制御する。また、制御部１１５は、圧力計１７で計測された圧力Ｐ１が下限値Ｐｍｉｎ２を超えるように、調整弁１６の弁開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】製造コストが嵩む汚泥濃度計を使用することなく排出される洗浄排水の汚泥濃度を管理し、汚泥濃度を更に高める余地が有る洗浄排水が排出されるのを防止する汚泥濃縮方法を提供する。
【解決手段】
原水を濁度計１６及び流量計１７が付設している導入管１１でろ過設備１０に導入し、それらの測定値を基に演算装置２０にて積算濁度量を算出し、その積算濁度量が所定値に達するまでは、ろ過設備１０からの洗浄排水を膜浸漬槽４０の内部に設置されている浸漬膜４１でろ過するろ過工程と、浸漬膜４１に付着した汚泥を膜浸漬槽４０内の洗浄排水中に剥離する物理洗浄工程とを繰り返し、積算濁度量が所定値に達した場合には、その後に最初に行われる物理洗浄工程後、移行時間を確保して膜浸漬槽４０内の洗浄排水の一部を排出することとした。 （もっと読む）

【課題】逆洗のための設備負荷を低減しながら、所望の処理能力を有する装置の構築が容易になる濾過装置を提供することを目的とする。
【解決手段】原水を膜濾過するための第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂには、ＭＦ膜モジュール３とＲＯ膜モジュール５とを連絡する連絡ライン２３と、ＭＦ膜モジュール３からの濾過水をＭＦ膜モジュール３の２次側に供給する逆洗ライン３１とが設けられている。また、第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂ双方の逆洗ライン３１同士は逆洗連絡ライン３７を介して連絡され、第２濾過ユニット２Ｂの逆洗時には、第１濾過ユニット２ＡのＭＦ膜モジュール３からの濾過水が逆洗連絡ライン３７を通って第２濾過ユニット２Ｂに供給される。その結果、第１濾過ユニット２Ａ及び第２濾過ユニット２Ｂの双方に独立した逆洗配管を設ける場合に比べて逆洗のための設備負荷が低減される。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化やコンパクト化を図りながら、膜モジュールの耐圧特性などが必要以上に要求されずに容易に実現できて実用面でも優れた濾過装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第１，第２ＭＦ膜モジュール３Ａ，３ＢとＲＯ膜モジュール５とを直接的に連絡する連絡ライン２１には、ＲＯ送液ポンプ２３ｄが設けられており、ＲＯ送液ポンプ２３ｄの吸い込み側には圧力センサ２３ｆが設けられている。また、ＲＯ膜モジュール５の１次側とＭＦ膜モジュール３Ａ，３Ｂの２次側とは逆洗ライン２９によって連絡されている。第２ＭＦ膜モジュール３Ｂを逆洗する際には、ＲＯ送液ポンプ２３ｄは吸い込み圧が所定の設定圧力を維持するように駆動制御される。その結果として中間タンクなどが不要になって装置の小型化、コンパクト化に有効である。 （もっと読む）

【課題】電装部品が故障した場合に、かかる電装部品の修理期間中に浄水を引き続き利用することが可能であり、かつ製品を新たに購入する必要のない浄水器を提供すること。
【解決手段】蛇口に取り付けられ、かつ蛇口より供給された原水を原水吐出口１３より吐出、あるいは自身に連結されるカートリッジ部２０に送出して該カートリッジ部２０で濾過して浄水として吐出させる本体部１０を備えた浄水器において、本体部１０からカートリッジ部２０に送出される原水の流量を検出してその積算流量値を表示する各電装部品を共通のユニット本体３１の内部に配設することによりユニット化してなる電装ユニット３０を本体部１０に対して着脱可能に配設したものである。 （もっと読む）

【課題】処理水量を多くしてシステム稼働率を高くするとともに、薬品洗浄や膜交換に要する費用を低減させ、トータルのランニングコストを低減させる。
【解決手段】温度応答性膜を平面状または円筒状に成型し、容器に充填して一体化して成り、供給された原水を膜ろ過し、処理水として排出する温度応答性膜モジュールを備える膜ろ過システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】アオコや粘土質の土壌などの濁質が混在して濁りが発生した湖沼やダム、貯水池等の濁水を小規模な設備で効率よく清澄化することを可能にする濁水処理装置及び濁水処理方法を提供する。
【解決手段】濁水Ｗを採取する濁水採取槽２と、濁水採取槽２から送られた濁水Ｗを一時的に貯留するとともに、凝集剤Ｐを添加して濁水Ｗ中の濁質をフロック化させるための凝集槽３と、少なくとも外周側にろ過膜６を備えて袋状あるいは箱状に形成され、開口する上端４ｂ側を濁水Ｗの水面Ｗ１よりも上方に配した状態で濁水Ｗに浸漬して設置されるろ過槽４とを備えて濁水処理装置Ａを構成する。そして、凝集槽３で処理した後の濁水Ｗ’をろ過槽４の内部に送ってろ過膜６に流通させ、濁質をろ過膜６で捕捉させつつ清澄化したろ過水Ｗ’’を濁水Ｗ中に排出させる。 （もっと読む）

【課題】低コストかつ高い回収率での水処理を実現する。
【解決手段】逆浸透膜ろ過装置１０は、濃縮水が、最も上流に位置するバンクの更に上流側へと還流されて原水に混入されることはなく、全体として濃縮水系一段の構成を有しているので、処理水の水質は、従来の一過式の逆浸透膜ろ過装置と同等の良好なものとなる。又、入り口流量が最少濃縮水量を満たさないバンク１８のみを含む加圧循環流路２２では、濃縮水は圧力開放されないことから、濃縮水の再加圧のためのブースターポンプ２４の消費電力は低く抑えられ、加圧ポンプ１２の消費電力の増加を来たすことも無い。よって、従来の加圧循環式の逆浸透膜ろ過装置と同等の消費電力レベルに抑えることができる。 （もっと読む）

【課題】原子力発電所や火力発電所の復水脱塩装置の再生時に排出されるモノエタノールアミン含有希塩酸性液等の非イオン性又はカチオン性の水溶性化合物を含有する酸性液を効率的かつ経済的に処理する。
【解決手段】アニオン交換膜２１によって原水室２２とアルカリ溶液室２３とに隔てられた中和透析装置２の原水室２２に、非イオン性又はカチオン性の水溶性化合物を含有する酸性液を通水すると共に、アルカリ溶液室２３に該酸性液よりも浸透圧の高い濃厚アルカリ溶液を通水して該酸性液を中和、脱塩および減容化する。アニオン交換膜２１および濃厚アルカリ溶液を用いた中和透析処理で、酸性液の中和および脱塩と減容化を行うことができ、得られた中和脱塩減容化処理液を容易に液中燃焼処理することができる。 （もっと読む）

【課題】 実用的な透水量と塩排除率を有する半透膜で、さらに高い耐久性を併せ持つ半透膜とその製造方法を提供する。
【解決手段】 第一級アミノ基を含む分離機能層を有する半透膜を、第一級アミノ基と反応してジアゾニウム塩またはその誘導体を生成する試薬に１秒以上６０分以内接触させて、半透膜を改質する。 （もっと読む）

【課題】ナノ濾過膜モジュールの熱水消毒時の消費エネルギーの増加を抑制することができるナノ濾過膜の熱水消毒方法を提供する。
【解決手段】ポリアミドを材質として用いたナノ濾過膜によって原水を軟水化するナノ濾過膜モジュール６１と、精製水タンク１３と、熱水供給ライン７７と、ヒータ１７と、熱水供給ライン７７の開閉状態を個別に制御する制御部１６とを備えた精製水製造装置におけるナノ濾過膜の熱水消毒方法であって、制御部１６からの操作信号により、精製水タンク１３に貯蓄された精製水から熱水供給ライン７７を通じて精製水を上流側より還流すると同時に、ヒータ１７により精製水を昇温速度５℃／分以下の割合で予め設定された所定温度まで昇温し、加熱することで、ナノ濾過膜を熱水に曝すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＤＴＣ官能基を含有する新しい水溶性ポリマー、および研磨固体を含む半導体廃水から金属イオンを沈殿させると同時にマイクロフィルター運転を向上させる方法を提供する。
【解決手段】ジチオカルバミン酸塩官能基を含有する有効量の水溶性ポリマーを排水に添加することにより、研磨固体を含む半導体廃水からの可溶性重金属イオンの沈殿と同時にマイクロフィルター運転の向上が達成される。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、かかる従来技術の欠点を改良し、エアロックの発生が抑制され、溶出物が少なく、かつ、残血が発生しにくいセミドライタイプの中空糸膜モジュールおよび中空糸膜モジュールの製造方法を提供することにある。
【解決手段】中空糸膜をモジュールケースに内蔵して、中空糸膜内面である第１通液空間に液体を満たす充填工程、気体を用いて前記液体を抜き出すブロー工程を経た後、不活性ガスを封入してから放射線照射を行う工程を有する中空糸膜モジュールの製造方法において、以下の要件を満たすことを特徴とする中空糸膜モジュールの製造方法。
１）中空糸膜の少なくとも内表面側に親水性ユニットと疎水性ユニットからなる共重合体高分子が存在する。
２）抱液率が１０〜３５０重量％である。
３）前記気体をブローする方向と前記不活性ガスを封入する方向が同一である。 （もっと読む）

純水流れ案内ネット（１００）、逆浸透膜（２００）及び給水流れ案内ネット（３００）を積み重ねることによって構成された少なくとも１つの浄水膜コンポーネント（１１）を中央生成水管（４００）に巻き付けることによって巻形逆浸透膜要素（１０）が形成される。逆浸透膜（２００）は、給水通路（２１０）が内面によって形成され、生成水通路（２２０）が隣り合った外面相互間に形成されるよう折り畳まれる。給水流れ案内ネット（３００）は、給水通路（２１０）内に配置され、他方、純水流れ案内ネット（１００）は、生成水通路（２２０）内に配置される。生成水通路（２２０）は、中央生成水管（４００）に向いた純水出口（２２１）を１つだけ有し、他の３つの側部（２２２，２２３，２２４）は、緊密に封止される。折り畳み線（２１１）に隣接して位置する給水通路（２１０）の２つの側部（２１２，２１３）の一部分は、中央生成水管（４００）に隣接して位置する小径給水入口部分（２１４）がそれぞれ２つの側部（２１２，２１３）に設けられ、濃縮水出口（２１５）が折り畳み線（２１１）とは反対側の給水通路（２１０）の側部に設けられるよう緊密に封止される。本発明の巻形逆浸透膜要素（１０）では、膜表面上における水の速度が増大し、膜表面上における濃度分極が弱められ、巻形逆浸透膜要素（１０）の汚染速度が減少し、その結果、巻形逆浸透膜要素（１０）の有効寿命が延びる。 （もっと読む）

【課題】逆浸透膜により製造される濃縮水を被洗浄物の洗浄水として利用する場合において、被洗浄物へのシリカの析出を抑制することができる洗浄水供給システムを提供すること。
【解決手段】洗浄水供給システム１は、原水Ｗ１に含まれる硬度成分を除去して軟水Ｗ２を製造する軟水化装置２と、軟水化装置２により製造される軟水Ｗ２を逆浸透膜により膜分離処理し、透過水Ｗ３及び濃縮水Ｗ４を製造する逆浸透膜装置３と、逆浸透膜装置３により製造される濃縮水Ｗ４を被洗浄物の洗浄水Ｗ５として供給する濃縮水供給ラインＬ３と、逆浸透膜装置３により製造される透過水Ｗ３を被洗浄物の濯ぎ水Ｗ３として供給する透過水供給ラインＬ４と、濃縮水Ｗ４のｐＨ値を８以上に調整するｐＨ値調整装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ＲＯ膜の濾過性能を維持するとともに、濃縮海水が持つ流体圧力エネルギを有効に回収する海水淡水化装置を提供する。
【解決手段】海水淡水化装置であって、海水から塩分を除去するＲＯ膜４と、海水を加圧してＲＯ膜４に送る容積型の水圧ポンプ２と、この水圧ポンプ２を駆動する主駆動モータ１と、ＲＯ膜４によって濾過されない濃縮海水が持つ流体圧力によって水圧ポンプ２を駆動する容積型の動力回収水圧モータ３と、ＲＯ膜４の逆浸透圧力を検出する圧力検出器５と、この圧力検出器５の検出値に基づいてＲＯ膜４の逆浸透圧力を目標値に近づけるように水圧ポンプ２の作動を制御する逆浸透圧力フィードバック制御手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】 膜モジュールの汚れや目詰まりを効果的に防止し、長期間安定した濾過運転のできる水浄化システムの運転方法を提供する。
【解決手段】 本発明の水浄化システムの運転方法は、膜モジュールを用いる水浄化システムにおいて、水を水供給ポンプによって加圧し、膜モジュールに供給して膜濾過を行う水浄化システムの運転方法であって、前記水供給ポンプでの加圧後であって膜モジュール供給前の水中に超微細気泡を発生させ、該超微細気泡を含有する液を膜モジュールに供給することを特徴とする。水供給ポンプに供する水が、原水及び／又は膜モジュールからの濃縮循環水であってもよい。 （もっと読む）

半導体処理プロセス、特に化学機械研磨プロセスからスラリーを含有する廃水のリサイクル方法および装置に関する。前記方法は、新規スラリーを含む廃水が連続的に循環タンク（１０）に導入され、その間、循環タンク（１０）から混合廃水が連続的に抜き出され、廃水が限外ろ過装置（２０）を通って誘導され、流体を取り出すことにより濃縮され濃縮廃水を形成し、濃縮廃水が循環タンク（１０）に導入され、循環タンク（１０）の内容物と混合され混合廃水が得られるろ過ステップと、混合廃水が循環タンク（１０）から連続的に抜き出され、取り出された混合廃水が限外ろ過装置（２０）に導入され、流体を取り出すことによって濃縮され濃縮廃水を形成し、濃縮廃水が循環タンク（１０）に導入されるときに循環タンク（１０）への新規廃水の追加が妨げられるか実質的に遮断されるろ過ステップ後の濃縮ステップとからなる。 （もっと読む）

【課題】ＲＯ膜の薬液洗浄頻度を少なくすることにより、ＲＯ膜の劣化及び水処理効率の低下を極力抑制すること。
【解決手段】被処理水を第一ポンプにより加圧して逆浸透膜に供給する給水経路を分岐して、その一部を循環経路へと導く。第二ポンプにより循環経路内の被処理水の一部を再度加圧して空気を混入し、スタティックミキサーを利用して被処理水と空気とを撹拌することによって被処理水中に微細気泡を発生させる。その後、微細気泡を含む被処理水を、ＲＯ膜装置の給水経路に返水する。 （もっと読む）