【課題】ペースト塗布量のばらつきの発生を抑え、ペーストの塗布精度を向上させることができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、塗布対象物Ｋに向けてスクリューの回転によりノズル５ａからスクリューの回転速度に応じた量のペーストを吐出する塗布ヘッド５と、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させる移動機構３、４と、塗布対象物Ｋ上に塗布したペーストの塗布量を検出する検出部６と、検出した塗布量に基づいて目標の塗布量が得られるように塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動速度又はスクリューの回転速度を調整し、調整した相対移動速度又は調整した回転速度に基づいて塗布ヘッド５及び移動機構３、４を制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】描画速度の加速領域における描画速度とスクリューの回転速度との関係変化に起因したパターン切れやペースト断面積ばらつきの発生を防止することができるペースト塗布装置を提供する。
【解決手段】ペースト塗布装置１において、塗布対象物Ｋに向けてスクリューの回転によりノズル５ａからスクリューの回転速度に応じた量のペーストを吐出する塗布ヘッド５と、直線部分及び屈曲部分を有する塗布パターンに基づいて塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５とを相対移動させる移動機構３、４と、スクリューの回転開始タイミングから塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動開始タイミングまでの時間、直線部分の塗布を行う場合のスクリューの回転速度より小さくスクリューの回転速度を制御し、その時間が経過した場合、塗布対象物Ｋと塗布ヘッド５との相対移動速度に応じてスクリューの回転速度を制御する手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造でコストがかからず、二液型接着剤を容易に塗布することができ、二液型接着剤を互いに接触状態かつ混合していない状態のまま吐出することが可能な新規な二液接触型非混合塗布ノズルを提供する。
【解決手段】 二液型接着剤を塗布するための二液型接着剤塗布装置の先端部に取り付けられる二液接触型非混合塗布ノズルであって、第一吐出開口部からのＡ剤及び第二吐出開口部からのＢ剤が通るための長手方向に貫通して設けられた吐出通路と、前記Ａ剤及びＢ剤とを吐出するため前記吐出通路から連通して設けられた吐出孔と、を有するノズル本体を含み、前記Ａ剤及び／又はＢ剤の構造粘性指数が１．５以上でありかつ粘度が１０〜５００Ｐａ・ｓであり、前記Ａ剤と前記Ｂ剤とが前記ノズル本体内で互いに接触状態かつ非混合状態とされ、その互いに接触状態かつ非混合状態のまま吐出されるようにした。 （もっと読む）

【課題】描画不良の発生を低減し、且つ描画タクト時間の大幅な短縮を図ることができるようにする。
【解決手段】複数の基板形成領域２０を有する第１大型基板１２０に対して、少なくとも各基板形成領域２０にシール材５２を描画するシール材描画工程と、第１大型基板１２０に対しシール材５２を介して第２大型基板１１０を貼り合わせる大型基板貼り合わせ工程とを備え、シール材描画工程では、予め設定した描画パターンに従い、互いに隣接して配設されている複数の基板形成領域２０に対し、往路において基板形成領域２０の一部にシール材５２を連続描画し、往路の終端に連続する折り返し点ＲＰを経て復路へ移動し、復路において基板形成領域２０の残部に対してシール材５２を連続描画する。 （もっと読む）

【課題】ニードルの交換後に電極上に接着剤を塗布しても、不良品を出すことが無い圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】ニードルから接着剤を塗布するテスト塗布工程、及び塗布された接着剤の塗布量と基準塗布量との塗布量ずれを測定する第２測定工程を備えているので、適切な位置に接着剤を適正な塗布量を塗布することができる。したがって、接着剤が予定していた位置以外に塗布されてしまいパッケージを廃棄しなければならないということがなくなる。 （もっと読む）

【課題】カートリッジと塗布部との距離が長くなっても高い精度で粘性流体の塗布量を制御することができる粘性流体塗布方法を提供する。
【解決手段】被塗布体への粘性流体の塗布を開始させる場合には、供給コック３４１を開いて供給部１０２による粘性流体の供給動作を開始（ｔ＝ｔ₀）させた後に、吐出用シャフト３２０を回転させて塗布部１０１による粘性流体の塗布動作を開始（ｔ＝ｔ₁）させ、被塗布体への粘性流体の塗布を終了させる場合には、供給コック３４１を閉じて供給部１０２による粘性流体の供給動作を終了（ｔ＝ｔ₂）させた後に、吐出用シャフト３２０の回転を停止させて塗布部１０１による粘性流体の塗布動作を終了（ｔ＝ｔ₃）させる。 （もっと読む）

【課題】軸体の周面に弾性層形成用材料を均一に塗布することができ、偏肉及び合わせ目等の発生がなく、高粘度の弾性層形成用材料を採用することもできる弾性ローラ製造装置及び偏肉及び合わせ目等の発生のない弾性ローラの製造方法。
【解決手段】塗布ヘッド、及び前記塗布ヘッドを弾性ローラの軸体の軸方向に移動させることができる塗布ヘッド移動手段を有する弾性ローラ製造装置であって、前記塗布ヘッドは、前記弾性ローラの軸体との間に同心環状の間隙を有し、前記弾性ローラの軸体に対して開口されたスリット状吐出口が形成され、前記塗布ヘッドは、前記スリット状吐出口から吐出される未硬化の弾性層形成用材料を収容する収容部と、前記塗布ヘッドの中心軸線を中心にして回転対象に配置された３個以上の、前記収容部に前記弾性層形成用材料を供給する弾性層形成用材料供給口とを有して成る弾性ローラ製造装置及び弾性ローラの製造方法。 （もっと読む）

【課題】製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレールとこのガイドレールに摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレールに沿って複数の真空吸引孔が所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔は、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】製品品質の低下を極力防止し、良好なペーストの塗布を行なうこと。
【解決手段】ステージ４を跨いで設けられた門形フレーム５の梁状部材５ａにガイド装置８を介して塗布ヘッド６を水平移動自在に支持する。ガイド装置８は、梁状部材５ａに固定されたガイドレールとこのガイドレールに摺動自在に設けられ塗布ヘッド６側に固定された可動台とを有する。また、梁状部材５ａには、ガイドレールに沿って複数の真空吸引孔が所定の間隔で設けられ、各真空吸引孔は、電磁弁を有する配管を介して真空源に接続される。 （もっと読む）

【課題】被シール縁の内外に回り込むようにシール剤の塗布を行うことができるノズル及びこれを用いた材料塗布方法を提供すること。
【解決手段】シール剤Ｍの通路１４が形成されたノズル本体１５の先端側外周部に、一対の切欠部１７が形成されている。これら切欠部は、ノズル本体の中心軸線に対して対称位置に設けられており、ノズル本体の先端に向かうに従って切欠幅ｗが大きくなる形状とされている。また、切欠部を除く領域は、先端に向かうに従って先細に形成されている。被シール縁１１にシール剤を塗布するときは、切欠部内に被シール縁が受容されるように相対位置させ、この状態でシール剤を吐出しながら被シール縁に沿って相対移動させることで、被シール縁の内外に回り込むようにシール剤を塗布することができる。 （もっと読む）

【課題】比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる、塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】この塗布装置１は、比重の違う混合材料を収納するシリンジ２を備え、また、シリンジ２の内部に収納された混合材料の混合比を一定に保つための混合比調整部材としての、攪拌羽３および攪拌軸４からなる攪拌器と沈降抑制弁とを備える。攪拌器の攪拌効果によって、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。また他の混合比調整部材としての、冷却部材７を備える。粘性材料を含む混合材料を用いるときには、冷却部材７が混合材料を冷却させることにより粘性材料の粘度を高めることができるので、混合材料のうち比重のより大きい材料が沈降することを抑止できる。したがって、比重の違う混合材料の混合比を一定に保つことができる。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対して、レジスト等の薬液を所望の膜質で全面に確実に塗布する。
【解決手段】塗布膜形成装置は、シリコン基板１を載置するためのスピンチャック２が回転可能に設けられ、第１の滴下ノズル９によりレジストを滴下してシリコン基板１を回転させて第１の塗布膜を形成する。シリコン基板１のノッチ部分などで発生する塗布不良領域に対して第２の滴下ノズル１０からレジストを滴下して第２の塗布膜を形成し、全面に確実にレジストの塗布膜を形成する。その後、吸引ノズル１１により第２の塗布膜の表面を吸引して乾燥させる。 （もっと読む）

【課題】隣り合うパターンを近づけることができ、且つ粘性流体材料の垂れ落ちがないノズルを提供する。
【解決手段】粘性流体材料の概ね傾斜波状パターンを形成するノズル（４０）において、ノズルが塗布装置に取り付けられたときに、基材との相対移動方向に対して所定角度で傾斜した長手方向に延在する突起（４６）と、突起に設けられ、粘性流体材料を吐出して、実質的に連続した粘性流体材料の繊維を形成するためのオリフィス（４８）と、突起（４６）の長手方向に延在する両壁（４６ａ）の近傍にそれぞれ設けられ、粘性流体材料の繊維に対してガスを噴射して粘性流体材料を長手方向とほぼ垂直な方向に振動させる少なくとも二つのガス孔（５６）とを設けた。 （もっと読む）

【課題】凹凸のあるウエハ表面にレジストを均一にむらなく形成する。
【解決手段】レジスト形成方法は、ウエハＷの中心部にレジストＲを滴下した後、またはウエハＷの中心部にレジストＲを滴下しながら、ウエハＷをウエハＷの中心軸Ｃのまわりで回転させることによって、ウエハＷの外周部に、滴下されたレジストＲの盛り上がり部を形成する第１の塗布ステップ（図（ｂ））と、第１の塗布ステップに続いて、ウエハＷを中心軸Ｃのまわりで回転させながら、レジストＲの滴下位置を中心部からウエハＷの外周部に向けて変化させて、ウエハＷにレジストＲを滴下する第２の塗布ステップ（図（ｃ））と、を有している。 （もっと読む）

【課題】楕円状螺旋パターンを乱すことなく隣り合う楕円状螺旋パターンをオーバーラップさせることができるノズルを提供する。
【解決手段】粘性流体材料の概ね楕円状螺旋パターン（Ｅ）を形成するノズル（２０）において、粘性流体材料を吐出して、実質的に連続した粘性流体材料の繊維を形成するためのオリフィス（２４）と、粘性流体材料の繊維に対してガスを噴射して粘性流体材料の繊維を概ね楕円状螺旋パターン（Ｅ）にするために、オリフィス（２４）の周りに設けられた複数のガス孔（３１ａ〜３１ｆ）とを設け、複数のガス孔の一つ（３１ａ、３１ｄ）とオリフィス（２４）とを結ぶ仮想線に関して対称な位置に複数のガス孔（３１ａ〜３１ｆ）が配置されないような仮想線を少なくとも一つ含むように、オリフィス（２４）の周りに複数のガス孔（３１ａ〜３１ｆ）を設けた。 （もっと読む）

【課題】傾斜角が大きい光学部材に対して、均一な光学膜を再現性良く形成する方法及び装置並びにその光学膜を有する光学物品を提供する。
【解決手段】基板１を回転自在な治具20に取り付け、基板１を回転させながら、基板１に光学膜成分を含有する塗布液をノズル40から滴下し、得られた塗膜を乾燥させることにより、基板１上に光学膜を形成する方法であって、基板１を8,000 rpm以上のほぼ一定の速度で回転させながら、基板１に塗布液を滴下した後、治具20の軸ぶれを50μm以下に保持しながら、基板１を上記ほぼ一定の速度で回転させて塗膜を形成する方法。
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【課題】塗布ノズルの先端と基板の表面との間の距離を一定に保ちつつ液体材料の塗布を行うとともに、液体材料の塗布に要する時間を短縮することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】シール描画装置２３は、ステージ３２に複数配置され、ステージ３２から下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａまでの距離に応じた測定信号をそれぞれ出力する距離センサ５１ｅ，５１ｊ，５１ｏを有する。また、同装置２３は、距離センサ５１ｅ，５１ｊ，５１ｏが出力する測定信号に基づいて、予め設定された塗布ノズル４２の先端の基準高さに対する、下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａと塗布ノズル４２の先端との間の距離を一定に保つための補正量を、下基板Ｗ１の上面Ｗ１ａにおけるシール材Ｒが塗布される領域全体に渡って算出し、補正量の算出後であってシール材Ｒを上面Ｗ１ａに塗布する場合には、基準高さに補正量を加えた高さに塗布ノズル４２を昇降させる制御装置６１を有する。 （もっと読む）

【課題】一般に有機系の液体が適用されて環境への影響が懸念される酸化防止液を、廃液量を極力少なく抑えた上でウェハ表面の全面に均一に塗り、各処理工程中に待機状態にあるウェハの表面酸化を抑制し、さらには処理後の製品ウェハを、表面を保護した状態で格納する表面劣化を防止する塗布装置、塗布方法、研磨洗浄装置及び研磨洗浄方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は上記目的を達成するために、酸化防止液供給部材３８をウェハＷに近接又は接触させて相対的に移動させるとともに酸化防止液供給部材３８の上部に供給された酸化防止液を、酸化防止液供給部材３８に沿ってウェハＷに塗る酸化防止液供給手段６Ｃを有し、酸化防止液供給部材３８と酸化防止液との界面張力又は毛細管現象を利用することによりウェハＷに酸化防止液を塗る表面劣化を防止する塗布装置、塗布方法、研磨洗浄装置及び研磨洗浄方法を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】より高精度なノズルを安価で製作することができることから、プラズマディスプレイパネルの高精細化やコストダウンを実現でき、優れた品位の製品を提供する。
【解決手段】吐出孔から塗液を吐出して基材に塗布するノズルであって、内部に塗液を貯める塗液溜め部を形成するマニホールド部材および複数の吐出孔がノズル長手方向に略一直線状に配置された板状の吐出孔形成部材からなり、前記マニホールド部材と前記吐出孔形成部材が接合面を介して接合されており、該接合部の接合面が曲面または２以上の平面により構成される面であることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】上下二層に塗布された塗布剤の塗布状態を検査する技術を提供することを目的とする。
【解決手段】上下二層に塗布された塗布剤６０の塗布状態をカメラ５５により撮影して、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の塗布面積、上下二層６１、６３の塗布位置、下層６１の塗布剤６０に対する上層６３の塗布剤６０の相対塗布位置ならびに上下二層６１、６３の塗布剤６０の外観性状等の塗布状態を、予め設定した塗布面積、塗布位置、相対塗布位置ならびに外観性状等と比較して塗布状態を検査し、判定する。 （もっと読む）