【課題】ナノ粒子と分散剤とを含有し、ナノ粒子の分散性が良好な塗布液を用いて形成した均一な塗膜中で、ナノ粒子に吸着した分散剤を分離して分散性を低下させ、ナノ粒子同士の接点を増加させて、乾燥後のナノ粒子含有層中でナノ粒子同士を密に接触させる、簡便で効率のよいナノ粒子含有層の製造方法及びその製造装置、並びに、導電性を有するナノ粒子同士の接点を増加させて導電性ナノ粒子のネットワークを形成し、導電性及び透明性に優れる導電性構造物の製造方法及びその製造装置を提供する。
【解決手段】ナノ粒子３０ａ，３０ｂと、ナノ粒子を分散させる分散剤３１と、を少なくとも含むナノ粒子含有塗布液を基材に塗布して塗膜を形成する塗膜形成工程と、塗膜に音波振動を与える処理、及び塗膜に分散剤に対する貧溶媒を与える処理の少なくともいずれかの処理により塗膜中でナノ粒子を凝集させるナノ粒子凝集工程と、を含むナノ粒子含有層の製造方法。 （もっと読む）

【課題】親水性が高く、耐クラック性に優れ、作業環境の影響を受けにくく膜厚や物性の均一性に優れた親水性塗膜の形成方法を提供する。
【解決手段】基材表面の汚染物質をガラスコンパウンド及び／又はメラミン樹脂スポンジで除去する第一の工程と、（Ａ）数平均粒子径が１ｎｍ〜４００ｎｍの金属酸化物粒子、（Ｂ）重合体粒子を含むコーティング組成物を、前記基材上に塗布し、その後、乾燥する第二の工程とを含む親水性塗膜の形成方法。 （もっと読む）

【課題】 塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布方法および塗布装置を提供する。
【解決手段】 塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの本管に配設された基準流量計が示す流量値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との間の関係を示す第１関係式を求める第１関係式作成工程と、塗布液を本管を介して複数の支管のうちの一つの支管にのみ供給したときの支管に設けられた流量制御バルブの流量設定値と、支管に配設された支管流量計が示す流量値との関係を示す第２関係式を求める第２関係式作成工程と、第１、第２関係式作成工程を複数の支管のうちの他の支管について順次実行する支管変更工程と、各支管に対して作成された前記第１関係式と前記第２関係式とに基づいて各支管の流量制御バルブを制御して基板に塗布液を供給する塗布工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】生産性が高く微細な電界効果トランジスタとその製造方法ならびに製造装置を提供すること。
【解決手段】以下の工程（１）から（３）よりなる印刷工程により前記基板上へラインもしくはスペース最小幅が１から５０μｍであり、印刷位置精度が１００ｐｐｍ以下の機能性膜の形成を行うことを特徴とする電界効果トランジスタの製造方法としたもの。
工程（１） 版の画線部に相当する溝構造部にドクターブレードを用いたインキング法で、機能性材料が溶媒へ溶解もしくは分散した薬液を充填する工程。
工程（２） 転写シリンダーと前記版を接触させ、前記溝構造部の薬液を前記転写シリンダーへ転移させる工程。
工程（３） 前記転写シリンダー上の薬液を前記基板の所定の位置へ転写し、機能性膜の形成を行う工程。 （もっと読む）

【課題】ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラ、かつ視覚的なざらつき感による品質低下がなく、高品質な有機機能性素子を製造できるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】複数のマトリクス状の隔壁に囲まれた吐出領域が設けられた基板上に、複数のノズルを有するインクジェットヘッドを少なくとも１個用い、吐出パターンデータにより前記ノズルからインクを吐出して濃度ムラを解消した機能層を少なくとも１層形成するインクジェットパターン形成装置において、機能層を形成する際に、吐出パターンデータは、所定の面積からなる任意の領域に存在する開口部のインクの平均量を均一にするための基準データと前記基準データを調整する調整テーブルと多値誤差拡散法によって算出する工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】液状体が配置された被描画媒体の適切な位置に適切な量の硬化光を照射できるインクジェット描画装置、及びインクジェット描画装置の制御方法を提供する。
【解決手段】インクジェット描画装置は、光硬化型の液状体を、媒体保持手段に保持された被描画媒体に向けて吐出する吐出ヘッドと、液状体の硬化光を被描画媒体に向けて射出する硬化光射出手段と、吐出ヘッド及び硬化光射出手段を保持するヘッド保持手段と、被描画媒体と吐出ヘッドとを相対移動させるとともに、吐出ヘッドから液状体を吐出して被描画媒体に着弾させる吐出走査における吐出走査方向にヘッド保持手段と媒体保持手段とを相対移動させる相対走査手段と、相対走査手段の駆動源の出力を検出する駆動出力検出手段と、硬化光射出手段を制御する硬化光射出制御手段と、を備え、硬化光射出制御手段は、駆動出力検出手段の検出結果に基づいて、硬化光射出手段を制御する。 （もっと読む）

【課題】 流量計の校正作業を容易かつ正確に実行することが可能な塗布装置およびこの塗布装置を使用した塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】 塗布液が予め貯留された容器５３は、電子天秤５４上に載置されている。容器５３の上部には、蓋体５６が配置されている。この蓋体５６は、連結部材５８を介してチャンバー５５と連結されており、容器５３の上端からわずかな距離だけ離隔した位置に配置される。校正用支管の先端部は、金属製の細管５７と連結されている。この金属製の細管５７は、容器５３内に浸入し、容器５３に貯留された塗布液中に浸漬している。電子天秤５４は、容器５３およびそこに貯留された塗布液の重量を計測する。 （もっと読む）

【課題】ノズルから吐出される液滴の重量ばらつきを高精度に較正可能なノズル吐出量の補正方法、これを用いた液滴の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例のノズル吐出量の補正方法は、ノズルから吐出される液滴の重量補正を行わない場合の吐出領域に吐出される全液滴の重量の合計値Ａと、あらかじめ設定した所定量Ｂとの差分から、補正後のノズル列単位の液滴の重量と、上記吐出領域に吐出を行う他のノズル列単位の液滴の重量の合計値Ｃが所定量Ｂとなるように、ノズル列単位の数の分の補正量計算を段階的に行う。このような補正は、吐出単位または走査単位を基準として行ってもよい。 （もっと読む）

【課題】スリット状の吐出口から被処理基板に対して処理液を吐出し、塗布膜を形成する塗布膜形成方法において、ノズル吐出口のビード量およびノズル吐出口からの吐出圧力の変化に拘わらず、現場オペレータの熟練度に依存することなく、安定した膜厚形成を行うことができ、基板に形成される塗布膜の有効面積を広範囲なものとする。
【解決手段】経過時間Ｔｓにおける推定膜厚Ｔｈは、式（１）により規定され、前記式（１）の推定膜厚Ｔｈに目標膜厚を代入し、基板Ｇの相対的移動速度Ｖを変数とすることにより、時間Ｔｓごとに前記基板の相対的移動速度Ｖを求めるステップと、前記時間Ｔｓごとに求められた前記基板の相対的移動速度Ｖに従い、ノズル吐出口に対する前記基板の相対的移動速度を制御するステップとを含む。
Ｔｈ＝（ΔＢ＋Ｑ）・β／（Ｔｓ・Ｖ・Ｌ） ・・・（１） （もっと読む）

【課題】薄膜成膜装置および薄膜成膜方法において、塗布液の蒸発を抑制する設備を設けなくても、高精度な膜厚を有する薄膜を形成できるようにする。
【解決手段】塗布液８を被成膜体４に供給する塗布液供給部６と、被成膜体４を保持する保持部２と、塗布液８を薄膜化する回転駆動部３と、薄膜化された塗布液８の膜厚を測定する膜厚測定部６と、膜厚の変化から薄膜化された塗布液８の粘度および密度を算出する塗布液特性算出部と、回転駆動部３の回転制御を行う回転制御部と、を備え、回転制御部は、回転を開始し塗布液８が有効塗布領域Ｅまで拡がったことを検出してから、塗布液８の拡がりが停止する第１の回転速度に回転駆動部３の回転速度を制御し、塗布液８の粘度および密度が算出された後に、これに基づいて目標塗布膜厚を得るための第２の回転速度を算出して、回転駆動部の回転速度を第２の回転速度に切り換える構成とする。 （もっと読む）

【課題】良好な厚さを有して光透過率及び導電性が共に優れた透明導電膜を、液相法にて容易に製造することのできる透明導電膜の製造法の提供。
【解決手段】基板１０の表面にＩＴＯのナノ粒子を含むＩｎＳｎ粒子分散液１１を塗布し（Ａ）、乾燥させることによって前記ＩＴＯナノ粒子を含むＩｎＳｎ粒子塗膜１３を形成する（Ｂ）。更に、Ｉｎ及びＳｎを含む錯体が溶解したＩｎＳｎ錯体溶液２１を塗布し（Ｃ）、乾燥させることによってＩｎＳｎ錯体塗膜２３をＩｎＳｎ粒子塗膜１３の上に形成する（Ｄ）。これを酸素濃度０．０１〜１０％の低酸素雰囲気で焼成し、続いて、還元雰囲気でアニールすると、ＩＴＯからなり光透過率及び導電性が共に優れた透明導電膜３０が、基板１０上に形成される（Ｅ）。 （もっと読む）

【課題】 均一な濃度分布の処理層を形成可能な処理層形成方法、および光学物品を提供する。
【解決手段】 本発明のハードコート層の形成方法では、処理液体を構成する組成液が導入される超音波ノズル、超音波ノズルに設けられて組成液を噴射するノズル穴と、超音波を出力して超音波ノズルに導入された組成液を微粒化させるスプレーコート装置を用い、超音波振動子から出力される超音波により組成液を微粒化し、微粒化した組成液をノズル孔から噴射するスプレーコート方式で、当該組成液を順次レンズ基材の表面上に滴下する塗布工程と、前記塗布工程の後、前記基材の表面に滴下された前記組成液を焼成して前記処理層を形成する処理層形成工程と、を備え、前記塗布工程は、少なくとも第１次塗布工程の後に、滴下された前記組成液の層厚を前記基材の表面に亘って均一化する第１次レベリング工程を備える。 （もっと読む）

【課題】大形基板への対応が可能で、材料使用効率の高いインクジェット方式等を始めとする塗布方式において簡易で安価に製造が可能であり、機能層の膜厚ムラ、白抜け、及び混色等による表示不良の無い、高品質なカラーフィルタや有機ＥＬ等の光学素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】機能層パターンを区分けする隔壁パターン２０を形成し、隔壁パターン２０の上表面に撥インク性層２２を形成し、隔壁パターン２０によって区分けされて成る開口領域内に柱形状のスペーサー４０を形成し、開口領域に機能層形成インクを塗布することにより当該開口領域に機能層を形成する。 （もっと読む）

【課題】均一な濃度分布の処理層を形成可能な処理層形成方法、および光学物品を提供する。
【解決手段】本発明のハードコート層の形成方法では、処理液体構成する組成液毎に順次インクジェット方式で前記基材の表面上に滴下する塗布工程と、前記塗布工程の後、前記基材の表面に滴下された前記組成液を焼成して前記処理層を形成する処理層形成工程と、を備え、前記塗布工程は、少なくとも第１次塗布工程の後に、滴下された前記組成液の層厚を前記基材の表面に亘って均一化する第１次レベリング工程を備える。 （もっと読む）

【課題】大型ガラス基板へ高精細なパターンでシール材を高精度に塗布できるようにする。
【解決手段】ペースト塗布ヘッドでは、大容量の親ペースト収納筒２３と小容量の子ペースト収納筒２４とが設けられており、この親ペースト収納筒２３には、多量のペーストが収納されている。子ペースト収納筒２４では、ガラス基板へのペーストパターンの描画時、そこに収納されているペーストがノズル２２から吐出される。子ペースト収納筒２４内でのペーストの収納量が少なくなると、仕切り弁３０が開放されて親ペースト収納筒２３と子ペースト収納筒２４とがペースト終点流路２７を介して連通し、親ペースト収納筒２３内のペーストが子ペースト収納筒２４に補充される。 （もっと読む）

【課題】ペーストの塗布高さの測定精度を上げ、塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】ペースト塗布装置１は、塗布対象物Ｗの被塗布面にペーストを塗布する複数の塗布ヘッド３ａと、それらの塗布ヘッド３ａにそれぞれ一体的に設けられ被塗布面の変位を測定可能な複数のレーザ変位計３ｃと、制御を行う制御部とを備える。複数のレーザ変位計３ｃのうち少なくとも一つは光路面が塗布パターンにおける二直線のうち一方の直線に沿うように配置されており、少なくとも他の一つは光路面が二直線のうち他方の直線に沿うように配置されている。制御部は、被塗布面に描画された塗布パターンを形成するペーストの塗布高さを測定するとき、当該塗布パターンにおける直線状のペーストの延伸方向に光路面が沿った状態のレーザ変位計３ｃを直線状のペーストの延伸方向と交差する方向に移動させる制御を行う。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルにおける塗布液の漏れを防止する性能を高める。
【解決手段】吐出幅変更手段９は、スリットノズル１０に形成されている幅方向に長い孔１５及びスリット１６に設けられ、幅方向に移動することによりスリット１６からの塗布液の吐出幅Ｄを変更する。吐出幅変更手段９は、孔１５の内壁面１５ａに接触するＯ形の弾性部材４１を有し孔１５を塗布液側とその幅方向外側とに区画するシール本体部１８と、スリット１６内で塗布液が幅方向外側へ流れ出るのを規制すると共に、弾性部材４１よりも硬質であって当該弾性部材４１の外周の一部に端縁部５７が食い込んでいる薄板状のスペーサ１７とを有している。 （もっと読む）

【課題】２つのノズルを用いることによって基板の塗布処理にかかるタクトタイムを向上し、且つ、かかるコストを抑制する。
【解決手段】基板搬送方向に沿って前後に配された第１のノズル１６と第２のノズル１７とを保持するノズル保持手段１２と、前記ノズル保持手段を基板搬送方向に沿って移動させるノズル移動手段１１と、前記第１のノズル及び前記第２のノズルの駆動制御と前記ノズル移動手段の駆動制御とを行う制御手段４０とを備え、前記制御手段は、前記第１のノズルと前記第２のノズルが基板搬送路上の同一の塗布位置に配置されるよう前記ノズル移動手段を制御し、該ノズル移動手段により前記ノズル保持手段を移動させ、前記同一の塗布位置に配置された前記第１のノズルと第２のノズルのいずれか一のノズルにより前記基板に処理液を吐出させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】塗布斑を生じさせることなく被処理基板に塗布膜を形成し、且つコストを低減し、生産効率を向上する。
【解決手段】基板搬送路上の基板Ｇに対しノズル１６を相対的に移動させるノズル移動手段２０と、前記ノズルと前記ノズル移動手段の駆動制御を行う制御手段５０とを備え、前記制御手段は、前記ノズル移動手段により前記ノズルを前記基板の塗布開始領域に配置し、前記塗布開始領域内において、前記ノズルの吐出口から処理液Ｒを吐出して前記基板に着液すると共に、該塗布開始領域内において、前記ノズル移動手段により前記ノズルをその走査方向に所定距離移動させる。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）