【課題】速い塗布速度で膜の形成を行うことのできる成膜方法および成膜装置を提供する。
【解決手段】本実施形態の成膜方法は、基板をステージに載置する工程と、前記ステージに対して一定の間隙を維持して配置され前記ステージに対して相対的に水平に移動可能でかつ表面に膜形成材料を含むインクが供給されるアプリケータと、前記基板との間に前記インクによるメニスカスを形成する工程と、前記メニスカスを形成した状態で前記基板と前記アプリケータとの間に電圧を印加する工程と、前記メニスカスが形成されかつ前記電圧が印加された状態で前記アプリケータを前記ステージに対して相対的に移動させて前記基板上に前記インクの膜を形成する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】塗布液が乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板に対して塗布液を塗布する際に、出来上がった塗布膜の厚さ分布の均一性の悪化を抑制できる塗布方法及び塗布装置を提供する。
【解決手段】本発明の塗布方法は、表面ｆに塗布されたレジスト液ｒが乾燥する前に撓みが生じる状態で持ち上げられる操作が行なわれる基板Ｓに対して塗布液を塗布する塗布方法であって、前記操作で生じ得る基板（Ｓ）の撓みが大きい箇所が小さい箇所に比べてレジスト液ｒの厚さが薄くなるように基板Ｓの表面ｆにレジスト液ｒを塗布する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】作業効率を高く維持しつつ、ガラスカレットが機能膜に付着することを確実に防止することが可能なフラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法を提供する。
【解決手段】フラットパネルディスプレイ用機能膜付ガラス基板の製造方法は、ガラス基板１０に対して導電材料の液滴を吐出することによって導電膜を形成する。このフラットパネルディスプレイ用導電膜付ガラス基板の製造方法は、所望のサイズのパネル状に切断された複数のガラス基板１０を単一のシート状に配列するステップと、複数のガラス基板１０の配列状態に応じた所定パターンで導電材料の液滴を吐出するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】円形の基板の周縁部に塗布液を塗布してリング状の塗布膜を形成するにあたり、その幅を均一性高く形成することができる技術を提供すること。
【解決手段】基板の回転及びノズルからの塗布液の供給を行いながら、塗布液の供給位置を基板の外側から基板の周縁部に向けて移動させ、当該基板を平面で見たときにその角度が１０°以下である楔型に塗布液を塗布し、次いで、基板の回転及び塗布液の供給を続けたままノズルの移動を停止し、基板の周縁部に沿って帯状に塗布液を塗布し、この帯状に塗布された塗布液の端部を前記楔型に塗布された塗布液に接触させ、基板の全周に亘って塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】移動するノズルから吐出される処理液の流量の変動を抑えられる技術を提供する。
【解決手段】基板処理装置２０は、基板２００を略水平に保持する基板保持部３０と、基板２００に対して略平行な主走査方向に沿って延びる主走査機構ガイド部４２と、主走査機構ガイド部４２により主走査方向に沿って移動可能に支持されたスライダ４４と、を有する主走査機構４０と、スライダ４４により主走査方向に沿って移動可能に支持され、基板２００に塗布液を吐出する吐出部５０と、吐出部５０に接続されるとともに吐出部５０に塗布液を導く可撓性の塗布液配管８０ｂと、塗布液配管８０ｂの途中の部分を支持するとともに、主走査の繰返しによるスライダ４４の周期的な動きに追随してその向きが周期的に変化する可動配管支持部１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】遮光層と着色層からなるカラーフィルタ表面の平坦性と着色層内の平坦性を改善するカラーフィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】透明基板上に所定のパターンよりなる遮光層を形成する工程と、前記遮光層の開口部に着色材料をインクジェット法により規定の配列となるように吐出する工程と、前記着色材料に含まれる溶剤を蒸発させる乾燥工程と、前記着色材料を光重合させて硬化する硬化工程と、前記硬化工程後の着色材料をさらに熱硬化し着色層を形成する加熱工程とを有し、前記着色材料が、着色剤、分散剤、バインダー樹脂、光重合開始剤、光重合モノマー、及び溶剤からなり、前記光重合開始剤として、オキシムエステル系化合物を用い、かつ膜厚分布（Ｔ１に対するＴ２およびＴ３の百分率）が、前記遮光層の膜厚に対して９０〜１１０％の範囲内である製造方法。 （もっと読む）

【課題】白色系複層塗膜を形成する際に、塗装工程において発生した欠陥部分を補修するために白色系ベースコート塗膜を研削除去しても、補修部と未補修部の色の相違が生じない補修性に優れた白色系ベースコート塗料を提供すること。
【解決手段】被膜形成性樹脂（Ａ）、硬化剤（Ｂ）、二酸化チタン顔料（Ｃ）及び有彩色顔料（Ｄ）を含有し、かつ有彩色顔料（Ｄ）が、平均一次粒子径が１００〜１０００ｎｍの範囲内である有彩色顔料（Ｄ１）を、有彩色顔料（Ｄ）の総量を基準として、７０質量％以上含有することを特徴とする着色塗料組成物。 （もっと読む）

【課題】たとえばフラットパネルディスプレイに用いられる基板に発生した欠陥の修正など、塗布針と塗布対象物との間に強い電界を形成することなく、塗布針に供給された液体材料を当該塗布針より離脱させることにより、液体材料を塗布対象物上に塗布することができる、液体塗布装置、当該液体塗布装置を備えるパターン修正装置および微細パターン描画装置、ならびに液体塗布方法を提供する。
【解決手段】液体塗布装置５は、塗布針２０と、塗布針２０による液体材料の塗布に際して塗布針２０を振動させる超音波発生器２０ａとを備えている。 （もっと読む）

【課題】デバイスの品質の低下を抑制できる液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】基板上の隔壁によって規定される凹部の開口と液滴吐出口とが対向する第１状態で、凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第１動作と、第１動作後、開口と液滴吐出口とが対向しない第２状態に変化させる第２動作と、第２動作後、第１状態に変化させて、液滴が供給された凹部に、液滴吐出口より複数の液滴を供給する第３動作と、を含み、第３動作における液滴供給位置が、第１動作における液滴供給位置より、開口のエッジから離れるように、第３動作における複数の液滴の間隔を第１動作における複数の液滴の間隔よりも狭くするための液滴供給位置の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、複数のインキの液層を同時に押し出して積み重ね、インキ液層間の混合を妨げながら乾燥して、積層体を得る製造方法に関するものである。
【解決手段】
本発明は、複数のインキ液層が積み重ねられた時、隣り合うインキ液層の両方あるいは片方のインキ液層が増粘して、隣り合うインキ液層間の混合が妨げられ、インキ液層が積み重なった構造を維持したまま基体に塗布された後、乾燥し固定する積層体の製造方法、により上記の課題を解決するものである。 （もっと読む）

【課題】生産性と、波長帯域および入射角の特性との面で有利な反射防止膜を有する光学素子を提供する。
【解決手段】この光学素子は、基材２上に反射防止膜が形成されている。ここで、反射防止膜は、基材２上に形成される第１層４と、第１層４の上に形成され、第１層４とは異なる材質からなる第２層５と、第２層５の上に形成され、凹凸構造体からなる第３層６とを含む。また、第３層６は、凹凸構造体の空間充填率を連続して変化させることで、それぞれ厚さに対する屈折率が一定の割合で変化する３つの領域を有する。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤ素子の発光波長がばらつく場合にあってもＬＥＤパッケージの発光特性を均一にして、生産歩留まりを向上させることができる樹脂塗布装置および樹脂塗布方法を提供する。
【解決手段】蛍光体を含む樹脂によってＬＥＤ素子を覆って成るＬＥＤパッケージの製造に用いられる樹脂塗布装置であって、ＬＥＤ素子の上に注入するに使用する蛍光体を含んで樹脂８を、試し塗布材４３の、開口部から底部に向かって底部の側が小さくなるように内周壁５６が傾斜したエンボス部に試し打ちして、この樹脂の光学特性を測定し、これに基づいてＬＥＤ素子の上に注入する樹脂８の注入量を制御するので、迅速にＬＥＤパッケージの色度を基準色度に十分に近付けることができる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物の表面及び裏面に相対位置精度良くパターンを形成する。
【解決手段】塗布装置１は、塗布対象物Ｗの表面Ｗａ及び裏面Ｗｂに液を塗布してパターンを形成する塗布装置であって、液をノズルから吐出する塗布ヘッド４と、塗布対象物Ｗを撮像可能な撮像部６と、塗布ヘッド４のノズルから吐出された液によって塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンを撮像部６により撮像した撮像画像に基づいて、塗布対象物Ｗの表面Ｗａに形成されたパターンの位置を検出し、その検出した位置に基づいて塗布ヘッド４による塗布対象物Ｗの裏面Ｗｂに対する液の塗布位置を調整する制御装置９とを備える。 （もっと読む）

【課題】短時間で塗布液流量を調整して、塗布液の塗布量を正確に制御することが可能な塗布液塗布装置および塗布液塗布方法を提供する。
【解決手段】塗布液の塗布を行う前に、予め、塗布軌跡の幅と各ノズルから吐出される塗布液の流量との関係を示す関係式を作成して記憶する準備工程を実行する。そして、塗布を実行する毎、あるいは、一定期間毎に、テスト塗布領域に対して塗布液を連続して吐出することにより形成された塗布軌跡の幅を測定する塗布軌跡測定工程を実行する。ガラス基板への塗布液の塗布時には、各支管流量計７５が計測した塗布液の流量値と、塗布軌跡測定工程で測定した塗布液の幅と、予め記憶した関係式とを利用して各流量制御バルブ７４の開度を調整することにより、塗布液の塗布量を適正なものとする。 （もっと読む）

【課題】隣接するノズルを誤吐出させてしまうノズルを検出する吐出状態検査モードを有する塗布装置および吐出状態検査方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル１１を有し、一部もしくは全部の隣接するノズル１１同士は、その間に駆動隔壁１４を共有し、駆動隔壁１４を伸縮させることによりノズル１１から液滴を吐出する吐出ユニット１３を備え、各ノズル１１から検査面３１へ液滴を吐出し、液滴の吐出状態を検査する吐出状態検査モードを有する塗布装置１であって、吐出状態検査モードでは、吐出ユニット１３の各ノズル１１を、液滴の吐出を行う吐出ノズルと、液滴の吐出を行わない不吐出ノズルとに分けて設定し、吐出ノズルから液滴を吐出して検査面３１への着弾パターンの形成を行い、次に、着弾パターンから液滴の位置を確認し、不吐出ノズルから誤って吐出された液滴が存在するか否かを検出することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板に塗布液を塗布して所定のパターンを形成するパターン形成技術において、異形基板に効率よくパターン形成を行うことのできる技術を提供する。
【解決手段】マニホールド空間となる窪部５５２およびこれに連通する複数の溝部５５３を有するハウジング本体５５ａと、例えばシリコーンゴム製の弾性部材５５ｂと、一部の溝部５５３に対応する位置に貫通孔５５５が設けられたカバー部材５５ｃとを重ね合わせて吐出ノズル５５が構成される。貫通孔５５５に臨む弾性部材５５ｂを押圧して弾性変形させ、溝部５５３と弾性部材５５ｂとで囲まれた塗布液流路の断面積を変化させることで、塗布液の吐出・停止を制御する。 （もっと読む）

【課題】反射率に優れた状態と維持して、経時変化による反射率の低下を抑制することができる反射皮膜の形成方法及び積分球を提供すること。
【解決手段】反射皮膜の形成方法は、光源Ｗから照射する照射光を測定位置までの光路中において反射する反射面６における反射皮膜４の形成方法であって、反射皮膜に用いられる反射性材料ａ４を接着する接着剤ａ２の成分を有する透明水性塗料を下塗塗料Ａ４として反射面の基材面５に設ける下塗工程と、下塗工程の下塗塗料が乾燥までに到る１０〜１７．５％経過したときに、純水に前記反射性材料を４０〜６０質量％の範囲なるように混合した混合液を上塗塗料Ｂ４として下塗塗料に上塗りする上塗工程と、を行い、上塗工程が完了して上塗塗料を乾燥させた後に、再度、下塗工程及び上塗工程を少なくとも一回以上繰り返すこととした。 （もっと読む）

【課題】コーティングされる基板材料やその形と共にコーティングの厚さや屈折率を効率的に制御できる強固なフィルムを作成するための低コストで簡単な方法を提供する。
【解決手段】以下の構造式で表わされる加水分解性ケイ酸塩オリゴマーを溶媒に加えることにより前駆体製剤を調整し、
【化１】


（ここで、Ｘは少なくとも三つのＸが加水分解性基でなければならないという条件でそれぞれ独立的に加水分解性基又は非加水分解性基から選択される。）基板上に前記前駆体製剤のコーティングを形成し、塩基と水と前記加水分解性ケイ酸塩オリゴマーの加水分解を抑制する抑制剤とが含まれる気体雰囲気において前記コーティングを加水分解及び縮合することにより前記コーティングを硬化すること、を含むことを特徴とする基板上にコーティングされたシリカ又はシリカ様フィルムの作製方法。 （もっと読む）

【課題】 描画対象物１枚あたりの描画時間を短縮することが望まれている。
【解決手段】 保持機構に保持された描画対象物に、液滴を吐出複数のノズルを有する第１及び第２のノズルユニットが対向する。移動機構が、描画対象物に対して、第１及び第２のノズルユニットを、相対的に、相互に交差する第１の方向及び第２の方向に移動させる。制御装置が、ノズルユニット及び前記移動機構を制御する。第１及び第２のノズルユニットの各々のノズルは、第２の方向に等間隔で配列した着弾点に液滴を着弾させるように配置されている。第１及び第２のノズルユニットは、第２の方向に間隔を隔てて配置されている。間隔調節機構が、制御装置からの制御により、第１及び第２のノズルユニットの間隔を変化させる。 （もっと読む）

【課題】液晶材料の滴下を微量かつ微細なピッチで行うことができ、結果として液晶パネルの液晶材料層を狭ギャップ化することが可能な液晶材料滴下装置及び液晶材料塗布方法を提供する。
【解決手段】液晶材料を基板に塗布する液晶材料塗布装置であって、液晶材料が貯留される液晶材料貯留手段２２と、液晶材料貯留手段２２に接続され、液晶材料貯留手段２２の内圧を所定範囲内に維持する内圧制御手段１６ａ，１７，２０と、液晶材料貯留手段２２に接続され、液晶材料を基板に塗布するインクジェット方式の塗布手段１１と、を備え、内圧制御手段は、液晶材料貯留手段に大気又は任意の気体を供給する気体供給部１８，１８ａと、液晶材料貯留手段に負圧を供給する負圧供給部１７，１７ａ，２０とを含んで構成されている。 （もっと読む）