【課題】パターン微細化が進展する状況下においても、凸状部分の高さバラツキが抑制されたレジストパターンを形成できるようにする。
【解決手段】レジスト膜に凹凸パターンを形成するパターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）と、前記凹凸パターンの凹状部分の底部に対してエッチングを行う除去工程（Ｓ６）と、を備えるレジストパターン形成方法において、前記パターン形成工程（Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４）の後で前記除去工程（Ｓ６）の前に、化学的成膜処理により保護膜を形成する保護膜形成工程（Ｓ５）を備え、前記保護膜生成工程（Ｓ５）では、前記凹凸パターンの隣り合う凸状部分に形成される前記保護膜同士が接触して連続膜となるように当該保護膜を成長させるとともに、前記連続膜の膜表面側における段差の高さが前記凸状部分の高さバラツキの高低差より小さくなるように当該保護膜の成長を行う。 （もっと読む）

【課題】長尺な金属板を樹脂材によってインサート成形して得られるインサート成形品において反りが発生するのを抑制するようにした金型装置を提供する。
【解決手段】長尺なキャビティ３０２を有する金型３０４と、長手方向をキャビティ３０２の長手方向に向けられてキャビティ３０２に入れられた長尺な金属板１３０を、キャビティ３０２の横断面から見た場合において、キャビティ３０２の中心からオフセットした位置で挟持する挟持部材３１８と、キャビティ３０２に樹脂材を注入するための注入口３１２と、を有し、金属板１３０を挟持部材３１８によって挟持した状態で注入口３１２よりキャビティ３０２に樹脂材を注入したときに金属板１３０の両側に注入される樹脂材の量が均等となるように、金型３０４および挟持部材３１８の形状が決定されるように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、操作機能を示す文字や記号等に対する照明ムラを防止することが可能な多層成形釦を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明による多層成形釦は、両端が開口した筒状を有し、非透過性の成形材料で成形された遮光部４と、遮光部４の一端に嵌合され、かつ、当該一端における開口を覆うように透過性の成形材料で成形された光導部３と、光導部３を覆うように半透過性の成形材料で成形され、遮光部４の他端側からの光を外部から視認可能に表示する表示部２とを備える。 （もっと読む）

【課題】ハードマスクパターンを用いたドライエッチングで基板の表面に凹凸のパターンを形成する場合に、パターンの側面をボーイング形状にしないで垂直面に近づける。
【解決手段】基板上にハードマスク層を形成する第１工程（Ｓ２）と、ハードマスク層を覆う状態でレジスト層を形成した後、レジスト層をパターニングしてレジストパターンを形成する第２工程（Ｓ３〜Ｓ５）と、レジストパターンをマスクに用いてハードマスク層をエッチングしてハードマスクパターンを形成する第３工程（Ｓ６）と、ハードマスクパターンをマスクに用いて基板をドライエッチングすることにより、基板に凹凸のパターンを形成する第４工程（Ｓ８）と、を含み、第４工程（Ｓ８）においては、ハードマスクパターンの後退に寄与するガスを添加したエッチングガスを用いて基板をドライエッチングすることにより、基板のエッチングの進行とともにハードマスクパターンを後退させる。 （もっと読む）

【課題】電子写真装置用ブレードのポリウレタン樹脂製のブレード部材を個別に間欠的に製造する方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの成型溝を形成した成型ドラム、それに当接したエンドレスベルトを用いたブレード部材の製造装置を用い、該成型溝は、成型されるブレード部材の大きさ形状を有しており、かつ、成型ドラム回転方向に対して平行又は直交して設けられており、ポリウレタン樹脂原料はエンドレスベルト上にブレード部材相当量が間欠的に吐出され、成型ドラムの回転に伴い、該原料が成型溝とエンドレスベルトに挟まれ、さらにそこで加熱硬化されてブレード部材となり、さらに、成型ドラムが回転し、ブレード部材の脱型位置で脱型手段により取り出される。なお、ポリウレタン樹脂原料の吐出及びブレード部材の脱型は成型溝の位置を検出して行われる。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンの形成に好適なインプリントモールド及びその作製方法、インプリントモールドを用いて製造されるパターン形成体を提供する。
【解決手段】インプリントモールドは、凹凸パターンが形成されている領域が、その周囲の面よりも高いメサ構造に形成される。このインプリントモールドの作製方法は、パターニングを行う領域の最外周を、所望のパターン領域の最外周よりも２μｍ以上外側に設定する。パターン形成体は、前記インプリントモールドの凹凸パターンを基材上の被転写層に転写して形成される。 （もっと読む）

【課題】所定の微細な凹凸パターンを表面に有するモールドを用いたナノインプリントにおいて、基板上の硬化性樹脂にモールドを押し付け、その後これらを剥離する際に、硬化性樹脂パターンのそれぞれの凸部の端部が倒れることを抑制する。
【解決手段】ライン状の複数の凸部１４および複数の凹部１５から構成される微細な凹凸パターン１３を表面に有するナノインプリント用のモールド１において、凹凸パターン１３が、所定形状の端部１５ａを有する凹部１５を少なくとも１つ含むものであり、所定形状が、上記端部１５ａを有する凹部１５における当該端部１５以外の部分であって当該端部１５ａに接続している接続部分１５ｂの断面のアスペクト比よりも小さいアスペクト比の断面を当該端部１５ａが有するような形状であるものとする。 （もっと読む）

【課題】バリの発生量を抑制しつつ、高結晶化度の成形品を得ることが可能であり、生産性に優れる射出成形品の製造方法を提供する。
【解決手段】金型内表面に、多孔質ジルコニアから構成される断熱層が形成された金型を用い、１００℃以下の金型温度で、ポリアリーレンサルファイド系樹脂組成物を射出成形する。断熱層は、溶射法で形成されたものであることが好ましい。また、断熱層の好ましい熱伝導率は、２Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。また、断熱層の好ましい厚みは２００μｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】部分収縮補正が行われたプラスチック成形品の製造方法およびこの方法によって製造されたプラスチック成形品を提供する。
【解決手段】（Ａ）プラスチックフィルム２を少なくとも１種の熱可塑性プラスチックで一方の側にバック射出し、該プラスチックフィルムの１以上の部分領域がバック射出されない工程、（Ｂ）上記工程（Ａ）で得られたプラスチック成形品を冷却する工程、を包含するプラスチック成形品の製造方法であって、（Ｃ）工程（Ｂ）で得られたプラスチック成形品の少なくともバック射出されていないそれらの領域を次いで再加熱することを特徴とするプラスチック成形品の製造方法。 （もっと読む）

【解決手段】表面に凹凸パターンが形成される直径が１２５〜３００ｍｍである円形状の金型用基板であって、該基板の直径１２５ｍｍ以下の円内の厚さばらつきが２μｍ以下である金型用基板。
【効果】表面に凹凸によるパターンが形成される円形状の金型用基板であって、上記基板の中心の直径１２５ｍｍ以下の円内の厚さばらつきが２μｍ以下である金型用基板を使用することによって、金型用基板上にパターンを作成するときと転写するときとでパターン位置が不整合になったり、パターン誤差が生じたりすることを防ぐことができ、高精細で複雑なパターンの転写が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、モールドの製造に複雑な工程を要することなく、モールド材と同じ材料からなるアライメントマークを光学的に識別することを可能とし、高いアライメント精度で位置合わせすることができるインプリント用モールド、およびインプリント方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 前記モールドのアライメントマーク領域の表面が、硬化前のインプリント用被転写樹脂に対して、少なくとも、前記モールドの転写領域の表面よりも高い撥液性を生じるようにすることにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、モールドの製造に複雑な工程を追加することなく、簡便な手法で、ネームマーク等が被転写基板や樹脂と接触するという問題を解消したナノインプリントリソグラフィ用モールド、およびその製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】 転写領域を上面とするメサ構造を形成するために非転写領域を掘り下げるエッチング工程において、同時にネームマーク等を構成する識別構造体を形成し、前記識別構造体形成用のエッチングマスクを、前記転写領域を上面とするメサ構造の高さに応じた特定の大きさに形成することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】金型のキャビティに対する充填樹脂量のばらつきを防止する。
【解決手段】磁気検出部材をインサートして発泡樹脂でモールドすることにより回転角検出装置を成形する金型６０に、キャビティ６３に連通されかつキャビティ６３を流動する溶融した発泡樹脂５２の先端部を受入れ可能な捨てキャビティ８０が設けられる。金型６０を用いて、キャビティ６３に溶融した発泡樹脂５２を射出、充填し、その発泡樹脂５２を発泡させてキャビティ６３に充満させるとともに、余剰分の発泡樹脂８４を捨てキャビティ８０にオーバーフローさせる。 （もっと読む）

【課題】樹脂を用いて射出成形により形成されるバッテリトレイであって、ウェルド部による成形品の強度低下等の影響を抑制することができるようにする。
【解決手段】電気自動車に装備され、樹脂を用いた射出成形により形成され、駆動用のバッテリを搭載されるバッテリトレイ１０であって、長方形状に形成された底面部１１ｅと、底面部１１ｅの外周に立設された周壁部１１と、底面部１１ｅの長手方向中間部に短手方向に延在するように立設された横リブ１３Ｆ，１３Ｒとを備え、射出成形の際に生じるウェルド部が、底面部１１ｅ及び周壁部１１及び横リブ１３Ｆ，１３Ｒのうちの高応力部を除く箇所に形成される。 （もっと読む）

【課題】インプリント用モールドの製造において微細なモールドパターンを高いパターン精度で形成することができ、しかも基板をエッチング加工するために形成した薄膜パターンを最終的にモールドパターンにダメージを与えないように除去できるインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板１上に、ハフニウムおよびジルコニウムのうちの少なくとも一方の元素を含有する材料で形成された下層３と、該下層の酸化を抑制する材料で形成された上層４の積層膜からなる薄膜を有するマスクブランクを用いて、前記薄膜をエッチング加工して薄膜のパターンを形成する工程と、該薄膜のパターンをマスクとして透光性基板１をエッチング加工してモールドパターンを形成する工程と、該モールドパターンを形成した後、薄膜の下層を、塩素、臭素、ヨウ素、およびキセノンのうちいずれかの元素とフッ素との化合物を含む非励起状態の物質に接触させて除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 樹脂成形体のウエルド部において、樹脂密度を高めて、熱衝撃に対する強度を高めることができるノッキングセンサの製造方法を提供する。
【解決手段】 樹脂成形体１１０を射出成形する射出成形工程であって、成形型５０の内部に形成された空間内にセンサ本体１９０を収容した状態で、成形型５０のうちセンサ本体１９０の側方に位置するゲート５１から成形材料を成形型内に流入すると、この成形材料が、センサ本体１９０の周方向周囲を時計回りＲ１と反時計回りＲ２との二手に分かれて流れた後にウエルド部Ｗにおいて合流するように流れる射出成形工程を備える。成形型５０のうちウエルド部Ｗと接触する部位の少なくとも一部は、成形型５０の内部から外部への通気性を有する多孔質体１２からなる。 （もっと読む）

【課題】適切な型締め荷重で基板をクランプすることにより、基板にダメージを与えずにモールド成形する。
【解決手段】成形型１００と型締め機構１１０と射出機構１２０とを有し、成形型の分割面間に、電子部品７を搭載した基板１０を挿入し、成形型を閉じて型締めした際の型締め荷重Ｆ０により基板１０をクランプし、成形型１００の分割面間に形成されたキャビティ１７に成形用樹脂２を射出することにより、基板１０に搭載された電子部品７を樹脂モールドする装置であり、型締め荷重測定器１３と、成形型を型締めしてキャビティ内に成形用樹脂を射出した際の成形型に作用する射出圧力に応じた型締め荷重Ｆ０と反対向きの射出荷重Ｆ２を測定する射出荷重測定器５と、型締め荷重測定器１３の測定データと射出荷重測定器５の測定データとに基づいて型締め荷重Ｆ０を許容範囲に制御する制御手段と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】切れ味が良いときのバイトで切削した溝と、切れ味が悪くなってきたバイトで切削した溝とが隣り合った部分や外観の濃淡ムラが目立たない金型を製造することができる金型の製造方法、該方法によって製造される金型、該金型を用いて製造される光学機能シート、該光学機能シートを備えた光学シート、及び該光学シートを備えた映像表示装置を提供する。
【解決手段】円柱状体の外周面に平行に切削された複数の溝と、該溝間に形成された山部とを有する金型の製造方法であって、溝を切削する順番が溝の配列順と異なる、金型の製造方法、該方法によって製造される金型、該金型を用いて製造される光学機能シート、該光学機能シートを備えた光学シート、及び該光学シートを備えた映像表示装置とする。 （もっと読む）

【課題】被成形対象に押し当てることによって前記被成形対象に微細なパターンを転写する転写用の型であって、製造が容易である転写用の型を提供する。
【解決手段】被成形対象１３に押し当てることによって被成形対象１３に微細なパターンを転写する転写用の型４１において、転写を行うための転写装置１に着脱自在であると共に、転写装置１に取り付けられた状態で受ける力、転写装置１に取り付けられ押し当てがされたときに受ける力に対して、剛性を備えたベース部材１０３と、微細な転写パターンが形成されベース部材１０３に一体的に貼り付けられている剛性の小さい型部材１０４とを有する。 （もっと読む）