【課題】ターゲットの製造時およびスパッタリング時に割れを生じることのない高強度な酸化亜鉛焼結体および高抵抗な酸化亜鉛薄膜を提供する。
【解決手段】ジルコニウムを１０〜１０００ｐｐｍ含有し、抵抗率が１０^５Ω・ｃｍ以下である円筒形状の酸化亜鉛焼結体から成るスパッタリングターゲットを作製する。
またジルコニウムを１０〜２０００ｐｐｍ含有し、抵抗率が１０Ω・ｃｍ以上であり、膜厚１００ｎｍのとき、波長５００ｎｍの透過率が７５％以上の酸化亜鉛薄膜を製造する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ジルコニア−イットリア転動体の転がり疲れ寿命を改善することを目的としている。
【解決手段】転動体は、ジルコニア（ＺｒＯ_２）―アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を主成分とする酸化物系セラミック製のものであり、該転動体の中に、アルミナの結晶粒径が安定化ジルコニア粒子の結晶粒径の１／５以上、且つアルミナ−安定化ジルコニアの混合平均粒径の３倍以下であり、且つアルミナの平均粒径は３μｍ以下である転がり支持装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ含有ニオブ酸系ペロブスカイト構造を有する圧電セラミックスにおいて、優れた強誘電特性及び圧電特性を示す圧電セラミックスとして、多岐に渡る圧電セラミックス部品の開発の要望に答え、延いてはＰＺＴを主成分とする圧電セラミックス部品を代替し、環境負荷を低減する。
【解決手段】 Ｋ、Ｎａ、Ｎｂ、およびＯをその構成元素とするアルカリ含有ニオブ酸系ペロブスカイト構造を有する圧電セラミックスにおいて、結晶粒子の平均粒子径が、０．８〜２μｍの範囲にあり、且つ、機械的特性に優れた圧電セラミックスとし、小粒径でありながらもその粒界が強く接合して機械的強度にすぐれた非鉛圧電セラミックスとすることで、その強誘電特性及び圧電特性を飛躍的に向上させることで、ＰＺＴを主成分とする圧電セラミックス部品を代替することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高密度でバルク均一性が高く、製造時のみならずスパッタリング時にも、クラック、割れ、変形などが発生しない、円筒形スパッタリングターゲット用酸化物焼結体を得る。
【解決手段】２枚のメッシュ状の敷板(2)を隙間(9)を介して配置し、その上に、中空部分(8)の下方を隙間(9)が通過するように、成形体(1)を載置し、配管(3-1)を、配管出口の高さが成形体(1)の高さ方向の下部付近となるように、配管(3-3)を、配管出口の高さが成形体(1)の高さ方向の上部付近となるように、配管(3-2)を、敷板(2)の隙間(9)を介して成形体(1)の中空部分(8)に雰囲気ガスが流れるように、それぞれ配管の長さを調整して、雰囲気ガスを炉内に流通させて焼成を行う。得られる酸化物焼結体のバルクの各点での、密度の相対標準偏差は１％以下、比抵抗値の相対標準偏差は10％以下、平均結晶粒径の相対標準偏差は５％以下、密度は理論密度の90％以上である。 （もっと読む）

【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第１酸化物粉末と第２酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、
第１酸化物粉末がＳｉＯ₂粉末であって、第１酸化物粉末の第１酸化物純度が９８％以上であり、第２酸化物粉末がＺｎＯ、ＭｇＯ及びＣａＯからなる群より選ばれた１種の粉末又は２種以上の混合粉末であって、第２酸化物粉末の第２酸化物純度が９８％以上であり、蒸着材が第１酸化物粒子と第２酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第１酸化物と第２酸化物とのモル比が５〜８５：９５〜１５であり、かつ、ペレットの塩基度が０．１以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた導電性と成膜時に異常放電を抑制した透明導電膜の成膜を可能にするチタン（低原子価）ドープ酸化亜鉛系透明導電膜形成材料を提供する。
【解決手段】低原子価酸化チタン粉と酸化亜鉛粉もしくは水酸化亜鉛粉との混合粉、またはチタン酸亜鉛化合物粉を含み、チタンの原子数の全金属原子数に対する割合が２％超１０％以下である原料粉末を用いて、真空中または不活性雰囲気中にて７００℃以上１２００℃以下の焼結温度で放電プラズマ焼結を行う。 （もっと読む）

【課題】実用に耐えうる導電性を保ちながら、かつ耐候性を備え、パターニングの際に適当なエッチングレートを有する透明導電膜を成膜するためのターゲットに用いることができる酸化亜鉛系透明導電膜形成材料、その製造方法、それを用いたターゲット、および酸化亜鉛系透明導電膜の形成方法を提供する。
【解決手段】本発明の酸化亜鉛系透明導電膜形成材料は、実質的に亜鉛、モリブデンおよび酸素からなる酸化物焼結体であって、モリブデンが原子数比でＭｏ／（Ｚｎ＋Ｍｏ）＝０．０２以上０．１以下となるよう含有されている。 （もっと読む）

【課題】粒成長が抑制され緻密で優れた機械的特性を備えた多結晶材料とその多結晶材料の簡便且つ効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】母材粒子電荷調整工程Ｓ２１および繊維状物質電荷調整工程Ｓ２２にてそれぞれ得られた母材粒子と繊維状物質とを混合して、両者を静電的引力によって結合させ、複合化する。繊維状物質の配合量を調節することで、疎密な状態でありつつ母材粒子の表面を包接する態様（網目状に包接）で、繊維状物質が母材粒子に付着された複合粒子を生成することができる。母材粒子が焼結する焼成温度において、繊維状物質は実質変化を起こさないものが選択されている。このため、焼成工程Ｓ４を経て得られる本多結晶材料は、粒成長が抑制され、結晶粒が微細で緻密、且つ、均質なものとなる。 （もっと読む）

【課題】結晶配向セラミックスの成長のシードとして好適に用いられる鉛系圧電材料を提供する。
【解決手段】上記課題は、粒子状の鉛系圧電材料であって、メジアン径が１μｍ未満であり、［算術偏差／平均］で表される粒度分布が１５％以下であり、全粒子のうち８５％以上が立方体形状を有する鉛系圧電材料によって解決される。 （もっと読む）

【課題】誘電体層の薄層化に適した誘電体スラリーを提供することができる誘電体スラリーの製造方法と、誘電損失が小さく、高誘電率で長寿命の積層セラミック電子部品とを提供すること。
【解決手段】誘電体粉末と溶剤とを少なくとも含む分散前処理溶液を、予備分散処理により混合分散する工程と、予備分散処理が行われた処理済み溶液を、湿式分級装置を用いて分級する工程と、を有し、予備分散処理が、予備分散処理前の溶液に含まれる誘電体粉末のＢＥＴ比表面積（α）に対する予備分散処理後の溶液に含まれる誘電体粉末のＢＥＴ比表面積（β）の変化率（１００×（β−α）／α）が１〜５％である。 （もっと読む）

【課題】 反射率が高く、かつ、良好な機械的特性も備えた発光素子搭載用基体および発光装置を提供する。
【解決手段】 セラミックスからなるセラミック基体であって、発光素子が搭載される一方の主面側に位置する第１の表層と他方の主面側に位置する第２の表層とを有し、前記第１の表層の単位面積あたりの円相当径0.8μｍ以上の気孔数が、前記第２の表層の単位面
積あたりの円相当径0.8μｍ以上の気孔数よりも多いので、発光素子搭載用基体１の反射
率を向上させることができる。また、第２の表層の気孔数が、第１の表層の気孔数より少ないので発光素子搭載用基体の強度を保持できる。また、この発光素子搭載用基体を発光装置に用いれば、反射率が高く、良好な機械的特性を備えた発光装置を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】セラミックス基板の絶縁破壊耐圧と熱伝導率との両立を図る。
【解決手段】非球状のセラミックス粒子と、それより粒径の小さいセラミックス粒子とを含む混合物を形成し、その混合物中の非球状セラミックス粒子に一定の方向性をもたせた後、焼成する。このようにすることで、非球状のセラミックス結晶粒子１１ａを含む結晶組織１１ｂを有していて、その第１面の粒度分布の中心粒径が１０μｍ乃至６０μｍで、第１面と直交する第２面の粒度分布の中心粒径が５μｍ乃至３０μｍである、絶縁破壊耐圧及び熱伝導率が共に良好な、セラミックス基板１１を得る。 （もっと読む）

【課題】本発明の態様は、パーティクルの発生を抑制することができるとともに、静電チャック表面の清浄状態を容易に回復させることができる静電チャックを提供する。
【解決手段】被吸着物を載置する側の主面に形成された突起部と、前記突起部の周辺に形成された平面部と、を有する誘電体基板を備えた静電チャックであって、前記誘電体基板は、多結晶セラミックス焼結体から形成され、前記突起部の頂面は曲面とされ、前記頂面には第１の凹部が形成され、前記平面部は、平坦部を有し、前記平坦部には第２の凹部が形成され、前記第１の凹部の深さ寸法は、前記第２の凹部の深さ寸法よりも大きいこと、を特徴とする静電チャックが提供される。 （もっと読む）

【課題】耐熱衝撃係数の改良された多孔質ムライト組成物の提供。
【解決手段】多孔質ムライト組成物は、ムライト（例えば、クレー、アルミナ、シリカ）中に存在する元素及び特性増進性化合物を有する、１種又はそれ以上の先駆体化合物の混合物を形成させることにより製造する。前記特性増進性化合物は、Ｍｇ、Ｃａ、Ｆｅ、Ｎａ、Ｋ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ、Ｂ、Ｙ、Ｓｃ、Ｌａ及びこれらの組み合わせよりなる群から選ばれる元素を有する化合物である。この混合物は賦形されて多孔質の生の造形物を形成し、その造形物は、フッ素含有ガスを有する雰囲気下で、本質的に化学的に結合した、針状ムライト粒状物から実質的になるムライト組成物を形成するのに十分な温度に加熱する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、低温同時焼成セラミック組成物及びこれを含む低温同時焼成セラミック基板並びにその製造方法に関する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る低温同時焼成セラミック組成物は、セラミック粉末２０〜７０重量部と、低温焼結用のガラス成分３０〜８０重量部とを含み、当該セラミック粉末は、板状セラミック粉末と球状セラミック粉末とを含み、当該板状セラミック粉末に対する当該球状セラミック粉末の含量比（球状セラミック粉末／板状セラミック粉末）が０〜１である。本発明に係る低温同時焼成セラミック組成物は、面方向（ｘ−ｙ方向）の収縮が抑制され、且つ優れた強度を有することができる。 （もっと読む）

【課題】透明性及びガスバリア性に優れた薄膜の形成に好適な蒸着材及び該薄膜を備える薄膜シート並びに積層シートを提供する。
【解決手段】第１酸化物粉末と第２酸化物粉末とを混合して作られた蒸着材において、
第１酸化物粉末がＭｇＯ粉末であって、第１酸化物粉末の第１酸化物純度が９８％以上であり、第２酸化物粉末がＺｎＯ粉末であって、第２酸化物粉末の第２酸化物純度が９８％以上であり、蒸着材が第１酸化物粒子と第２酸化物粒子を含有するペレットからなり、蒸着材中の第１酸化物と第２酸化物との比率が５〜８５：９５〜１５であり、かつ、ペレットの塩基度が０．１以上であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング法による透明導電膜の製膜時のノジュールの発生を抑止して安定性よく製膜することのできるスパッタリングターゲットおよびその製造法を提供する。
【解決手段】酸化インジウムと酸化ガリウムおよび酸化亜鉛からなる金属酸化物の焼結体であって、該金属酸化物がＩｎ_２Ｏ_３（ＺｎＯ）_ｍ〔ただし、ｍは２〜１０の整数である。〕、Ｉｎ_２Ｇａ_２ＺｎＯ_７、ＩｎＧａＺｎＯ_４、ＩｎＧａＺｎ_２Ｏ_５、ＩｎＧａＺｎ_３Ｏ_６、ＩｎＧａＺｎ_４Ｏ_７、ＩｎＧａＺｎ_５Ｏ_８、ＩｎＧａＺｎ_６Ｏ_９およびＩｎＧａＺｎ_７Ｏ_１０の群から選択される１種または２種以上の六方晶層状化合物を含有し、かつ、酸化インジウム９０〜９９質量％、酸化ガリウムと酸化亜鉛の合計１〜１０質量％の組成を有する焼結体からなるスパッタリングターゲット。 （もっと読む）

【課題】焼成時や使用時の熱による収縮および変形を抑制することができるセラミックス構造体の製造方法およびセラミックス構造体を提供する。
【解決手段】セラミックス構造体１０の製造方法は、粒子径がメジアン直径の９０〜１１０％になるまで分球したセラミックス粒子１０１を焼成（第１焼成工程）し、焼成したセラミックス粒子１０１を結合剤１０２と混練した後に所望する構造体の形状に成形し、得られたセラミックス成形体１０３を第１焼成工程よりも低い温度で焼成（第２焼成工程）する。この製造方法によれば、焼成時や使用時の熱によるセラミックス構造体の熱収縮および変形をより小さく抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】 β−ユークリプタイトと酸化物とに基づくセラミックス複合材および該複合材の製造方法を提供する。
【解決手段】 ５５重量％（６９体積％）未満のβ−ユークリプタイト含有率を有する、酸化物とβ−ユークリプタイト結晶とに基づく焼結セラミックスであることを特徴とする、１．３×１０^−６Ｋ^−１未満の熱膨張係数を有する複合材。 （もっと読む）

【課題】発光ダイオードを小型薄型化することができる反射特性を向上させたセラミックスを提供すること。
【解決手段】本発明では、反射板及び同反射板を用いた発光ダイオード（１）並びにそのパッケージ（２）において、アルミナとジルコニアとの混合物を焼成したセラミックスを用いることにした。特に、前記ジルコニアの含有量を２０〜５０重量％とし、また、前記ジルコニアの粒径をアルミナの粒径よりも小さくし、或いは、前記アルミナとジルコニアとの混合物にバリウム化合物を２〜５重量％添加することにした。なお、発光ダイオード（１）は、発光ダイオード素子（３）を実装するためのベース体（４）の上部に、反射面（９）を有する開口（８）を形成したカバー体（５）を貼着した発光ダイオード用パッケージ（２）を用いた構造とした。 （もっと読む）