【課題】パルスジェットと噴霧原料液滴との接触を効率的に行うことができ、パルスジェットと原料液滴とのエネルギー効率を向上させることができるため、噴霧器により得られた原料の噴霧液滴をパルスジェットに接触させると同時に高温雰囲気下に接触させる際、より結晶化度の高い、凝集の少ない単結晶の分散したナノサイズの原料由来の微粒子を工業的に低コストで量産することができるパルス噴霧熱分解方法及び装置を提供する。
【解決手段】パルス燃焼器１から発生したパルスジェット９に、噴霧器２２から噴霧した原料液滴２３を接触させながら高温雰囲気下で熱分解し、原料由来の微粒子を得る噴霧熱分解方法である。パルス燃焼器１の周囲に配置された少なくとも１個以上の噴霧器２２から噴霧された原料液滴２３を、パルスジェット９の噴出方向Ｘの側面から接触させる。 （もっと読む）

【課題】生成される金属酸化物粒子の平均粒子径の制御を行うことが可能な金属酸化物粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の金属酸化物粒子の製造方法は、金属酸化物前駆体として、金属硝酸塩又は酸化金属硝酸塩の溶液を調整する調整工程と、前記溶液を加熱する加熱工程と、を有する金属酸化物粒子の製造方法において、前記加熱工程では、昇温速度が一定となるように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維を利用したガスセンサーを提供する。
【解決手段】本発明によるガスセンサーは、絶縁基板と、該絶縁基板の上部に形成された金属電極と、該金属電極の上部に形成された高感応性を有するナノ粒子が塗布された酸化物半導体ナノ繊維層とを含む。本発明によれば、酸化物を電気放射用溶液で製造した後、これを電気放射し、熱処理して酸化物半導体ナノ繊維を形成し、次いで、大きい比表面積を有するナノ繊維の表面に特定ガスに高感応性を有するナノサイズの金属酸化物または金属触媒粒子を部分的に塗布し、超高感度、高選択性、高応答性、長期安定性の特性を有する酸化物半導体ナノ繊維ガスセンサーを製作することができる。 （もっと読む）

【課題】光特性の制御が可能であり、光増感物質を均一に吸着させることができ、しかも相対的に多量の光増感物質を吸着させることが可能な球状酸化物半導体粒子、並びに、これを用いた集積体及び光電極を提供すること。
【解決手段】酸化物半導体からなる結晶子の集合体からなる多孔質の球状粒子であり、前記球状粒子の直径が０．０５〜２μｍである球状酸化物半導体粒子、並びに、これを用いた集積体及び光電極。前記球状粒子の単分散度は、１０％以下が好ましい。 （もっと読む）

【課題】反応管の内壁部に固着する膜状生成物の生成を抑制して、金属塩化物の蒸気と酸素とを急加熱・急冷却させて金属酸化物粒子を効率よく連続的に製造する金属酸化物粒子の製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】中空外筒１の上流部に中空内筒５が挿入された部分二重管構造を有する反応管１１に反応ガスを流通させて金属酸化物粒子を製造する方法であって、中空内筒５に金属塩化物を含む前記反応ガスを流すとともに、中空内筒５と中空外筒１との間に金属塩化物を含まないバリアガスを流しつつ、中空内筒５の下流端部５ｂよりも上流において前記反応ガスと前記バリアガスとを予熱し、中空内筒５の下流端部５ｂよりも下流側に離れた領域において前記反応ガスを本加熱して、前記金属塩化物を熱分解させる金属酸化物粒子の製造方法を用いることにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】有機酸塩法により、粒子径が小さく、しかも粒度が揃った酸化物微粒子粉末が得られる酸化物微粒子粉末の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の酸化物微粒子粉末の製造方法は、金属錯体ゲルの乾燥粉を、第１の雰囲気下で熱処理して焼成粉を得る第１工程と、焼成粉を、第１の雰囲気よりも酸素濃度が高い第２の雰囲気下で熱処理して酸化物微粒子粉末を得る第２工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、多孔質基材の孔部を金属酸化物で効率良く埋めることができ、表面平滑性および緻密性等に優れた金属酸化物膜を形成することができる積層体の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、金属源として金属塩または有機金属化合物が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した多孔質基材に噴射することにより、上記多孔質基材上に金属酸化物膜を形成する積層体の製造方法であって、上記金属酸化物膜形成用溶液の噴射方向を、上記多孔質基材側に向け、かつ、上記多孔質基材表面の法線方向に対して傾けることを特徴とする積層体の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】従来の固相法に比べて低温でセラミックス粉体を得ることができる製造方法、およびかかる製造方法を用いたセラミックス膜の製造方法を提供すること。
【解決手段】セラミックス粉体の製造方法は、金属化合物を含む原料液を準備する工程と、前記原料液を噴霧・乾燥させることにより粉体を形成する工程と、を含み、前記金属化合物は、加水分解性金属化合物および熱分解性有機金属化合物の少なくとも１種を含む。 （もっと読む）

ナノファイバー、およびこのナノファイバーの作製方法について開示する。多孔質の金属酸化物ナノファイバー、および、エレクトロスピニング法によって作製された、金属ナノ粒子を含む多孔質の金属酸化物ナノファイバーについてさらに開示する。
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【課題】有機廃棄物の熱分解により発生する熱分解ガスの温度の低下を防止する。
【解決手段】有機物処理装置１００が、原料有機物を熱分解装置１にて熱分解し、その際に発生した熱分解ガスを処理する酸化触媒装置２及び中和洗浄装置３を具えており、熱分解装置１が、熱分解装置１内のセラミックス層２８の下方に配置され、熱分解装置１内で熱分解により発生した熱分解ガスを熱分解装置１内に溜まった材料層の全面にわたって通過させる分解ガス通過管６１を有しており、分解ガス導入管６１の側面もしくは下面に、分解ガス導入管６１によって導入された熱分解ガスをセラミックス層２８に向けて吹き出させるための分解ガス吹出口６２が形成されている。また、熱分解装置１の上部に熱分解装置１内部の熱分解ガスの圧力調整を行なうための大気開放された圧力調整部５１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】より実用的な噴霧熱分解装置用の反応室を提供する。
【解決手段】原料のミストを熱分解する噴霧熱分解装置のための反応室を、ミストＭを、ミストを加熱するための加熱手段１０に対してより遠位部位からより近位部位へと移送可能な移送経路４を備えるようにする。こうした反応室２によると、反応室２内に形成される温度分布を利用してミストの熱履歴を均一化できる。 （もっと読む）

【課題】簡便に実施でき、樹脂鋳型の使用量を削減し、不必要な成分を含有せず、多量生産が可能なセラミックス中空粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】 ポリスチレンの有機溶媒溶液に、水と疎水化されたセラミックス粒子とを添加して分散させた拡散相液を得る拡散相調製工程、前記拡散相液を、水中に分散させてエマルションを得るエマルション調製工程、前記エマルションから溶媒を除去、乾燥させてポリスチレンとセラミックスとからなるポリスチレン−セラミックス中空粒子を得る粒子形成工程、及び、前記ポリスチレン−セラミックス中空粒子を酸化雰囲気中で加熱してセラミックス中空粒子を得る焼成工程を備えたセラミックス中空粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物系のナノ粒子だけでなく、金属酸化物以外のナノ粒子にも適用でき、且つ、均一な粒子径を持つナノ粒子を、簡単な手法で合成する技術の開発。
【解決手段】ナノ粒子前駆体と界面活性剤とを含有する液状混合系からナノメーターサイズの粒子を形成させる反応場に、有機溶媒を共存せしめ、該有機溶媒存在下に該ナノメーターサイズの粒子形成を行うことで、均一な形状とその粒子径が比較的均一であるナノ粒子を簡単に合成できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、結晶性や結晶構造の結晶状態が、段階的または連続的に変化した金属酸化物膜を、簡便な方法により得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、金属源として金属塩または有機金属化合物が溶解し、かつ、金属酸化物膜の結晶状態を変化させる酸の濃度が異なる金属酸化物膜形成用溶液を、上記酸の濃度を変化させつつ、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に、結晶状態が段階的または連続的に変化した金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、結晶性の低い金属酸化物膜を得ることができる金属酸化物膜の製造方法を提供することを主目的とする。
【解決手段】本発明は、金属源として金属塩または有機金属化合物が溶解した金属酸化物膜形成用溶液を、金属酸化物膜形成温度以上の温度まで加熱した基材に接触させることにより、上記基材上に金属酸化物膜を得る金属酸化物膜の製造方法であって、上記金属酸化物膜形成用溶液が、金属酸化物膜の結晶性を低下させるホウ素化合物を含有することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 酸化珪素膜、金属埋め込み膜等へ研磨傷の発生を防止又は低減することが可能なＣＭＰが実施できる金属酸化物粒子、これを含む研磨材、この研磨材を用いた基板の研磨方法及び研磨して得られる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 金属化合物を１０００℃以上で加熱処理することによって作製され、かつ結晶子サイズが３０ｎｍ以上及び結晶歪が１％以下である金属酸化物微粒子、この金属酸化物微粒子を含む研磨材、該研磨材を用いて、所定の基板を研磨することを特徴とする基板の研磨方法及び酸化珪素膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする半導体装置の製造方法若しくは金属膜が形成された半導体チップを、前記の研磨材で研磨することを特徴とする導体装置の製造方法。 （もっと読む）

【課題】ナノ結晶、例えば、安価な工程によって非極性環境で可溶性の金属酸化物ナノ結晶を得る合成工程を提供する。
【解決手段】新規の無溶媒方法を用いて高品質・高収率のナノ結晶、すなわち、金属酸化物ベースのナノ結晶を作成するための方法。ナノ結晶は、有利には有機アルキル鎖キャッピング基を含み、空気中及び非極性溶媒内で安定している。 （もっと読む）

【課題】 構造が簡単で微細な粉末の焙焼を効率的に行うことができる焙焼炉と、それを用いて厚膜抵抗体形成用として好適な酸化イリジウム粉の効率的な製造方法を提供する。
【解決手段】 焙焼炉内を複数の加熱領域に分け、各加熱領域を別々に温度制御することができる焙焼炉を使用する。また、焙焼炉内の断面形状が略角型であって、雰囲気ガスが原料表面を吹込み方向と略同一方向のみに流れる層流とする。複数本の雰囲気ガス吹込み用ノズルを並列して設置してある。この焙焼炉を用いて、昇温時に各加熱領域を別々に温度制御しながら、ヘキサクロロイリジウム（IV）酸アンモニウム又はヘキサクロロイリジウム（IV）酸カリウムを６００〜１０５０℃で酸化焙焼することにより品質の安定した酸化イリジウム粉が得られる。 （もっと読む）

【課題】金属酸化物微粒子の製造方法及び製造システムの提供。
【解決手段】微粒子化のターゲットとなる金属の金属塩を該金属塩の分解温度未満でアルカリ金属塩の溶融塩に溶解した後、この溶融塩をターゲット金属の塩の分解温度以上に昇温させてターゲット金属の酸化物微粒子を生成せしめた後、該微粒子を含有する溶融塩を急冷することによって、ターゲット金属の酸化物微粒子を製造する方法及び製造するシステム。金属酸化物微粒子の生成が促進される一方、該微粒子の粗大化が抑制され、粒度分布の狭い微粒子群を得ることができる。 （もっと読む）

本発明は、チタン、亜鉛、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、タンタルの中から選択された遷移元素の酸化物からなり、アモルファスカーボンによってコーティングされたナノ粒子の製造方法であって、以下の連続する工程を含む。すなわち、（ｉ）前駆体として、少なくとも１つの前記遷移金属のアルコキシドと、アルコールと、前記遷移金属に対して過剰な量の酢酸と、を含む液体混合物を準備し、前記液体混合物を、水で希釈し、水溶液を形成する工程であって、前記前駆体は、前記水溶液を凍結乾燥できるように、ゾルの形成を防ぐ、もしくは実質的に形成させないようなモル比でもって前記水溶液に含まれ、前記遷移金属元素、炭素元素、および酸素元素は、化学量論比でもって前記ナノ粒子に含まれる工程と、（ｉｉ）前記水溶液を、凍結乾燥する工程と、（ｉｉ）前記ナノ粒子を得るために、前記工程で得られた凍結乾燥物を、真空下もしくは、不活性雰囲気下において熱分解する工程を含む。本発明は、また、遷移金属炭化物を製造する方法のアプリケーションにも関連する。 （もっと読む）