【課題】薬液混合供給方法を提供する。
【解決手段】本発明は硫酸、過酸化水素、超純水、及びＨＦが混合したエッチング処理液を作る半導体製造工程の薬液混合供給方法に係り、本発明の薬液混合供給方法は、（ａ）混合タンクにＨＦがＰＰＭ単位に混合するようにＨＦを供給する段階と、（ｂ）前記混合タンクに超純水、過酸化水素、及び硫酸を一定割合供給して混合する段階とを含み、前記（ｂ）段階は、前記超純水、過酸化水素、及び硫酸の供給開始時点が互いに異なることを特徴とする。
このような薬液混合供給方法によると、硫酸、過酸化水素、及び超純水の供給開始時点を各々異にして、硫酸と過酸化水素との相互反応時間を最小化することによって、硫酸と過酸化水素の混合過程で発生する発熱時間が最小化できる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、機能水を用いて基板を洗浄する装置に機能水を供給するシステムを提供する。
【解決手段】本発明のシステムにおいて、機能水生成器から生成された機能水が機能水供給管を通じて分配器に供給される。以後、機能水は、装置が工程進行中である際には装置に供給され、装置が工程進行しない際には機能水回収管を通じて機能水生成器に回収される。機能水供給管にはバッファタンクが設けられ、バッファタンクに連結された循環ラインで機能水の濃度が測定される。機能水の濃度が設定範囲を逸脱すると、搬送管を通じて機能水は機能水生成器に搬送される。 （もっと読む）

【課題】 液化ガスの密度に着目して、余分な機器設備を必要とせずに、短時間で均一な液化混合ガスを製造することができる液化混合ガスの製造方法を提供する。
【解決手段】 液密度が異なる複数の液化ガスを容器内で混合して液化混合ガスを製造するにあたり、容器内の液化ガスの液密度に対して液密度が大きな液化ガスは上方から導入し、容器内の液化ガスの液密度より液密度が小さな液化ガスは下方から導入し、液密度が異なる二種類の液化ガスを同時に容器内に導入するときには液密度の大きい液化ガスを上方から導入するとともに液密度の小さい液化ガスを下方から導入する。 （もっと読む）

圧電式ディスペンス機器１０は、液貯蔵部２０ａと圧電式ディスペンスチューブ７０とを含む圧電式ディスペンス装置２０を含む。本機器は、本装置とプランジャとを収容する取付け台を含み、プランジャは、貯蔵部に接し、貯蔵部の上部を密閉するように形成および構成され、また、貫通孔を形成し、これにより、貫通孔を介して、貯蔵部に対して減圧および／または加圧を行う。プランジャは、取付け台に対し近づいたり離れたりして上下方向に移動することができる。液体貯蔵部は、開口上部を形成するとともに基部に流出口を形成し、流出口はフィルタによって閉鎖される。貯蔵部の基部には、脚部が形成される。二次フィルタアセンブリは、貯蔵部の基部に装着可能である。二次フィルタアセンブリは、二次フィルタアセンブリが貯蔵部に取り付けられると、貯蔵部と流体連通する孔部を形成する。また、二次フィルタアセンブリは、孔部と流体連通する圧電式ディスペンスチューブを着脱可能に取り付ける手段を形成する。圧電式ディスペンス装置は、貯蔵部が着脱可能な二次フィルタアセンブリに取り付けられるまで貯蔵部の流出口を閉鎖するダックスバムバルブまたはセプタムを含む。
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流動接触分解触媒注入システムにおいて触媒を調量供給する方法および装置が提供される。一実施形態では、流動接触分解触媒注入システムにおいて触媒を調量供給する装置は、この装置の高圧サイドを規定する圧力容器に結合された低圧貯蔵容器を含み、移送された触媒量の測定はこの装置の低圧サイドで行われる。
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【課題】材料の供給量を微少量から多量の広範囲にわたって精度良く調整することができる材料供給装置を提供する。
【解決手段】材料を収納する器体の底部開口に、器体内から材料を取出して移送する複数本の材料移送手段13，14を並列設置する。これらの材料移送手段13，14は、駆動用の流体圧モータ18，19をそれぞれ備え、これらの流体圧モータ18，19に供給する作動流体の流量は、複数の流量制御弁35，36により個別に制御可能である。複数の流体圧モータ18，19を並列運転する並列接続回路44と、複数の流体圧モータ18，19を直列運転する直列接続回路53は、切換弁54，55によって切換えることができる。
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洗浄溶液を生成及び分配する方法並びに装置。洗浄溶液は分配装置内で化学物質を反応させることによって生成される。一つの実施態様では、分配装置は触媒又は反応物を収容している導管を有する。前駆体は、導管を通る際、反応して洗浄溶液を形成する。洗浄溶液は次いで、分配される前にタンクに貯蔵される。別の実施態様では、分配装置は洗浄溶液を生成するのに用いられる前駆体を収容している第１の部分と、洗浄溶液を生成するのに用いられる１つ又は複数の反応物若しくは触媒を収容している第２の部分とを有する。分配動作中、第１の部分の内容物が第２の部分の内容物と接触し、それにより、化学反応が生じて洗浄溶液が生成される。いくつかの実施形態では、分配装置の１つ又は複数の部分は移動プラットフォームに載置される。
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【課題】衛生的で、作業性に優れるとともに、商品価値の低下がない食品等の間歇供給方法ならびにその装置を提供する。
【解決手段】下部に吐出口２５を形成した密閉可能なホッパー１６と供給物貯留部２とを吸い上げ管１８で連結し、吸上げ管１８のホッパー１６近傍部分と、ホッパー１６と真空装置とを連通する負圧供給経路７中にそれぞれ開閉弁２１，２２を設けるとともに、ホッパー１６内の負圧を開放する開放弁２４を設け、負圧供給経路７中の開閉弁２１を開いてホッパー１６内を負圧にし、この負圧で吸上げ管１８から供給物貯留２部の食品等の供給物４を吸引し、ホッパー１６内に食品等の供給物４が所定量吸引されると、負圧供給経路中７の開閉弁２１を閉じてから、若しくは負圧供給経路７中の制御弁を閉じると同時に吸上げ管１８の開閉弁２２を閉じてホッパー１６内と供給物貯留部２側の吸上げ管１８との連通を遮断する。 （もっと読む）

【課題】薬液洗浄の作業負担が軽くて済むと共に長時間の連続運転が可能な石灰水注入装置を提供する。
【解決手段】スラリー槽（３）との連通／遮断が可能なケーシング収納タイプのろ過膜モジュール（５，６）を用い、運転時は連通させておき、薬液洗浄時は遮断する。複数台のろ過膜モジュール（５，６）を用い、少なくとも１台の運転ろ過膜モジュールでスラリー（Ｌ）のろ過を継続しながら、残りのろ過膜モジュールを逆洗する。
【効果】薬液洗浄時にスラリー槽（３）内のスラリーを薬液（Ａ）に入れ替えたり，ろ過膜モジュール（５，６）をスラリー槽（３）から引き上げる手間がかからず、薬液洗浄の作業負担が軽くて済む。逆洗時にも一部の運転を継続するから長時間の連続運転が可能となる。 （もっと読む）

【課題】検液等の液体の分離・混合作業等を密閉空間内で正確に且つ容易に行えるようにする。
【解決手段】密閉された貯留室２内の第１の液体３の一部を密閉された液体分離室５内に移動させた後、液体分離室５に逆止弁４０を介して接続されている密閉された分注準備室４１に液体分離室５内の第１の液体３の所定量を移動させる液体分離部６と、分注準備室４１内の第１の液体３を密閉された液体混合室７内に導入し、液体混合室７内に予め注入してある第２の液体８と第１の液体３とを混合する液体混合部１０と、を備えている。これにより、第１の液体３を所定量だけ分離する作業、及び分離した第１の液体３を第２の液体８に混合する作業を、大気と遮断された密閉空間内で行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 カップシール方式のポンプのシール性低下による設定圧力の低下を防止する。
【解決手段】 カップシール方式のポンプ４２のエア吐出側の配管に絞り弁４５を設ける。絞り弁４５からの加圧エアをノズル制御部５１によりエアノズル４１に供給する。ノズル制御部５１を、開閉弁４６、圧力開放弁４８、圧力センサ４９、システム制御部２４から構成する。システム制御部２４により、加圧指示信号に基づきポンプ４２、開閉弁４６、圧力開放弁４８を制御し、エアノズル４１を介し抽出カートリッジ２内に加圧エアを導入する。圧力センサ４９からの信号に基づき開閉弁４６の閉じ動作、圧力開放弁４８の圧力開放動作を行い、加圧エアを抽出カートリッジ２に送る。絞り弁４５をポンプ４２のエア吐出側に設けることにより、ポンプ４２のカップシールのシール性が低下しても、所定の圧力が得られるようになる。 （もっと読む）

本発明の目的は、水分を１０質量％以上含有する被処理物を高圧下で処理する高圧反応器に対して、高圧反応器からの高圧雰囲気の逆流を抑えると共に連続的に被処理物を供給することにある。 具体的な解決手段としては、一端側及び他端側に夫々被処理物供給部及び排出口が設けられたスクリューフィーダの排出口に接続され、２ＭＰａ以上の圧力に加圧される高圧雰囲気を形成する高圧反応器に対して、スクリューフィーダの他端側にて圧縮された堆積物による密閉作用により高圧雰囲気とスクリューフィーダの一端側との間の気密が維持されるようにして被処理物を供給する構成とする。
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【課題】ガスハイドレートなどの付着性や結合性の激しい粉体を定量的に抜き出す粉体定量抜き出し装置。
【解決手段】多数の通気孔２を有する分散板３を容器１内に設け、前記分散板３の上方を流動層部４その下方を流動化ガス導入部５とすると共に、前記分散板３に粉体払い出し口１０を設け、更に、分散板３の下方に粉体払い出し口１０に対峙するスクリューコンベア１１を設けた粉体定量抜き出し装置である。前記流動層部４とその下方の流動化ガス導入部５の圧力差を測定する差圧センサー２２ａ，２２ｂを設け、該差圧センサー２２ａ，２２ｂの計測値にしたがってスクリューコンベア１１の回転数を制御する。 （もっと読む）

気体供給および監視システムが、以下に限定されないが、鎮痛および無痛覚システム、麻酔装置、歯科用気体システム、および気体を送出する獣医学システムのなどを含むさまざまな医療システムで主に用いるために提供される。その気体供給および監視システムは、気体の源；気体の源に結合され、気体の源の反対側の気体出口を備えた可変サイズの開口システム；および気体出口に結合され、患者が適正な気体を供給されていることを検証するために用いられるセンサシステムを含んでいてよい。
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【課題】被燃焼物としての発泡スチロール等の軽量焼却物を投入する外気遮断投入装置において、当該被燃焼物を焼却する焼却炉の発生熱量により、外気遮断投入装置内壁部が高温に達し、当該被燃焼物が軟化あるいは溶解し壁面に付着することを防ぎ、しかも、被燃焼物を収容する容積を大きくし、かつ連続投入を可能とすることを課題とする。
【解決手段】本発明は、被燃焼物を焼却炉内部へ投入する投入構造である外気遮断投入装置において、当該外気遮断投入装置の外郭を構成する筐体であるシュータと、上部に設けた投入用扉と、焼却炉体直前に付設された外気遮断用扉と、該外気遮断用扉を開閉するために外気遮断投入装置の外部に設けた回転構造を有する投入用レバーと、投入された該被燃焼物を後方より風力搬送すると共に焼却炉体内部へ円滑に投入を行うための空気を供給する風圧装置とから構成されたものである。 （もっと読む）

本発明は、容器内に貯留された固形物を容器から排出する固形物の排出方法である。この固形物の排出方法は、前記容器２内に排出用液体を供給して液体及び固形物の旋回流を発生させ、旋回状態になった液体及び固形物を前記容器２の底に形成された排出口２０から排出するようにしている。液体及び固形物の旋回流を、前記容器２の底部近傍の位置で容器２内に接線方向に排出用液体を流入させて発生させることができる。
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【課題】 微小流路内における流体制御について、簡単な構成で耐圧性に優れかつ正確に流体の制御を行い得る流体搬送装置を提供すること。
【解決手段】 流体を流すための流路を用いて流体を搬送する流体搬送装置であって、前記流体を搬送するための圧力を発生する圧力発生手段と、前記流体に対し処理を行う複数の処理部と、該複数の処理部の間に位置し前記流体の流れを制御するためのバルブと、前記流路中の圧力を開放する圧力開放手段と、を有する流体搬送装置。 （もっと読む）

本発明にかかる液体分注方法にあっては、液体がポンプによりピペットへ吸引された後に、ピペットに接続されたバルブ又はバルブセットを介して該ピペットヘ導入される外部空気の量に比例して、所望の液体吐出量がピペットから分注される。ここで、導入される外部空気の量は、外部空気がピペットへ導入される時間及び／又は流速及び／又はダンピングを決定することにより、プロセッサ内でプログラムされる。本発明にかかるピペッティング装置は、ピペット５（pipette(4)はpipette(5)の誤記）を据え付けるためのホルダー４（handle(3)はholder(4)の誤記）を具備し、ピペット５に接続されるエアポンプ６と、装置の作動を制御するプロセッサ１５とを夫々内蔵するハウジング１からなる。また、該ピペッティング装置は、液体分注がなされている間に外部からの空気流をプロセッサ１５により制御するための、ピペット５に接続されるバルブセット１０を備えている。
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【課題】 多品種の製品に対応でき、切替え時間をなくし、設備の稼働率を向上させることが可能な排気治具を提供する。
【解決手段】 製品７内部の不純物を排気する排気治具であって、製品７を把持すると共に、排気時に前記製品７の内部の空気と外部の空気とを遮断し、前記製品７の内部の真空度を保つ穴部２ａを持つ側面菱形形状の口ゴム２と、前記側面菱形形状の口ゴム２を前記穴部２ａの軸方向より圧縮するレバー８を有するものである。 （もっと読む）

複雑な流体マイクロ電気機械システム（ＭＥＭＳ）は、システムの弁シーリングの一体性、品質および性能を維持しながら、高純度化学物質配送システムに組み込まれる。特に、流体ＭＥＭＳシステムは、半導体製造プロセスのための高純度化学物質配送システムに組み込まれる。
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