ポンピングカセット（５００，６００，７００）が提供される。それぞれのカセットは、ハウジングと、少なくとも１つの流体流入口及び少なくとも１つの流体排出口と、前記カセットに流体連通される少なくとも１つの往復運動型圧力変位膜ポンプ（６０２，６０４）とを含む。バランスカセットが流体連通された少なくとも１つのバランスポッド（７０６，７０８）を含む。混合カセットが流体連通された少なくとも１つの混合室を含む。前記システムは、混合カセット（５００）、バランスカセット（７００）、及び混合カセット（６００）と前記バランスカセット、及び少なくとも１つのポッドに流体連通された外側又は中間カセットを含む。混合カセットは、少なくとも１つの流路によって、中間カセットに流体連通され、且つ、中間カセットは、少なくとも１つの流路によって、バランスカセットに流体連通される。少なくとも１つのポッドが少なくとも２つのカセットに連結され、前記ポッドがカセット間の流域に配置される。
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【課題】正確な量の１つまたは複数の流体を提供する。
【解決手段】複数の流体出口に、第１流体出口と少なくとも１つの第２流体出口が含まれる。第１流体出口は、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給し、少なくとも１つの第２流体出口は、プロセス流体の流れの残りの部分を供給する。１実施形態では、制御システムに、圧力変換器、第１乗算器、第２乗算器、第１フローコントローラ、および第２フローコントローラが含まれる。第１乗算器は、圧力変換器から受け取る圧力信号に、第１セットポイントをかけて、プロセス流体の流れの第１の所定の部分を供給する第１フローコントローラを制御する。第２乗算器は、圧力信号に第２セットポイントをかけて、残りの部分を供給する第２フローコントローラを制御する。 （もっと読む）

本発明は、内部容器区画を形成するように構成された取外し可能な上壁部材２０、側壁部材２２、及び底壁部材２６を備えた容器４０であって、前記側壁部材２２は上壁部材２０に隣接して内部容器区画内に延びる突出部２４を有し、前記上壁部２０及び前記側壁部材２２は平らな対向表面を有し、平らな対向表面は互いに接触しておらず、平らな対向表面の少なくとも一部３０は硬化されている容器４０と、前記上壁部材２０及び前記突出部２４の硬化された平らな対向表面３０と位置合わせされ接触している金属シール１０とを備えた気相又は液相試薬分配装置に関する。この分配装置は、半導体材料及びデバイスの製造での材料の蒸着のために前駆体などの試薬の分配のために使用することができる。
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分配測定デバイス。デバイスは、ホール効果センサと磁石との間の相対的な近接性を相関付ける。一方は、固定して保持され、他方は、分配時に起こる通常の作動に応答して移動可能である。近接性の変化の検出が、分配される材料の量と相関付けられる。
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アンモニアを貯蔵し、かつ、供給するための方法および当該方法を実施するためのデバイスが開示され、当該方法においては、消費によって第２の吸着／吸収物質のアンモニアを使い果たしたとき、コンテナ中の第２のアンモニア吸着／吸収物質用のアンモニア源として、第２のアンモニア吸着／吸収物質よりも、所与の温度で、より高い蒸気圧を有する貯蔵タンク中の第１のアンモニア吸着／吸収物質が使用される。
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【課題】周囲への粉体の飛散を防止しながら、内袋を備えた容器を上下反転させて粉体を反応容器等に計量投入するための装置およびその供給方法を提供する。
【解決手段】内袋を備えた原料容器に収納された粉体を反応容器へ供給するための粉体供給装置であって、グローブボックス本体１０、グローブボックス本体１０上部に設けられた粉体導入管２１、グローブボックス本体１０下部に設けられた粉体導出管２２、各管口２１a,２２aを開閉する蓋板３１,３２、蓋板３１,３２を各管口２１a,２２aと密接又は離隔させるための蓋板垂直移動用駆動装置４１,４２、蓋板３１,３２と各管口２１a,２２aとが離隔した状態において蓋板３１,３２を水平に移動させるための蓋板水平移動用駆動装置５１,５２、及び粉体導入管２１から装置１００内に空気を導入するための、粉体導入管２１の側部に設けられた空気導入部２５を備える、粉体供給装置１００。 （もっと読む）

本発明の極少量液体混合装置は、多様な流体を使用することができ、ソレノイドバルブの開閉時間を調節することによって最小数百ｎｌ／ｓの混合速度を有し、極少量の液体を効果的に混合し、高費用の液体を使用する臨床医療機器のような分野で反応時間を減らす。この極少量液体混合装置は、圧送される混合対象液体を内蔵する複数の圧力容器、前記複数の圧力容器それぞれに連結されて前記圧力容器から圧送される前記混合対象液体を混合容器に分注する複数のソレノイドバルブ及び前記ソレノイドバルブを少なくとも同時開放する制御及び交互に開閉する制御の中である１つに制御する制御部を含む。 （もっと読む）

【課題】プリコート剤を集じん機に定量的に投入することができるとともに、プリコート剤の固化や粒化などの性状とエアブロー時間の累積との関係に基づいて、プリコート剤を安定して集じん機へ投入することができ、かつコンパクトな構造を図ることができるプリコート投入装置を提供する。
【解決手段】プリコート投入装置であって、ホッパーと、補充蓋と、接続ダクトと、前記ホッパー内に高圧エアを吹き込むノズルと、高圧エア源からのエア供給を開閉する電磁弁と、前記ホッパーに大気エアを取り込む２次エア吸引口とを備えており、前記２次エア吸引口の開口面積が、前記ノズルから高圧エアが噴射されていない時に、前記接続ダクトを流れる気流の風速が２〜５ｍ／ｓとなるような開口面積に設定され、かつ前記ノズルの本数が、前記ホッパーのプリコート剤の貯蔵量の容積Ｖ(ｍ^３)に対し、Ｖ×５０＋（０〜２）を満たす整数に設定されている。 （もっと読む）

加圧ガスのリザーバ及び上記リザーバから出口までの通路を包含するガス放出装置。膜を介してのみガス放出を可能とする、通路内の弾性のガス透過膜が存在する。上記ガス透過膜と接触するように位置付けられる界面を包含するガス不透過性部材は、通路内に提供される。ガス透過膜の排除量は、低圧よりも高圧でガス不透過性部材とガス透過膜との間のより大きな界面接触が存在し、それにより、圧力に対する逆関係で流れに利用できる透過膜の暴露断面積を変化させるように、リザーバ内のガス圧力に応答する。
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【課題】薬液から発生した気体の気体溜まりが形成されるのを防止する。
【解決手段】発泡性の薬液を他の液体が流れる主通路（３２）まで供給する薬液供給装置（１０）が、薬液を貯蔵する薬液貯蔵タンク（２１）と、薬液貯蔵タンクと主通路とを接続する供給通路（２３）と、供給通路に設けられたポンプ（２５）と、ポンプよりも下流の供給通路からポンプよりも上流の供給通路まで供給通路内の薬液を循環させる循環通路（２４）と、薬液を循環させられる供給通路の一部分および循環通路のうちの少なくとも一方の内部を大気に開放させる大気開放部（２２）とを具備する。大気開放部は、上方が開放している希釈液タンクであるのが好ましい。また、供給通路の少なくとも一部は、薬液貯蔵タンクから主通路に向かう方向において水平面に対して斜め上方に傾斜しているのが好ましい。 （もっと読む）

流動床圧力容器から固体／気体混合物を取り出すための吐出システムを提供する。この吐出システムは、流動床圧力容器と、沈殿容器と、運搬容器と、吐出管と、主吐出弁と、主出口弁とを備える。また、当該吐出システムを操作するための方法も提供する。この方法は、流動床圧力容器から沈殿容器に気体／固体混合物を移し、該固体を運搬容器に移し、次いで該運搬容器を空にすることを含む。
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【課題】適応が困難であったゴミを嫌う液、粒子成分を含む液、時間経過で硬化促進する液、嫌気性接着剤等を適応出来る補給方式を提供する。
【解決手段】ブロック１に大シリンジ１２と、小シリンジ１４と、ノズル１５を夫々連結するポート６を設け、夫々のポート６に繋がるブロック１内の管路５を内部で連結し、大シリンジ１２の管路５にシリンジ１２からの流入のみを許し、逆方向の流れは止めるチェツクバルブ１６を設置している。 （もっと読む）

【課題】真空雰囲気下あるいは不活性ガス雰囲気下で、作製又は加工した微粒子を、外気（又は空気）に触れさせずに液体中に取り込む方法として、上記雰囲気を形成する密閉容器中の微粒子捕捉用の容器に予め液体を入れておく方法がある。しかしながら、この方法では、液体が容器から蒸発して上記の真空雰囲気又は不活性ガス雰囲気を形成できなくなることがあり、このため、用いる液体に制限があるという課題があった。
【解決手段】開口部１１を持つ密閉容器１２の上蓋１３を開け、微粒子の原料を入れる。次に、密閉容器１２内を真空雰囲気あるいは不活性ガス雰囲気とする。続いて、密閉容器１２内で、気相法又は粉砕法により微粒子を作製する。次に、密閉容器１２に不活性ガスを導入していき、密閉容器１２内の圧力が密閉容器２外の圧力よりも高い状態で開口部１１を開け、開口部１１から密閉容器１２内の容器１４内に液体１５を注入して、容器１４内に捕捉された微粒子を取り出す。 （もっと読む）

処理ツールからの流出物を緩和するための方法及びシステムが提供される。本発明は、１つ以上の処理ツールと、１つ以上のアベートメントシステムと、上記１つ以上の処理ツールと上記１つ以上のアベートメントシステムとの間に流出物流体連通を確立するように適応されたインターフェースマニホルドと、を含み、上記インターフェースマニホルドは、制御信号に応答して、上記１つ以上の処理ツールの間から上記１つ以上のアベートメントシステムへと１つ以上の流出物を選択的に向けるように構成されている。種々な他の態様も提供される。 （もっと読む）

【課題】パイライトホッパ内にパイライトが異常に堆積してパイライト入口弁を閉じることができなくなることのないようにし、また、パイライトホッパからの水が異常水位となり、水が逆流してパイライト入口弁を閉じることができなくなることのないようにし、パイライトが異常堆積したとき、また、パイライトホッパ内の水位が危険水位になったときに、それを自動的に検知し、パイライト入口弁を自動的に閉じるようにする。
【解決手段】上部にパイライト入口弁を有するパイライト導入口３を有し、下部にパイライト排出口５を有するパイライトホッパの安全装置であって、パイライトホッパ内に異常堆積したパイライト又は異常水位を検知するレベル計６を設け、このレベル計６で異常堆積したパイライト又は異常水位を検知すると上記パイライト入口弁を閉じ作動するようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】流体を利用するツール、プロセス又は位置に流体材料を供給するのに有用な分配システムを提供する。
【解決手段】液体と気体又は蒸気状態が同時に存在する多種多様な材料を、好ましくは流体を収容した折り畳み可能なライナーを含むパッケージから送出するためのシステムについて記載する。圧力分配パッケージから液体を分配する前に、そこからヘッドスペースガスを除去し、その後の分配動作中に進入気体を除去する。少なくとも１つのセンサが、リザーバ内の気体又は気液界面、又は気体と液体の分離領域の存在を感知する。容器から分配されている液体から気体を非常に効率的に除去するために、一体リザーバと、少なくとも１つのセンサと、少なくとも１つの流量制御要素と、を含む気体除去システムを、圧力分配パッケージと嵌合するように適合されたコネクタ内に含むことができる。 （もっと読む）

流体分注装置が、流体リザーバ及び分注アセンブリを含む。分注アセンブリは、流体リザーバから所定量の流体を受け取るように構成された計量チャンバを定めるハウジングと可変部材をと含む。可変部材は静止位置から排出位置へ変形し、この変形により、計量チャンバの容量が変化し、この結果、計量チャンバ内の流体圧力が変化する。計量チャンバ内の流体圧力の上昇により、計量チャンバ内の所定量の流体が排出され、計量チャンバ内の流体圧力の低下により、流体が流体リザーバから計量チャンバに流入する。 （もっと読む）

【課題】液体調合装置の新しい装置構成を提供する。
【解決手段】複数の薬瓶１００は、共通のシリンジポンプ２０に接続される。各薬瓶１００には、吐出配管３４が設けられている。吐出配管３４は、その先端が回転テーブル１８の下面に突出している。水薬調合を行う際には、回転テーブル１８を回転させ、所望の薬瓶１００に接続された吐出配管３４の先端を投薬瓶１１０の上方に移動させる。そして投薬瓶１１０が上方に移動され、吐出配管３４の先端が投薬瓶１１０に挿入される。その状態で、吐出用バルブ３６、加減圧用バルブ２５、大気開放用バルブ２８、シリンジポンプ２０などが適宜制御されることにより、薬瓶１００内の水薬が投薬瓶１１０へと吐出される。水薬調合に必要な複数の薬瓶１００の各々を対象として吐出作業を繰り返し行うことにより、投薬瓶１１０内に複数の水薬が吐出されて水薬調合が実現される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも供給不良が発生し難い液体の供給機構を提供しようとするもの。
【解決手段】液体７の貯留槽６を有し、前記液体７の供給時には加圧状態とすると共に、供給量に応じた加圧条件に設定するようにした。液体の供給時には加圧状態とするようにしたので、液体に対して従来のダイヤフラムポンプのような吸引圧（負圧）ではなく押圧力がかかり、液体はガスの発生等が押さえ込まれる状態にある。前記液体の供給時以外も貯留槽内の液体を所定の加圧状態としていることとしてもよい。 （もっと読む）

本発明は、キャリアガス（２）と液体複合物（３）または溶液とを蒸発チャンバ（４）に導入するための装置（１）に関し、当該装置（１）は、少なくとも−上記複合物または上記溶液（３）の吸入のための第１注入口（８）と、−キャリアガス（２）の吸入のための第２注入口（９）と、注入器（１４）の注入口に接続される排出口（１３）と、を備え、キャリアガスと上記複合物または上記溶液の液滴との混合物が単一の注入器の排出口（１４）を介して蒸発チャンバ（４）に周期的に注入される。
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