【課題】本発明は、ナノパウダーを合成する装置を提供する。
【解決手段】ガス雰囲気と、ペアの削磨電極とを有する反応チャンバであって、該ペアの電極のうちの少なくとも１つはナノパウダーを生成するための前駆物質である、反応チャンバと、該ペアの削磨電極に電気接続された高電力パルス電源と、該ペアの削磨電極に接続されたオートヒューザデバイスであって、該オートヒューザデバイスは、オートヒューズ電源と、トリガ回路と、該削磨電極のうちの１つに電気接続された第１の一次電極、該オートヒューズ電源に電気接続された第２の一次電極および該トリガ回路に電気接続された二次電極を有するトリガードスパークギャップデバイスとを含む、オートヒューザデバイスとを備える、装置。 （もっと読む）

【課題】回転ディスクが高速で回転した場合であっても、振動や回転軸のブレが生じることがなく、軸受部の温度上昇を防止する一方で反応室内の温度低下を防ぎ、反応室の掃除や保守管理が容易で被処理液の連続処理が可能な液体廃棄物処理装置を提供する。
【解決手段】中心部に冷却通路を有し、冷却手段を具える上部軸受部および下部軸受部に軸支され、該下部軸受部よりも下方に延伸する部分を有する回転軸の延伸部分が、正八角形の壁面を有する気密空間の反応室に囲繞され、さらに該反応室が蒸気貯留室に囲繞され、該反応室には該回転軸に固定されて高速回転する複数の有孔回転ディスクと該反応室に固定される複数の邪魔板とが相互に配置され、該反応室にナトリウムが混入された被処理液が送り込まれて該反応室内で無害化処理され、無害化処理された処理済液が該蒸気貯留室に送出された後、外部に排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】スラグを乱すことなく気液界面の面積を拡大するマイクロリアクタを提供する。
【解決手段】互いに気液界面又は液液界面を形成する流体試料３，４が交互に供給される供給流路１０と、供給流路１０を介して供給された試料３，４が交互に連続するスラグを形成するスラグ形成流路１１と、スラグ形成流路１１よりも幅広に形成され、光を照射することにより、試料の界面において化学反応を進行させる反応流路１２と、スラグ形成流路１１と反応流路１２との間に介在し、一端をスラグ形成流路１１と連続され、他端を反応流路１２と連続され、漸次拡幅された拡幅部２０と、反応流路１２から連続し、反応した試料を排出する排出流路１３とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＵＶ硬化に際して酸素による硬化阻害を抑制するため、不活性ガスを光源を経由させて硬化部に直接吹き付けることにより、高精度・低濃度の濃度管理を可能とし、かつ光源を効率的に冷却し得る紫外線照射ユニットを提供する。
【解決手段】不活性ガス供給口９および不活性ガス排出口１０および不活性ガスを充填する空間部１１を有する筐体８を備え、紫外線(ＵＶ)を照射する紫外線光源１が回路基板４に固定され、不活性ガス排出口の近傍に配置され、紫外線光源に電力を供給するように構成された電源を備えた、紫外線照射ユニット。 （もっと読む）

【課題】グラフェンシート系材料の処理方法及び装置に関し、所望の層数のグラフェンシートを有するグラフェンシート系材料の形成しうるグラフェンシート系材料の処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】グラフェンシート系材料４０の表面に、グラフェンシート系材料４０に作用する反応性物質３４を含む雰囲気中で紫外線３６を照射することにより、グラフェンシート系材料の最表面層を除去し又は最表面層を改質化してグラフェンシート系材料４０の電気的性質を変化する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図った紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置１は、被照射物に対して紫外光を照射する紫外光照射部２と、紫外光照射部２からの紫外光の照射領域に窒素ガスを噴き出すガス噴出部３とを備える。紫外線照射装置１の装置本体１０は、紫外光照射部２が設けられた光源部本体１１と、光源部本体１１と一体に設けられて、下面に窒素ガスのガス噴出口１２ａを有するフード１２とで構成されている。 （もっと読む）

【課題】反応容器内の金属カルボニルを効果的に除去すること。
【解決手段】スラリーが収容された反応容器３０内に、一酸化炭素ガスおよび水素ガスを含む合成ガスを供給することにより炭化水素化合物を合成した後、反応容器３０の運転停止を行う方法であって、反応容器３０内への合成ガスの供給を停止する停止工程と、停止工程の後、反応容器３０からスラリーを排出するスラリー排出工程と、スラリー排出工程の後、反応容器３０内に金属カルボニルの分解温度以上の蒸気を供給し、反応容器３０内の気体を排出する蒸気供給工程と、蒸気供給工程の際、反応容器３０から排出される気体中の一酸化炭素ガスの量を検出する一酸化炭素ガス検出工程と、を有し、蒸気供給工程は、一酸化炭素ガスの検出量が、連続して下降し続けて予め決められた基準値以下になったときに蒸気の供給を停止する反応容器の運転停止方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】親水性付与が所望される表面への親水性付与の実効性を高める。
【解決手段】表面処理を受ける被処理材Ｗを、窒素充填済みの処理室１１０にワークテーブル１４０にて収容し、この収容済みの被処理材Ｗに対して、親水基の生成源となる酸素を被処理材Ｗの被処理表面に沿った層状のガス流ＯＦとして放出し、酸素の活性化を誘発する紫外線を、処理室１１０に収容済みの被処理材Ｗの被処理表面に向けて紫外線照射光源１２０から照射する。 （もっと読む）

【課題】流体を低圧用途に分配するための低圧の吸着体ベースの流体貯留および分配容器を使用する際における流体利用率を最大にする改良された方法の提供。
【解決手段】容器内にナノ多孔質炭素吸着体２０を保持する流体貯留および分配装置１０で、１つの実施態様は脱硫用途、別の実施態様は塩素ガスなどの貯留である。配置構成では複数の多孔質炭素物品が移動しないように拘束するために位置安定化構造が用いられる。制御された方法で酸素と反応するシランを貯留するために炭素吸着体を使用する赤外線放射デバイスについて、吸着体の抵抗および／または誘導加熱によって炭素吸着体が残留流体を脱着する配置構成は、炭素吸着体を膨張剤と接触させ、続いて炭素吸着体を加圧したガス状浸透剤と接触させて、膨張剤および浸透剤を除去することにより、多孔質炭素吸着体の充填能力を増加させる方法。 （もっと読む）

【課題】光に反応する被照射体を簡易な構成で効率よく反応させることができる光照射装置および光照射方法を提供すること。
【解決手段】光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置１は、被照射体に対向可能に設けられ、当該被照射体に光を照射する発光手段４と、被照射体と発光手段４とを相対移動させる移動手段３と、移動手段３により相対移動される被照射体に所定の気体を吹き付ける吹付手段５とを備え、移動手段３により被照射体と発光手段４とを相対移動させつつ、被照射体の被照射領域に吹付手段５により気体を吹き付けながら、発光手段４により当該被照射領域に光を照射する。 （もっと読む）

【課題】低流量の不活性ガスにより、エネルギー線照射位置での局所的な残存酸素濃度を低減し、硬化阻害の抑制により硬化を促進する小型のエネルギー線照射装置を提供する。
【解決手段】活性エネルギー線照射装置20は、活性エネルギー線硬化型の材料が付与された媒体12の表面近傍の気体境界層を剥離する気体吸引口36を有する境界層剥離部22と、気体境界層を剥離した後の媒体表面に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部24と、媒体12の表面に不活性ガスの層流を確保する層流確保部26と、不活性ガスの層流を介して媒体12の材料付与面に向けて活性エネルギー線を照射するエネルギー線照射部28と、を備える。媒体対向面と媒体との隙間のクリアランスを１．５ｍｍ以下、境界層剥離部22に対して媒体12が進入する媒体入り口部の端から気体吸引口36までの距離αを２０ｍｍ以上とする。境界層剥離部22の排気流路32はコアンダ効果を利用する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率に優れ、ナノ粒子を低コストで製造可能なナノ粒子の製造方法およびその製造方法に好適なナノ粒子製造装置を提供する。
【解決手段】ナノ粒子の原料となる原料ガスおよび非反応性のプラズマ生成ガスの混合ガスをプラズマ生成手段（１１）に供給しプラズマジェットを生成する工程と、冷却可能な壁面を備え、圧力調整可能な密封可能なチャンバー（１４）の内部を非反応性雰囲気あるいは酸素ガスを含む雰囲気で満たし、プラズマジェットを噴出させ、急冷することによりナノ粒子を生成させる工程とを有することを特徴とするナノ粒子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率に優れ、ナノ粒子を低コストで製造可能なナノ粒子の製造方法およびその製造方法に好適なナノ粒子製造装置を提供する。
【解決手段】例えば、電磁波を透過する材料からなる中空状の反応器（１１）と、その内部に原料ガスを供給する原料供給手段（１５）と、反応器（１１）中の原料ガスに高周波交番磁界を印加する高周波誘導コイル（１２）とを備えた装置（１０）を用い、反応器（１１）内に導入した原料ガスに高周波交番磁界を印加またはマイクロ波を照射し、原料ガスを分解および／または反応させてナノ粒子を製造する。 （もっと読む）

【課題】粒径が小さく、粒径のばらつきが小さい微粒子を製造することができる製造装置および微粒子の製造方法を提供する。
【解決手段】微粒子の製造装置は、微粒子製造用の原料を熱プラズマ炎中に間歇的に供給する原料供給手段と、内部に熱プラズマ炎が発生されるものであり、原料供給手段により間歇的に供給される原料を熱プラズマ炎で蒸発させて気相状態の混合物とするプラズマトーチと、プラズマトーチの内部に熱プラズマ炎を発生させるプラズマ発生手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】裏面研削して薄化したウェーハからの紫外線硬化テープ剥離をウェーハの破損を招くことなく円滑に行うことができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】保持部２３の保持面２３ａに吸着保持した裏面研削後のウェーハ１の表面１ａに貼着されている保護テープ３に、ウェーハ１を搬送する過程で紫外線照射手段１４より紫外線を照射する際に、保持部２３が固定されているベース２１に設けた噴射部２１ｂから、ウェーハ１の外周部１ｄと保護テープ３の外周部との境界部に窒素ガスを噴射し、保護テープ３の外周部の粘着層３ｂに酸素が接触しないようにして、該粘着層３ｂが紫外線で確実に硬化し粘着力が低下するようにする。 （もっと読む）

【課題】高純度のケイ素を収集したり、二酸化炭素量を効果的に削減させたりする。
【解決手段】酸化マグネシウム、酸化カリウム又は酸化カルシウムなどの第１の酸化物と二酸化炭素又は一酸化ケイ素などの第２の酸化物との混合物又は化合物に対してレーザを照射することによって、前記第１又は第２の酸化物から酸素を脱理させる。 （もっと読む）

【課題】 水素吸蔵量に優れた水素吸蔵材料を提供すること。
【解決手段】 バナジウムを含む水素吸蔵能を有する金属微粒子に、該金属微粒子と反応することが可能な特性基を１つ有する有機化合物を反応させて得られる、水素吸蔵材料。 （もっと読む）

【課題】本発明では、平均一次粒子径、組成等の制御をして、金属、半金属、金属化合物及び半金属化合物の少なくとも１種を含む微粒子を製造する方法及び装置を提供する。
【解決手段】減圧容器内で、少なくとも１種の金属及び／又は半金属を含有する原料を加熱して蒸発させ、蒸発させた原料を、プラズマ雰囲気を介して、微粒子として液体媒体の表面に付着させ、得られた付着物を回収することを含む、微粒子の製造方法とする。また、減圧容器１７、原料を加熱して蒸発させる原料加熱部１１、液体媒体１５を流動させる液体媒体流動部１７、雰囲気ガスを導入する雰囲気ガス導入部１８、並びにプラズマ発生部１２を有する、微粒子製造装置１００とする。 （もっと読む）

【課題】ランプハウス内に断面扁平４角形状のエキシマランプと、その上方に不活性ガス供給管が配置され、前記エキシマランプの上方壁には高圧側電極が、化法壁には低圧側（接地）電極が設けられたエキシマ光照射装置において、ランプとガス供給管の間に不所望の異常放電が発生することのない構造を提供することにある。
【解決手段】不活性ガス供給管の前記高圧側電極に対向する角部に電解集中回避手段を施したことを特徴とし、具体的には、角部を切り落とした平坦面とし、弧状面とし、あるいは、絶縁性被膜を被覆したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】真空加熱処理作用が終了した被処理物へ対して加圧又は冷却用の気体を供給するとき、当該気体中に水分が含有されていると、その水分が被処理物に水分が付着することになり、被処理物に不良が発生するので、不良品の発生しない加圧冷却処理方法を提供する。
【解決手段】処理室２４内を加圧又は冷却する際に気体供給源より送給される気体の温度及び蒸気圧を露点調整手段１４によって調整し、気体を室２４内に導入する時、当該処理室２４内の露点が少なくともドライ・クリーンルーム内における気体の露点と同じか少なくともそれより僅かに低い露点になるように調整する。 （もっと読む）