【課題】回路基材の基準マークのモデルテンプレートを誤りなく作成し得る方法を得る。
【解決手段】回路基材の基準マーク形成予定位置周辺を撮像装置により撮像し、それにより得られた画像の中から基準マークの像である可能性の高い像である基準マーク候補を抽出する基準マーク候補抽出工程（Ｓ２，Ｓ８〜Ｓ１１）と、抽出された基準マーク候補が複数種類予定されている基準マークのいずれであるかを判別するマーク種判別工程（Ｓ３）と、そのマーク種判別工程の実施により種類が判明した基準マークのモデルテンプレートを作成するテンプレート作成工程（Ｓ５，Ｓ７）との実行により、モデルテンプレートの作成を行う。基準マーク候補抽出工程を、ハールライク特徴を用いた階層型アダブースト検出器を利用して基準マーク候補を抽出する工程とし、マーク種判別工程をニューラルネットワークを利用してマーク種を判別する工程とする。 （もっと読む）

【課題】自動欠陥分類機能では、装置毎に適切な処理パラメータが異なるが同一の工程において複数の装置が運用される場合でも、それぞれの分類レシピにおける分類クラスに差が発生しないようにする。
【解決手段】同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像から同種の欠陥画像を特定する対応欠陥特定部２０９、同一の工程で異なる画像撮像装置から得られた画像を変換し、比較可能な類似した画像に変換する画像変換部２１２、同一の工程の分類レシピについて、同一の分類クラスを定義し、特定された同種の欠陥画像をそれぞれの対応する分類レシピ内の分類クラスに登録するレシピ更新部２１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】マシンビジョンシステムにおける潜在的な干渉要素の検査を提供する。
【解決手段】マシンビジョン検査システムにおいて使用するためのロバストなビデオツールが提供される。ロバストなビデオツールには、関心領域と、ユーザインターフェースと、エッジ検出動作と、関心領域において検出されたエッジ点を含むと同時に除外領域におけるエッジ点を除外する現在の要素のエッジ点セットを決定する除外領域動作と、が含まれる。除外領域は、少なくとも１つの予め特徴付けられた要素、すなわち、予め特徴付けられた要素のエッジ点を検出し、かつ予め特徴付けられた要素の寸法パラメータを特徴付けるビデオツールを用いることによって特徴付けられる要素である少なくとも１つの予め要素付けられた要素に基づいて、除外領域ジェネレータによって決定される。 （もっと読む）

【課題】画像化の際に誤差が空間的に分散しやすい要素と、誤差があってもそれが局所にとどまる要素とが被検査対象領域内に混在する場合にも、位置合わせ精度を高くできる技術を提供する。
【解決手段】検査装置１は対象画像及び基準画像を複数のブロック領域に分割する。この対象画像及び基準画像のブロック領域がずらされつつ画素毎に比較されて、類似度マップＭＢが作成される。類似度が高くなるずらせ位置Ｐ（Δｘ，Δｙ）を表す各マップ点ＵＲが包含されることで最小矩形領域Ｓminが類似度マップＭＢにおいて設定される。最小矩形領域ＳminのＸ方向及びＹ方向の幅として特定される分布指標値Ｄx，Ｄyが閾値Ｄx0，Ｄy0と比較され、当該最小矩形領域Ｓminを有する対象ブロック領域が有効ブロックであるか否かが判定される。位置合わせのための確定ずらせ位置の算出には有効ブロックのみが使用される。 （もっと読む）

【課題】位置合わせを正確に行うことができる画像処理装置を提供する。
【解決手段】画像間の位置合わせを行う画像処理装置であって、位置合わせ基準となる基準画像を決定する基準画像選択部２と、基準画像と、基準画像の画素値又は輝度値に基づいて鏡面ハイライト領域を検出すると共に、基準画像と位置合わせを行う参照画像の画素値又は輝度値に基づいて鏡面ハイライト領域を検出する鏡面ハイライト領域検出部３と、鏡面ハイライト領域の位置情報に基づいて少なくとも鏡面ハイライト領域に重みを設定する重み設定部４と、重みを用いて、基準画像と参照画像とのマッチングを行って位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出部５とを備え、重み設定部４は、鏡面ハイライト領域、あるいは鏡面ハイライト領域および鏡面ハイライト領域の周辺領域の重みを、鏡面ハイライト領域、あるいは鏡面ハイライト領域および周辺領域以外の領域の重みよりも小さく設定する。 （もっと読む）

【課題】異形部品および自立不可能な部品でも容易にかつ迅速にワークに設置可能で、部品ライブラリデータ作成の時間を短縮した部品ライブラリデータ作成装置を提供する。
【解決手段】電子部品を設置するテーブルに所定の間隔で、所定の大きさの穴を開け、下方または上方に突起物のある電子部品の前記突起物を挿入可能とした。さらに駆動系コントローラを備え、電子部品のフォーカスを変更可能なフォーカス駆動機構を有した光学系を備え、駆動系コントローラは、電子部品の厚みに依存したストロークだけフォーカス駆動機構を制御して電子部品のフォーカス変更し、カメラは、変更されたフォーカスでの被写体像を撮像し、３次元画像を作成して電子部品の厚みを認識する。 （もっと読む）

【課題】誤って検出される擬似欠陥の数を低減できるとともに、欠陥の検出感度を落とすことなく、本来検出されるべき真の欠陥を検出できる基板検査方法及びその基板検査用のフィルタ画像の画像作成方法を提供する。
【解決手段】
基板の欠陥の有無を検査するために擬似欠陥を除去するためのフィルタ画像を作成する画像作成方法において、登録された画像の中心位置を中心とする円の円周上に位置するいずれかの画素の画素値を、円周上に位置する画素から選択した複数の画素の画素値のうちの最大値に置換することによって、フィルタ画像を作成するフィルタ画像作成工程Ｓ１４とを有する。 （もっと読む）

【課題】
従来、プリント基板の外観検査装置等で試みられている、位置ずれした被検査基板のずれ補正の前処理を施し、被検査基板画像と基準画像との差分をとって、基板の欠陥検査が行われていた。しかし、その位置ずれ補正の前処理にかなりの時間を要し、検査のタクトタイムを短縮することが困難であった。そのために、位置ずれ補正と画像の差分が迅速に精度よく行われる技術と装置の開発が求められてきた。
【解決手段】
本発明は、画像欠陥の検査のために、基準画像と被検査画像の両者をフーリエ変換して、両者のフーリエ変換強度画像の回転角変化を補正して差分した画像と、前記何れかの画像のフーリエ変換位相画像とで逆フーリエ変換画像を求めて、２画像間の差異を求める方法と装置を提供した。２画像間に位置ずれ、回転ずれがあっても、2画像間の差異が明確に求まり、画像欠陥等の検査を簡単に迅速に行うことができた。 （もっと読む）

【課題】 アライメントマークに類似した形状が現れた場合にも、確実に、アライメントマークだけを選択可能な表示基板モジュール組立装置及びその方法を提供する。
【解決手段】 表示基板を搬送する搬送手段と、表示基板に付されたアライメントマークを撮像する撮像手段と、撮像手段の画像からアライメントマークをテンプレートマークとして保管し、かつ前記撮像手段の画像とテンプレートマークとの相関演算によりアライメントマークを認識する画像処理手段と、画像処理手段の出力情報に基づいて搬送手段を制御する制御手段と、画像処理手段の処理内容を表示する表示手段とを少なくとも備える表示基板モジュール組立装置は、更に、テンプレートマークとの相関値が予め設定された閾値より高いマーク候補が複数検出された場合に分別設定画面を表示手段に表示し、かつ、分別設定画面で設定された比較項目に基づいて、テンプレートマークと前記マーク候補とを比較する画像処理手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】欠陥検査装置のレシピで設定するセル領域の設定を自動化する方法を提供する。
【解決手段】CellMatAreaの区別をCellMatAreaと非CellMatAreaのGrayLevelの分布特徴の差を用いてイメージをスキャンして、その結果からCellMatAreaと非CellMatAreaを分ける方法を取った。具体的にはCellMatの始点と終点を区別するための基準になる閾値をMemoryCellだけあるAreaで計算した後、その閾値を適用して始点と終点を探してそのそれぞれを繋げてCellAreaを作成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数層を含むパターン画像のように、異種の特徴を持つ複数の領域が含まれる画像に対するパターンマッチングを高精度に行うパターンマッチング装置等の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために本発明では、設計データ、或いは撮像画像に基づいて形成されたテンプレートを用いて、対象画像上でパターンマッチングを実行するパターンマッチング装置であって、異なる複数の対象パターンを含む第１のテンプレートを用いて、第１の対象画像に対するパターンマッチングを実行し、第１の対象画像から、特定パターンを含む領域の情報を除外して第２の対象画像を作成し、当該第２の対象画像と、前記特定パターン以外のパターン情報を含む第２のテンプレートとの間の類似度判定を行うパターンマッチング装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】正確に半田の高さを算出することができる三次元形状計測装置を提供することである。
【解決手段】半田塗布前の検査ブロックにおいて、配線パターンの近似面を作成する（Ｓ２２）。また、半田塗布前の検査ブロックにおいて、ランドの近似面を作成する（Ｓ２３）。そして、作成した配線パターンの近似面Ｓｒとランドの近似面Ｓｌとに基づいて、オフセット、すなわち、配線パターンの近似面Ｓｒとランドの近似面Ｓｌとの距離を算出する（Ｓ２４）。そして、算出したオフセットをＲＡＭ等に記録する（Ｓ２５）。そして、半田塗布後に、記憶したオフセットを読み出して、半田の高さを計算する。 （もっと読む）

【課題】画像マッチングのパラメータの設定を支援する。
【解決手段】画像探索部１２２は、検査画像自体をその一部に含んで形成される自己画像と検査画像を比較することにより、複数の圧縮率それぞれについて自己画像と検査画像の画像類似度の分布を示す類似度マップ（自己類似度マップ）を生成する。圧縮率特定部１２６は、自己類似度マップから画像類似度の標準偏差を求め、検証幅Ｈを特定する。開始特定部１２８は検証幅Ｈが０．５以上となるときの圧縮率を開始圧縮率、１．５以上となるときの圧縮率を復元圧縮率として特定する。画像探索部１２２は、開始圧縮率以下の圧縮率にて圧縮された対象画像から画像マッチングを開始する。また、復元圧縮率以下の圧縮率であることを条件として、対象類似度マップの画像類似度を離散値から連続値に変換するための対象復元関数を利用する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、設計データ、或いはシミュレーション画像に基づいて、実画像に近いパターンを形成する画像処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するために、半導体素子の設計データに基づいて、荷電粒子線装置の動作条件を設定する画像処理部を備えた画像処理装置であって、荷電粒子線装置の装置条件情報，パターンの種類、及びパターンの部位毎のパターン情報の複数の組み合わせを記憶するライブラリにアクセスし、装置条件、及びパターンの種類の選択に基づいて、パターンの部位毎のパターン情報を用いた各部位の合成画像を形成する画像処理装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】部品およびはんだに対する３次元計測結果に基づく検査の結果や検査対象部位の状態を、ユーザが容易に確認できるような表示を行い、検査結果の確認作業を支援する。
【解決手段】基板上の部品およびはんだに、それぞれ異なる手法の３次元計測を実施し、それぞれの計測により得た３次元情報をはんだ付け部毎および種別毎に読出可能に蓄積する。そして、これらの蓄積情報に基づき、はんだ付け部位毎に部品とはんだとの関係を表す画像を生成し、この画像を含む画面を検査結果の確認用の画面として表示する。好ましい確認用画面では、はんだの３次元情報が表す立体形状を部品のはんだへの接合面の近傍位置で切断した場合に得られるはんだの断面を正面として、このはんだの断面と部品との関係を示す画像（ＹＺ図またはＸＺ図）が表示される。 （もっと読む）

【課題】コントラストの高い最適画像を、取込画像から、自動的に生成可能な画像生成装置および画像生成方法を提供することを課題とする。
【解決手段】画像生成装置１は、電子部品Ｐ１〜Ｐ６の少なくとも一部が配置された撮像エリアＢ１に照明光２１Ｄ、２１Ｍ、２１Ｕを照射する照明装置と、照明光２１Ｄ、２１Ｍ、２１Ｕが照射された撮像エリアＢ１を撮像する撮像装置３と、撮像により取得される取込画像Ｄ１〜Ｄ３を処理する画像処理装置４と、を備える。画像処理装置４は、取込画像Ｄ１〜Ｄ３を基に調整前画像Ｆ１Ｒを生成し、調整前画像Ｆ１Ｒの輝度を調整して調整画像Ｋ１Ｒを生成し、該調整画像Ｋ１Ｒの該指定エリアＥ１と該比較対象エリアＥ２との該平均輝度差を最大にして最適画像Ｌ１Ｒを生成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、合成画像を形成する場合に、重複領域のパターンの状態に応じて、適正に合成画像を形成することを目的とする合成画像形成方法、及び合成画像形成装置の提供を目的とする。
【解決手段】上記目的を達成するための一態様として、複数の画像を合成して合成画像を形成する合成画像形成方法、及び装置であって、複数の画像間の重複領域について、当該重複領域中に含まれるパターンの属性情報を作成し、当該パターンの属性情報に基づいて、合成対象となる画像を選択し、当該選択に基づいて画像合成を行う方法、及び装置を提案する。また、他の一態様として、重複領域内の属性情報を用いて、複数段階で画像合成を行う方法、及び装置を提案する。 （もっと読む）

【課題】ライン状（線状）の撮像領域を用いて移動する計測対象物の撮像を行う際にも、高輝度な照明光を用いることなく明るい画像を取得することが可能な三次元形状計測装置を提供する。
【解決手段】この表面実装機１００は、各々がＸ１方向に並べられるとともにＸ１方向と直交するＹ２方向にライン状に延びるライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを含み、部品１２０を撮像する二次元イメージセンサ６３と、二次元イメージセンサ６３に対してＸ１方向に相対的に移動する部品１２０に向けて正弦波状の光強度分布を有するパターン光Ｇを投影する照明部６１と、二次元イメージセンサ６３が、ライン状撮像領域６３ａ〜６３ｆを用いて部品１２０の領域Ｐ１を順次撮像する場合に、領域Ｐ１の画像信号を、投影されたパターン光Ｇが有する周期Ｌの２分の１の積分範囲ｄで積算する制御を行う撮像制御部７３とを備える。 （もっと読む）

【課題】認識精度を高く維持しつつ処理を軽くする。
【解決手段】複数方向から照明光を照射する照明手段２と、対象物を撮像する撮像手段１と、これらの制御部１２０とを備え、照度差ステレオ法を用いて、複数の撮像画像データとそれぞれの照射方向とから撮像画像を構成する画素ごとに法線ベクトルを算出する立体形状認識装置１０において、撮像画像を構成するそれぞれの画素について、複数の撮像画像データの同じ位置の画素における複数の輝度値を、予め定めた絞り込み条件に従って絞り込む選出部２１と、撮像画像を構成するそれぞれの画素について、選出部により絞り込まれた同じ位置の画素における複数の輝度値に基づいて法線ベクトルを算出する算出部２２とを備ている。 （もっと読む）