【課題】光増幅ファイバを用いた光増幅装置の出力光パルスごとのピーク値を検出するための技術を提供する。
【解決手段】波高値検出器１６は、光増幅ファイバから出力された出力光パルス群のパワーを検出する。受光素子１５は、複数のパルスを含む光パルス群を受光して、その光パルス群を電流信号に変換する。電流／電圧変換回路３１は、受光素子１５から出力される電流を電圧に変換する。積分回路３２は、電流／電圧変換回路３１の出力電圧を積分する。ＰＧＡ（Programmable Gain Amplifier）３３は、積分回路３２から出力された信号を増幅してＡＤ変換回路３４に与える。ＰＧＡ３３のゲインは信号処理回路４０からのゲイン設定信号によって設定される。信号処理回路４０は、パルス群の繰り返し周波数が高いほどゲインが高くなるようにＰＧＡ３３のゲインを調整する。 （もっと読む）

【課題】初回からレーザパルスを安定して出力することが可能な光増幅装置およびレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工装置１００は、光増幅ファイバ１と、発光期間にはシード光をパルス状に複数回を発生させるシードＬＤ２と、発光期間の直前の非発光期間には、第１のレベルのパワーを有する励起光を発生させ、発光期間には、第１のレベルより高い第２のレベルのパワーを有する励起光を発生させる励起ＬＤ３と、光増幅ファイバ１から出力された出力光パルスのパワーを検出するための受光素子１５および波高値検出器１６と、制御装置２０とを備える。制御装置２０は、波高値検出器１６の検出値に基づいて、発光期間の間に発生した最初の出力光パルスと最終の出力パルスとの間でパワーが同じになるように、非発光期間における励起光のパワー（ドライバ２２のバイアス電流）を制御する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを容易かつ正確に巻き取ることが可能であり、さらに、巻き取られた状態で光ファイバを保持可能なファイバ保持具を提供する。
【解決手段】ファイバボビン４１に形成された溝（導入部４９ａ）に光ファイバ１１を収容し、その後、ボビンカバー４２に形成された切欠き４８に光ファイバ１１を当てたままボビンカバー４２を螺旋状の溝４９の回転方向に回転させる。これによって、溝４９に光ファイバ１１を収容することができる。したがって容易かつ正確に光ファイバを巻き取ることができるとともに、光ファイバをファイバボビン４１に保持することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＡ方式ファイバレーザ加工装置において、高価な高出力用の光アイソレータを不要とし、しかも反射戻り光による光源や光学部品の損傷をより確実に防止できるようにする。
【解決手段】このファイバレーザ加工装置は、シード光発生部１０、アクティブファイバ１２、波長変換ファイバ１４および光ビーム照射部１６を光アイソレータ１８、光結合器２０および光フィルタ２２，２４を介して光学的に縦続接続している。第１の光フィルタ２２は、シード光の波長のみを選択的に透過する。波長変換ファイバ１４は、高パワーのポンプ光から誘導ラマン散乱光を生成するための非線形媒質として機能する。第２の光フィルタ２４は、波長変換ファイバ１４の出力端より出力される光ビームの中から誘導ラマン散乱光（ＳＲＳ光）の波長帯域の全部または一部のみを選択的に透過する。 （もっと読む）

【課題】ファイバを備えたレーザ照射装置において、出力の低下を抑制しつつ高品質のビームを得ることを可能にする。
【解決手段】光ファイバ（１１Ｂ，１２）は、レーザ光源からのレーザ光を伝送する。光ファイバ（１１Ｂ，１２）は、動きの自由な状態にある自由部位（１１Ｂ）を有している。さらに光ファイバ１２の出射端の近傍において、光ファイバ１２はリング状に曲げられている（リング部１２Ａ）。光ファイバの出射端近傍において光ファイバが所定の曲率で曲げられていることによって、高次モードの光を除去しなくともレーザ光のビーム形状を良好にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 発振モジュールの構成を変えることなく、レーザ発振器の全体としての出力の細かな調整が可能なレーザ発振器制御装置を提供する。
【解決手段】 制御対象となるレーザ発振器２は、レーザ加工機に装備可能であって、それぞれがレーザビームを発振する発振モジュール７を複数有し、これら複数の発振モジュール７の発振したレーザビームＲｂを集めて出力する。レーザ発振器制御装置４に、駆動する発振モジュール７を選択するモジュール選択手段１２を設ける。モジュール選択手段１２は、レーザ加工機のレーザ加工時の出力に応じて、定められた選択条件Ｒに従い、駆動する発振モジュール７の数を定める選択条件判定部１３を有する。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振器とビームエキスパンダとの間の面倒な位置調整を伴わずに、レーザ発振器の部品交換を行うことができるレーザ加工装置を提供することができるレーザ加工装置及びレーザ加工システムを提供する。
【解決手段】レーザ光源ユニット２４は、レーザ発振器２６の光出射口側の端面に、ビームエキスパンダ２７が位置調整された状態で一体に組み付けられることにより構成されている。ガルバノスキャナ３６を収容するケーシング３３には、ビームエキスパンダ２７と相対する箇所に開口３３ａが設けられている。レーザ光源ユニット２４とスキャナユニット２５は、ビームエキスパンダ２７が開口３３ａを介してケーシング３３内に挿入された状態で、パッキン５０を介して接合される。つまり、レーザ光源ユニット２４はスキャナユニット２５に対してビームエキスパンダ２７をケーシングに挿入可能な状態で着脱可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】広い区域にわたって高繰返し率のレーザ光を用いる表面及び／又は基板の処理を伴う製造工程で使用される高電力及び高安定性ガス放電レーザを提供する。
【解決手段】直列に接続した複数の一次巻線と複数の一次巻線の各々を通る単一の二次巻線とを有する多段分割ステップアップ変圧器と半導体トリガスイッチとを含むＤＣ電源に接続されかつそれぞれの電極に接続した第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路を含む電源モジュールと、単一出力レーザ光パルスビームを生成するためにＰＯＰＡ構成レーザシステム又はＰＯＰＯ構成レーザシステムのいずれかとして第１及び第２のレーザユニットの作動を達成するように、それぞれの第１及び第２のパルス圧縮及び電圧ステップアップ回路の作動パラメータに基づいてそれぞれの半導体スイッチの閉成を計時するように作動するレーザタイミング及び制御モジュールとを含むマルチチャンバレーザシステム。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームの出射端部の柔軟な取り回しを可能にする。
【解決手段】 被加工対象物を加工するための超短パルスレーザ加工装置において、超短パルス種光レーザと種光レーザからのレーザパルスを伸長させる伸長器とを有するレーザヘッドと、レーザヘッドからのレーザパルスを導光する光ファイバと、光ファイバによって導光されたレーザパルスを所定の高ピークパワーのレーザパルスに圧縮する圧縮器と、圧縮器によって圧縮されたレーザパルスを対象物に照射する出射端部と、伸長器によって伸長されたレーザパルスを増幅させる，光ファイバの入射側であるレーザヘッド側又は光ファイバの出射側である圧縮器側に配置されている増幅器と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高出力ビームが得られ、エネルギー効率に優れたレーザ装置およびこれを用いたレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、全反射ミラー１１，部分反射ミラー１２およびブリュースターウィンドウ１３を含むレーザ発振器と、レーザ発振器から出力されたレーザ光を時間的に分配するための音響光学素子２１と、ウィンドウ１４，ミラー１５，１６および偏光回転ミラー１７を含むレーザ増幅器などで構成される。レーザ光は、レーザ増幅器内に配置された放電励起ガス２を複数回通過する。 （もっと読む）

【課題】ファイバレーザ装置の出力光に含まれる信号増幅光や背景光の検出精度を向上する。
【解決手段】ＴＡＰカプラ１４３は、光増幅ファイバから出射される出力光の一部を分岐して、サンプリング光を抽出し、光ディテクタ１４６は、抽出されたサンプリング光を光電変換して、サンプリング光の光量（強度）に応じた検出信号を生成する。マルチプレクサ２０５は、信号増幅光が出力される期間を含む第１の期間における検出信号である信号光抽出信号、および、第１の期間を除く第２の期間における検出信号である背景光抽出信号を抽出する。本発明は、例えば、ファイバレーザ装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッドの提供。
【解決手段】1.ベンドミラー5からの反射光を集光する集光レンズ5を備えたファイバーレーザ加工機の加工ヘッドにして、ベンドミラー透過光を吸収体(11,15)に入射し、この吸収体からの散乱光(L_Ｓ１,L_Ｓ２)を光検出手段(13,17)で検出して加工部のレーザ出力と加工部からの戻り光との検出を行うファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法。2.ベンドミラーからの反射光を加工部に集光する集光レンズを備えたファイバーレーザ加工機の加工ヘッドにして、ベンドミラー透過光を吸収する第１吸収体と加工部からの戻り光のベンドミラ透過光を吸収する第２吸収体とを設け、第１吸収体と第２吸収体からの散乱光を光検出手段で検出して加工部のレーザ出力と戻り光との検出を行うファイバーレーザ加工機の加工ヘッド。 （もっと読む）

【課題】容易に、結晶化の溶融状態、結晶粒径及び粒径バラツキを所望の状態にしたシリコン膜を形成することができるレーザ照射方法を提供する。
【解決手段】レーザ照射方法は、マルチモードのレーザ光を発振させる発振ステップ（Ｓ１０２）と、レーザ光を光ファイバーで伝送する伝送ステップ（Ｓ１０４）と、光ファイバーから出射したレーザ光を重畳し細長い形状に整形する整形ステップ（Ｓ１０６）と、整形されたレーザ光を短軸方向に走査しながらアモルファスシリコン膜に照射することで、ポリシリコン膜に結晶化する照射ステップ（Ｓ１０８）とを含み、照射ステップ（Ｓ１０８）では、走査速度Ｖ（ｍｍ／ｓ）と照射パワー密度Ｐ（ＫＷ／ｃｍ²）との関係をＫ＝Ｐ／√Ｖとし、Ｋ＞４の条件を満足する走査速度と照射パワー密度とで照射することで、レーザ照射領域に所定の溶融状態での結晶を形成させる。 （もっと読む）

【課題】品質の向上したレーザ加工装置及び工作物を機械加工する方法の提供。
【解決手段】切れ刃（６２）及び逃げ面（６４）を有する回転バイトが工作物（１１）から製造される。レーザ加工装置（１０）は２つの異なる操作モードで機能する。第１の操作モードで、第１のレーザヘッド（１４）は、第１のレーザヘッド（１４）に対して工作物（１１）の速い前進速度にて工作物（１１）を機械加工するのに使用される。その際、工作物（１１）は所望の大まかな輪郭を示すようにレーザ溶融切削により切削される。第１の操作モードでは、レーザパルスの持続時間はナノ秒範囲である。その後、レーザ加工装置（１０）は第２の操作モードで操作される。その際、レーザパルスはピコ秒範囲のパルス持続時間で生成され、上記のレーザパルスは第１の操作モードのレーザパルスより小さい平均電力を示す。 （もっと読む）

【課題】レーザー光線発信器から発振されたレーザー光線の出力を高速制御することができるレーザー光線照射機構およびレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線発振器と集光レンズとの間に配設された出力調整手段６３とを具備するレーザー光線照射機構であって、出力調整手段は、１／２波長板と、直線偏光のレーザー光線を入光してS偏光成分を反射させP偏光成分を透過せしめる第１の偏光ビームスプリッター面および第２の偏光ビームスプリッター面を備えたプリズム６３２と、S偏光成分とP偏光成分との間に位相差(α)を生成する光路長調整手段６３３と、偏光成分合成手段６３６と、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線を分光する偏光ビームスプリッター面を備え、偏光成分合成手段で合成されたレーザー光線のS偏光成分とP偏光成分との位相差(α＋β)を０度から１８０度の間で制御する制御手段とを具備している。 （もっと読む）

【課題】光ファイバを用いた伝送システムでは、光ファイバの曲げ、捻り、加重などにより、光ファイバ出口からのレーザ開口率が変化してしまう。
【解決手段】レーザ光を伝送するレーザ光伝送装置であって、入射端にレーザ光が入射し出射端からレーザ光が出射される光ファイバと、レーザ光の光源と光ファイバの入射端を光学的に接続し、入射端に前記レーザ光を入射する入射光学系と、入射光学系から入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させる入射角度調整手段と、を備え、入射端に入射されるレーザ光の光軸と入射端面との角度を変化させることで出射端から出射されるレーザ光の開口率を制御する。 （もっと読む）

【課題】所定のキャリブレーションパターンで感光体に照射されたレーザ痕に基づいてレーザキャリブレーションを実行することにより、レーザ加工の精度を向上させることが可能な調整装置、レーザ加工装置および調整方法を提供すること。
【解決手段】空間変調手段（ＤＭＤ）によって任意のキャリブレーションパターンの形状に成形されたレーザ光を感光体に照射し、前記レーザ光が照射された前記感光体の画像を撮像し、前記撮像された画像のレーザ痕の形状と前記キャリブレーションパターンの形状とのズレ値を算出し、前記算出されたズレ値に基づいて、前記レーザ光の被加工物上での形状が入力パターンの形状と一致するように補正するための変換パラメータを算出し、前記算出された変換パラメータに基づいて、前記入力パターンに従った前記被加工物へのレーザ光の照射を調整する。 （もっと読む）

【課題】波長変換部から高出力で出力光を出射する際に、出力される高調波のビーム径の変動の少ないレーザ光源装置を提供する。
【解決手段】直線偏光されたレーザ光を出力する基本波レーザ光源と前記レーザ光を波長変換して高調波レーザ光を出力する周期的分極反転構造を有する波長変換部とを備えるレーザ光源装置において、前記直線偏光されたレーザ光のうち前記波長変換部の分極反転方向に垂直な方向と一致する偏光成分のみを通過するように、前記基本波レーザ光源と前記波長変換部との間に前記偏光分離素子を配置するレーザ光源装置。 （もっと読む）

【課題】並行して使用するレーザ光のスポットの形状や大きさを簡単に個別に調整する。
【解決手段】レーザ光λａは、レンズ１２０ａにより結像位置Ｐ１ａにおいて結像した後、レンズ１２１ａによりコリメートされ、２波長性ミラー１２３に入射する。レーザ光λｂは、レンズ１２０ｂにより結像位置Ｐ１ｂにおいて結像した後、レンズ１２１ｂによりコリメートされ、全反射ミラー１２２により反射され、２波長性ミラー１２３に入射する。そして、レーザ光λａおよびレーザ光λｂは、２波長性ミラー１２３により光路が結合され、２波長性レンズ１２４により結像位置Ｐ２において結像する。本発明は、例えば、薄膜太陽電池パネルを加工するレーザ加工装置に適用できる。 （もっと読む）

【課題】複数のトーチを一斉に動作させて加工やマーキングを行うレーザ加工装置は、定期的にレーザ光の照度とタイミングを測定し、各トーチから発生するレーザ光を補正して均一にして精度の高い加工を行う。
【解決手段】自動制御された複数のミラー２２を使用することによって、トーチ１０から照射されたレーザ光を屈曲させて本体外側にある照度測定部２３とタイミング測定部２４に照射することによって、カバーをしたまま安全に測定作業できるようになった。 （もっと読む）