【課題】周波数精度の高いＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に配置された第１電極２０と、少なくとも一部が前記第１電極２０との間に空隙を有した状態で配置され、前記基板１０の厚み方向に静電力によって振動可能となる梁部３４、梁部３４の一端３４ａを支持し基板１０の上方に配置された支持部３２を有する第２電極３０と、を含み、支持部３２の一端３４ａを支持する支持側面３２ａは、基板１０の厚み方向からの平面視で屈曲している屈曲部を有し、一端３４ａは、屈曲部を含む支持側面３２ａにより支持されている。 （もっと読む）

【課題】蓋基板２とベース基板３の位置合わせを容易とし、不良発生率を低下させた電子デバイスを提供する。
【解決手段】本発明の電子デバイス１は、蓋基板２と、この蓋基板２と接合し、蓋基板２との間に外気から密閉されるキャビティ４を構成するベース基板３と、このキャビティ４に収納される電子素子５と、蓋基板２又はベース基板３の外表面に設置されるモールド材６とを備えるようにしたので、蓋基板２又はベース基板３の反りが低減した。 （もっと読む）

【課題】小型化に対応するとともに接合信頼性が高い貫通電極を有する圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶発振器１は、集積回路基板２の一主面２００に回路パターン５が形成され、他主面２０１に水晶振動素子４が蓋体３で気密封止されている。回路パターン５から他主面２０２までを貫く貫通孔の内壁面には導電膜が被着された中空状の貫通電極６が形成されている。貫通電極６の一端側には金属バンプＢ１が配されており、前記一端側から貫通電極６の内部に金属バンプＢ１の一部が埋没した状態で、樹脂接着材を介して金属バンプＢ１が水晶振動素子４と接合されている。 （もっと読む）

【課題】基板を薄くした場合でも基板の反りを最小限に抑え、ベース基板と蓋基板とが金属膜を介して安定的に接合される電子デバイスパッケージを提供する。
【解決手段】蓋基板３の一方の面にキャビティ５を構成する凹部を形成する工程と、蓋基板における凹部を形成した面とは反対の面に第一の金属膜６を形成する工程と、蓋基板における凹部を形成した面に第二の金属膜７を形成する工程と、ベース基板２と蓋基板３とを第二の金属膜７を介して接合する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、耐衝撃性を有するとともに励振部への曲げ応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）及び第１方向に直交する第２方向に伸びる第２辺（１３８ｂ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、第１方向と第２方向とに直交する第３方向への厚さが第１厚さである１本の連結部（１３３）と、を備え、励振部は励振電極（１３４）が形成される第１領域（１３１ａ）と、連結部に第１厚さで直接連結される第２領域（１３１ｂ）と、第１領域と第２領域との間に配置され第１領域及び第２領域以外の領域であり第３方向への厚さが第２厚さである第３領域（１３１ｃ）と、を含み、第２領域の第３方向への厚さは第２厚さよりも厚く形成される。 （もっと読む）

【課題】実装基板とのワイヤボンディングによる電気的接続の不具合を解消した圧電モジュールを提供する。
【解決手段】圧電モジュール１９０は、振動部３４と接続部３２Ａ、３２Ｂとを有する圧電振動基板２６と、振動部３４の一方の主面を覆う第１基板１４と、振動部１４の他方の主面を覆う第２基板４８と、有する圧電デバイス１０と、圧電デバイス１０を実装するための実装基板１９２と、を備え、第１基板１４と第２基板４８のうち少なくともいずれか一方の基板は、接続部３２Ａ、３２Ｂが露出するように配置され、接続部３２Ａ、３２Ｂは、一辺を二分するように切り欠くスリット３０により分離され、接続部３２Ａ、３２Ｂは、振動部３２Ａ、３２Ｂに電気的に接続されたパッド電極４２Ａ、４２Ｂが設けられ、パッド電極４２Ａ、４２Ｂは、実装基板１９２に配置された接続電極に導電性接着剤７０２を介して電気的に接続し固定されている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片と接続電極との接触面積を大きくするとともに、導電性接着剤が励振電極側へ漏れ出ないようにした圧電デバイスを提供する。
【解決手段】励振電極２２ａ、２２ｂと該励振電極から伸びた引出電極２３ａ、２３ｂとを有する圧電振動片２０と、圧電振動片を収納すると共に、引出電極に対応して形成された接続電極パッド４３ａを有するパッケージ４０Ａと、接続電極パッドに塗布され引出電極と接続電極パッドとを電気的に接続するとともに圧電振動片を固定する導電性接着剤６０と、を備える。そして、圧電デバイスの接続電極パッド４３ａは、くぼみ面と該くぼみ面の全周囲に形成された壁面とを有し、くぼみ面の底面と壁面の内側に形成される空間に導電性接着剤６０が塗布されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、連結部において引出電極の面積が広く形成された圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１方向に伸びる第１辺（１３８ａ）を含む矩形形状の励振部（１３１）と、励振部の第１主面に形成される第１励振電極（１３４ａ）及び第２主面に形成される第２励振電極と、リッド板に接合される面である第１接合面及びベース板に接合される面である第２接合面を有し励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連結し、両主面と平行な平面と該平面に交差する側面とを有する一本の連結部（１３３）と、第１及び第２励振電極から連結部を介して枠部の第２接合面まで引き出される第１引出電極（１３５ａ）及び第２引出電極（１３５ｂ）と、を備え、第１引出電極が連結部の側面の少なくとも一部に形成されて枠部に引き出されている。 （もっと読む）

【課題】水晶発振器に入ってくる高周波ノイズを除去する水晶発振器を提供する。
【解決手段】水晶発振器１００は、一対の励振電極１５ａ、１５ｂを有する水晶振動片１０と水晶振動片及び発振回路２０が装着されるベース板３０とを備える。ベース板は、水晶振動片を発振させる一対の水晶端子２１と、電源が供給される電源端子２２と、アースされたグランド端子２２と、発振周波数を出力する出力端子２２とを有する発振回路２０と、実装面に少なくとも電源端子、グランド端子及び出力端子に電気的につながる３つの実装端子５１，５２を有する。ベース板は所定の誘電率を有する誘電体層を有しており、ベース板は電源端子に接続され所定面積を有する第１金属膜４３と、誘電体層を挟んで第１金属膜と対向してグランド端子に接続され所定面積を有する第２金属膜４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】温度変化に対し安定した周波数特性を有するＭＥＭＳデバイスを提供する。
【解決手段】基板１００と、基板１００の表面に形成された第１ベース層３０と、第１ベース層３０の表面に固定された固定電極８０と、基板１００の表面に形成された第２ベース層４０と、固定電極８０と対向する梁部９１を備え、梁部９１を支持し第２ベース層４０の表面に固定されたアンカー部９２とを備えた可動電極と、を含み、第２ベース層４０は第１ベース層３０よりも熱膨張係数の大きい材料で形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来技術と比較して電極形成工程の工数の削減および製造装置の簡略化ができ、低コストな圧電振動片、圧電振動片の製造方法、圧電振動子、この圧電振動子を用いた発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】一対の振動腕部１０，１１に形成された励振電極１３，１４と、外部に電気的に接続されるマウント電極１６，１７と、励振電極１３，１４とマウント電極１６，１７とを接続する引き出し電極１９，２０と、を備えた圧電振動片４であって、振動腕部１０，１１には貫通孔８，９が形成されており、励振電極１３，１４は、貫通孔８，９の内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃおよび内側面８ａ，８ｃ，９ａ，９ｃと対向した外側面１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂに形成され、マウント電極１６，１７および引き出し電極１９，２０は、基部１２の一方側の主面Ｆに形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水晶素子の接合面の第１方向の熱膨張係数と第２方向の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する接合材が用いられることにより、接合材の剥がれが防がれた水晶デバイスを提供する。
【解決手段】水晶デバイス（１００）は、電圧の印加により振動する励振部（１３１）と励振部の周囲を囲む枠部（１３２）とを有する水晶材により形成され枠部が第１方向と第１方向に交差する第２方向との辺を有する矩形形状の水晶素子（１３０）と、枠部の一主面に接合され第１方向と第２方向との辺を有する矩形形状のベース板（１２０）と、枠部の他主面に接合され第１方向と第２方向との辺を有する矩形形状のリッド板（１１０）と、を備え、水晶素子の第１方向の熱膨張係数と第２方向の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有する接合材（１４０）が塗布される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、水晶振動片にかかる応力が緩和されたＡＴカット水晶振動片を有する水晶デバイスを提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶デバイス（１００）は、励振電極（１３２）が形成されたＡＴカット水晶振動片（１３１）と、ＡＴカット水晶振動片を囲むように形成された環状枠体（１３５）と、励振電極の中心からＡＴカット水晶振動片における結晶のＸＺ’面上でＸ軸と＋６０度をなす第一直線又は−６０度をなす第二直線上に形成されＡＴカット水晶振動片と環状枠体とを連結する連結部（１３４）と、連結部を介して第一直線又は第二直線上の環状枠体まで励振電極から引き出された引出電極（１３３）と、引出電極と接続される接続電極（１２４）が形成されたベース板（１２０）と、引出電極と接続電極とを電気的接続し、引出電極を第一直線又は第二直線上で固定する導電性接着剤と、を備える。 （もっと読む）

【課題】実装時の応力緩和を達成しつつ、機械的強度を保ち、かつ圧電デバイスの小型化にも適した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】枠部３０と枠部３０の内周側に配置された圧電振動片２２とを有する圧電振動基板２０と、圧電振動基板２０の一方の主面と対向するように配置され、枠部３０に接合された第１基板１２と、圧電振動基板２０の他方の主面と対向するように配置され、枠部３０に接合された第２基板４０と、を備え、圧電振動基板２０には、枠部３０の外周の圧電振動片２２を挟んで対向する端部に夫々配置された接続部３２，３６の一辺を二分するように切り欠くスリットが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、励振部への応力の影響が抑えられた圧電振動片及び圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動片（１３０）は、第１辺（１３８ａ）及び第２辺（１３８ｂ）を有する励振部（１３１）と、励振部を囲む枠部（１３２）と、励振部の第１辺と枠部とを連る結し、第１方向の長さが第２長さである連結部（１３３）と、を備える。励振部は、両主面に励振電極（１３４）が形成される第１領域（１３１ａ）と、励振部の両主面を貫通し第１方向に伸びるスリット（１３７）及び第１辺を含み、スリットの第１領域側の端と第１辺とに挟まれて形成される第２領域（１３１ｂ）と、を有し、スリットは、連結部の第２方向に第１辺から第３長さの大きさだけ移動した位置に形成され、第２長さは第１長さよりも小さく、スリットの第１方向の長さは第２長さ以上第１長さ以下である。 （もっと読む）

【課題】 電極間を確実に電気的接合するとともに圧電デバイス内に有害ガスや水分が含まれない圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一対の励振電極（１０４）が形成された圧電振動片（１０１）と圧電振動片を囲んで圧電振動片と一体に形成され一主面と他主面とを含む枠体（１０２）と励振電極から枠体の第１主面まで引き出された一対の引出電極（１０５）とを有する圧電振動板（１０）と、一対の外部電極（１１５）を有する第１面（Ｍ１）と一対の外部電極から電気的に接続する一対の接続電極を有する第２面（Ｍ２）とを有し第２面が一主面に接合する第１板（１１）と、第１板と枠体の第１主面とを接合するため枠体の一主面を周回するように環状に配置されたガラス封止材（ＳＬａ）と、一対の引出電極と一対の接続電極とを電気的に接続する導電性接着剤（１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体集積回路上に小面積で形成でき、かつ、適切な周波数の発振信号を生成できる発振器と、これを用いたＰＬＬ回路を提供する。
【解決手段】発振器は、第１のノードと第２のノードと間に並列接続される抵抗と、反転増幅器と、半導体素子とを備える。前記半導体素子は、半導体基板と、前記半導体基板に、長辺および短辺を有する形状で形成される音響波伝播層と、少なくとも前記音響波伝播層の長辺方向の両端に形成される音響波反射層と、前記音響波伝播層上に形成され、前記第１のノードと電気的に接続される第１のコンタクトと、前記音響波伝播層上に前記第１のコンタクトとは離れて形成され、前記第２のノードと電気的に接続される第２のコンタクトと、を有する。前記第１のノードまたは前記第２のノードから発振信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】絶縁抵抗をさほど悪化させることなく、サージ耐圧を高めることが可能とされているラダー型フィルタ装置を提供する。
【解決手段】弾性波共振子Ｐ５及び弾性波共振子Ｐ６が互いに直列に接続されており、少なくとも１つの弾性波共振子Ｐ５に並列に抵抗１４が接続されており、残りの弾性波共振子Ｐ６に抵抗が接続されていない弾性波装置を有し、入力端子と出力端子との間に延びる直列腕に設けられた複数の直列腕共振子と、前記直列腕とグラウンド電位との間に延びる少なくとも１つの並列腕に設けられた並列腕共振子とを備え、前記並列腕共振子のうち少なくとも１つの弾性波共振子が上記弾性波装置からなる、ラダー型フィルタ装置３。 （もっと読む）

【課題】簡易に半導体集積回路上に形成可能な共振器を提供する。
【解決手段】共振器は、半導体基板と、第１の音響波伝播層と、第１の音響波反射層と、を備える。前記第１の音響波伝播層は、前記半導体基板に、第１の方向に長辺、前記第１の方向とは異なる第２の方向に短辺をそれぞれ有する形状で形成される。前記第１の音響波反射層は、少なくとも前記第１の音響波伝播層の前記第１の方向の両端に形成される。前記第１の音響波反射層の前記第１の方向の幅は、前記第１の音響波伝播層と前記第１の音響波反射層との界面での音響波の音の強さ反射係数または音の強さ透過係数が所定値以上となるよう形成される。 （もっと読む）

【課題】高周波数で動作する振動子の振動検出が容易な機械共振器を提供する。
【解決手段】機械共振器は、基板上に形成されたドレイン１と、基板上に形成されたソース２と、一端がドレイン１に接続され、他端がソース２に接続された伝導部３と、伝導部３と対向するように配置され、伝導部３の伝導度を電界効果により制御するゲート６，７とを備える。伝導部３とゲート６，７のうち少なくとも一方は、基板から浮いた状態で支持される。ゲート６，７に一定のバイアス電圧が印加された状態で、伝導部３とゲート６，７のうち少なくとも一方が振動子として振動したときに、伝導部３とゲート６，７との距離が変化することにより、ドレイン１とソース２間の出力電圧が変調される。 （もっと読む）