【課題】半導体ウエーハ等の被加工物を切削するための切削装置における被加工物の高さ検出領域の位置付け方法を提供する。
【解決手段】チャックテーブル３６の保持面に板状物１０を保持する板状物保持工程と、板状物保持工程の前または後に板状物の表面にゲル状物質からなる検出物質１１を塗布する検出物質塗布工程と、板状物を保持したチャックテーブルを背圧センサー式表面位置検出機構のエアー噴射ノズル８３２の噴射領域に位置付け、エアー噴射ノズルからエアーを噴射して板状物の表面に塗布された検出物質にエアー噴射痕を生成せしめるエアー噴射痕生成工程と、エアー噴射痕生成工程を実施した後に、板状物を保持したチャックテーブルを所定距離移動して撮像手段７の直下に位置付け、板状物の表面に塗布された検出物質に生成されたエアー噴射痕の撮像手段による撮像領域の中心からのX,Y方向の変位量を求める変位量検出工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】工作機械の送り軸の制御パラメータの設定を簡易かつ短時間で行う。
【解決手段】工作機械１０の送り軸の制御パラメータを設定するパラメータ設定装置５６は、工作機械に載せるべき積載物のイナーシャが、工作機械に接続された加工管理システムの記憶部８２に記憶されているか否かを判定する判定部８４と、イナーシャが記憶部に記憶されていない場合には積載物のイナーシャを計測して記憶すると共に、イナーシャが記憶部に記憶されている場合には、記憶されたイナーシャを読込んで、計測または読込まれた積載物のイナーシャに基づいて工作機械の送り軸の制御パラメータを演算する演算部７６と、該演算部により演算された制御パラメータを工作機械の送り軸に対して設定する設定部８６とを有する。 （もっと読む）

【課題】センサとエンコーダの軸方向相対位置精度のレンジを小さくせずに、部品加工や組立調整の負担を軽減しつつ、荷重を検出する上で必要とされる検出精度を確保することのできる工作機械のスピンドル装置を提供する。
【解決手段】エンコーダ７２に対向させたセンサ１００の信号によりアキシャル荷重を測定する。エンコーダ７２の被検出面には、１対の個性化部分（凹溝）より成る複数組の被検出部が円周方向に等間隔で配置されている。１対の個性化部分は、エンコーダ７２の軸方向に対して互いに逆方向に傾斜したハの字状に形成される。切削工具３に設けられた切削部３ａの数ｍをエンコーダ７２の被検出面に存在する被検出部の組数ｎで除した数ｍ／ｎは、非整数に設定され、且つ、各個性化部分が円周方向に平行な線と交差する傾斜角度は３０°〜７０°の範囲に設定されている。 （もっと読む）

【課題】工具及びワークの正確な位置を検出することができる工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械１は、ベッド１１，コラム１２，主軸頭１５，主軸１６，サドル１７及びテーブル１８と、主軸頭１５，サドル１７及びテーブル１８をＺ軸，Ｙ軸及びＸ軸方向に移動させる送り機構と、主軸頭１５，サドル１７及びテーブル１８のＺ軸，Ｙ軸及びＸ軸方向における位置を検出する位置検出器と、位置検出器の検出位置などを基に送り機構をフィードバック制御する制御装置と、主軸頭１５のＸ軸及びＺ軸方向における位置を検出する位置検出器５１と、主軸頭１５のＹ軸及びＺ軸方向における位置を検出する位置検出器５４と、テーブル１８のＸ軸及びＹ軸方向における位置を検出する位置検出器５７と、ベッド１１及びコラム１２とは別部材から構成され、各位置検出器５１，５４，５７の読取器５３，５６，５９が配設される計測フレーム５０とを備える。 （もっと読む）

【課題】転送能力が低くても振動の周波数領域の波形データを適切に送信し得る振動検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の振動検出装置５は、工作機械における振動抑制装置などに適用される。振動検出装置５は、加工中に発生するびびり振動を振動センサ２ａ〜２ｃで検出し、フーリエ変換演算手段６により振動センサ２ａ〜２ｃからの信号をフーリエ変換演算する事で周波数領域の振動データを算出する。算出された周波数領域の振動データを、周波数分割演算手段９により設定された周波数間隔に分割し、分割された複数の周波数範囲について、それぞれの周波数範囲の中で最大となる振動データを、その周波数間隔の振動データとして出力する装置であり、前記周波数分割演算手段９によりデータ量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】加工工具を被加工物に対して走査させる形状加工の加工精度を向上させる。
【解決手段】加工工具２３を被加工物Ｗに対して走査させることで形状加工する加工装置において、Ｘ、Ｙ、Ｚステージ４、５、６の姿勢誤差をそれぞれ検出し、各ステージの基準点に対する加工点Ｗ１の相対位置と姿勢誤差とから加工点Ｗ１の変位量を求める。被加工物上の加工点Ｗ１の変位量に基づいて、数値演算装置１２に登録された各ステージの目標位置を補正することで、ステージの姿勢誤差に起因する加工点Ｗ１の位置ずれを防ぎ、加工精度を向上させる。 （もっと読む）

【課題】ワークの加工位置の誤差を補正するとともに、ワーク上の複数の位置においてそれぞれ異なる大きさの誤差が生じている場合でもそれらの各誤差を全体的に小さくする補正を行えるようにする。
【解決手段】補正マトリクス導出装置２０では、演算部２６は、仮補正マトリクスにより第１補正変換した後の座標に基づいて選出した第１最大離間基準点の重み係数Ｇを所定の増加分ｇ１だけ増加した値に再設定する第１重み係数再設定と、その後、各基準点１００ａの基準座標を補正変換するための補正マトリクスであって、各基準点１００ａの基準座標を当該補正マトリクスによって補正変換した後の座標と対応する計測座標との間の距離の二乗の値にその各基準点１００ａの重み係数Ｇを掛けた値を全ての基準点１００ａの分足し合わせた値が極小となるような補正マトリクスを最小二乗法によって算出する第２補正マトリクス算出演算とを行う。 （もっと読む）

【課題】ランニングコスト及びイニシャルコストを抑えつつ、コラムの各部分の熱膨張差によるコラムの傾きを抑える。
【解決手段】上下のそれぞれの端が開口し、工具ヘッドを間接的に支持する筒状のコラム１０と、コラム１０の下方開口２３の縁と設置面Ｆとの間に配置され、コラム１０を持ち上げて支持する複数の脚３１と、コラム１０の下方開口２２から雰囲気空気をコラム内に取り入れ、上方開口１３から雰囲気空気を排気させるファンユニット４０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】安価な非接触式センサであっても、チェーンの伸びを正確に検出することができる位置検出方法を提供する。
【解決手段】対象物１１８を目標位置に配置した際に、対象物１１８の前記目標位置からの位置ずれを非接触式により検出する位置検出方法であって、前記目標位置に関する位置情報を取得する工程と、前記目標位置において所定の間隔を隔てて配置された２つの近接センサ１２５ａ、１２５ｂの並び方向に沿って対象物１１８を移動させる工程と、対象物１１８を前記目標位置に配置した際に、２つの近接センサ１２５ａ、１２５ｂの少なくとも一方の出力が検出判定でない場合は、前記目標位置における対象物１１８の位置ずれと判定する工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 モータの滑り、力率の変化に影響を受けないきめ細かい制御を可能とする。
【解決手段】 円盤刃物の送り制御に係わる。刃物回転モータの電力Ｐを計測し、刃物の回転速度ｆを計測する。刃物が回転中か否かを判断し、回転中なら、トルクＴ＝Ｐ／（２×π×ｆ）Ｎ・ｍの式に従い計算する。切断中か否かを判断し、切断中なら送り速度ＰＩＤ制御を開始し、トルクが一定となるように信号を刃物送りモータに送る。刃物回転モータが過負荷か否か判断し、過負荷でないとき、送り速度ＰＩＤ制御を行い、切断終了か否かを判断する。切断終了なら運転開始位置方向へ刃物を移動する。前記切断終了でないなら前記ＰＩＤ制御から後のいずれかの手順に戻る。前記過負荷判断で過負荷なら、送り速度を低下させ、基準時間内にトルクが正常化したか否かを判断し、正常化なら前記送り速度ＰＩＤ制御を行い、正常化でないなら、刃物を切断開始方向へ後退させる。 （もっと読む）