太陽電池セル及びその製造方法
【課題】アルミニウム電極における膨れや突起の発生を防止し、歩留まりに優れた太陽電池セル及びその製造方法を得ること。
【解決手段】p型多結晶Si基板1と、p型多結晶Si基板1の受光面に形成されたn型拡散層2と、n型拡散層2上に設けられた表面側電極7と、p型多結晶Si基板1の受光面とは反対側の面の表層に設けられたアルミニウム電極5及び銀電極16を有する太陽電池セルであって、アルミニウム電極5及び銀電極16とp型多結晶Si基板1との間にSi酸化膜4を介在させ、熱処理を施した。
【解決手段】p型多結晶Si基板1と、p型多結晶Si基板1の受光面に形成されたn型拡散層2と、n型拡散層2上に設けられた表面側電極7と、p型多結晶Si基板1の受光面とは反対側の面の表層に設けられたアルミニウム電極5及び銀電極16を有する太陽電池セルであって、アルミニウム電極5及び銀電極16とp型多結晶Si基板1との間にSi酸化膜4を介在させ、熱処理を施した。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、金属を含有したペーストで電極を形成する太陽電池セル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
現在、地球上で用いられている太陽電池としては、シリコン(Si)太陽電池が主流である。Si太陽電池の量産においては、そのプロセスフローをなるべく簡素化することで製造コストの低減が図られている。中でも、太陽電池セルに設けられる電極に関しては、金属を含有したペーストを、スクリーン印刷等を用いて形成する方法が採用されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
【0003】
このような太陽電池セルの一般的な製造方法について説明する。まず、太陽電池用基板として、p型Si基板を準備し、その全面にドナーとなる原子(例えばリン(P))を熱的に拡散させ、導電型を反転させたn型拡散層を形成する。多くの場合、n型拡散層はp型Si基板の全面に形成される。このn型拡散層のシート抵抗は、数十Ω/□程度であり、その深さは0.3〜0.5μm程度である。通常、リンの拡散源としては、オキシ塩化リン(POCl3)が用いられることが多い。
【0004】
続いて、全面にn型拡散層が形成されたp型Si基板の一面をレジストによって保護し、p型Si基板の一主面(表面)のみにn型拡散層を残すようにエッチングを行う。エッチング処理後に残存したレジストは、有機溶剤などを用いて除去される。
【0005】
続いて、プラズマCVD法などによって、絶縁膜(反射防止膜)として、例えば窒化シリコン膜をn型拡散層上に70〜90nmの厚さで形成する。
【0006】
次に、p型Si基板の裏面に、裏面側電極形成用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷し、乾燥させる。通常、アルミニウムペースト面上の一部又はアルミニウムペースト面に設けた開口部に銀ペーストを印刷し、乾燥させる。窒化シリコン膜上に表面電極形成用の銀ペーストを裏面と同様にスクリーン印刷し、乾燥させる。その後、基板を700〜900℃程度で数分〜数十分程度、例えば近赤外線ランプ照射炉中で焼成する。この結果、p型Si基板の裏面側では、焼成中に、アルミニウムペーストに含まれるアルミニウムがp型Si基板中へ不純物として拡散し、アルミニウムの高濃度不純物を含んだp+層が形成される。
【0007】
このp+層は、一般的にBSF(Back Surface Field)層と称され、太陽電池セルのエネルギー変換効率の向上に寄与する。
【0008】
しかしながら、上記従来の太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウムからなる裏面側電極の形成時に、裏面側電極の膨れや突起が生じることがある。そして、裏面側電極の膨れや突起が生じた場合は、突起などを起点としてp型Si基板に割れが生じる基板割れ率が増加するという問題がある。
【0009】
また、太陽電池セルのモジュール作成時、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、裏面側電極の膨れや突起が絶縁層を突き破ることで、絶縁性が確保できないという問題がある。
【0010】
これらの問題は、太陽電池セルやこれを組み立てて作成される太陽電池モジュールの歩留まり低下の原因となる。したがって、裏面側電極の形成においては、膨れや突起の発生を防止することが重要である。
【0011】
膨れや突起の発生は、アルミニウムペーストが薄い場合に顕著に見られることと、発生箇所がウェハの特定の位置に偏りやすいことから、これらの解決策として、特許文献3には、アルミニウムペーストの厚さをウェハ面内に膨れや突起が発生しやすい箇所で厚くすることが提案されている。
【0012】
また、特許文献4には、アルミニウムペーストに含まれるアルミニウム粒子の平均粒径を6〜20μm、かつ平均粒径の半分以下の粒径のものが全粒度分布に対して占める割合を15%以下とすることで、アルミニウムの厚さを厚くし、その結果、ウェハの反りを抑制しながらアルミニウムの膨れや突起の発生を抑制する手法が提案されている。
【0013】
また、高集積回路半導体デバイスや薄膜トランジスタデバイスにおいても金属配線としてアルミニウムを使用することが多く、その金属配線を形成する熱処理プロセスでアルミニウムと基板との間における熱膨張率差に基づくアルミニウムの膨れ(いわゆるヒロック)が生じる場合がある。このような熱膨張率差による不具合を抑制するために、特許文献5にはアルミニウムとガラス基板との間に窒化アルミニウム等の中間層を挿入し、アルミニウムの膨れを抑制する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0014】
【特許文献1】特開平10−335267号公報
【特許文献2】特開2004−207493号公報
【特許文献3】特開2003−218373号公報
【特許文献4】特開2005−191107号公報
【特許文献5】特開2005−33198号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0015】
しかし、特許文献3に開示される発明のように、アルミニウムペーストを部分的に厚くすると、焼成時にウェハが反りやすくなったり、印刷工程での調整が困難になるなどの問題を伴う。
【0016】
また、特許文献4に開示される発明のように、アルミニウムペーストを変えると、印刷条件や焼成条件への影響が大きく、太陽電池セルの特性に影響を与える可能性がある。
【0017】
さらに、従来の太陽電池セルの製造プロセスで裏面側電極を形成する場合のアルミニウムの膨れのメカニズムは、熱膨張率差に基づくものではない。また、太陽電池セルの製造プロセスにおいてアルミニウム電極とSi電極との間に電極や基板とは異なる物質を含む中間層を挿入することは、BSF層の生成を妨げ、太陽電池セルのエネルギー変換効率の向上を妨げることとなるため、容易に実施できるものではない。したがって、特許文献5に記載の発明を太陽電池セルの製造プロセスに適用しても、アルミニウムの膨れを防止できないばかりではなく、太陽電池セルの性能を低下させてしまうこととなる。
【0018】
このように、アルミニウム電極における膨れや突起の発生を防止し、歩留まりに優れた太陽電池セル及びその製造方法は提供されていなかった。
【0019】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、アルミニウム電極における膨れや突起の発生を防止し、歩留まりに優れた太陽電池セル及びその製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0020】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第1の導電型のシリコン基板と、第1の導電型とは反対の導電型である第2の導電型でシリコン基板の受光面に形成された反転層と、反転層上に設けられた受光面側電極と、シリコン基板の受光面とは反対側の面である裏面の表層に設けられた裏面電極と、を有する太陽電池セルであって、シリコン基板と裏面電極との間にシリコン酸化膜を介在させ、熱処理を施したことを特徴とする太陽電池セルを特徴とする。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、アルミニウムペーストのアルミニウム成分とシリコンとの局部的な反応の促進が抑制されるため、表面に膨れや突起がなく略平坦な表面を有するアルミニウム電極を形成でき、ひいてはアルミニウム電極の表面の膨れや突起を起点とした半導体基板の割れが発生しないため歩留まりに優れた太陽電池セルを実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】図1は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。
【図2】図2は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す上面図である。
【図3】図3は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す下面図である。
【図4】図4は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図5】図5は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図6】図6は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図7】図7は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図8】図8は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図9】図9は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図10】図10は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【図11】図11は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【図12】図12は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下に、本発明にかかる太陽電池セル及びその製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面においても同様である。
【0024】
実施の形態.
図1〜図3は、本発明にかかる太陽電池セルの実施の形態の概略構成を示す図である。図1は、太陽電池セルの断面図、図2は、太陽電池セルの上面図、図3は、太陽電池セルの下面図である。ここで、上面とは太陽電池セルの受光面側の面であり、下面とは受光面とは反対側の面(裏面)である。なお、図1は、図3中の線分1−1における断面を示している。
【0025】
太陽電池セルは、pn接合を備えることによって光電変換機能を有する半導体基板14と、半導体基板14の表面に形成されて受光面での入射光の反射を防止する反射防止膜3と、半導体基板14の表面において反射防止膜3に囲まれて形成された表面側電極7と、半導体基板14の受光面とは反対側の面(裏面)に所定のパターンで配置された銀電極16及びアルミニウム電極5を有している。
【0026】
半導体基板14は、p型多結晶Si基板1と、その表面側の導電型が反転したn型拡散層2と、裏面側の高濃度不純物としてのアルミニウムを含んだP+層(BSF層)6及び銀が拡散した導電層17と有し、p型多結晶Si基板1とn型拡散層2とがpn接合を形成している。
【0027】
表面側電極7としては、太陽電池セルの表銀グリッド電極8及び表銀バス電極15を含む。表銀グリッド電極8は、銀を主成分とし、半導体基板14で発電された電気を集電するために表面に局所的に設けられている。表銀バス電極15は、銀を主成分とし、表銀グリッド電極8で集電された電気を取り出すために表銀グリッド電極8とほぼ直交して設けられている。
【0028】
アルミニウム電極5は、半導体基板14の裏面の外周部近傍を除いたほぼ全面に形成されている。アルミニウム電極5は、アルミニウムを主構成要素とする電極であり、BSF層6上に積層されている。銀電極16は、銀を主構成要素とする電極であり、銀がSiO2及びSiに拡散した導電層17上に積層され、半導体基板14の裏面における形状が正方形状とされた上で表銀バス電極15と略同一方向に配列されて形成されている。なお、個々の銀電極16は正方形に限定されることはなく、矩形や円形などであっても良い。
【0029】
このように構成された太陽電池セルでは、太陽電池セルの表面側から半導体基板14のpn接合面(p型多結晶Si基板1とn型拡散層2との接合面)に光が照射されると、ホールと自由電子とが生成する。pn接合部の電界の作用により、生成された自由電子はn型拡散層2に向かって移動し、ホールはp型多結晶Si基板1に向かって移動する。これにより、n型拡散層2は電子が過剰となり、p型多結晶Si基板1はホールが過剰となって光起電力が発生する。この光起電力は、pn接合を順方向にバイアスする向きに生じ、n型拡散層2に接続した表面側電極7がマイナス極となり、BSF層6に接続した銀電極16がプラス極となって、不図示の外部回路に電流が流れる。
【0030】
次に、このような太陽電池セルの製造方法の一例について、図4〜図9を用いて説明する。図4〜図9は、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造の過程での断面を示している。
【0031】
まず、半導体基板14の基となるp型多結晶Si基板1を用意する。そして、p型多結晶Si基板1を例えばオキシ塩化リン(POCl3)ガス雰囲気中で加熱することにより、p型多結晶Si基板1の表面、裏面、端面にリンを拡散させる。これにより、p型多結晶Si基板1の表面、裏面、端面に導電型を反転させたn型拡散層2を形成して半導体pn接合を形成する。ここで、n型拡散層2のシート抵抗は、数十Ω/□程度であり、n型拡散層2の深さは0.3〜0.5μm程度である。
【0032】
次に、n型拡散層2を形成したp型多結晶Si基板1の表面にレジストを形成する。そして、このレジストをマスクとして用いてp型多結晶Si基板1にエッチング処理を施し、その後、有機溶剤などを用いてレジストを除去する。これにより、図4に示すように、p型多結晶Si基板1の表面にのみn型拡散層2が残存し、裏面及び端面の不要なn型拡散層2が除去された状態となる。
【0033】
次に、図5に示すように、反射防止膜3として、例えばプラズマCVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法によって窒化シリコン膜などの絶縁膜を70〜90nm程度の一様な厚さでn型拡散層2上に成膜する。反射防止膜3は、p型多結晶Si基板1の表面のパッシベーション膜としての機能を兼ねている。
【0034】
次に、図6に示すように、p型多結晶Si基板1の裏面側に、Si酸化膜4を、例えばCVD法によって堆積させる。ここで、Si酸化膜4は、p型多結晶Si基板1の濡れ性の均一化を図ることを目的とし、また、後段のBSF層6の形成を阻害せず、p型多結晶Si基板1とアルミニウム電極5との間の伝導性に影響しない厚さを有する。換言すると、Si酸化膜4は、絶縁性を示さない程度の薄さで形成される。一例を挙げると、Si酸化膜4は1〜3nm程度が好ましい。
【0035】
次に、銀電極16の基となる電極ペーストである銀ペーストを特定のパターン(後段で形成される表銀バス電極15と同方向に配列した正方形のパターン)でスクリーン印刷した後、銀ペーストの配置パターンと略同一のパターンをマスクとしてアルミニウム電極5の基となる電極ペーストであるアルミニウムペーストをスクリーン印刷し、100〜300℃程度で乾燥させる。銀ペーストは、主として銀粒子と溶剤とガラスフリットとからなる導電性ペーストである。一方、アルミニウムペーストは、主としてアルミニウム粒子と溶剤とガラスフリットとからなる導電性ペーストである。アルミニウムペーストの印刷・乾燥処理を施すことにより、図7に示すように、Si酸化膜4の上に、アルミニウムペーストの層が形成されアルミニウム電極5となる。アルミニウム電極5の厚さは、20〜40μm程度である。なお、ここでは銀ペースト及びアルミニウムペーストを配置した後に乾燥を行う例を挙げたが、先に配置した銀ペーストを指触乾燥又は完全乾燥させてから、アルミニウムペーストを配置しても良い。また、ここでは先に銀ペーストを配置し、次いでアルミニウムペーストを配置したが、逆順で配置しても良い。
【0036】
次に、表面側電極7のパターン、すなわち表銀グリッド電極8と表銀バス電極15とのパターンを、反射防止膜3上に銀ペーストでスクリーン印刷し、100〜300℃程度で乾燥させる。銀ペーストの印刷・乾燥処理を施すことにより、図8に示すように、反射防止膜3上に所定のパターンで銀ペーストによる表面側電極7が形成される。
【0037】
そして、p型多結晶Si基板1に対して、例えば近赤外線ランプ照射炉中で焼成処理を施す。ここで、焼成処理は、温度700〜900℃程度で、数分〜数十分程度の時間だけ実施される。焼成処理を施すと、p型多結晶Si基板1の裏面側では、アルミニウム電極5の基となるアルミニウムペーストからSi酸化膜4を介してp型多結晶Si基板1中にアルミニウムが不純物として拡散する。これにより、図9に示すように、p型多結晶Si基板1の裏面側にアルミニウムを不純物として高濃度に含んだBSF層6が形成される。
【0038】
BSF層6の形成は、500℃程度に加熱されると、Si酸化膜4中の酸化シリコンがアルミニウムと反応して除去され(2Al+(3/2)SiO2→Al2O3+(3/2)Si)、アルミニウムとシリコンとが接触できるようになり、アルミニウムがシリコン内部に拡散してBSF層6を形成することによって起こると考えられる。
【0039】
ここで、光電変換効率を向上させるために、p型多結晶Si基板1の裏面の大部分にBSF層6を形成する必要がある。したがって、アルミニウム電極5は、p型多結晶Si基板1の裏面の大部分を覆うように形成されることが好ましい。また、裏面における電気の取り出しは、銀がSiO2やSiに拡散しやすいこと及びSi酸化膜4が薄いことによって導電層17が形成されること、又はトンネル効果によって実現される。
【0040】
一方、表面側の電気の取り出しは、銀ペーストに含まれるガラスフリット成分が反射防止膜3である窒化シリコンを溶融し、表面側電極7とn型拡散層2とを導通させるファイヤスルーによって実現される。
【0041】
これにより、pn接合を有し、表面側にn型拡散層2が形成され、裏面側にBSF層6が形成された半導体基板14が形成される。
【0042】
以上のような工程を実施することにより、図1〜図3に示した本実施の形態にかかる太陽電池セルを製造できる。なお、上記の一連の工程によって複数の太陽電池セルを作成した後に、各太陽電池セルの裏面側電極5及び表面側電極7に対して相互に銅箔などをはんだ付けし、太陽電池セルの所望の直列・並列接続を形成することにより、複数の太陽電池セルから構成される太陽電池モジュールが形成できる。
【0043】
以上のような工程を経て作成した太陽電池セルは、p型多結晶Si基板1の裏面の濡れ性がSi酸化膜4によって均一化されたため、焼成処理の工程においてBSF層6が形成される際に、アルミニウム電極5のアルミニウム成分とシリコンとの局部的な反応の促進が抑制される。このため、表面に盛り上がり(膨れ)や突起がなく、略平坦な表面を有するアルミニウム電極5を形成できる。
【0044】
したがって、アルミニウム電極5の表面の膨れや突起を起点とした半導体基板14の割れが発生しないため、歩留まりに優れた太陽電池セルが実現される。
【0045】
また、本実施の形態にかかる太陽電池セルにおいては、アルミニウム電極5が略平坦な表面を有することにより、太陽電池セルをモジュール化するために、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、アルミニウム電極5の膨れや突起が絶縁層を突き破ることがなく、絶縁性が確保された太陽電池モジュールを作成できる。
【0046】
また、本実施の形態にかかる太陽電池セルにおいては、半導体基板14とアルミニウム電極5及び銀電極16との間に、基板や電極を構成する物質以外の材質からなる中間層が挿入されていないため、不純物(アルミニウム)によるBSF層6の形成が阻害されることはなく、BSF層6が太陽電池のエネルギー変換効率の向上に寄与する。したがって、本実施の形態にかかる太陽電池セルは、光電変換効率に優れる。
【0047】
次に、上記本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法を従来の太陽電池セルの製造方法と比較するために、裏面側電極用のペーストの焼成時において突起状の膨れが発生するという、従来の技術での問題(特許文献1にかかる技術で生じる問題)について、図10〜図12を用いて説明する。図10〜図12は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図であり、理解の容易のため、裏面側を紙面の上方向として太陽電池セルの断面を示している。これらの図では、p型多結晶Si基板21において周囲よりも濡れ性の高い面を符号9で示した。
【0048】
従来の太陽電池セルの製造方法においても、アルミニウム電極を形成するためのアルミニウムペースト25は、主としてアルミニウム粒子と溶剤とガラスフリットとからなるものが用いられる。図10に示すように、n型拡散層(不図示)を形成したp型多結晶Si基板21の裏面側に、アルミニウム電極を形成するためにアルミニウムペースト25を印刷した後、焼成前の約200℃での乾燥を行う。
【0049】
乾燥時にアルミニウムペースト25からは溶剤が揮発し、アルミニウム粒子とガラスフリットとからなる固体層が形成される。
【0050】
次に、近赤外線ランプ照射炉内で焼成処理を行うが、焼成処理における昇温時には、アルミニウム電極の基となるアルミニウムペースト25に含まれるガラスフリットが300〜400℃で、アルミニウム粒子が660℃で溶融し始める。アルミニウムとシリコンとの共晶点の温度が577℃であるため、p型多結晶Si基板21の裏面とアルミニウムペースト25との間には、アルミニウムが溶融する前に、シリコンとアルミニウムとが混合したAl−Siの溶融液が生成される。
【0051】
p型多結晶Si基板21裏面に濡れ性が高い面9が局部的に存在すると、溶融したガラスフリットが濡れ性が高い面9に凝集し、濡れ性の高い面9においてアルミニウムとシリコンとの反応性が高くなるため、Al−Siの溶融が促進される。その結果、図11に示すように、濡れ性の高い面9において周囲の面と比べて早い時点でアルミニウムペースト25の表層まで溶融液化し溶融層11が形成される。そして、濡れ性の高い面9の周囲には未溶融のガラスペースト25が存在するため、濡れ性の高い面9に相当する部分のみに開口を有する固体層の蓋が、濡れ性の高い面9の周囲の面の溶融層10の上に載っているような状態となる。このため、空気と接する境界まで液相化した溶融層11のAl−Si溶融液は、表面張力で盛り上がり、突起状の膨らみを形成する。
【0052】
この状態から降温を開始した場合は、状態図に従ってAl−Si溶融液からアルミニウムとシリコンとが分離、凝固し、図12に示すように裏面側電極12が形成される。この際、Al−Si溶融液が表面張力で盛り上がっていた部分はp型多結晶Si基板の表層から離れていて溶融液中のSi濃度が共晶点の濃度である12wt%よりも低いため、溶融層11が凝固する際には共晶温度(577℃)まではアルミニウムを析出しながら温度が低下していく。したがって、空気と接していて最初に凝固する溶融層11の突起状の膨らみの部分は、ほぼ100%アルミニウムとして溶融液の膨らみそのままの形で膨れ13として残る。
【0053】
このような突起状の膨れ13が生じた場合は、これを起点としてp型多結晶Si基板21に割れが生じ、基板割れ率が増加するという問題が生じる。また、太陽電池セルをモジュール化する際において、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、突起状の膨れ13が絶縁層を突き破ることで、絶縁性を確保できないという問題が生じる。これらの問題は、太陽電池セルやこれを組み立てて作成される太陽電池モジュールの歩留まり低下の原因となる。
【0054】
濡れ性が高い面9の周囲の面の溶融層10が完全に溶融させれば、溶融液の盛り上がりは解消されるが、焼成工程が長期化することによってエネルギー消費量が増加してしまう。
【0055】
これに対して、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウム電極5の形成前にSi酸化膜4を形成することで、p型多結晶Si基板1の裏面の濡れ性を均一化するため、ペーストの局部的な凝集が抑制され、局部的なシリコンとアルミニウムとの反応促進や表面張力によって溶融層の盛り上がりが発生することが防止される。
【0056】
したがって、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウム電極5の膨れや突起に起因した太陽電池セルや太陽電池モジュールの歩留まりの低下を防止して、歩留まり良く太陽電池セルを作成できる。
【産業上の利用可能性】
【0057】
以上のように、本発明にかかる太陽電池セル及びその製造方法は、アルミニウムペーストを用いて表面が略平坦なアルミニウム電極を形成できる点で有用であり、特に、歩留まり良く太陽電池セルや太陽電池モジュールを製造するのに適している。
【符号の説明】
【0058】
1、21 p型多結晶Si基板
2 n型拡散層
3 反射防止膜
4 Si酸化膜
5 アルミニウム電極
6 P+層(BSF層)
7 表面側電極
8 表銀グリッド電極
9 濡れ性の高い面
10、11 溶融層
12 裏面側電極
13 膨れ
14 半導体基板
15 表銀バス電極
16 銀電極
17 導電層
25 アルミニウムペースト
【技術分野】
【0001】
本発明は、金属を含有したペーストで電極を形成する太陽電池セル及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
現在、地球上で用いられている太陽電池としては、シリコン(Si)太陽電池が主流である。Si太陽電池の量産においては、そのプロセスフローをなるべく簡素化することで製造コストの低減が図られている。中でも、太陽電池セルに設けられる電極に関しては、金属を含有したペーストを、スクリーン印刷等を用いて形成する方法が採用されている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
【0003】
このような太陽電池セルの一般的な製造方法について説明する。まず、太陽電池用基板として、p型Si基板を準備し、その全面にドナーとなる原子(例えばリン(P))を熱的に拡散させ、導電型を反転させたn型拡散層を形成する。多くの場合、n型拡散層はp型Si基板の全面に形成される。このn型拡散層のシート抵抗は、数十Ω/□程度であり、その深さは0.3〜0.5μm程度である。通常、リンの拡散源としては、オキシ塩化リン(POCl3)が用いられることが多い。
【0004】
続いて、全面にn型拡散層が形成されたp型Si基板の一面をレジストによって保護し、p型Si基板の一主面(表面)のみにn型拡散層を残すようにエッチングを行う。エッチング処理後に残存したレジストは、有機溶剤などを用いて除去される。
【0005】
続いて、プラズマCVD法などによって、絶縁膜(反射防止膜)として、例えば窒化シリコン膜をn型拡散層上に70〜90nmの厚さで形成する。
【0006】
次に、p型Si基板の裏面に、裏面側電極形成用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷し、乾燥させる。通常、アルミニウムペースト面上の一部又はアルミニウムペースト面に設けた開口部に銀ペーストを印刷し、乾燥させる。窒化シリコン膜上に表面電極形成用の銀ペーストを裏面と同様にスクリーン印刷し、乾燥させる。その後、基板を700〜900℃程度で数分〜数十分程度、例えば近赤外線ランプ照射炉中で焼成する。この結果、p型Si基板の裏面側では、焼成中に、アルミニウムペーストに含まれるアルミニウムがp型Si基板中へ不純物として拡散し、アルミニウムの高濃度不純物を含んだp+層が形成される。
【0007】
このp+層は、一般的にBSF(Back Surface Field)層と称され、太陽電池セルのエネルギー変換効率の向上に寄与する。
【0008】
しかしながら、上記従来の太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウムからなる裏面側電極の形成時に、裏面側電極の膨れや突起が生じることがある。そして、裏面側電極の膨れや突起が生じた場合は、突起などを起点としてp型Si基板に割れが生じる基板割れ率が増加するという問題がある。
【0009】
また、太陽電池セルのモジュール作成時、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、裏面側電極の膨れや突起が絶縁層を突き破ることで、絶縁性が確保できないという問題がある。
【0010】
これらの問題は、太陽電池セルやこれを組み立てて作成される太陽電池モジュールの歩留まり低下の原因となる。したがって、裏面側電極の形成においては、膨れや突起の発生を防止することが重要である。
【0011】
膨れや突起の発生は、アルミニウムペーストが薄い場合に顕著に見られることと、発生箇所がウェハの特定の位置に偏りやすいことから、これらの解決策として、特許文献3には、アルミニウムペーストの厚さをウェハ面内に膨れや突起が発生しやすい箇所で厚くすることが提案されている。
【0012】
また、特許文献4には、アルミニウムペーストに含まれるアルミニウム粒子の平均粒径を6〜20μm、かつ平均粒径の半分以下の粒径のものが全粒度分布に対して占める割合を15%以下とすることで、アルミニウムの厚さを厚くし、その結果、ウェハの反りを抑制しながらアルミニウムの膨れや突起の発生を抑制する手法が提案されている。
【0013】
また、高集積回路半導体デバイスや薄膜トランジスタデバイスにおいても金属配線としてアルミニウムを使用することが多く、その金属配線を形成する熱処理プロセスでアルミニウムと基板との間における熱膨張率差に基づくアルミニウムの膨れ(いわゆるヒロック)が生じる場合がある。このような熱膨張率差による不具合を抑制するために、特許文献5にはアルミニウムとガラス基板との間に窒化アルミニウム等の中間層を挿入し、アルミニウムの膨れを抑制する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0014】
【特許文献1】特開平10−335267号公報
【特許文献2】特開2004−207493号公報
【特許文献3】特開2003−218373号公報
【特許文献4】特開2005−191107号公報
【特許文献5】特開2005−33198号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0015】
しかし、特許文献3に開示される発明のように、アルミニウムペーストを部分的に厚くすると、焼成時にウェハが反りやすくなったり、印刷工程での調整が困難になるなどの問題を伴う。
【0016】
また、特許文献4に開示される発明のように、アルミニウムペーストを変えると、印刷条件や焼成条件への影響が大きく、太陽電池セルの特性に影響を与える可能性がある。
【0017】
さらに、従来の太陽電池セルの製造プロセスで裏面側電極を形成する場合のアルミニウムの膨れのメカニズムは、熱膨張率差に基づくものではない。また、太陽電池セルの製造プロセスにおいてアルミニウム電極とSi電極との間に電極や基板とは異なる物質を含む中間層を挿入することは、BSF層の生成を妨げ、太陽電池セルのエネルギー変換効率の向上を妨げることとなるため、容易に実施できるものではない。したがって、特許文献5に記載の発明を太陽電池セルの製造プロセスに適用しても、アルミニウムの膨れを防止できないばかりではなく、太陽電池セルの性能を低下させてしまうこととなる。
【0018】
このように、アルミニウム電極における膨れや突起の発生を防止し、歩留まりに優れた太陽電池セル及びその製造方法は提供されていなかった。
【0019】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、アルミニウム電極における膨れや突起の発生を防止し、歩留まりに優れた太陽電池セル及びその製造方法を得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0020】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第1の導電型のシリコン基板と、第1の導電型とは反対の導電型である第2の導電型でシリコン基板の受光面に形成された反転層と、反転層上に設けられた受光面側電極と、シリコン基板の受光面とは反対側の面である裏面の表層に設けられた裏面電極と、を有する太陽電池セルであって、シリコン基板と裏面電極との間にシリコン酸化膜を介在させ、熱処理を施したことを特徴とする太陽電池セルを特徴とする。
【発明の効果】
【0021】
本発明によれば、アルミニウムペーストのアルミニウム成分とシリコンとの局部的な反応の促進が抑制されるため、表面に膨れや突起がなく略平坦な表面を有するアルミニウム電極を形成でき、ひいてはアルミニウム電極の表面の膨れや突起を起点とした半導体基板の割れが発生しないため歩留まりに優れた太陽電池セルを実現できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【0022】
【図1】図1は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す断面図である。
【図2】図2は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す上面図である。
【図3】図3は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの概略構成を示す下面図である。
【図4】図4は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図5】図5は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図6】図6は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図7】図7は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図8】図8は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図9】図9は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セルの製造過程での断面を示す図である。
【図10】図10は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【図11】図11は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【図12】図12は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【0023】
以下に、本発明にかかる太陽電池セル及びその製造方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。また、以下に示す図面においては、理解の容易のため、各部材の縮尺が実際とは異なる場合がある。各図面においても同様である。
【0024】
実施の形態.
図1〜図3は、本発明にかかる太陽電池セルの実施の形態の概略構成を示す図である。図1は、太陽電池セルの断面図、図2は、太陽電池セルの上面図、図3は、太陽電池セルの下面図である。ここで、上面とは太陽電池セルの受光面側の面であり、下面とは受光面とは反対側の面(裏面)である。なお、図1は、図3中の線分1−1における断面を示している。
【0025】
太陽電池セルは、pn接合を備えることによって光電変換機能を有する半導体基板14と、半導体基板14の表面に形成されて受光面での入射光の反射を防止する反射防止膜3と、半導体基板14の表面において反射防止膜3に囲まれて形成された表面側電極7と、半導体基板14の受光面とは反対側の面(裏面)に所定のパターンで配置された銀電極16及びアルミニウム電極5を有している。
【0026】
半導体基板14は、p型多結晶Si基板1と、その表面側の導電型が反転したn型拡散層2と、裏面側の高濃度不純物としてのアルミニウムを含んだP+層(BSF層)6及び銀が拡散した導電層17と有し、p型多結晶Si基板1とn型拡散層2とがpn接合を形成している。
【0027】
表面側電極7としては、太陽電池セルの表銀グリッド電極8及び表銀バス電極15を含む。表銀グリッド電極8は、銀を主成分とし、半導体基板14で発電された電気を集電するために表面に局所的に設けられている。表銀バス電極15は、銀を主成分とし、表銀グリッド電極8で集電された電気を取り出すために表銀グリッド電極8とほぼ直交して設けられている。
【0028】
アルミニウム電極5は、半導体基板14の裏面の外周部近傍を除いたほぼ全面に形成されている。アルミニウム電極5は、アルミニウムを主構成要素とする電極であり、BSF層6上に積層されている。銀電極16は、銀を主構成要素とする電極であり、銀がSiO2及びSiに拡散した導電層17上に積層され、半導体基板14の裏面における形状が正方形状とされた上で表銀バス電極15と略同一方向に配列されて形成されている。なお、個々の銀電極16は正方形に限定されることはなく、矩形や円形などであっても良い。
【0029】
このように構成された太陽電池セルでは、太陽電池セルの表面側から半導体基板14のpn接合面(p型多結晶Si基板1とn型拡散層2との接合面)に光が照射されると、ホールと自由電子とが生成する。pn接合部の電界の作用により、生成された自由電子はn型拡散層2に向かって移動し、ホールはp型多結晶Si基板1に向かって移動する。これにより、n型拡散層2は電子が過剰となり、p型多結晶Si基板1はホールが過剰となって光起電力が発生する。この光起電力は、pn接合を順方向にバイアスする向きに生じ、n型拡散層2に接続した表面側電極7がマイナス極となり、BSF層6に接続した銀電極16がプラス極となって、不図示の外部回路に電流が流れる。
【0030】
次に、このような太陽電池セルの製造方法の一例について、図4〜図9を用いて説明する。図4〜図9は、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造の過程での断面を示している。
【0031】
まず、半導体基板14の基となるp型多結晶Si基板1を用意する。そして、p型多結晶Si基板1を例えばオキシ塩化リン(POCl3)ガス雰囲気中で加熱することにより、p型多結晶Si基板1の表面、裏面、端面にリンを拡散させる。これにより、p型多結晶Si基板1の表面、裏面、端面に導電型を反転させたn型拡散層2を形成して半導体pn接合を形成する。ここで、n型拡散層2のシート抵抗は、数十Ω/□程度であり、n型拡散層2の深さは0.3〜0.5μm程度である。
【0032】
次に、n型拡散層2を形成したp型多結晶Si基板1の表面にレジストを形成する。そして、このレジストをマスクとして用いてp型多結晶Si基板1にエッチング処理を施し、その後、有機溶剤などを用いてレジストを除去する。これにより、図4に示すように、p型多結晶Si基板1の表面にのみn型拡散層2が残存し、裏面及び端面の不要なn型拡散層2が除去された状態となる。
【0033】
次に、図5に示すように、反射防止膜3として、例えばプラズマCVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法によって窒化シリコン膜などの絶縁膜を70〜90nm程度の一様な厚さでn型拡散層2上に成膜する。反射防止膜3は、p型多結晶Si基板1の表面のパッシベーション膜としての機能を兼ねている。
【0034】
次に、図6に示すように、p型多結晶Si基板1の裏面側に、Si酸化膜4を、例えばCVD法によって堆積させる。ここで、Si酸化膜4は、p型多結晶Si基板1の濡れ性の均一化を図ることを目的とし、また、後段のBSF層6の形成を阻害せず、p型多結晶Si基板1とアルミニウム電極5との間の伝導性に影響しない厚さを有する。換言すると、Si酸化膜4は、絶縁性を示さない程度の薄さで形成される。一例を挙げると、Si酸化膜4は1〜3nm程度が好ましい。
【0035】
次に、銀電極16の基となる電極ペーストである銀ペーストを特定のパターン(後段で形成される表銀バス電極15と同方向に配列した正方形のパターン)でスクリーン印刷した後、銀ペーストの配置パターンと略同一のパターンをマスクとしてアルミニウム電極5の基となる電極ペーストであるアルミニウムペーストをスクリーン印刷し、100〜300℃程度で乾燥させる。銀ペーストは、主として銀粒子と溶剤とガラスフリットとからなる導電性ペーストである。一方、アルミニウムペーストは、主としてアルミニウム粒子と溶剤とガラスフリットとからなる導電性ペーストである。アルミニウムペーストの印刷・乾燥処理を施すことにより、図7に示すように、Si酸化膜4の上に、アルミニウムペーストの層が形成されアルミニウム電極5となる。アルミニウム電極5の厚さは、20〜40μm程度である。なお、ここでは銀ペースト及びアルミニウムペーストを配置した後に乾燥を行う例を挙げたが、先に配置した銀ペーストを指触乾燥又は完全乾燥させてから、アルミニウムペーストを配置しても良い。また、ここでは先に銀ペーストを配置し、次いでアルミニウムペーストを配置したが、逆順で配置しても良い。
【0036】
次に、表面側電極7のパターン、すなわち表銀グリッド電極8と表銀バス電極15とのパターンを、反射防止膜3上に銀ペーストでスクリーン印刷し、100〜300℃程度で乾燥させる。銀ペーストの印刷・乾燥処理を施すことにより、図8に示すように、反射防止膜3上に所定のパターンで銀ペーストによる表面側電極7が形成される。
【0037】
そして、p型多結晶Si基板1に対して、例えば近赤外線ランプ照射炉中で焼成処理を施す。ここで、焼成処理は、温度700〜900℃程度で、数分〜数十分程度の時間だけ実施される。焼成処理を施すと、p型多結晶Si基板1の裏面側では、アルミニウム電極5の基となるアルミニウムペーストからSi酸化膜4を介してp型多結晶Si基板1中にアルミニウムが不純物として拡散する。これにより、図9に示すように、p型多結晶Si基板1の裏面側にアルミニウムを不純物として高濃度に含んだBSF層6が形成される。
【0038】
BSF層6の形成は、500℃程度に加熱されると、Si酸化膜4中の酸化シリコンがアルミニウムと反応して除去され(2Al+(3/2)SiO2→Al2O3+(3/2)Si)、アルミニウムとシリコンとが接触できるようになり、アルミニウムがシリコン内部に拡散してBSF層6を形成することによって起こると考えられる。
【0039】
ここで、光電変換効率を向上させるために、p型多結晶Si基板1の裏面の大部分にBSF層6を形成する必要がある。したがって、アルミニウム電極5は、p型多結晶Si基板1の裏面の大部分を覆うように形成されることが好ましい。また、裏面における電気の取り出しは、銀がSiO2やSiに拡散しやすいこと及びSi酸化膜4が薄いことによって導電層17が形成されること、又はトンネル効果によって実現される。
【0040】
一方、表面側の電気の取り出しは、銀ペーストに含まれるガラスフリット成分が反射防止膜3である窒化シリコンを溶融し、表面側電極7とn型拡散層2とを導通させるファイヤスルーによって実現される。
【0041】
これにより、pn接合を有し、表面側にn型拡散層2が形成され、裏面側にBSF層6が形成された半導体基板14が形成される。
【0042】
以上のような工程を実施することにより、図1〜図3に示した本実施の形態にかかる太陽電池セルを製造できる。なお、上記の一連の工程によって複数の太陽電池セルを作成した後に、各太陽電池セルの裏面側電極5及び表面側電極7に対して相互に銅箔などをはんだ付けし、太陽電池セルの所望の直列・並列接続を形成することにより、複数の太陽電池セルから構成される太陽電池モジュールが形成できる。
【0043】
以上のような工程を経て作成した太陽電池セルは、p型多結晶Si基板1の裏面の濡れ性がSi酸化膜4によって均一化されたため、焼成処理の工程においてBSF層6が形成される際に、アルミニウム電極5のアルミニウム成分とシリコンとの局部的な反応の促進が抑制される。このため、表面に盛り上がり(膨れ)や突起がなく、略平坦な表面を有するアルミニウム電極5を形成できる。
【0044】
したがって、アルミニウム電極5の表面の膨れや突起を起点とした半導体基板14の割れが発生しないため、歩留まりに優れた太陽電池セルが実現される。
【0045】
また、本実施の形態にかかる太陽電池セルにおいては、アルミニウム電極5が略平坦な表面を有することにより、太陽電池セルをモジュール化するために、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、アルミニウム電極5の膨れや突起が絶縁層を突き破ることがなく、絶縁性が確保された太陽電池モジュールを作成できる。
【0046】
また、本実施の形態にかかる太陽電池セルにおいては、半導体基板14とアルミニウム電極5及び銀電極16との間に、基板や電極を構成する物質以外の材質からなる中間層が挿入されていないため、不純物(アルミニウム)によるBSF層6の形成が阻害されることはなく、BSF層6が太陽電池のエネルギー変換効率の向上に寄与する。したがって、本実施の形態にかかる太陽電池セルは、光電変換効率に優れる。
【0047】
次に、上記本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法を従来の太陽電池セルの製造方法と比較するために、裏面側電極用のペーストの焼成時において突起状の膨れが発生するという、従来の技術での問題(特許文献1にかかる技術で生じる問題)について、図10〜図12を用いて説明する。図10〜図12は、従来の太陽電池セルの製造方法において裏面側電極に突起状の膨れが発生する様子を示す図であり、理解の容易のため、裏面側を紙面の上方向として太陽電池セルの断面を示している。これらの図では、p型多結晶Si基板21において周囲よりも濡れ性の高い面を符号9で示した。
【0048】
従来の太陽電池セルの製造方法においても、アルミニウム電極を形成するためのアルミニウムペースト25は、主としてアルミニウム粒子と溶剤とガラスフリットとからなるものが用いられる。図10に示すように、n型拡散層(不図示)を形成したp型多結晶Si基板21の裏面側に、アルミニウム電極を形成するためにアルミニウムペースト25を印刷した後、焼成前の約200℃での乾燥を行う。
【0049】
乾燥時にアルミニウムペースト25からは溶剤が揮発し、アルミニウム粒子とガラスフリットとからなる固体層が形成される。
【0050】
次に、近赤外線ランプ照射炉内で焼成処理を行うが、焼成処理における昇温時には、アルミニウム電極の基となるアルミニウムペースト25に含まれるガラスフリットが300〜400℃で、アルミニウム粒子が660℃で溶融し始める。アルミニウムとシリコンとの共晶点の温度が577℃であるため、p型多結晶Si基板21の裏面とアルミニウムペースト25との間には、アルミニウムが溶融する前に、シリコンとアルミニウムとが混合したAl−Siの溶融液が生成される。
【0051】
p型多結晶Si基板21裏面に濡れ性が高い面9が局部的に存在すると、溶融したガラスフリットが濡れ性が高い面9に凝集し、濡れ性の高い面9においてアルミニウムとシリコンとの反応性が高くなるため、Al−Siの溶融が促進される。その結果、図11に示すように、濡れ性の高い面9において周囲の面と比べて早い時点でアルミニウムペースト25の表層まで溶融液化し溶融層11が形成される。そして、濡れ性の高い面9の周囲には未溶融のガラスペースト25が存在するため、濡れ性の高い面9に相当する部分のみに開口を有する固体層の蓋が、濡れ性の高い面9の周囲の面の溶融層10の上に載っているような状態となる。このため、空気と接する境界まで液相化した溶融層11のAl−Si溶融液は、表面張力で盛り上がり、突起状の膨らみを形成する。
【0052】
この状態から降温を開始した場合は、状態図に従ってAl−Si溶融液からアルミニウムとシリコンとが分離、凝固し、図12に示すように裏面側電極12が形成される。この際、Al−Si溶融液が表面張力で盛り上がっていた部分はp型多結晶Si基板の表層から離れていて溶融液中のSi濃度が共晶点の濃度である12wt%よりも低いため、溶融層11が凝固する際には共晶温度(577℃)まではアルミニウムを析出しながら温度が低下していく。したがって、空気と接していて最初に凝固する溶融層11の突起状の膨らみの部分は、ほぼ100%アルミニウムとして溶融液の膨らみそのままの形で膨れ13として残る。
【0053】
このような突起状の膨れ13が生じた場合は、これを起点としてp型多結晶Si基板21に割れが生じ、基板割れ率が増加するという問題が生じる。また、太陽電池セルをモジュール化する際において、太陽電池セルの裏面側を絶縁層で覆ってラミネートする際に、突起状の膨れ13が絶縁層を突き破ることで、絶縁性を確保できないという問題が生じる。これらの問題は、太陽電池セルやこれを組み立てて作成される太陽電池モジュールの歩留まり低下の原因となる。
【0054】
濡れ性が高い面9の周囲の面の溶融層10が完全に溶融させれば、溶融液の盛り上がりは解消されるが、焼成工程が長期化することによってエネルギー消費量が増加してしまう。
【0055】
これに対して、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウム電極5の形成前にSi酸化膜4を形成することで、p型多結晶Si基板1の裏面の濡れ性を均一化するため、ペーストの局部的な凝集が抑制され、局部的なシリコンとアルミニウムとの反応促進や表面張力によって溶融層の盛り上がりが発生することが防止される。
【0056】
したがって、本実施の形態にかかる太陽電池セルの製造方法においては、アルミニウム電極5の膨れや突起に起因した太陽電池セルや太陽電池モジュールの歩留まりの低下を防止して、歩留まり良く太陽電池セルを作成できる。
【産業上の利用可能性】
【0057】
以上のように、本発明にかかる太陽電池セル及びその製造方法は、アルミニウムペーストを用いて表面が略平坦なアルミニウム電極を形成できる点で有用であり、特に、歩留まり良く太陽電池セルや太陽電池モジュールを製造するのに適している。
【符号の説明】
【0058】
1、21 p型多結晶Si基板
2 n型拡散層
3 反射防止膜
4 Si酸化膜
5 アルミニウム電極
6 P+層(BSF層)
7 表面側電極
8 表銀グリッド電極
9 濡れ性の高い面
10、11 溶融層
12 裏面側電極
13 膨れ
14 半導体基板
15 表銀バス電極
16 銀電極
17 導電層
25 アルミニウムペースト
【特許請求の範囲】
【請求項1】
第1の導電型のシリコン基板と、前記第1の導電型とは反対の導電型である第2の導電型で前記シリコン基板の受光面に形成された反転層と、前記反転層上に設けられた受光面側電極と、前記シリコン基板の前記受光面とは反対側の面である裏面の表層に設けられた裏面側電極と、を有する太陽電池セルであって、
前記シリコン基板と前記裏面側電極との間にシリコン酸化膜を介在させ、熱処理を施したことを特徴とする太陽電池セル。
【請求項2】
前記裏面側電極は、
前記シリコン基板の裏面の一部に形成された銀電極と、
前記シリコン基板の裏面の前記銀電極が形成されていない部分に形成されたアルミニウム電極と、
を有することを特徴とする請求項1記載の太陽電池セル。
【請求項3】
前記シリコン基板と前記銀電極との間にはシリコンに銀が拡散した銀拡散層が介在し、
前記シリコン基板と前記アルミニウム電極との間には、シリコンにアルミニウムが高濃度に拡散し、第1の導電型を示す高濃度不純物拡散層が介在することを特徴とする請求項2記載の太陽電池セル。
【請求項4】
シリコン基板の受光面とは反対側の面に電極ペーストを配置した後に焼成を行うことにより、前記シリコン基板の裏面に電極を形成する太陽電池セルの製造方法であって、
前記シリコン基板の裏面に電極ペーストを配置する電極配置工程の前工程として、前記シリコン基板の裏面にシリコン酸化膜を形成する工程を有することを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
【請求項5】
前記電極配置工程は、
前記シリコン酸化膜上に銀を主成分とする第1の電極ペーストを特定のパターン形状で配置する第1の工程と、
アルミニウムを主成分とする第2の電極ペーストを前記特定のパターン形状以外の部分に配置する第2の工程と、
前記第1及び第2の電極ペーストを乾燥させる第3の工程と、
を含むことを特徴とする請求項4記載の太陽電池セルの製造方法。
【請求項1】
第1の導電型のシリコン基板と、前記第1の導電型とは反対の導電型である第2の導電型で前記シリコン基板の受光面に形成された反転層と、前記反転層上に設けられた受光面側電極と、前記シリコン基板の前記受光面とは反対側の面である裏面の表層に設けられた裏面側電極と、を有する太陽電池セルであって、
前記シリコン基板と前記裏面側電極との間にシリコン酸化膜を介在させ、熱処理を施したことを特徴とする太陽電池セル。
【請求項2】
前記裏面側電極は、
前記シリコン基板の裏面の一部に形成された銀電極と、
前記シリコン基板の裏面の前記銀電極が形成されていない部分に形成されたアルミニウム電極と、
を有することを特徴とする請求項1記載の太陽電池セル。
【請求項3】
前記シリコン基板と前記銀電極との間にはシリコンに銀が拡散した銀拡散層が介在し、
前記シリコン基板と前記アルミニウム電極との間には、シリコンにアルミニウムが高濃度に拡散し、第1の導電型を示す高濃度不純物拡散層が介在することを特徴とする請求項2記載の太陽電池セル。
【請求項4】
シリコン基板の受光面とは反対側の面に電極ペーストを配置した後に焼成を行うことにより、前記シリコン基板の裏面に電極を形成する太陽電池セルの製造方法であって、
前記シリコン基板の裏面に電極ペーストを配置する電極配置工程の前工程として、前記シリコン基板の裏面にシリコン酸化膜を形成する工程を有することを特徴とする太陽電池セルの製造方法。
【請求項5】
前記電極配置工程は、
前記シリコン酸化膜上に銀を主成分とする第1の電極ペーストを特定のパターン形状で配置する第1の工程と、
アルミニウムを主成分とする第2の電極ペーストを前記特定のパターン形状以外の部分に配置する第2の工程と、
前記第1及び第2の電極ペーストを乾燥させる第3の工程と、
を含むことを特徴とする請求項4記載の太陽電池セルの製造方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【公開番号】特開2011−96853(P2011−96853A)
【公開日】平成23年5月12日(2011.5.12)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−249381(P2009−249381)
【出願日】平成21年10月29日(2009.10.29)
【出願人】(000006013)三菱電機株式会社 (33,312)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年5月12日(2011.5.12)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年10月29日(2009.10.29)
【出願人】(000006013)三菱電機株式会社 (33,312)
【Fターム(参考)】
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