研磨パッド梱包物及びその製造方法
【課題】 保管中に研磨パッドが黄変したり、膨張又は収縮することのない研磨パッド梱包物、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物。
【解決手段】 研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ、反射ミラー等の光学材料やシリコンウエハ、ハードディスク用のガラス基板、アルミ基板、及び一般的な金属研磨加工等の高度の表面平坦性を要求される材料の平坦化加工を安定、かつ高い研磨効率で行うことが可能な研磨パッドをフィルムで梱包した研磨パッド梱包物及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高度の表面平坦性を要求される材料の代表的なものとしては、半導体集積回路（ＩＣ、ＬＳＩ）を製造するシリコンウエハと呼ばれる単結晶シリコンの円盤があげられる。シリコンウエハは、ＩＣ、ＬＳＩ等の製造工程において、回路形成に使用する各種薄膜の信頼できる半導体接合を形成するために、酸化物層や金属層を積層・形成する各工程において、表面を高精度に平坦に仕上げることが要求される。このような研磨仕上げ工程においては、一般的に研磨パッドはプラテンと呼ばれる回転可能な支持円盤に固着され、半導体ウエハ等の加工物は研磨ヘッドに固着される。そして双方の運動により、プラテンと研磨ヘッドとの間に相対速度を発生させ、さらに砥粒を含む研磨スラリーを研磨パッド上に連続供給することにより、研磨操作が実行される。
【０００３】
前記研磨パッドは、ゴミ等の異物が付着することを防止するため、通常使用前は樹脂製の袋で梱包されている。しかしながら、このような梱包された研磨パッドは、保管中に物性変化が起こり、使用時にウエハ表面にスクラッチ（引っ掻き傷）を生じさせるなどの問題があった。
【０００４】
保管中の物性変化によるスクラッチの発生及び研磨速度の低下を防止するために、３００〜３８０ｎｍの波長域全域における光透過率が５０％以下である材料により研磨層表面を覆う方法が提案されている（特許文献１）。
【０００５】
上記問題以外にも、保管中に研磨パッドが黄変することにより、表層と内部で物性が異なってくるという問題を有していた。また、保管中に研磨パッドが膨張又は収縮することにより、研磨パッドをプラテンに固着する際に浮きが発生したり、パッドの厚さが不均一になるという問題も有していた。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２５９７２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、保管中に研磨パッドが黄変したり、膨張又は収縮することのない研磨パッド梱包物、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す研磨パッド梱包物により上記目的を達成できることを見出し本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち本発明は、研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物、に関する。
【００１０】
上記特性を有するガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包することにより、長期保存した場合であっても研磨パッドが黄変したり、膨張又は収縮することを効果的に防止することができる。
【００１１】
ガスバリア性フィルムの酸素透過率は２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが必要であり、好ましくは１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下である。酸素透過率が２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙを超える場合には、酸素との反応によってパッド材料が変質しやすくなるため研磨パッドの黄変を防止することができない。
【００１２】
また、ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率は２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが必要であり、好ましくは１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である。水蒸気透過率が２ｇ／ｍ２・ｄａｙを超える場合には、水蒸気の入出量が多くなるため研磨パッドが膨張又は収縮しやすくなる。
【００１３】
前記ガスバリア性フィルムは、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が８５％以上であることが好ましく、より好ましくは９０％以上である。可視光線の平均光透過率が８５％未満の場合には、研磨パッドの保存状態の確認に支障が生じる傾向にある。
【００１４】
前記ガスバリア性フィルムは、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率が５０％以下であることが好ましく、より好ましくは３０％以下である。波長２００〜３００ｎｍの紫外線はパッド材料の分解を引き起こしやすく、該紫外線の最大光透過率が５０％を超える場合には、研磨パッドの黄変が顕著になる傾向にある。
【００１５】
前記ガスバリア性フィルムは、基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものであることが好ましい。無機材料で基材フィルム表面をコーティングすることにより、紫外線の透過を効果的に遮断することができ、またガスバリア性も向上させることができる。
【００１６】
上記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドの研磨層がポリウレタン樹脂発泡体で形成されている場合に使用すると、特に効果的に研磨層の黄変、膨張又は収縮を防止することができる。
【００１７】
また本発明は、相対湿度４０〜６０％の環境下において、酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包する工程を含む研磨パッド梱包物の製造方法、及び該方法により製造される研磨パッド梱包物、に関する。
【００１８】
通常、研磨パッドは相対湿度４０〜６０％のクリーンルーム内で保存されており、同様の環境下で研磨パッドを上記ガスバリア性フィルムで梱包することにより、梱包内部を相対湿度４０〜６０％に維持することができ、研磨パッドの膨張又は収縮を防止することができる。その結果、製造後から使用前までの研磨パッドの寸法変化を抑制することができ、研磨パッドを精度良くプラテンに固着することができる。
【００１９】
上記製造方法においては、さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包することが好ましい。梱包工程が、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３を上回るような環境で行われると、研磨パッドに付着する異物の量が多くなり、該異物によるスクラッチが発生しやすくなる傾向にある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の研磨パッド梱包物は、研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されているものである。
【００２１】
ガスバリア性フィルムは、上記特性を有するものであれば他は特に制限されないが、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、ポリイミド、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ＰＶＡ、フェノール樹脂、ＡＢＳ樹脂、天然ゴム、ネオプレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、及びフッ素ゴム等の各種ゴムが挙げられる。これらは一種単独で用いてもよく、二種以上をブレンドしてもよい。これらのうち、可視光線の高透過性、紫外線の高遮断性、ガスバリア性等の観点からポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、又はＰＶＡを用いることが好ましい。
【００２２】
ガスバリア性フィルムは、上記樹脂からなる基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものであることが好ましい。無機材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、及び酸化チタンなどの金属酸化物が挙げられる。コーティング方法としては、ゾルゲル法、真空蒸着法、スパッタリング法、及びイオンコーティング法などが挙げられる。
【００２３】
ガスバリア性フィルムは、上記樹脂からなる基材フィルムの表面に導電性材料をコーティングしたものであってもよい。ガスバリア性フィルムに導電性を付与することにより、フィルムが帯電することを防止でき、異物の吸着を抑制することができる。導電性材料としては、導電性高分子材料を用いることが好ましく、例えば、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリピロールなどが挙げられる。
【００２４】
酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムを得る方法としては、基材フィルムの表面にアルミナ又はシリカの真空蒸着膜を形成する方法や、アルミナ及びシリカの２元蒸着膜を形成する方法が挙げられる。
【００２５】
基材フィルムの厚さは、耐久性、ガスバリア性、可視光線の透過性、紫外線の遮断性、フレキシブル性等の観点から１０〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは２０〜１００μｍである。
【００２６】
蒸着膜の厚さは、ガスバリア性、可視光線の透過性、紫外線の遮断性、フレキシブル性等の観点から５０〜５０００Åであることが好ましく、より好ましくは１００〜１０００Åである。
【００２７】
梱包する研磨パッドは公知のものを特に限定なく使用可能であるが、上記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドの研磨層がポリウレタン樹脂発泡体で形成されている場合に使用すると、効果的に研磨層の黄変、膨張又は収縮を防止することができる。なお、研磨パッドは研磨層よりも柔らかいクッション層を有していても良い。
【００２８】
前記ポリウレタン樹脂は、イソシアネート成分、ポリオール成分（高分子量ポリオール成分、低分子量ポリオール成分）、及び鎖延長剤からなるものである。
【００２９】
イソシアネート成分としては、ポリウレタンの分野において公知の化合物を特に限定なく使用できる。イソシアネート成分としては、２，４−トルエンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，２’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、ｍ−フェニレンジイソシアネート、ｐ−キシリレンジイソシアネート、ｍ−キシリレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、エチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネートが挙げられる。これらは１種で用いても、２種以上を混合しても差し支えない。これらのうち、トルエンジイソシアネートと４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネートを併用することが好ましい。
【００３０】
高分子量ポリオール成分としては、ポリテトラメチレンエーテルグリコールに代表されるポリエーテルポリオール、ポリブチレンアジペートに代表されるポリエステルポリオール、ポリカプロラクトンポリオール、ポリカプロラクトンのようなポリエステルグリコールとアルキレンカーボネートとの反応物などで例示されるポリエステルポリカーボネートポリオール、エチレンカーボネートを多価アルコールと反応させ、次いで得られた反応混合物を有機ジカルボン酸と反応させたポリエステルポリカーボネートポリオール、及びポリヒドキシル化合物とアリールカーボネートとのエステル交換反応により得られるポリカーボネートポリオールなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらのうち、ポリテトラメチレンエーテルグリコールを用いることが好ましい。
【００３１】
ポリオール成分として上述した高分子量ポリオール成分の他に、エチレングリコール、１，２−プロピレングリコール、１，３−プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、１，４−ビス（２−ヒドロキシエトキシ）ベンゼン等の低分子量ポリオール成分を併用することが好ましい。エチレンジアミン、トリレンジアミン、ジフェニルメタンジアミン、ジエチレントリアミン等の低分子量ポリアミン成分を用いてもよい。低分子量ポリオール成分や低分子量ポリアミン成分の（数平均）分子量は５００未満であり、好ましくは２５０以下である。これらのうち、ジエチレングリコールを用いることが好ましい。
【００３２】
ポリウレタン樹脂発泡体をプレポリマー法により製造する場合において、プレポリマーの硬化には鎖延長剤を使用する。鎖延長剤は、少なくとも２個以上の活性水素基を有する有機化合物であり、活性水素基としては、水酸基、第１級もしくは第２級アミノ基、チオール基（ＳＨ）等が例示できる。具体的には、４，４’−メチレンビス（ｏ−クロロアニリン）（ＭＯＣＡ）、２，６−ジクロロ−ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−メチレンビス（２，３−ジクロロアニリン）、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，４−ジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，６−ジアミン、トリメチレングリコール−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、１，２−ビス（２−アミノフェニルチオ）エタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチル−５，５’−ジメチルジフェニルメタン、Ｎ，Ｎ’−ジ−ｓｅｃ−ブチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ｍ−キシリレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ジ−ｓｅｃ−ブチル−ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、及びｐ−キシリレンジアミン等に例示されるポリアミン類、あるいは、上述した低分子量ポリオール成分や低分子量ポリアミン成分を挙げることができる。これらは１種で用いても、２種以上を混合しても差し支えない。これらのうち、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミンを用いることが好ましい。
【００３３】
ポリウレタン樹脂発泡体の製造は、プレポリマー法、ワンショット法のどちらでも可能であるが、事前にイソシアネート成分とポリオール成分からイソシアネート末端プレポリマーを合成しておき、これに鎖延長剤を反応させるプレポリマー法が、得られるポリウレタン樹脂の物理的特性が優れており好適である。
【００３４】
ポリウレタン樹脂発泡体の製造方法としては、中空ビーズを添加させる方法、機械的発泡法、化学的発泡法などが挙げられる。
【００３５】
前記ポリウレタン樹脂発泡体の平均気泡径は、３０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜６０μｍである。
【００３６】
研磨パッド（研磨層）の被研磨材と接触する研磨表面は、スラリーを保持・更新するための凹凸構造を有していてもよい。
【００３７】
研磨層の厚みは特に限定されるものではないが、通常０．８〜４ｍｍ程度であり、１．０〜２．５ｍｍであることが好ましい。前記厚みの研磨層を作製する方法としては、前記発泡体のブロックをバンドソー方式やカンナ方式のスライサーを用いて所定厚みにする方法、所定厚みのキャビティーを持った金型に樹脂を流し込み硬化させる方法、及びコーティング技術やシート成形技術を用いた方法などが挙げられる。
【００３８】
研磨パッドは、研磨層とクッションシートとを貼り合わせたものであってもよい。クッションシートとしては、例えば、ポリエステル不織布、ナイロン不織布、アクリル不織布などの繊維不織布やポリウレタンを含浸したポリエステル不織布のような樹脂含浸不織布、ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォームなどの高分子樹脂発泡体、ブタジエンゴム、イソプレンゴムなどのゴム性樹脂、感光性樹脂などが挙げられる。
【００３９】
本発明の研磨パッド梱包物の製造方法は、相対湿度４０〜６０％の環境下において、前記ガスバリア性フィルムで前記研磨パッドを梱包する工程を含むことを特徴とする。また、上記製造方法においては、さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包することが好ましい。
【００４０】
上記環境を達成する手段としては、例えば、ＨＥＰＡフィルターを備えたクリーンルーム又はクリーンブースを使用する方法が挙げられる。
【００４１】
前記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドを容易に梱包できることから袋状であることが好ましい。また、研磨パッドをガスバリア性フィルムで梱包した後に、密封することが好ましい。密封することにより、研磨パッドへの異物の付着を防止することができるだけでなく、研磨パッドの吸湿又は乾燥による膨張又は収縮を防止することができる。密封の方法は特に制限されないが、例えばヒートシールする方法が挙げられる。
【００４２】
また、酸素の非存在下で密封してもよい。それにより酸素による黄変をより効果的に防止することができる。酸素の非存在下で密封する方法としては、例えばフィルム内部を真空にする方法、フィルム内部を窒素やアルゴンなどの不活性ガスで置換する方法が挙げられる。なお、ガスバリア性フィルムのみでは、強度が弱く傷がついたり、穴が開いたりして真空が保てなくなる場合がある。そのような場合には、より厚い樹脂フィルム等でさらに梱包してもよい。
【実施例】
【００４３】
以下、本発明を実施例を上げて説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００４４】
（酸素透過率の測定）
酸素透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｓ社製、ＯＸ−ＴＲＡＮ１０／５０Ａ）の測定室内にサンプルをセットし、測定室内を湿度０％、温度２５度の条件で２日間酸素置換した。その後、サンプルの酸素透過率（ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ）を測定した。
【００４５】
（水蒸気透過率の測定）
水蒸気透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｓ社製、ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）の測定室内にサンプルをセットし、測定室内を湿度９０％、温度４０度の条件で２日間水蒸気置換した。その後、サンプルの水蒸気透過率（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）を測定した。
【００４６】
（光透過率の測定）
分光光度計（日立製作所製、Ｕ−３２１０ Ｓｐｅｃｔｒｏ Ｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）を用いて、測定波長域２００〜７００ｎｍにおけるサンプルの光透過率（％）を測定した。そして、該測定値から波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率を算出した。また、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率を求めた。
【００４７】
実施例１
〔研磨パッドの作製〕
容器にトルエンジイソシアネート（２，４−体／２，６−体＝８０／２０の混合物）１２２９重量部、４，４’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート２７２重量部、数平均分子量１０１８のポリテトラメチレンエーテルグリコール１９０１重量部、ジエチレングリコール１９８重量部を入れ、７０℃で４時間反応させてイソシアネート末端プレポリマーを得た。
該プレポリマー１００重量部及びシリコン系ノニオン界面活性剤（東レ・ダウシリコーン社製、ＳＨ−１９２）３重量部を重合容器内に加えて混合し、８０℃に調整して減圧脱泡した。その後、撹拌翼を用いて、回転数９００ｒｐｍで反応系内に気泡を取り込むように激しく約４分間撹拌を行った。そこへ予め７０℃に温度調整したエタキュア３００（アルベマール社製、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミンと３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミンとの混合物）２１重量部を添加した。該混合液を約１分間撹拌した後、パン型のオープンモールド（注型容器）へ流し込んだ。この混合液の流動性がなくなった時点でオーブン内に入れ、１００℃で１６時間ポストキュアを行い、ポリウレタン樹脂発泡体ブロックを得た。
約８０℃に加熱した前記ポリウレタン樹脂発泡体ブロックをスライサー（アミテック社製、ＶＧＷ−１２５）を使用してスライスし、ポリウレタン樹脂発泡体シートを得た。次に、バフ機（アミテック社製）を使用して、厚さ１．２７ｍｍになるまで該シートの表面バフ処理をし、厚み精度を整えたシートとした。このバフ処理をしたシートを直径６１ｃｍの大きさで打ち抜き、溝加工機（テクノ社製）を用いて表面に溝幅０．２５ｍｍ、溝ピッチ１．５０ｍｍ、溝深さ０．４０ｍｍの同心円状の溝加工を行い研磨シートを得た。この研磨シートの溝加工面と反対側の面にラミ機を使用して、両面テープ（積水化学工業社製、ダブルタックテープ）を貼りつけた。更に、コロナ処理をしたクッションシート（東レ社製、ポリエチレンフォーム、トーレペフ、厚み０．８ｍｍ）の表面をバフ処理し、それをラミ機を使用して前記両面テープに貼り合わせた。さらに、クッションシートの他面にラミ機を使用して両面テープを貼り合わせて研磨パッドを作製した。
【００４８】
〔研磨パッド梱包物の作製〕
ＨＥＰＡフィルターを装着したクリーンブース内（相対湿度５０％、０．３μｍ以上の微粒子が２０５００個／ｍ３）で、ヒートシール性を有するポリエステル（厚さ：５０μｍ）の片面にアルミナとシリカを真空蒸着（厚さ：１５０Å）させたガスバリア性フィルム（エコシアール、東洋紡績社製）を用いて作製した研磨パッドを梱包して研磨パッド梱包物を作製した。使用したガスバリア性フィルムの酸素透過率は１．８ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水蒸気透過率は１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率は９０％、及び波長２００〜３００ｎｍの紫外線の最大光透過率は２０％であった。梱包は、ガスバリア性フィルムの３辺をヒートシールして袋状にし、その中に研磨パッドを入れて真空になるように吸引しながら開口部をヒートシールすることにより行った。
【００４９】
比較例１
酸素透過率が１５００ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水蒸気透過率が５０ｇ／ｍ２・ｄａｙ、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が９０％、及び波長２００〜３００ｎｍの紫外線の最大光透過率が５０％のポリエチレン製フィルムを用いた以外は実施例１と同様の方法で研磨パッド梱包物を作製した。
【００５０】
実施例及び比較例にて得られた研磨パッド梱包物を温度２５℃、相対湿度６０％の室内環境下で１年間保存した。その後、研磨パッドを取り出し、黄変や膨張しているか否かを評価した。
（黄変評価）
保存前及び保存後の研磨パッドの表面の色を多光源分光測色計（Ｃ光源、２度視野、サンプル面積３０ｍｍφ）にて測定し、測定値から色差ΔＥを求めた。
（膨張評価）
保存前の研磨パッドを正確に測定したところ、長さは５０ｍｍ、幅は１０ｍｍであった。保存後に再度研磨パッドの長さを正確に測定し、下記式により膨張率を求めた。
膨張率（％）＝〔（保存後の長さ−保存前の長さ）／保存前の長さ〕×１００
【００５１】
【表１】
【００５２】
表１から、本発明の研磨パッド梱包物は、保管中に研磨パッドがほとんど黄変や膨張しないことがわかる。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズ、反射ミラー等の光学材料やシリコンウエハ、ハードディスク用のガラス基板、アルミ基板、及び一般的な金属研磨加工等の高度の表面平坦性を要求される材料の平坦化加工を安定、かつ高い研磨効率で行うことが可能な研磨パッドをフィルムで梱包した研磨パッド梱包物及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高度の表面平坦性を要求される材料の代表的なものとしては、半導体集積回路（ＩＣ、ＬＳＩ）を製造するシリコンウエハと呼ばれる単結晶シリコンの円盤があげられる。シリコンウエハは、ＩＣ、ＬＳＩ等の製造工程において、回路形成に使用する各種薄膜の信頼できる半導体接合を形成するために、酸化物層や金属層を積層・形成する各工程において、表面を高精度に平坦に仕上げることが要求される。このような研磨仕上げ工程においては、一般的に研磨パッドはプラテンと呼ばれる回転可能な支持円盤に固着され、半導体ウエハ等の加工物は研磨ヘッドに固着される。そして双方の運動により、プラテンと研磨ヘッドとの間に相対速度を発生させ、さらに砥粒を含む研磨スラリーを研磨パッド上に連続供給することにより、研磨操作が実行される。
【０００３】
前記研磨パッドは、ゴミ等の異物が付着することを防止するため、通常使用前は樹脂製の袋で梱包されている。しかしながら、このような梱包された研磨パッドは、保管中に物性変化が起こり、使用時にウエハ表面にスクラッチ（引っ掻き傷）を生じさせるなどの問題があった。
【０００４】
保管中の物性変化によるスクラッチの発生及び研磨速度の低下を防止するために、３００〜３８０ｎｍの波長域全域における光透過率が５０％以下である材料により研磨層表面を覆う方法が提案されている（特許文献１）。
【０００５】
上記問題以外にも、保管中に研磨パッドが黄変することにより、表層と内部で物性が異なってくるという問題を有していた。また、保管中に研磨パッドが膨張又は収縮することにより、研磨パッドをプラテンに固着する際に浮きが発生したり、パッドの厚さが不均一になるという問題も有していた。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２５９７２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、保管中に研磨パッドが黄変したり、膨張又は収縮することのない研磨パッド梱包物、及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者らは、前記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下に示す研磨パッド梱包物により上記目的を達成できることを見出し本発明を完成するに至った。
【０００９】
すなわち本発明は、研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物、に関する。
【００１０】
上記特性を有するガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包することにより、長期保存した場合であっても研磨パッドが黄変したり、膨張又は収縮することを効果的に防止することができる。
【００１１】
ガスバリア性フィルムの酸素透過率は２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが必要であり、好ましくは１ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下である。酸素透過率が２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙを超える場合には、酸素との反応によってパッド材料が変質しやすくなるため研磨パッドの黄変を防止することができない。
【００１２】
また、ガスバリア性フィルムの水蒸気透過率は２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下であることが必要であり、好ましくは１ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下である。水蒸気透過率が２ｇ／ｍ２・ｄａｙを超える場合には、水蒸気の入出量が多くなるため研磨パッドが膨張又は収縮しやすくなる。
【００１３】
前記ガスバリア性フィルムは、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が８５％以上であることが好ましく、より好ましくは９０％以上である。可視光線の平均光透過率が８５％未満の場合には、研磨パッドの保存状態の確認に支障が生じる傾向にある。
【００１４】
前記ガスバリア性フィルムは、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率が５０％以下であることが好ましく、より好ましくは３０％以下である。波長２００〜３００ｎｍの紫外線はパッド材料の分解を引き起こしやすく、該紫外線の最大光透過率が５０％を超える場合には、研磨パッドの黄変が顕著になる傾向にある。
【００１５】
前記ガスバリア性フィルムは、基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものであることが好ましい。無機材料で基材フィルム表面をコーティングすることにより、紫外線の透過を効果的に遮断することができ、またガスバリア性も向上させることができる。
【００１６】
上記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドの研磨層がポリウレタン樹脂発泡体で形成されている場合に使用すると、特に効果的に研磨層の黄変、膨張又は収縮を防止することができる。
【００１７】
また本発明は、相対湿度４０〜６０％の環境下において、酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包する工程を含む研磨パッド梱包物の製造方法、及び該方法により製造される研磨パッド梱包物、に関する。
【００１８】
通常、研磨パッドは相対湿度４０〜６０％のクリーンルーム内で保存されており、同様の環境下で研磨パッドを上記ガスバリア性フィルムで梱包することにより、梱包内部を相対湿度４０〜６０％に維持することができ、研磨パッドの膨張又は収縮を防止することができる。その結果、製造後から使用前までの研磨パッドの寸法変化を抑制することができ、研磨パッドを精度良くプラテンに固着することができる。
【００１９】
上記製造方法においては、さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包することが好ましい。梱包工程が、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３を上回るような環境で行われると、研磨パッドに付着する異物の量が多くなり、該異物によるスクラッチが発生しやすくなる傾向にある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明の研磨パッド梱包物は、研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されているものである。
【００２１】
ガスバリア性フィルムは、上記特性を有するものであれば他は特に制限されないが、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂としては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリスチレン、ポリ塩化ビニル、ポリフッ化ビニリデン、ポリカーボネート、ポリアミド、ポリアセタール、ポリイミド、エポキシ樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、メラミン樹脂、ＰＶＡ、フェノール樹脂、ＡＢＳ樹脂、天然ゴム、ネオプレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、スチレンブタジエンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、及びフッ素ゴム等の各種ゴムが挙げられる。これらは一種単独で用いてもよく、二種以上をブレンドしてもよい。これらのうち、可視光線の高透過性、紫外線の高遮断性、ガスバリア性等の観点からポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエステル、又はＰＶＡを用いることが好ましい。
【００２２】
ガスバリア性フィルムは、上記樹脂からなる基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものであることが好ましい。無機材料としては、例えば、シリカ、アルミナ、及び酸化チタンなどの金属酸化物が挙げられる。コーティング方法としては、ゾルゲル法、真空蒸着法、スパッタリング法、及びイオンコーティング法などが挙げられる。
【００２３】
ガスバリア性フィルムは、上記樹脂からなる基材フィルムの表面に導電性材料をコーティングしたものであってもよい。ガスバリア性フィルムに導電性を付与することにより、フィルムが帯電することを防止でき、異物の吸着を抑制することができる。導電性材料としては、導電性高分子材料を用いることが好ましく、例えば、ポリチオフェン、ポリアニリン、ポリピロールなどが挙げられる。
【００２４】
酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムを得る方法としては、基材フィルムの表面にアルミナ又はシリカの真空蒸着膜を形成する方法や、アルミナ及びシリカの２元蒸着膜を形成する方法が挙げられる。
【００２５】
基材フィルムの厚さは、耐久性、ガスバリア性、可視光線の透過性、紫外線の遮断性、フレキシブル性等の観点から１０〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは２０〜１００μｍである。
【００２６】
蒸着膜の厚さは、ガスバリア性、可視光線の透過性、紫外線の遮断性、フレキシブル性等の観点から５０〜５０００Åであることが好ましく、より好ましくは１００〜１０００Åである。
【００２７】
梱包する研磨パッドは公知のものを特に限定なく使用可能であるが、上記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドの研磨層がポリウレタン樹脂発泡体で形成されている場合に使用すると、効果的に研磨層の黄変、膨張又は収縮を防止することができる。なお、研磨パッドは研磨層よりも柔らかいクッション層を有していても良い。
【００２８】
前記ポリウレタン樹脂は、イソシアネート成分、ポリオール成分（高分子量ポリオール成分、低分子量ポリオール成分）、及び鎖延長剤からなるものである。
【００２９】
イソシアネート成分としては、ポリウレタンの分野において公知の化合物を特に限定なく使用できる。イソシアネート成分としては、２，４−トルエンジイソシアネート、２，６−トルエンジイソシアネート、２，２’−ジフェニルメタンジイソシアネート、２，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、４，４’−ジフェニルメタンジイソシアネート、１，５−ナフタレンジイソシアネート、ｐ−フェニレンジイソシアネート、ｍ−フェニレンジイソシアネート、ｐ−キシリレンジイソシアネート、ｍ−キシリレンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート、エチレンジイソシアネート、２，２，４−トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、１，６−ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート、１，４−シクロヘキサンジイソシアネート、４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルナンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネートが挙げられる。これらは１種で用いても、２種以上を混合しても差し支えない。これらのうち、トルエンジイソシアネートと４，４’−ジシクロへキシルメタンジイソシアネートを併用することが好ましい。
【００３０】
高分子量ポリオール成分としては、ポリテトラメチレンエーテルグリコールに代表されるポリエーテルポリオール、ポリブチレンアジペートに代表されるポリエステルポリオール、ポリカプロラクトンポリオール、ポリカプロラクトンのようなポリエステルグリコールとアルキレンカーボネートとの反応物などで例示されるポリエステルポリカーボネートポリオール、エチレンカーボネートを多価アルコールと反応させ、次いで得られた反応混合物を有機ジカルボン酸と反応させたポリエステルポリカーボネートポリオール、及びポリヒドキシル化合物とアリールカーボネートとのエステル交換反応により得られるポリカーボネートポリオールなどが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。これらのうち、ポリテトラメチレンエーテルグリコールを用いることが好ましい。
【００３１】
ポリオール成分として上述した高分子量ポリオール成分の他に、エチレングリコール、１，２−プロピレングリコール、１，３−プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、３−メチル−１，５−ペンタンジオール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、１，４−ビス（２−ヒドロキシエトキシ）ベンゼン等の低分子量ポリオール成分を併用することが好ましい。エチレンジアミン、トリレンジアミン、ジフェニルメタンジアミン、ジエチレントリアミン等の低分子量ポリアミン成分を用いてもよい。低分子量ポリオール成分や低分子量ポリアミン成分の（数平均）分子量は５００未満であり、好ましくは２５０以下である。これらのうち、ジエチレングリコールを用いることが好ましい。
【００３２】
ポリウレタン樹脂発泡体をプレポリマー法により製造する場合において、プレポリマーの硬化には鎖延長剤を使用する。鎖延長剤は、少なくとも２個以上の活性水素基を有する有機化合物であり、活性水素基としては、水酸基、第１級もしくは第２級アミノ基、チオール基（ＳＨ）等が例示できる。具体的には、４，４’−メチレンビス（ｏ−クロロアニリン）（ＭＯＣＡ）、２，６−ジクロロ−ｐ−フェニレンジアミン、４，４’−メチレンビス（２，３−ジクロロアニリン）、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，４−ジアミン、３，５−ジエチルトルエン−２，６−ジアミン、トリメチレングリコール−ジ−ｐ−アミノベンゾエート、１，２−ビス（２−アミノフェニルチオ）エタン、４，４’−ジアミノ−３，３’−ジエチル−５，５’−ジメチルジフェニルメタン、Ｎ，Ｎ’−ジ−ｓｅｃ−ブチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、３，３’−ジエチル−４，４’−ジアミノジフェニルメタン、ｍ−キシリレンジアミン、Ｎ，Ｎ’−ジ−ｓｅｃ−ブチル−ｐ−フェニレンジアミン、ｍ−フェニレンジアミン、及びｐ−キシリレンジアミン等に例示されるポリアミン類、あるいは、上述した低分子量ポリオール成分や低分子量ポリアミン成分を挙げることができる。これらは１種で用いても、２種以上を混合しても差し支えない。これらのうち、３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミン、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミンを用いることが好ましい。
【００３３】
ポリウレタン樹脂発泡体の製造は、プレポリマー法、ワンショット法のどちらでも可能であるが、事前にイソシアネート成分とポリオール成分からイソシアネート末端プレポリマーを合成しておき、これに鎖延長剤を反応させるプレポリマー法が、得られるポリウレタン樹脂の物理的特性が優れており好適である。
【００３４】
ポリウレタン樹脂発泡体の製造方法としては、中空ビーズを添加させる方法、機械的発泡法、化学的発泡法などが挙げられる。
【００３５】
前記ポリウレタン樹脂発泡体の平均気泡径は、３０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜６０μｍである。
【００３６】
研磨パッド（研磨層）の被研磨材と接触する研磨表面は、スラリーを保持・更新するための凹凸構造を有していてもよい。
【００３７】
研磨層の厚みは特に限定されるものではないが、通常０．８〜４ｍｍ程度であり、１．０〜２．５ｍｍであることが好ましい。前記厚みの研磨層を作製する方法としては、前記発泡体のブロックをバンドソー方式やカンナ方式のスライサーを用いて所定厚みにする方法、所定厚みのキャビティーを持った金型に樹脂を流し込み硬化させる方法、及びコーティング技術やシート成形技術を用いた方法などが挙げられる。
【００３８】
研磨パッドは、研磨層とクッションシートとを貼り合わせたものであってもよい。クッションシートとしては、例えば、ポリエステル不織布、ナイロン不織布、アクリル不織布などの繊維不織布やポリウレタンを含浸したポリエステル不織布のような樹脂含浸不織布、ポリウレタンフォーム、ポリエチレンフォームなどの高分子樹脂発泡体、ブタジエンゴム、イソプレンゴムなどのゴム性樹脂、感光性樹脂などが挙げられる。
【００３９】
本発明の研磨パッド梱包物の製造方法は、相対湿度４０〜６０％の環境下において、前記ガスバリア性フィルムで前記研磨パッドを梱包する工程を含むことを特徴とする。また、上記製造方法においては、さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包することが好ましい。
【００４０】
上記環境を達成する手段としては、例えば、ＨＥＰＡフィルターを備えたクリーンルーム又はクリーンブースを使用する方法が挙げられる。
【００４１】
前記ガスバリア性フィルムは、研磨パッドを容易に梱包できることから袋状であることが好ましい。また、研磨パッドをガスバリア性フィルムで梱包した後に、密封することが好ましい。密封することにより、研磨パッドへの異物の付着を防止することができるだけでなく、研磨パッドの吸湿又は乾燥による膨張又は収縮を防止することができる。密封の方法は特に制限されないが、例えばヒートシールする方法が挙げられる。
【００４２】
また、酸素の非存在下で密封してもよい。それにより酸素による黄変をより効果的に防止することができる。酸素の非存在下で密封する方法としては、例えばフィルム内部を真空にする方法、フィルム内部を窒素やアルゴンなどの不活性ガスで置換する方法が挙げられる。なお、ガスバリア性フィルムのみでは、強度が弱く傷がついたり、穴が開いたりして真空が保てなくなる場合がある。そのような場合には、より厚い樹脂フィルム等でさらに梱包してもよい。
【実施例】
【００４３】
以下、本発明を実施例を上げて説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【００４４】
（酸素透過率の測定）
酸素透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｓ社製、ＯＸ−ＴＲＡＮ１０／５０Ａ）の測定室内にサンプルをセットし、測定室内を湿度０％、温度２５度の条件で２日間酸素置換した。その後、サンプルの酸素透過率（ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ）を測定した。
【００４５】
（水蒸気透過率の測定）
水蒸気透過度測定装置（Ｍｏｄｅｒｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｓ社製、ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）の測定室内にサンプルをセットし、測定室内を湿度９０％、温度４０度の条件で２日間水蒸気置換した。その後、サンプルの水蒸気透過率（ｇ／ｍ２・ｄａｙ）を測定した。
【００４６】
（光透過率の測定）
分光光度計（日立製作所製、Ｕ−３２１０ Ｓｐｅｃｔｒｏ Ｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）を用いて、測定波長域２００〜７００ｎｍにおけるサンプルの光透過率（％）を測定した。そして、該測定値から波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率を算出した。また、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率を求めた。
【００４７】
実施例１
〔研磨パッドの作製〕
容器にトルエンジイソシアネート（２，４−体／２，６−体＝８０／２０の混合物）１２２９重量部、４，４’−ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート２７２重量部、数平均分子量１０１８のポリテトラメチレンエーテルグリコール１９０１重量部、ジエチレングリコール１９８重量部を入れ、７０℃で４時間反応させてイソシアネート末端プレポリマーを得た。
該プレポリマー１００重量部及びシリコン系ノニオン界面活性剤（東レ・ダウシリコーン社製、ＳＨ−１９２）３重量部を重合容器内に加えて混合し、８０℃に調整して減圧脱泡した。その後、撹拌翼を用いて、回転数９００ｒｐｍで反応系内に気泡を取り込むように激しく約４分間撹拌を行った。そこへ予め７０℃に温度調整したエタキュア３００（アルベマール社製、３，５−ビス（メチルチオ）−２，６−トルエンジアミンと３，５−ビス（メチルチオ）−２，４−トルエンジアミンとの混合物）２１重量部を添加した。該混合液を約１分間撹拌した後、パン型のオープンモールド（注型容器）へ流し込んだ。この混合液の流動性がなくなった時点でオーブン内に入れ、１００℃で１６時間ポストキュアを行い、ポリウレタン樹脂発泡体ブロックを得た。
約８０℃に加熱した前記ポリウレタン樹脂発泡体ブロックをスライサー（アミテック社製、ＶＧＷ−１２５）を使用してスライスし、ポリウレタン樹脂発泡体シートを得た。次に、バフ機（アミテック社製）を使用して、厚さ１．２７ｍｍになるまで該シートの表面バフ処理をし、厚み精度を整えたシートとした。このバフ処理をしたシートを直径６１ｃｍの大きさで打ち抜き、溝加工機（テクノ社製）を用いて表面に溝幅０．２５ｍｍ、溝ピッチ１．５０ｍｍ、溝深さ０．４０ｍｍの同心円状の溝加工を行い研磨シートを得た。この研磨シートの溝加工面と反対側の面にラミ機を使用して、両面テープ（積水化学工業社製、ダブルタックテープ）を貼りつけた。更に、コロナ処理をしたクッションシート（東レ社製、ポリエチレンフォーム、トーレペフ、厚み０．８ｍｍ）の表面をバフ処理し、それをラミ機を使用して前記両面テープに貼り合わせた。さらに、クッションシートの他面にラミ機を使用して両面テープを貼り合わせて研磨パッドを作製した。
【００４８】
〔研磨パッド梱包物の作製〕
ＨＥＰＡフィルターを装着したクリーンブース内（相対湿度５０％、０．３μｍ以上の微粒子が２０５００個／ｍ３）で、ヒートシール性を有するポリエステル（厚さ：５０μｍ）の片面にアルミナとシリカを真空蒸着（厚さ：１５０Å）させたガスバリア性フィルム（エコシアール、東洋紡績社製）を用いて作製した研磨パッドを梱包して研磨パッド梱包物を作製した。使用したガスバリア性フィルムの酸素透過率は１．８ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水蒸気透過率は１．５ｇ／ｍ２・ｄａｙ、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率は９０％、及び波長２００〜３００ｎｍの紫外線の最大光透過率は２０％であった。梱包は、ガスバリア性フィルムの３辺をヒートシールして袋状にし、その中に研磨パッドを入れて真空になるように吸引しながら開口部をヒートシールすることにより行った。
【００４９】
比較例１
酸素透過率が１５００ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ、水蒸気透過率が５０ｇ／ｍ２・ｄａｙ、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が９０％、及び波長２００〜３００ｎｍの紫外線の最大光透過率が５０％のポリエチレン製フィルムを用いた以外は実施例１と同様の方法で研磨パッド梱包物を作製した。
【００５０】
実施例及び比較例にて得られた研磨パッド梱包物を温度２５℃、相対湿度６０％の室内環境下で１年間保存した。その後、研磨パッドを取り出し、黄変や膨張しているか否かを評価した。
（黄変評価）
保存前及び保存後の研磨パッドの表面の色を多光源分光測色計（Ｃ光源、２度視野、サンプル面積３０ｍｍφ）にて測定し、測定値から色差ΔＥを求めた。
（膨張評価）
保存前の研磨パッドを正確に測定したところ、長さは５０ｍｍ、幅は１０ｍｍであった。保存後に再度研磨パッドの長さを正確に測定し、下記式により膨張率を求めた。
膨張率（％）＝〔（保存後の長さ−保存前の長さ）／保存前の長さ〕×１００
【００５１】
【表１】
【００５２】
表１から、本発明の研磨パッド梱包物は、保管中に研磨パッドがほとんど黄変や膨張しないことがわかる。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物。
【請求項２】
前記ガスバリア性フィルムは、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が８５％以上である請求項１記載の研磨パッド梱包物。
【請求項３】
前記ガスバリア性フィルムは、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率が５０％以下である請求項１又は２記載の研磨パッド梱包物。
【請求項４】
前記ガスバリア性フィルムは、基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものである請求項１〜３のいずれかに記載の研磨パッド梱包物。
【請求項５】
前記研磨パッドの研磨層は、ポリウレタン樹脂発泡体からなる請求項１〜４のいずれかに記載の研磨パッド梱包物。
【請求項６】
相対湿度４０〜６０％の環境下において、酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包する工程を含む研磨パッド梱包物の製造方法。
【請求項７】
さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包する請求項６記載の研磨パッド梱包物の製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７記載の方法により製造される研磨パッド梱包物。
【請求項１】
研磨パッドが酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで梱包されている研磨パッド梱包物。
【請求項２】
前記ガスバリア性フィルムは、波長４００〜７００ｎｍにおける可視光線の平均光透過率が８５％以上である請求項１記載の研磨パッド梱包物。
【請求項３】
前記ガスバリア性フィルムは、波長２００〜３００ｎｍにおける紫外線の最大光透過率が５０％以下である請求項１又は２記載の研磨パッド梱包物。
【請求項４】
前記ガスバリア性フィルムは、基材フィルムの表面に無機材料をコーティングしたものである請求項１〜３のいずれかに記載の研磨パッド梱包物。
【請求項５】
前記研磨パッドの研磨層は、ポリウレタン樹脂発泡体からなる請求項１〜４のいずれかに記載の研磨パッド梱包物。
【請求項６】
相対湿度４０〜６０％の環境下において、酸素透過率２ｃｃ／ｍ２・ｄａｙ以下、かつ水蒸気透過率２ｇ／ｍ２・ｄａｙ以下のガスバリア性フィルムで研磨パッドを梱包する工程を含む研磨パッド梱包物の製造方法。
【請求項７】
さらに、０．３μｍ以上の微粒子が３５０００個／ｍ３以下の環境下で梱包する請求項６記載の研磨パッド梱包物の製造方法。
【請求項８】
請求項６又は７記載の方法により製造される研磨パッド梱包物。
【公開番号】特開２００７−３９０９６（Ｐ２００７−３９０９６Ａ）
【公開日】平成１９年２月１５日（２００７．２．１５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−２２６５３４（Ｐ２００５−２２６５３４）
【出願日】平成１７年８月４日（２００５．８．４）
【出願人】（０００００３１４８）東洋ゴム工業株式会社 (2,711)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年２月１５日（２００７．２．１５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年８月４日（２００５．８．４）
【出願人】（０００００３１４８）東洋ゴム工業株式会社 (2,711)
【Ｆターム（参考）】
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