2次元ドーズマップおよび荷電粒子ビームリソグラフィを用いたレチクルの設計および製造のための方法
半導体装置製造の分野において、二次元ドーズマップを用いた表面の製造のための方法が開示される。表面上のイメージを作製するための荷電粒子ビームショットの集合が、複数のショットに対するドーズマップを表面のためのドーズマップと組合せることによって決定される。同様の方法が、レチクルイメージのフラクチャリングまたはマスクデータ準備のために開示される。グリフを作製するための方法もまた開示され、その方法では1以上のショットの二次元ドーズマップが計算され、ショットのリストおよび計算されたドーズマップが後での参照のために記憶される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本出願は、以下を優先権として主張する。
1)2008年9月1日に出願された、「キャラクタプロジェクション粒子ビームリソグラフィを用いたレチクルを製造するための方法およびシステム(Method and System for Manufacturing a Reticle Using Character Projection Particle Beam Lithography)」と題された、米国特許出願番号12/202,364
2)2009年5月27日に出願された、「可変整形ビームリソグラフィを用いて表面および集積回路を製造するための方法(Method For Manufacturing A Surface And Integrated Circuit Using Variable Shaped Beam Lithography)」と題された米国特許出願番号12/473,241
3)2009年8月12日に出願された、「2次元ドーズマップおよび荷電粒子ビームリソグラフィを用いたレチクルの設計および製造のための方法(Method For Design And Manufacture Of A Reticle Using A Two-Dimensional Dosage Map And Charged Particle Beam Lithography)」と題された米国特許出願番号12/540,328
そして、それらのすべては、すべての目的のために、参照によりここに引用される。
【背景技術】
【0002】
本開示はリソグラフィに関し、より特定的には、キャラクタまたはセルプロジェクションリソグラフィを用いた、レチクル、ウェハ、または他のいかなる表面であり得る表面の設計および製造に関する。
【0003】
集積回路のような半導体装置の生産または製造において、光学リソグラフィが半導体装置を製造するために用いられ得る。光学リソグラフィは、リソグラフマスクまたはレチクルを用いて半導体やシリコンウェハのような基板にパターンを転写し集積回路を創出する印刷プロセスである。他の基板としては、フラットパネルディスプレイやフォトマスクも含まれる。また、極紫外線(extreme ultraviolet:EUV)リソグラフィまたはX線リソグラフィは、光学リソグラフィの種類と考えられる。単数または複数のレチクルは集積回路の個々の層に対応する回路パターンを含み得、このパターンは、フォトレジストまたはレジストとして知られる放射線感受性材料の層でコーティングされた基板上の特定の領域上に結像される。パターン化された層が転写されると、その層は、エッチング、イオン注入(ドーピング)、金属化、酸化、および研磨などの、さまざまな他のプロセスを受ける。これらのプロセスは、基板における個々の層を仕上げるために採用される。いくつかの層が必要とされる場合は、全体のプロセスまたはその変形が、各新しい層に対して繰り返される。最終的に、複数の装置の組み合わせまたは集積回路が、基板上に存在する。これらの集積回路は、ダイシングまたはソーイングによって互いに分離され、個々のパッケージ内に実装され得る。より一般的な場合においては、基板上のパターンは、表示画素や磁気記録ヘッドのような加工物を定義するために用いられ得る。
【0004】
集積回路のような半導体装置の生産または製造において、半導体装置を製造するためにマスクレス直接描画も用いられ得る。マスクレス直接描画は、荷電粒子ビームリソグラフィを用いて半導体またはシリコンウェハのような基板にパターンを転写して集積回路を創出する印刷プロセスである。他の基板としては、フラットパネルディスプレイ、ナノインプリントのためのインプリントマスク、またはフォトマスクも含み得る。層の所望パターンは、表面上、この場合には基板上にも直接描画される。パターン化された層が転写されると、その層は、エッチング、イオン注入(ドーピング)、金属化、酸化、および研磨などの、さまざまな他のプロセスを受ける。これらのプロセスは、基板における個々の層を仕上げるために採用される。いくつかの層が必要とされる場合は、全体のプロセスまたはその変形が、各新しい層に対して繰り返される。いくつかの層は、光学リソグラフィを用いて書き込まれ得、一方他のものは、同じ基板を製造するために、マスクレス直接書き込みを用いて書き込まれる。最終的に、複数装置の組み合わせまたは集積回路が、基板上に存在する。これらの集積回路は、ダイシングまたはソーイングによって互いに分離され、個々のパッケージ内に実装され得る。より一般的な場合においては、基板上のパターンは、表示画素や磁気記録ヘッドのような加工物を定義するために用いられ得る。
【0005】
一般的な2種類の荷電粒子ビームリソグラフィは、可変整形ビーム(VSB)およびキャラクタプロジェクション(CP)である。VSB荷電粒子ビームリソグラフィにおいて、精密な電子ビームが整形および誘導されて、ウェハの表面またはレチクルの表面のようなレジストで覆われた表面を露光する。これらの形状は単純な形状であり、通常は、特定の最小および最大の大きさならびに直交座標平面の軸に平行な辺を有する矩形、および特定の最小および最大の大きさの、45°,45°,90°の内角を有する三角形に限定される。CP荷電粒子ビームリソグラフィにおいて、システムにはステンシルがあり、ステンシルは、その中に、直線、任意角度の直線、円、円環、円の一部、円環の一部、または任意の曲線的形状であり得るとともに、複雑な形状の連結された集合、または複雑な形状の連結された集合の分離集合群であり得る、さまざまな形状を有する。ステンシルを通して電子ビームが照射されて、より複雑なパターン(すなわちキャラクタ)をレチクル上に効率的に生成することができる。理論上、そのようなシステムは、時間を要する各々のショットによって、より複雑な形状を照射できるため、VSBシステムよりも高速であり得る。すなわち、VSBシステムによる「E」ショットは4つのショットを有するが、同じ「E」は1つのショットで完了させることができる。なお、VSBシステムは、キャラクタプロジェクションの特別な(単純な)ものと考えられ得るが、その場合には、キャラクタはただ単に単純なキャラクタであり、通常は矩形または45−45−90三角形である。部分的にキャラクタを露光することもまた可能である。これは、たとえば、粒子ビームの一部を阻止することでなされ得る。たとえば、上記の「E」は、FまたはIとして部分的に露光され得るが、この場合、ビームの異なる部分はアパーチャによって削除される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
光学リソグラフィのために用いられるフォトマスクは、その上にパターンが形成されたレチクルから製造される。光学リソグラフィおよび荷電粒子ビームリソグラフィを含む、レチクルにパターンを形成するために用いられる多数の技術が存在する。最も一般的に用いられるシステムは、VSB荷電粒子ビームシステムである。レチクル描画は、典型的には、レチクル上の所定の形状が描画および上書きされる多重パスを含む。典型的には、荷電粒子ビームシステムにおける精度の誤差を平均化するために2つから4つのパスがレチクルを描画するために用いられて、より正確なフォトマスクの作製を可能にする。通常では、1つのパスでは、構成の形状が重ならない。多重パス描画は、荷電粒子ビームシステムがレチクルにパターンを形成するために要する全体の時間を増加させるという不利な点を有する。この余分な時間は、レチクルのコストおよび結果としてのフォトマスクのコストを増加させる。現在、フォトマスクの作製の使用に適した、利用可能なCP荷電粒子ビームシステムは存在しない。
【0007】
荷電粒子ビームリソグラフィをレチクルの作製または直接描画のいずれかに用いた場合、荷電粒子の個別のドーズまたはショットが可能性のある任意の場所で重なりを避けるとともに、多重パス描画の場合には単一のパスでの重なりを避けるように通常は設計される。ドーズは、形成されたパターンのすべての部分において同一または「標準(normal)」であるとされる。これは、レチクル上のレジストがどのようにしてパターンを記録するかについての計算を大幅に単純化させる。想定された標準ドーズのため、VSBショットを従来通りに割当てるフラクチャリングプログラムは、ドーズ情報を出力しない。
【0008】
荷電粒子ビームリソグラフィのコストは、レチクルあるいはウェハのような表面にパターンを露光するために必要な時間と直接的に関連する。露光時間は、パターンを生成するために必要なショット数と関連する。ショットを重ねることが可能であるならば、パターンは、大抵はより少ないショットで形成され得る。さらに、ショットの集合が目標パターンからの逸脱を可能にするならば、パターンはより少ないショットで形成され得る。これらの技術が用いられる場合、レジストにより記録されるパターンの計算はより複雑となる。荷電粒子ビームシミュレーションは、レジストによって記録されるパターンを決定するために用いられ得る。荷電粒子ビームシミュレーションは、さまざまな荷電粒子ビームの描画およびレジスト効果のシミュレーションを含み得るが、コンピュータを利用した処理である。集積回路全体のパターンをシミュレーションし、そして提案された荷電粒子ビームショットが変更されるたびにパターンを再度シミュレーションするということは非実用的である。
【0009】
したがって、ウェハまたはレチクルのような表面上のレジストに、複数の荷電粒子ビームショットによって形成されたパターンをどのようにして記録するかということを、容易に決定できることは有利である。これは、重ね合わせショットおよび可変ショットドーズの使用を可能にする。重ね合わせショットおよび可変ドーズによって、パターンはより少ないショットで表面に形成され得るが、それによりレチクルまたはウェハのような表面にパターンを形成するコストを削減し、その結果、フォトマスクおよび半導体装置の製造コストが削減される。
【課題を解決するための手段】
【0010】
開示の要約
フラクチャリングまたはマスクデータ準備のための方法が開示され、その方法において、所望のレチクルイメージの領域を表わす2次元ドーズマップが作製され、複数の荷電粒子ビームショットのためのショットドーズマップが作製され、各ショットドーズマップは、レチクルイメージのためのドーズマップと組合される。
【0011】
グリフを作製するための方法もまた開示され、その方法において、1以上のショットの2次元ドーズマップが計算され、ショットのリストおよび計算されたドーズマップが後での参照のために記憶される。
【0012】
表面を製造するための方法もまた開示され、その方法において、表面のイメージの領域を表わす2次元ドーズマップが作製され、複数の荷電粒子ビームショットの各々のためのショットドーズマップが作製され、荷電粒子ビームショットの集合から計算された表面上のイメージが各ショットドーズマップを表面のためのドーズマップと組合せることによって決定される。
【0013】
本開示のこれらのおよび他の利点は、以下の詳細な明細書を添付の図面とともに考慮した後に明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】レチクルおよびフォトマスクを製造するための従来の方法の概念的フロー図を示す図である。
【図2】本開示の例示的方法を用いたレチクルおよびフォトマスクの製造の概念的フロー図を示した図である。
【図3】円形パターンおよび円形ショットのためのドーズマップの例を示した図である。
【図4】4nmグリッドを用いて直径200nmの円形パターンおよびドーズマップの一部を示した図である。
【図5】矩形ショットのための例示的ドーズマップを示した図である。
【図6】図5の種類の6つの重ね合わせ矩形ショットの集合の場合のドーズマップを示した図である。
【図7A】円形パターンを示した図である。
【図7B】矩形ショットのドーズマップを示した図である。
【図7C】正方形ショットのドーズマップを示した図である。
【図7D】図7Aの円形パターンを形成可能な、図7Bおよび図7Cの3つの重ね合わせショットのドーズマップを示した図である。
【図8A】パラメータ化されたグリフのドーズマップを示した図である。
【図8B】図8Aのパラメータ化されたグリフの別のドーズマップを示した図である。
【図9】円形CPキャラクタショットからもたらされるグリフのドーズのグラフを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
実施形態の詳細な説明
図1は、フォトマスクを作製するための従来の方法の概念的フロー図100を示す。処理への入力は、フォトマスクを製造可能な、レチクルに形成されるべき所望のパターンのコンピュータ表現102である。ステップ104において、パターンは、VSB荷電粒子ビームシステムを用いて露光するための、重ね合わせのない形状、たとえば矩形および三角形の集合に分解される。ステップ104の結果はショットリスト106であり、そのショットリストにおいてショットは重なり合わない。すべてのショットは、標準ドーズを有するものとされ、ショットリスト106にはドーズ情報は含まれていない。
【0016】
ステップ108において、近接効果補正(PEC)が実行され、ショットリスト中の各ショットにドーズを割当てるが、ショットの配置を微調整することもまた可能である。ステップ108は、ドーズ調整を実行する他の補正も含み得る。ステップ108の出力は、ドーズ情報を含む最終ショットリスト110である。ステップ112において、荷電粒子ビームシステムは、ショットリスト110を用いて、レチクルを覆っているレジストを露光し、それによりレジストにパターン114を形成する。ステップ116においてレジストが現像される。さらなる処理ステップ118を通じてレチクルがフォトマスク120に転写される。
【0017】
図1の方法の変形もある。多重パス露光と呼ばれる、このプロセスの1つの変形において、全体のパターンが1回露光され、次に2パス露光と呼ばれる2回の露光が行なわれる。2より多いパスもまた用いられ得る。多重パス描画は、レジスト加熱、レジスト帯電およびフィールド同士の位置ずれのような、理想と異なる描画効果を低減するために用いられ得る。多重パス描画において、各パスに対するドーズは単一パス描画の場合に対して比例的に低下するが、その目的はすべてのパスに対するドーズの合計がパターンのすべての部分に対して標準ドーズとなることである。したがって、従来では、1つのパスの中でショットの重なりが回避されている。図1の方法の別の変形において、PECステップ108は、荷電粒子ビームシステム自身によって実行され、したがってPECステップ108とレジスト露光ステップ112とは結合される。
【0018】
図3は、レジストで覆われた表面に円形パターン302を形成するために用いられるCPショットのドーズを表すために、ドーズマップ304がどのように用いられ得るかということの例を示す。円に近接した領域は正方形のグリッドに分割され、正方形の各々はドーズが計算される直交座標平面内の点またはサンプル点を示す。この例においては、円に対する相対的なグリッドのサイズは典型的な場合よりも大きく、図示のために用いられる。このグリッドは各サンプル点に対する荷電粒子ドーズの計算および記録によってドーズマップとなる。荷電粒子ビームシミュレーションが、各グリッド正方形におけるドーズを計算するために用いられ得る。この例におけるCPショットの公称上のドーズは1.0であり、1.0倍は標準ドーズを意味する。荷電粒子の前方散乱、クーロン効果および他の物理的、化学的および電磁気的効果によって起こされる荷電粒子ビームの不鮮明さは、円形CPショットの端の周辺でのドーズを徐々に減少させる。レジストしきい値は、レジストがパターンを記録するよりも上のドーズレベルである。およそ0.6のしきい値を有するレジストが用いられるならば、目標パターンと同様のパターンがレジストによって記録される。図3の例において、グリッドは粗過ぎるためにレジストによって記録されるパターンの形状を正確に決定できない。より細かいグリッドの使用は、記録されるパターンのより正確な計算を可能にするが、計算のためのより一層のコンピュータの労力を必要とする。さらに、単一のグリッド正方形でのドーズが変化するため、グリッドでのドーズ値の計算において、任意のさまざまな慣習的方法も用いられる。各グリッドに対する計算されたドーズは、たとえば、グリッド領域にわたる平均的ドーズを表わし得るか、グリッド正方形の左斜め下の角におけるドーズを表わし得るか、またはグリッド正方形の中央におけるドーズを表わし得る。いくつかの他の慣習的方法もまた用いられ得る。ショット情報は、ショットドーズと、VSBの場合にはショット形状と、CPの場合にはステンシル上のショット位置と、CPの場合には部分キャラクタ露光情報とを含むが、そのショット情報とドーズマップ情報とがグリフライブラリに保存され、したがって、このショットの形状およびドーズと一致する他のショットに対するドーズマップが、短時間でアクセス可能となる。グリフの作製は、実際、1つのショットまたはショットのグループに対するドーズマップを計算し、将来の使用のために、ショット情報と計算されたドーズマップとを記憶する処理である。計算されたドーズマップは、図3に示されるようなドーズ値の2次元行列として、あるいはドーズ値の2次元集合を作製するための指示の集合のような、異なるフォーマットのいずれかで記憶され得る。
【0019】
図4は、開いた円弧404を表わすグリッドマップ402を示す。円弧404は200nmの円形パターンの一部を表わし、グリッドマップ402は4nmグリッドを用いた、円形パターンのためのグリッドマップの一部である。標準ショットドーズは1.0である。この例においては0.5のレジストしきい値が用いられる。これは、小さなパターンでも細かいグリッドが要求される多数のグリッド計算を示す。表面のスケールにおける1nmと40nmとの間のグリッドサイズは、現在の半導体プロセスのためのパターンのためのドーズを計算するために有用であり得る。たとえば50nmと1ミクロンとの間のような、より大きなグリッドサイズは、後方散乱およびフォギング(fogging)のような長距離露光効果の計算のために用いられ得るとともに、他の製品のためのパターンを製造するためにより一層適切でもあり得る。
【0020】
図5および図6は、本開示の実施形態に従って多重ショットのためのドーズがどのようにして組合せ得るかを示す。図5は、単一の矩形VSBショットのための2次元ドーズマップ502を示す。ショットドーズマップ502の計算は、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて達成し得る。この例において標準ショットドーズは1.0である。0.6のしきい値を有するレジストの使用は、矩形と同様のパターンをレジストに記録させる。図6は、レチクルまたは半導体ウェハ基板のようなレジストで覆われたターゲット表面に、6つの重ね合わせショットの集合を結果としてもたらし得るドーズマップ602を示す。ドーズマップ602は、6つの種類502のドーズマップの組合せである。6つのショットの名目上の輪郭が示される。ドーズマップの組合せは、ターゲット表面に対するドーズマップ602を作製することによってなされ得るが、ターゲット表面は、初期においてショット情報を含んでおらず、したがって各ショットドーズマップをターゲット表面ドーズマップへと組合せる。組合せ処理は、ターゲット表面ドーズマップの直交座標平面内において各ショットドーズマップを配置して、加算のような数学的演算または演算の集合を適用して、ショットドーズマップの各グリッド位置に対するドーズの値をターゲット表面ドーズマップにおける対応するグリッド位置に対するドーズの値へと組合せることを含む。この例において、6つの矩形ショットの各々の輪郭は、ターゲット表面ドーズマップ602の直交座標平面内において、6つのショットドーズマップがどのようにして配置されるかを示す。この例において、用いられる数学的演算は単純な加算である。ドーズマップは、また、より複雑な数学的演算の集合を用いて組合され得る。たとえば組合せ演算は、レジスト帯電の計算を組込み得るが、レジスト帯電は、時間的に近く、かつ幾何学的に隣接するショットによってレジストに蓄積された負の電荷により、ショットの転写および変形をもたらし得る。目標ドーズマップ602は、後方散乱およびフォギングのような長距離ドーズ効果に対する見積もりによって初期化され得る。0.6のレジストしきい値を有する、ターゲット表面ドーズマップ602からわかるように、レジストに記録されるパターンは、個々のショットの輪郭の集合よりも滑らかである。たとえば、結合されたショットパターンの内部の角は、これらのグリッド位置におけるドーズが0.6または1.0のいずれかであるため、実質的に満たされている。このドーズマップ602は、この6つのショットの集合によるレジストに記録されるパターンが、中央部において、直交座標軸に対して45°の一定幅の線に近似することを示す。荷電粒子ビームシミュレーションの使用のような1ショットドーズマップ502の作製は、ドーズマップ502の6つのコピーまたはインスタンスの各々を初期ターゲット表面ドーズマップ302に組合せることによってドーズマップ602の計算を可能にする。これは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いる6つのVSBショットの集合をシミュレーションするよりも、コンピュータ的に高速になり得る。
【0021】
図7A−7Dは、本開示の実施形態に従うドーズマップの組合せの別の例を示す。図7Aは、所望の円形パターン702を示す。図7Bは、パターン702を作製するために複数のショットにおいて用いられ得る矩形ショットのドーズマップ704を示す。ドーズマップ704において表わされるショットのための公称ショットドーズは0.7であり、0.7は標準ドーズの0.7倍を意味する。図7Cは、公称ショットドーズが0.6である正方形ショットの場合におけるドーズマップ706を示す。図7Dは、3つの重ね合わせショットによる3つのドーズマップ、すなわち、a)矩形ショットのドーズマップ704と、b)ドーズマップ704の90°回転バージョンと、c)正方形ショットのドーズマップ706、の組合せの結果となる組合せドーズマップ710を示す。0.7のしきい値を有するレジストが用いられるならば、所望の円形パターン702と同様のパターンが、組合せドーズマップ710毎にレジストに記録される。この例においてドーズマップ704,706によって表わされるショットは、1.0未満のドーズを用い、それによって、ドーズマップ710に示されるように、3つのショットのすべてが重なり合う領域において最大ドーズを2.0に制限する。いくつかのフォトマスク生成プロセスは、組合せドーズの最大値を、たとえば標準ドーズの2.0倍のような値に制限する。図7Dは、また、2つの正方形ではない矩形のショットの長さが、どのようにして、所望の円形パターン702の直径よりも大きく作製されるかを示す。これらの矩形の「オーバーサイズ」は、ドーズが0.7であるために、これらのショットにおいて起こり得る角の丸みを補償する。ドーズマップ704に示されるように、ショットの端部近傍におけるガウス分布でのドーズ低下により、ドーズは、ショットの端部近傍および角において低下する。全体的に、図7A−Dは、少数のショットドーズマップ(この場合は2つのみ)を用いて円形パターンをどのようにして計算可能であるかを示している。図7A−Dは、円形パターンに対するドーズマップの組合せを示しているが、この方法は任意の直線的または曲線的形状あるいは形状の集合に対して適用可能である。
【0022】
図9は、図形的な形態でグリフの例を示す。グリフは、各々のショットが位置およびショットドーズを備える1以上のCPおよび/またはVSBショットから計算されたドーズマップである。図9に示されたグリフは、たとえば、1つの円形CPキャラクタの1つのショットから計算され得る。グリフの2次元ドーズマップは、図9において、ドーズグラフ900として示される。ドーズグラフ900は、三次元等角図法にて示されており、「Z」方向の寸法(dimension)は、各々のX,Yの位置におけるドーズを表わす。CPショットの中心は点902であり、それはまた、計算ドーズの最高点である。示されるように、点902からの任意のXおよびY方向においてドーズが低下する。ドーズグラフ900にはレジストしきい値904も示されているが、そのレジストしきい値は、表面を覆うレジストに、このショットのみが露光されるならばパターンが記録するであろうドーズよりも高いドーズである。レジストしきい値904より高いドーズグラフの部分は、グラフ部分906として示される。結果的に記録されたパターン領域をレジストで覆われた表面にもたらすグリフ900の一部は、したがって、グラフ部分906のX−Y平面への投影である。図9からわかるように、グラフ部分906を平坦化することによって作製された、記録パターン領域は円形、または、ほぼ円形である。円形CPキャラクタから計算されてドーズグラフ900によって表わされるグリフは、したがって、円形対称またはほぼ円形対称であり、レジストで覆われた表面に円形または、ほぼ円形の記録パターン領域を生成する。
【0023】
図2は、この開示に従う、フォトマスクを製造するための方法の例示的な概念的フロー図200を示す。処理に対する3種類の入力データが存在する。1つ目は、荷電粒子ビームシステムのステンシル上のCPキャラクタについての情報である、ステンシル情報218である。2つ目は、レジストドーズしきい値のような情報を含むプロセス情報236であり、そのしきい値より大きいドーズによって、レジストにパターンが記録される。3つ目は、レチクルに形成されるべき所望のパターン216のコンピュータ表現である。さらに、ステップ202−212で示される初期の任意選択的ステップは、グリフのライブラリの作製を含む。任意選択的なグリフのライブラリの作製における第1のステップは、VSB/CPショット選択202であり、そこでは、特定のドーズを有する各々のショットである、1以上のVSBまたはCPショットを組合せてショットの集合204を作製する。ショットの集合204は、重ね合わせVSBショットおよび/または重ね合わせCPショットを含み得る。VSB/CPショット選択ステップは、ステンシル情報218を使用し、その情報はステンシル上で利用可能なCPキャラクタについての情報を含む。ショットの集合204は、ステップ206において、荷電粒子ビームシミュレーションを用いてシミュレーションされて、ショットの集合のドーズマップ208を作製する。ステップ206は、前方散乱、レジスト拡散(diffusion)、クーロン効果およびエッチングを含むさまざまな物理現象のシミュレーションを含み得る。ステップ206の結果は、2次元ドーズマップ208であり、そのマップは、当該マップの各々のグリッド位置におけるショットの集合204による、組合されたドーズを表わす。そのドーズマップ208はグリフと呼ばれる。ステップ210において、ショットの集合中の各々のショットについての情報、および、この追加のグリフのドーズマップ208が、グリフ202のライブラリに記憶される。1つの実施形態において、グリフの集合は、パラメータ化されたグリフと呼ばれる一種のグリフと組合され得る。
【0024】
フロー200の必要な部分は、フォトマスクの作製を含む。ステップ220において、レチクルまたはレチクル部分のための組合されたドーズマップが計算される。ステップ220は、入力として、レチクルに形成されるべき所望のパターン216と、プロセス情報236と、ステンシル情報218と、もしグリフライブラリが作製されたならばそのグリフライブラリ212とを用いる。ステップ220において、初期レチクルドーズマップが作製され得るが、そのマップにはショットドーズマップが組合され得る。最初に、レチクルドーズマップはショットドーズマップ情報を含んでいない。1つの実施形態において、レチクルドーズマップのグリッド正方形は、たとえば後方散乱、フォギング、ローディング(loading)、局部的レジスト現像喪失の効果に関する項目についての見積もられた補正で初期化され得る。ステップ220は、VSB/CPショット選択222またはグリフ選択234またはこれらの両方を含み得る。VSBショットまたはCPショットが選択された場合、そのショットは、ステップ224において荷電粒子ビームシミュレーションを用いてシミュレーションされて、そのショットのドーズマップ226が作製される。荷電粒子ビームシミュレーションはガウス曲線形状でコンボリューションすることを含み得る。コンボリューションは、形状の2値関数(binary function)を有するものであり得るが、その2値関数は、ある点がその形状の内側または外側のいずれにあるのかを決定する。形状は、単一のアパーチャ形状、複数のアパーチャ形状またはそれらのわずかな変更であり得る。1つの実施形態において、このシミュレーションは暫定的ショットドーズマップキャッシュを用いるときのような、同じショットの以前のシミュレーションの結果を参照することを含み得る。VSBショットおよびCPショットの両方は、重ね合わされることが可能であり得るとともに、互いに関する変更ドーズを有し得る。グリフが選択されたならば、そのグリフのドーズマップはグリフライブラリから入力される。ステップ220において、ショットおよび/またはグリフのさまざまなドーズマップがレチクルドーズマップに組合される。1つの実施形態において、その組合せはドーズを追加することによってなされる。結果としての組合せドーズマップおよびレジスト情報236を用いて、レチクルパターンが計算され得る。レチクルイメージが所望のパターン216と所定の許容範囲内で一致するならば、決定されたVSB/CPショットを含む組合せショットリスト238が出力され、そのショットは選択されたグリフを構成する。ステップ220での計算において、計算されたレチクルイメージが目標イメージ216と所定の許容範囲内で一致しないならば、選択されたCPショット、VSBショットおよび/またはグリフの集合が修正されて、ドーズマップが再計算されて、レチクルパターンが再計算される。1つの実施形態において、ショットおよび/またはグリフの初期の集合は検証並行型設計(correct-by-construction)において決定され得るが、その結果、ショットまたはグリフ変更が不要となる。別の実施形態において、ステップ220は最適化技術を含み、それにより、選択されたVSB/CPショットおよびグリフによって表わされるショットの総数、または荷電粒子ビームの全描画時間、またはいくつかの他のパラメータのいずれかが最小化される。さらに別の実施形態において、VSB/CPショット選択222およびグリフ選択234が実行されて、複数のショットの集合が生成され、それらの各々は標準ドーズよりも低いドーズで、所望のパターン216と一致するレチクルイメージを形成して多重パス描画をサポートし得る。
【0025】
組合されたショットリスト238は、選択されたVSBショットと、選択されたCPショットと、選択されたグリフを構成するショットの決定されたリストとを備える。最終ショットリスト238におけるすべてのショットは、ドーズ情報を含む。ステップ240において、近接効果補正(PEC)および/または他の補正が実行され得るか、または以前の見積もりから補正の精度が高められる。ステップ240は、組合されたショットリスト238を入力として用いて、ショットドーズが調整された最終ショットリスト242を生成する。最終ショットリスト242は、ステップ244において、レチクルを覆うレジストを露光するために荷電粒子ビームシステムによって用いられて、それによりレジストにパターン246が形成される。ステップ248において、レジストが現像される。さらなる処理ステップ250を通じて、レチクルがフォトマスク252に転写される。
【0026】
図8Aおよび8Bは、パラメータ化されたグリフの例を示す。図8Aに示されたドーズマップ802は、幅812、または、この例では8つのグリッド単位の矩形ショット804のためのものである。2本の縦線806,808は、幅810、または、この例では4つのグリッド単位のドーズマップの領域を定義する。ドーズマップ802のこの領域810内では、各行におけるすべてのグリッド正方形が同一のドーズ値を有する。図8Bは、幅832、またはこの例では12のグリッド単位の矩形ショット824のためのドーズマップ820を示す。ドーズマップ802が縦線806と808との間に含むよりもさらに4つ多いグリッド列を、ドーズマップ820が縦線826,828の間に含む点を除いては、ドーズマップ820はドーズマップ802と同様であり、グリッド正方形のドーズ値を含む。ドーズマップ820のこの「伸縮可能な」部分は、幅830、またはこの例では8つのグリッド単位を有する。図8Aの縦線806と808との間の領域、あるいは図8Bの縦線826と828との間の領域のような、伸縮方向にドーズが同一である、伸縮可能なまたはパラメータ化可能な領域を特定することによって、ショット804および824と同じ高さの矩形ショットのためのドーズマップが、812よりも大きい任意の幅を有するショットの場合に生成可能である。荷電粒子ビームシステムの制限は、この方法がドーズマップを生成するために用いられ得る場合における矩形ショットのサイズを制限し得る。他の実施形態において、ドーズマップ中の繰返しドーズパターンは、ドーズマップが、図8Aおよび8Bの例のような連続的長さよりも離散的な長さのみの単一ショットまたはショットのグループに対して生成可能にする。この例は、パラメータ化されたグリフのためのドーズマップがどのようにして生成され得るかを示す。他の実施形態において、高さあるいは直径のような他の寸法がパラメータ化され得る。
【0027】
本明細書は、特定の実施形態に関連して詳細を説明したが、当業者が、上述の理解に到達することについて、これらの実施形態の変更、修正、および均等物を容易に相当し得ることは明らかであろう。フラクチャリング、グリフ作成および表面を製造するための本方法についての、これらのおよび他の修正および変形は、添付の特許請求の範囲により特定的に記載される本主題の精神および範囲から逸脱することなく、当業者によって実現され得る。さらに、当業者は、上記説明は例示に過ぎず、限定されるべきことが意図されていないことを理解するであろう。本発明の範囲を逸脱することなく、この明細書におけるステップにステップを追加し、あるいはこの明細書におけるステップからステップを取り出し、あるいは、この明細書におけるステップを変更することが可能である。一般に、提示された任意のフローチャートは、単に機能を実現するための基本的動作の1つの可能な順序を示すことを意図することにすぎないものである。したがって、本主題は、添付された特許請求の範囲およびそれらの均等物の範囲内のものとして、そのような修正および変形に及ぶことが意図される。
【技術分野】
【0001】
本出願は、以下を優先権として主張する。
1)2008年9月1日に出願された、「キャラクタプロジェクション粒子ビームリソグラフィを用いたレチクルを製造するための方法およびシステム(Method and System for Manufacturing a Reticle Using Character Projection Particle Beam Lithography)」と題された、米国特許出願番号12/202,364
2)2009年5月27日に出願された、「可変整形ビームリソグラフィを用いて表面および集積回路を製造するための方法(Method For Manufacturing A Surface And Integrated Circuit Using Variable Shaped Beam Lithography)」と題された米国特許出願番号12/473,241
3)2009年8月12日に出願された、「2次元ドーズマップおよび荷電粒子ビームリソグラフィを用いたレチクルの設計および製造のための方法(Method For Design And Manufacture Of A Reticle Using A Two-Dimensional Dosage Map And Charged Particle Beam Lithography)」と題された米国特許出願番号12/540,328
そして、それらのすべては、すべての目的のために、参照によりここに引用される。
【背景技術】
【0002】
本開示はリソグラフィに関し、より特定的には、キャラクタまたはセルプロジェクションリソグラフィを用いた、レチクル、ウェハ、または他のいかなる表面であり得る表面の設計および製造に関する。
【0003】
集積回路のような半導体装置の生産または製造において、光学リソグラフィが半導体装置を製造するために用いられ得る。光学リソグラフィは、リソグラフマスクまたはレチクルを用いて半導体やシリコンウェハのような基板にパターンを転写し集積回路を創出する印刷プロセスである。他の基板としては、フラットパネルディスプレイやフォトマスクも含まれる。また、極紫外線(extreme ultraviolet:EUV)リソグラフィまたはX線リソグラフィは、光学リソグラフィの種類と考えられる。単数または複数のレチクルは集積回路の個々の層に対応する回路パターンを含み得、このパターンは、フォトレジストまたはレジストとして知られる放射線感受性材料の層でコーティングされた基板上の特定の領域上に結像される。パターン化された層が転写されると、その層は、エッチング、イオン注入(ドーピング)、金属化、酸化、および研磨などの、さまざまな他のプロセスを受ける。これらのプロセスは、基板における個々の層を仕上げるために採用される。いくつかの層が必要とされる場合は、全体のプロセスまたはその変形が、各新しい層に対して繰り返される。最終的に、複数の装置の組み合わせまたは集積回路が、基板上に存在する。これらの集積回路は、ダイシングまたはソーイングによって互いに分離され、個々のパッケージ内に実装され得る。より一般的な場合においては、基板上のパターンは、表示画素や磁気記録ヘッドのような加工物を定義するために用いられ得る。
【0004】
集積回路のような半導体装置の生産または製造において、半導体装置を製造するためにマスクレス直接描画も用いられ得る。マスクレス直接描画は、荷電粒子ビームリソグラフィを用いて半導体またはシリコンウェハのような基板にパターンを転写して集積回路を創出する印刷プロセスである。他の基板としては、フラットパネルディスプレイ、ナノインプリントのためのインプリントマスク、またはフォトマスクも含み得る。層の所望パターンは、表面上、この場合には基板上にも直接描画される。パターン化された層が転写されると、その層は、エッチング、イオン注入(ドーピング)、金属化、酸化、および研磨などの、さまざまな他のプロセスを受ける。これらのプロセスは、基板における個々の層を仕上げるために採用される。いくつかの層が必要とされる場合は、全体のプロセスまたはその変形が、各新しい層に対して繰り返される。いくつかの層は、光学リソグラフィを用いて書き込まれ得、一方他のものは、同じ基板を製造するために、マスクレス直接書き込みを用いて書き込まれる。最終的に、複数装置の組み合わせまたは集積回路が、基板上に存在する。これらの集積回路は、ダイシングまたはソーイングによって互いに分離され、個々のパッケージ内に実装され得る。より一般的な場合においては、基板上のパターンは、表示画素や磁気記録ヘッドのような加工物を定義するために用いられ得る。
【0005】
一般的な2種類の荷電粒子ビームリソグラフィは、可変整形ビーム(VSB)およびキャラクタプロジェクション(CP)である。VSB荷電粒子ビームリソグラフィにおいて、精密な電子ビームが整形および誘導されて、ウェハの表面またはレチクルの表面のようなレジストで覆われた表面を露光する。これらの形状は単純な形状であり、通常は、特定の最小および最大の大きさならびに直交座標平面の軸に平行な辺を有する矩形、および特定の最小および最大の大きさの、45°,45°,90°の内角を有する三角形に限定される。CP荷電粒子ビームリソグラフィにおいて、システムにはステンシルがあり、ステンシルは、その中に、直線、任意角度の直線、円、円環、円の一部、円環の一部、または任意の曲線的形状であり得るとともに、複雑な形状の連結された集合、または複雑な形状の連結された集合の分離集合群であり得る、さまざまな形状を有する。ステンシルを通して電子ビームが照射されて、より複雑なパターン(すなわちキャラクタ)をレチクル上に効率的に生成することができる。理論上、そのようなシステムは、時間を要する各々のショットによって、より複雑な形状を照射できるため、VSBシステムよりも高速であり得る。すなわち、VSBシステムによる「E」ショットは4つのショットを有するが、同じ「E」は1つのショットで完了させることができる。なお、VSBシステムは、キャラクタプロジェクションの特別な(単純な)ものと考えられ得るが、その場合には、キャラクタはただ単に単純なキャラクタであり、通常は矩形または45−45−90三角形である。部分的にキャラクタを露光することもまた可能である。これは、たとえば、粒子ビームの一部を阻止することでなされ得る。たとえば、上記の「E」は、FまたはIとして部分的に露光され得るが、この場合、ビームの異なる部分はアパーチャによって削除される。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
光学リソグラフィのために用いられるフォトマスクは、その上にパターンが形成されたレチクルから製造される。光学リソグラフィおよび荷電粒子ビームリソグラフィを含む、レチクルにパターンを形成するために用いられる多数の技術が存在する。最も一般的に用いられるシステムは、VSB荷電粒子ビームシステムである。レチクル描画は、典型的には、レチクル上の所定の形状が描画および上書きされる多重パスを含む。典型的には、荷電粒子ビームシステムにおける精度の誤差を平均化するために2つから4つのパスがレチクルを描画するために用いられて、より正確なフォトマスクの作製を可能にする。通常では、1つのパスでは、構成の形状が重ならない。多重パス描画は、荷電粒子ビームシステムがレチクルにパターンを形成するために要する全体の時間を増加させるという不利な点を有する。この余分な時間は、レチクルのコストおよび結果としてのフォトマスクのコストを増加させる。現在、フォトマスクの作製の使用に適した、利用可能なCP荷電粒子ビームシステムは存在しない。
【0007】
荷電粒子ビームリソグラフィをレチクルの作製または直接描画のいずれかに用いた場合、荷電粒子の個別のドーズまたはショットが可能性のある任意の場所で重なりを避けるとともに、多重パス描画の場合には単一のパスでの重なりを避けるように通常は設計される。ドーズは、形成されたパターンのすべての部分において同一または「標準(normal)」であるとされる。これは、レチクル上のレジストがどのようにしてパターンを記録するかについての計算を大幅に単純化させる。想定された標準ドーズのため、VSBショットを従来通りに割当てるフラクチャリングプログラムは、ドーズ情報を出力しない。
【0008】
荷電粒子ビームリソグラフィのコストは、レチクルあるいはウェハのような表面にパターンを露光するために必要な時間と直接的に関連する。露光時間は、パターンを生成するために必要なショット数と関連する。ショットを重ねることが可能であるならば、パターンは、大抵はより少ないショットで形成され得る。さらに、ショットの集合が目標パターンからの逸脱を可能にするならば、パターンはより少ないショットで形成され得る。これらの技術が用いられる場合、レジストにより記録されるパターンの計算はより複雑となる。荷電粒子ビームシミュレーションは、レジストによって記録されるパターンを決定するために用いられ得る。荷電粒子ビームシミュレーションは、さまざまな荷電粒子ビームの描画およびレジスト効果のシミュレーションを含み得るが、コンピュータを利用した処理である。集積回路全体のパターンをシミュレーションし、そして提案された荷電粒子ビームショットが変更されるたびにパターンを再度シミュレーションするということは非実用的である。
【0009】
したがって、ウェハまたはレチクルのような表面上のレジストに、複数の荷電粒子ビームショットによって形成されたパターンをどのようにして記録するかということを、容易に決定できることは有利である。これは、重ね合わせショットおよび可変ショットドーズの使用を可能にする。重ね合わせショットおよび可変ドーズによって、パターンはより少ないショットで表面に形成され得るが、それによりレチクルまたはウェハのような表面にパターンを形成するコストを削減し、その結果、フォトマスクおよび半導体装置の製造コストが削減される。
【課題を解決するための手段】
【0010】
開示の要約
フラクチャリングまたはマスクデータ準備のための方法が開示され、その方法において、所望のレチクルイメージの領域を表わす2次元ドーズマップが作製され、複数の荷電粒子ビームショットのためのショットドーズマップが作製され、各ショットドーズマップは、レチクルイメージのためのドーズマップと組合される。
【0011】
グリフを作製するための方法もまた開示され、その方法において、1以上のショットの2次元ドーズマップが計算され、ショットのリストおよび計算されたドーズマップが後での参照のために記憶される。
【0012】
表面を製造するための方法もまた開示され、その方法において、表面のイメージの領域を表わす2次元ドーズマップが作製され、複数の荷電粒子ビームショットの各々のためのショットドーズマップが作製され、荷電粒子ビームショットの集合から計算された表面上のイメージが各ショットドーズマップを表面のためのドーズマップと組合せることによって決定される。
【0013】
本開示のこれらのおよび他の利点は、以下の詳細な明細書を添付の図面とともに考慮した後に明らかになるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0014】
【図1】レチクルおよびフォトマスクを製造するための従来の方法の概念的フロー図を示す図である。
【図2】本開示の例示的方法を用いたレチクルおよびフォトマスクの製造の概念的フロー図を示した図である。
【図3】円形パターンおよび円形ショットのためのドーズマップの例を示した図である。
【図4】4nmグリッドを用いて直径200nmの円形パターンおよびドーズマップの一部を示した図である。
【図5】矩形ショットのための例示的ドーズマップを示した図である。
【図6】図5の種類の6つの重ね合わせ矩形ショットの集合の場合のドーズマップを示した図である。
【図7A】円形パターンを示した図である。
【図7B】矩形ショットのドーズマップを示した図である。
【図7C】正方形ショットのドーズマップを示した図である。
【図7D】図7Aの円形パターンを形成可能な、図7Bおよび図7Cの3つの重ね合わせショットのドーズマップを示した図である。
【図8A】パラメータ化されたグリフのドーズマップを示した図である。
【図8B】図8Aのパラメータ化されたグリフの別のドーズマップを示した図である。
【図9】円形CPキャラクタショットからもたらされるグリフのドーズのグラフを示した図である。
【発明を実施するための形態】
【0015】
実施形態の詳細な説明
図1は、フォトマスクを作製するための従来の方法の概念的フロー図100を示す。処理への入力は、フォトマスクを製造可能な、レチクルに形成されるべき所望のパターンのコンピュータ表現102である。ステップ104において、パターンは、VSB荷電粒子ビームシステムを用いて露光するための、重ね合わせのない形状、たとえば矩形および三角形の集合に分解される。ステップ104の結果はショットリスト106であり、そのショットリストにおいてショットは重なり合わない。すべてのショットは、標準ドーズを有するものとされ、ショットリスト106にはドーズ情報は含まれていない。
【0016】
ステップ108において、近接効果補正(PEC)が実行され、ショットリスト中の各ショットにドーズを割当てるが、ショットの配置を微調整することもまた可能である。ステップ108は、ドーズ調整を実行する他の補正も含み得る。ステップ108の出力は、ドーズ情報を含む最終ショットリスト110である。ステップ112において、荷電粒子ビームシステムは、ショットリスト110を用いて、レチクルを覆っているレジストを露光し、それによりレジストにパターン114を形成する。ステップ116においてレジストが現像される。さらなる処理ステップ118を通じてレチクルがフォトマスク120に転写される。
【0017】
図1の方法の変形もある。多重パス露光と呼ばれる、このプロセスの1つの変形において、全体のパターンが1回露光され、次に2パス露光と呼ばれる2回の露光が行なわれる。2より多いパスもまた用いられ得る。多重パス描画は、レジスト加熱、レジスト帯電およびフィールド同士の位置ずれのような、理想と異なる描画効果を低減するために用いられ得る。多重パス描画において、各パスに対するドーズは単一パス描画の場合に対して比例的に低下するが、その目的はすべてのパスに対するドーズの合計がパターンのすべての部分に対して標準ドーズとなることである。したがって、従来では、1つのパスの中でショットの重なりが回避されている。図1の方法の別の変形において、PECステップ108は、荷電粒子ビームシステム自身によって実行され、したがってPECステップ108とレジスト露光ステップ112とは結合される。
【0018】
図3は、レジストで覆われた表面に円形パターン302を形成するために用いられるCPショットのドーズを表すために、ドーズマップ304がどのように用いられ得るかということの例を示す。円に近接した領域は正方形のグリッドに分割され、正方形の各々はドーズが計算される直交座標平面内の点またはサンプル点を示す。この例においては、円に対する相対的なグリッドのサイズは典型的な場合よりも大きく、図示のために用いられる。このグリッドは各サンプル点に対する荷電粒子ドーズの計算および記録によってドーズマップとなる。荷電粒子ビームシミュレーションが、各グリッド正方形におけるドーズを計算するために用いられ得る。この例におけるCPショットの公称上のドーズは1.0であり、1.0倍は標準ドーズを意味する。荷電粒子の前方散乱、クーロン効果および他の物理的、化学的および電磁気的効果によって起こされる荷電粒子ビームの不鮮明さは、円形CPショットの端の周辺でのドーズを徐々に減少させる。レジストしきい値は、レジストがパターンを記録するよりも上のドーズレベルである。およそ0.6のしきい値を有するレジストが用いられるならば、目標パターンと同様のパターンがレジストによって記録される。図3の例において、グリッドは粗過ぎるためにレジストによって記録されるパターンの形状を正確に決定できない。より細かいグリッドの使用は、記録されるパターンのより正確な計算を可能にするが、計算のためのより一層のコンピュータの労力を必要とする。さらに、単一のグリッド正方形でのドーズが変化するため、グリッドでのドーズ値の計算において、任意のさまざまな慣習的方法も用いられる。各グリッドに対する計算されたドーズは、たとえば、グリッド領域にわたる平均的ドーズを表わし得るか、グリッド正方形の左斜め下の角におけるドーズを表わし得るか、またはグリッド正方形の中央におけるドーズを表わし得る。いくつかの他の慣習的方法もまた用いられ得る。ショット情報は、ショットドーズと、VSBの場合にはショット形状と、CPの場合にはステンシル上のショット位置と、CPの場合には部分キャラクタ露光情報とを含むが、そのショット情報とドーズマップ情報とがグリフライブラリに保存され、したがって、このショットの形状およびドーズと一致する他のショットに対するドーズマップが、短時間でアクセス可能となる。グリフの作製は、実際、1つのショットまたはショットのグループに対するドーズマップを計算し、将来の使用のために、ショット情報と計算されたドーズマップとを記憶する処理である。計算されたドーズマップは、図3に示されるようなドーズ値の2次元行列として、あるいはドーズ値の2次元集合を作製するための指示の集合のような、異なるフォーマットのいずれかで記憶され得る。
【0019】
図4は、開いた円弧404を表わすグリッドマップ402を示す。円弧404は200nmの円形パターンの一部を表わし、グリッドマップ402は4nmグリッドを用いた、円形パターンのためのグリッドマップの一部である。標準ショットドーズは1.0である。この例においては0.5のレジストしきい値が用いられる。これは、小さなパターンでも細かいグリッドが要求される多数のグリッド計算を示す。表面のスケールにおける1nmと40nmとの間のグリッドサイズは、現在の半導体プロセスのためのパターンのためのドーズを計算するために有用であり得る。たとえば50nmと1ミクロンとの間のような、より大きなグリッドサイズは、後方散乱およびフォギング(fogging)のような長距離露光効果の計算のために用いられ得るとともに、他の製品のためのパターンを製造するためにより一層適切でもあり得る。
【0020】
図5および図6は、本開示の実施形態に従って多重ショットのためのドーズがどのようにして組合せ得るかを示す。図5は、単一の矩形VSBショットのための2次元ドーズマップ502を示す。ショットドーズマップ502の計算は、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて達成し得る。この例において標準ショットドーズは1.0である。0.6のしきい値を有するレジストの使用は、矩形と同様のパターンをレジストに記録させる。図6は、レチクルまたは半導体ウェハ基板のようなレジストで覆われたターゲット表面に、6つの重ね合わせショットの集合を結果としてもたらし得るドーズマップ602を示す。ドーズマップ602は、6つの種類502のドーズマップの組合せである。6つのショットの名目上の輪郭が示される。ドーズマップの組合せは、ターゲット表面に対するドーズマップ602を作製することによってなされ得るが、ターゲット表面は、初期においてショット情報を含んでおらず、したがって各ショットドーズマップをターゲット表面ドーズマップへと組合せる。組合せ処理は、ターゲット表面ドーズマップの直交座標平面内において各ショットドーズマップを配置して、加算のような数学的演算または演算の集合を適用して、ショットドーズマップの各グリッド位置に対するドーズの値をターゲット表面ドーズマップにおける対応するグリッド位置に対するドーズの値へと組合せることを含む。この例において、6つの矩形ショットの各々の輪郭は、ターゲット表面ドーズマップ602の直交座標平面内において、6つのショットドーズマップがどのようにして配置されるかを示す。この例において、用いられる数学的演算は単純な加算である。ドーズマップは、また、より複雑な数学的演算の集合を用いて組合され得る。たとえば組合せ演算は、レジスト帯電の計算を組込み得るが、レジスト帯電は、時間的に近く、かつ幾何学的に隣接するショットによってレジストに蓄積された負の電荷により、ショットの転写および変形をもたらし得る。目標ドーズマップ602は、後方散乱およびフォギングのような長距離ドーズ効果に対する見積もりによって初期化され得る。0.6のレジストしきい値を有する、ターゲット表面ドーズマップ602からわかるように、レジストに記録されるパターンは、個々のショットの輪郭の集合よりも滑らかである。たとえば、結合されたショットパターンの内部の角は、これらのグリッド位置におけるドーズが0.6または1.0のいずれかであるため、実質的に満たされている。このドーズマップ602は、この6つのショットの集合によるレジストに記録されるパターンが、中央部において、直交座標軸に対して45°の一定幅の線に近似することを示す。荷電粒子ビームシミュレーションの使用のような1ショットドーズマップ502の作製は、ドーズマップ502の6つのコピーまたはインスタンスの各々を初期ターゲット表面ドーズマップ302に組合せることによってドーズマップ602の計算を可能にする。これは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いる6つのVSBショットの集合をシミュレーションするよりも、コンピュータ的に高速になり得る。
【0021】
図7A−7Dは、本開示の実施形態に従うドーズマップの組合せの別の例を示す。図7Aは、所望の円形パターン702を示す。図7Bは、パターン702を作製するために複数のショットにおいて用いられ得る矩形ショットのドーズマップ704を示す。ドーズマップ704において表わされるショットのための公称ショットドーズは0.7であり、0.7は標準ドーズの0.7倍を意味する。図7Cは、公称ショットドーズが0.6である正方形ショットの場合におけるドーズマップ706を示す。図7Dは、3つの重ね合わせショットによる3つのドーズマップ、すなわち、a)矩形ショットのドーズマップ704と、b)ドーズマップ704の90°回転バージョンと、c)正方形ショットのドーズマップ706、の組合せの結果となる組合せドーズマップ710を示す。0.7のしきい値を有するレジストが用いられるならば、所望の円形パターン702と同様のパターンが、組合せドーズマップ710毎にレジストに記録される。この例においてドーズマップ704,706によって表わされるショットは、1.0未満のドーズを用い、それによって、ドーズマップ710に示されるように、3つのショットのすべてが重なり合う領域において最大ドーズを2.0に制限する。いくつかのフォトマスク生成プロセスは、組合せドーズの最大値を、たとえば標準ドーズの2.0倍のような値に制限する。図7Dは、また、2つの正方形ではない矩形のショットの長さが、どのようにして、所望の円形パターン702の直径よりも大きく作製されるかを示す。これらの矩形の「オーバーサイズ」は、ドーズが0.7であるために、これらのショットにおいて起こり得る角の丸みを補償する。ドーズマップ704に示されるように、ショットの端部近傍におけるガウス分布でのドーズ低下により、ドーズは、ショットの端部近傍および角において低下する。全体的に、図7A−Dは、少数のショットドーズマップ(この場合は2つのみ)を用いて円形パターンをどのようにして計算可能であるかを示している。図7A−Dは、円形パターンに対するドーズマップの組合せを示しているが、この方法は任意の直線的または曲線的形状あるいは形状の集合に対して適用可能である。
【0022】
図9は、図形的な形態でグリフの例を示す。グリフは、各々のショットが位置およびショットドーズを備える1以上のCPおよび/またはVSBショットから計算されたドーズマップである。図9に示されたグリフは、たとえば、1つの円形CPキャラクタの1つのショットから計算され得る。グリフの2次元ドーズマップは、図9において、ドーズグラフ900として示される。ドーズグラフ900は、三次元等角図法にて示されており、「Z」方向の寸法(dimension)は、各々のX,Yの位置におけるドーズを表わす。CPショットの中心は点902であり、それはまた、計算ドーズの最高点である。示されるように、点902からの任意のXおよびY方向においてドーズが低下する。ドーズグラフ900にはレジストしきい値904も示されているが、そのレジストしきい値は、表面を覆うレジストに、このショットのみが露光されるならばパターンが記録するであろうドーズよりも高いドーズである。レジストしきい値904より高いドーズグラフの部分は、グラフ部分906として示される。結果的に記録されたパターン領域をレジストで覆われた表面にもたらすグリフ900の一部は、したがって、グラフ部分906のX−Y平面への投影である。図9からわかるように、グラフ部分906を平坦化することによって作製された、記録パターン領域は円形、または、ほぼ円形である。円形CPキャラクタから計算されてドーズグラフ900によって表わされるグリフは、したがって、円形対称またはほぼ円形対称であり、レジストで覆われた表面に円形または、ほぼ円形の記録パターン領域を生成する。
【0023】
図2は、この開示に従う、フォトマスクを製造するための方法の例示的な概念的フロー図200を示す。処理に対する3種類の入力データが存在する。1つ目は、荷電粒子ビームシステムのステンシル上のCPキャラクタについての情報である、ステンシル情報218である。2つ目は、レジストドーズしきい値のような情報を含むプロセス情報236であり、そのしきい値より大きいドーズによって、レジストにパターンが記録される。3つ目は、レチクルに形成されるべき所望のパターン216のコンピュータ表現である。さらに、ステップ202−212で示される初期の任意選択的ステップは、グリフのライブラリの作製を含む。任意選択的なグリフのライブラリの作製における第1のステップは、VSB/CPショット選択202であり、そこでは、特定のドーズを有する各々のショットである、1以上のVSBまたはCPショットを組合せてショットの集合204を作製する。ショットの集合204は、重ね合わせVSBショットおよび/または重ね合わせCPショットを含み得る。VSB/CPショット選択ステップは、ステンシル情報218を使用し、その情報はステンシル上で利用可能なCPキャラクタについての情報を含む。ショットの集合204は、ステップ206において、荷電粒子ビームシミュレーションを用いてシミュレーションされて、ショットの集合のドーズマップ208を作製する。ステップ206は、前方散乱、レジスト拡散(diffusion)、クーロン効果およびエッチングを含むさまざまな物理現象のシミュレーションを含み得る。ステップ206の結果は、2次元ドーズマップ208であり、そのマップは、当該マップの各々のグリッド位置におけるショットの集合204による、組合されたドーズを表わす。そのドーズマップ208はグリフと呼ばれる。ステップ210において、ショットの集合中の各々のショットについての情報、および、この追加のグリフのドーズマップ208が、グリフ202のライブラリに記憶される。1つの実施形態において、グリフの集合は、パラメータ化されたグリフと呼ばれる一種のグリフと組合され得る。
【0024】
フロー200の必要な部分は、フォトマスクの作製を含む。ステップ220において、レチクルまたはレチクル部分のための組合されたドーズマップが計算される。ステップ220は、入力として、レチクルに形成されるべき所望のパターン216と、プロセス情報236と、ステンシル情報218と、もしグリフライブラリが作製されたならばそのグリフライブラリ212とを用いる。ステップ220において、初期レチクルドーズマップが作製され得るが、そのマップにはショットドーズマップが組合され得る。最初に、レチクルドーズマップはショットドーズマップ情報を含んでいない。1つの実施形態において、レチクルドーズマップのグリッド正方形は、たとえば後方散乱、フォギング、ローディング(loading)、局部的レジスト現像喪失の効果に関する項目についての見積もられた補正で初期化され得る。ステップ220は、VSB/CPショット選択222またはグリフ選択234またはこれらの両方を含み得る。VSBショットまたはCPショットが選択された場合、そのショットは、ステップ224において荷電粒子ビームシミュレーションを用いてシミュレーションされて、そのショットのドーズマップ226が作製される。荷電粒子ビームシミュレーションはガウス曲線形状でコンボリューションすることを含み得る。コンボリューションは、形状の2値関数(binary function)を有するものであり得るが、その2値関数は、ある点がその形状の内側または外側のいずれにあるのかを決定する。形状は、単一のアパーチャ形状、複数のアパーチャ形状またはそれらのわずかな変更であり得る。1つの実施形態において、このシミュレーションは暫定的ショットドーズマップキャッシュを用いるときのような、同じショットの以前のシミュレーションの結果を参照することを含み得る。VSBショットおよびCPショットの両方は、重ね合わされることが可能であり得るとともに、互いに関する変更ドーズを有し得る。グリフが選択されたならば、そのグリフのドーズマップはグリフライブラリから入力される。ステップ220において、ショットおよび/またはグリフのさまざまなドーズマップがレチクルドーズマップに組合される。1つの実施形態において、その組合せはドーズを追加することによってなされる。結果としての組合せドーズマップおよびレジスト情報236を用いて、レチクルパターンが計算され得る。レチクルイメージが所望のパターン216と所定の許容範囲内で一致するならば、決定されたVSB/CPショットを含む組合せショットリスト238が出力され、そのショットは選択されたグリフを構成する。ステップ220での計算において、計算されたレチクルイメージが目標イメージ216と所定の許容範囲内で一致しないならば、選択されたCPショット、VSBショットおよび/またはグリフの集合が修正されて、ドーズマップが再計算されて、レチクルパターンが再計算される。1つの実施形態において、ショットおよび/またはグリフの初期の集合は検証並行型設計(correct-by-construction)において決定され得るが、その結果、ショットまたはグリフ変更が不要となる。別の実施形態において、ステップ220は最適化技術を含み、それにより、選択されたVSB/CPショットおよびグリフによって表わされるショットの総数、または荷電粒子ビームの全描画時間、またはいくつかの他のパラメータのいずれかが最小化される。さらに別の実施形態において、VSB/CPショット選択222およびグリフ選択234が実行されて、複数のショットの集合が生成され、それらの各々は標準ドーズよりも低いドーズで、所望のパターン216と一致するレチクルイメージを形成して多重パス描画をサポートし得る。
【0025】
組合されたショットリスト238は、選択されたVSBショットと、選択されたCPショットと、選択されたグリフを構成するショットの決定されたリストとを備える。最終ショットリスト238におけるすべてのショットは、ドーズ情報を含む。ステップ240において、近接効果補正(PEC)および/または他の補正が実行され得るか、または以前の見積もりから補正の精度が高められる。ステップ240は、組合されたショットリスト238を入力として用いて、ショットドーズが調整された最終ショットリスト242を生成する。最終ショットリスト242は、ステップ244において、レチクルを覆うレジストを露光するために荷電粒子ビームシステムによって用いられて、それによりレジストにパターン246が形成される。ステップ248において、レジストが現像される。さらなる処理ステップ250を通じて、レチクルがフォトマスク252に転写される。
【0026】
図8Aおよび8Bは、パラメータ化されたグリフの例を示す。図8Aに示されたドーズマップ802は、幅812、または、この例では8つのグリッド単位の矩形ショット804のためのものである。2本の縦線806,808は、幅810、または、この例では4つのグリッド単位のドーズマップの領域を定義する。ドーズマップ802のこの領域810内では、各行におけるすべてのグリッド正方形が同一のドーズ値を有する。図8Bは、幅832、またはこの例では12のグリッド単位の矩形ショット824のためのドーズマップ820を示す。ドーズマップ802が縦線806と808との間に含むよりもさらに4つ多いグリッド列を、ドーズマップ820が縦線826,828の間に含む点を除いては、ドーズマップ820はドーズマップ802と同様であり、グリッド正方形のドーズ値を含む。ドーズマップ820のこの「伸縮可能な」部分は、幅830、またはこの例では8つのグリッド単位を有する。図8Aの縦線806と808との間の領域、あるいは図8Bの縦線826と828との間の領域のような、伸縮方向にドーズが同一である、伸縮可能なまたはパラメータ化可能な領域を特定することによって、ショット804および824と同じ高さの矩形ショットのためのドーズマップが、812よりも大きい任意の幅を有するショットの場合に生成可能である。荷電粒子ビームシステムの制限は、この方法がドーズマップを生成するために用いられ得る場合における矩形ショットのサイズを制限し得る。他の実施形態において、ドーズマップ中の繰返しドーズパターンは、ドーズマップが、図8Aおよび8Bの例のような連続的長さよりも離散的な長さのみの単一ショットまたはショットのグループに対して生成可能にする。この例は、パラメータ化されたグリフのためのドーズマップがどのようにして生成され得るかを示す。他の実施形態において、高さあるいは直径のような他の寸法がパラメータ化され得る。
【0027】
本明細書は、特定の実施形態に関連して詳細を説明したが、当業者が、上述の理解に到達することについて、これらの実施形態の変更、修正、および均等物を容易に相当し得ることは明らかであろう。フラクチャリング、グリフ作成および表面を製造するための本方法についての、これらのおよび他の修正および変形は、添付の特許請求の範囲により特定的に記載される本主題の精神および範囲から逸脱することなく、当業者によって実現され得る。さらに、当業者は、上記説明は例示に過ぎず、限定されるべきことが意図されていないことを理解するであろう。本発明の範囲を逸脱することなく、この明細書におけるステップにステップを追加し、あるいはこの明細書におけるステップからステップを取り出し、あるいは、この明細書におけるステップを変更することが可能である。一般に、提示された任意のフローチャートは、単に機能を実現するための基本的動作の1つの可能な順序を示すことを意図することにすぎないものである。したがって、本主題は、添付された特許請求の範囲およびそれらの均等物の範囲内のものとして、そのような修正および変形に及ぶことが意図される。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
フラクチャリングまたはマスクデータ準備のための方法であって、
レチクルまたはレチクル部分に形成されるべき所望のパターンを入力するステップと、
前記レチクルまたはレチクル部分のための2次元レチクルドーズマップを作製するステップとを備え、前記レチクルドーズマップは、各レチクルイメージサンプル点に対する荷電粒子ビームドーズを備え、前記レチクルドーズマップは、初期においてショットドーズマップ情報を含まず、
複数のショットを決定するステップをさらに備え、前記複数のショット中の各ショットまたはショットのグループのためのショットドーズマップは、前記レチクルドーズマップと組合される、方法。
【請求項2】
前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の1つのショットに対するショットドーズマップは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて計算される、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記荷電粒子ビームシミュレーションは、前方散乱、レジスト拡散、クーロン効果およびエッチングからなるグループの少なくとも1つを含む、請求項2に記載の方法。
【請求項4】
前記レチクルドーズマップの直交座標系内の前記ショットドーズマップを位置合わせして、次に前記ショットドーズマップ中の各サンプル点のドーズを前記レチクルドーズマップにおける対応するサンプル点の蓄積されたドーズに加算することによって、前記ショットドーズマップが前記レチクルドーズマップに組合される、請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記レチクルドーズマップは、後方散乱、フォギングおよびローディングの集合の少なくとも1つを備える長距離効果から見積もられたドーズで初期化される、請求項1に記載の方法。
【請求項6】
候補グリフを入力するステップをさらに備え、前記グリフの各々は、少なくとも1つのショットの2次元ドーズマップを計算することによって決定され、前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の少なくとも1つのショットまたはショットのグループはグリフである、請求項1に記載の方法。
【請求項7】
前記レチクルドーズマップを用いて前記レチクルまたはレチクル部分における計算されたパターンを計算するステップと、
前記複数のショットを訂正し、前記訂正されたショットのための前記ショットドーズマップを用いて前記レチクルドーズマップを更新し、前記計算されたパターンが前記所望のパターンと、所定の許容範囲以上異なる場合に前記パターンを再計算するステップとをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項8】
前記複数のショットの部分集合は重なり合う、請求項1に記載の方法。
【請求項9】
前記複数のショットは、複数の可変整形ビーム(VSB)ショットを含み、前記VSBショットのドーズは互いに関連して変化する、請求項1に記載の方法。
【請求項10】
前記複数のショットは、キャラクタプロジェクション(CP)キャラクタショットを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項11】
前記所望のパターンは曲線的である、請求項1に記載の方法。
【請求項12】
前記決定するステップは、前記複数のショットを決定するために最適化技術を用いるステップを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項13】
前記複数のショットは、最小の数とされる、請求項12に記載の方法。
【請求項14】
1つのショットまたはショットのグループのための前記ショットドーズマップは、円形対称または、ほぼ円形対称である、請求項1に記載の方法。
【請求項15】
前記ショットドーズマップは、ガウス曲線形状をコンボリューションすることによって計算される、請求項1に記載の方法。
【請求項16】
前記形状は円形または、ほぼ円形である、請求項15に記載の方法。
【請求項17】
前記形状はCPキャラクタである、請求項15に記載の方法。
【請求項18】
グリフを作製するための方法であって、
グリフ作製の基礎として、荷電粒子ビームショットを用いるステップと、
グリフを作製するために1以上のショットから2次元ドーズマップを計算するステップとを備え、前記ドーズマップは、複数のサンプル点の各々に対する荷電粒子ビームドーズを備え、
1以上のショットと計算されたドーズマップとを記憶するステップとをさらに備える、方法。
【請求項19】
前記計算するステップは、荷電粒子ビームシミュレーションを備える、請求項18に記載の方法。
【請求項20】
前記荷電粒子ビームシミュレーションは、前方散乱、レジスト拡散、クーロン効果およびエッチングからなるグループの少なくとも1つを含む、請求項19に記載の方法。
【請求項21】
前記グリフは、円形またはほぼ円形である、記録されたパターン領域を有する、請求項18に記載の方法。
【請求項22】
前記グリフは、パラメータ化されたグリフである、請求項18に記載の方法。
【請求項23】
荷電粒子ビームリソグラフィを用いて表面を製造するための方法であって、
表面または表面の部分に形成されるべき所望のパターンを入力するステップと、
前記表面または前記表面の部分のための2次元表面ドーズマップを作製するステップとを備え、前記表面ドーズマップは、前記表面または前記表面の部分の各イメージサンプル点に対する荷電粒子ビームドーズを備え、前記表面ドーズマップは、初期においてショットドーズマップ情報を含まず、
複数のショットを決定するステップをさらに備え、前記複数のショット中の各ショットまたはショットのグループのためのショットドーズマップは、前記表面ドーズマップと組合され、
前記複数のショットで前記表面にパターンを形成するステップをさらに備える、方法。
【請求項24】
前記表面ドーズマップを用いて前記表面または前記表面の部分におけるパターンを計算するステップと、
前記複数のショットを訂正し、前記訂正されたショットのための前記ショットドーズマップを用いて前記表面ドーズマップを更新し、前記計算されたパターンが前記所望のパターンと、所定の許容範囲以上異なる場合に前記パターンを再計算するステップとをさらに備える、請求項23に記載の方法。
【請求項25】
前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の1つのショットに対するショットドーズマップは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて計算される、請求項23に記載の方法。
【請求項26】
候補グリフを入力するステップをさらに備え、前記グリフの各々は、少なくとも1つのショットの2次元ドーズマップを計算することによって決定され、前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の少なくとも1つのショットまたはショットのグループはグリフである、請求項23に記載の方法。
【請求項27】
前記複数のショットは、複数の可変整形ビーム(VSB)ショットを含み、前記VSBショットのドーズは互いに関連して変化する、請求項23に記載の方法。
【請求項28】
前記複数のショットは、キャラクタプロジェクション(CP)ショットを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項29】
前記決定するステップは、前記複数のショットおよび/またはグリフを決定するために最適化技術を用いるステップを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項30】
1つのショットまたはショットのグループのための前記ショットドーズマップは、円形対称または、ほぼ円形対称である、請求項23に記載の方法。
【請求項31】
前記ショットドーズマップは、ガウス曲線形状をコンボリューションすることによって計算される、請求項23に記載の方法。
【請求項32】
前記形状は円形または、ほぼ円形である、請求項31に記載の方法。
【請求項33】
前記形状は、CPキャラクタである、請求項31に記載の方法。
【請求項1】
フラクチャリングまたはマスクデータ準備のための方法であって、
レチクルまたはレチクル部分に形成されるべき所望のパターンを入力するステップと、
前記レチクルまたはレチクル部分のための2次元レチクルドーズマップを作製するステップとを備え、前記レチクルドーズマップは、各レチクルイメージサンプル点に対する荷電粒子ビームドーズを備え、前記レチクルドーズマップは、初期においてショットドーズマップ情報を含まず、
複数のショットを決定するステップをさらに備え、前記複数のショット中の各ショットまたはショットのグループのためのショットドーズマップは、前記レチクルドーズマップと組合される、方法。
【請求項2】
前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の1つのショットに対するショットドーズマップは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて計算される、請求項1に記載の方法。
【請求項3】
前記荷電粒子ビームシミュレーションは、前方散乱、レジスト拡散、クーロン効果およびエッチングからなるグループの少なくとも1つを含む、請求項2に記載の方法。
【請求項4】
前記レチクルドーズマップの直交座標系内の前記ショットドーズマップを位置合わせして、次に前記ショットドーズマップ中の各サンプル点のドーズを前記レチクルドーズマップにおける対応するサンプル点の蓄積されたドーズに加算することによって、前記ショットドーズマップが前記レチクルドーズマップに組合される、請求項1に記載の方法。
【請求項5】
前記レチクルドーズマップは、後方散乱、フォギングおよびローディングの集合の少なくとも1つを備える長距離効果から見積もられたドーズで初期化される、請求項1に記載の方法。
【請求項6】
候補グリフを入力するステップをさらに備え、前記グリフの各々は、少なくとも1つのショットの2次元ドーズマップを計算することによって決定され、前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の少なくとも1つのショットまたはショットのグループはグリフである、請求項1に記載の方法。
【請求項7】
前記レチクルドーズマップを用いて前記レチクルまたはレチクル部分における計算されたパターンを計算するステップと、
前記複数のショットを訂正し、前記訂正されたショットのための前記ショットドーズマップを用いて前記レチクルドーズマップを更新し、前記計算されたパターンが前記所望のパターンと、所定の許容範囲以上異なる場合に前記パターンを再計算するステップとをさらに備える、請求項1に記載の方法。
【請求項8】
前記複数のショットの部分集合は重なり合う、請求項1に記載の方法。
【請求項9】
前記複数のショットは、複数の可変整形ビーム(VSB)ショットを含み、前記VSBショットのドーズは互いに関連して変化する、請求項1に記載の方法。
【請求項10】
前記複数のショットは、キャラクタプロジェクション(CP)キャラクタショットを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項11】
前記所望のパターンは曲線的である、請求項1に記載の方法。
【請求項12】
前記決定するステップは、前記複数のショットを決定するために最適化技術を用いるステップを含む、請求項1に記載の方法。
【請求項13】
前記複数のショットは、最小の数とされる、請求項12に記載の方法。
【請求項14】
1つのショットまたはショットのグループのための前記ショットドーズマップは、円形対称または、ほぼ円形対称である、請求項1に記載の方法。
【請求項15】
前記ショットドーズマップは、ガウス曲線形状をコンボリューションすることによって計算される、請求項1に記載の方法。
【請求項16】
前記形状は円形または、ほぼ円形である、請求項15に記載の方法。
【請求項17】
前記形状はCPキャラクタである、請求項15に記載の方法。
【請求項18】
グリフを作製するための方法であって、
グリフ作製の基礎として、荷電粒子ビームショットを用いるステップと、
グリフを作製するために1以上のショットから2次元ドーズマップを計算するステップとを備え、前記ドーズマップは、複数のサンプル点の各々に対する荷電粒子ビームドーズを備え、
1以上のショットと計算されたドーズマップとを記憶するステップとをさらに備える、方法。
【請求項19】
前記計算するステップは、荷電粒子ビームシミュレーションを備える、請求項18に記載の方法。
【請求項20】
前記荷電粒子ビームシミュレーションは、前方散乱、レジスト拡散、クーロン効果およびエッチングからなるグループの少なくとも1つを含む、請求項19に記載の方法。
【請求項21】
前記グリフは、円形またはほぼ円形である、記録されたパターン領域を有する、請求項18に記載の方法。
【請求項22】
前記グリフは、パラメータ化されたグリフである、請求項18に記載の方法。
【請求項23】
荷電粒子ビームリソグラフィを用いて表面を製造するための方法であって、
表面または表面の部分に形成されるべき所望のパターンを入力するステップと、
前記表面または前記表面の部分のための2次元表面ドーズマップを作製するステップとを備え、前記表面ドーズマップは、前記表面または前記表面の部分の各イメージサンプル点に対する荷電粒子ビームドーズを備え、前記表面ドーズマップは、初期においてショットドーズマップ情報を含まず、
複数のショットを決定するステップをさらに備え、前記複数のショット中の各ショットまたはショットのグループのためのショットドーズマップは、前記表面ドーズマップと組合され、
前記複数のショットで前記表面にパターンを形成するステップをさらに備える、方法。
【請求項24】
前記表面ドーズマップを用いて前記表面または前記表面の部分におけるパターンを計算するステップと、
前記複数のショットを訂正し、前記訂正されたショットのための前記ショットドーズマップを用いて前記表面ドーズマップを更新し、前記計算されたパターンが前記所望のパターンと、所定の許容範囲以上異なる場合に前記パターンを再計算するステップとをさらに備える、請求項23に記載の方法。
【請求項25】
前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の1つのショットに対するショットドーズマップは、荷電粒子ビームシミュレーションを用いて計算される、請求項23に記載の方法。
【請求項26】
候補グリフを入力するステップをさらに備え、前記グリフの各々は、少なくとも1つのショットの2次元ドーズマップを計算することによって決定され、前記決定するステップにおいて、前記複数のショット中の少なくとも1つのショットまたはショットのグループはグリフである、請求項23に記載の方法。
【請求項27】
前記複数のショットは、複数の可変整形ビーム(VSB)ショットを含み、前記VSBショットのドーズは互いに関連して変化する、請求項23に記載の方法。
【請求項28】
前記複数のショットは、キャラクタプロジェクション(CP)ショットを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項29】
前記決定するステップは、前記複数のショットおよび/またはグリフを決定するために最適化技術を用いるステップを含む、請求項23に記載の方法。
【請求項30】
1つのショットまたはショットのグループのための前記ショットドーズマップは、円形対称または、ほぼ円形対称である、請求項23に記載の方法。
【請求項31】
前記ショットドーズマップは、ガウス曲線形状をコンボリューションすることによって計算される、請求項23に記載の方法。
【請求項32】
前記形状は円形または、ほぼ円形である、請求項31に記載の方法。
【請求項33】
前記形状は、CPキャラクタである、請求項31に記載の方法。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図7D】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7A】
【図7B】
【図7C】
【図7D】
【図8A】
【図8B】
【図9】
【公表番号】特表2012−501476(P2012−501476A)
【公表日】平成24年1月19日(2012.1.19)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2011−525091(P2011−525091)
【出願日】平成21年8月19日(2009.8.19)
【国際出願番号】PCT/US2009/054239
【国際公開番号】WO2010/025061
【国際公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【出願人】(509142184)ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド (13)
【氏名又は名称原語表記】D2S, INC.
【Fターム(参考)】
【公表日】平成24年1月19日(2012.1.19)
【国際特許分類】
【出願日】平成21年8月19日(2009.8.19)
【国際出願番号】PCT/US2009/054239
【国際公開番号】WO2010/025061
【国際公開日】平成22年3月4日(2010.3.4)
【出願人】(509142184)ディー・ツー・エス・インコーポレイテッド (13)
【氏名又は名称原語表記】D2S, INC.
【Fターム(参考)】
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