【課題】繰り返しパターンの線幅の測定精度を向上させた表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０２）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０３）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０４）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅を求める演算ステップ（Ｓ１０５）とを有し、演算ステップでは、瞳面における対角線上の瞳内位置および対角線外の瞳内位置での階調値から、繰り返しパターンの線幅を求める。 （もっと読む）

【課題】測定効率の向上を図れると共に、作業員の負担の軽減を図る上で有利なテールクリアランス測定装置を提供する。
【解決手段】テールクリアランス測定装置３０は、カメラ部３２と、コンピュータ３４とを含んで構成されている。カメラ部３２は、テール部１４の内周面１４０２および該内周面１４０２に対向するセグメント２０の外周面２００２を撮影して画像データを生成するものである。カメラ部３２は、テール部１４の内周面１４０２およびセグメント２０の外周面２００２の周方向に９０度の間隔をおいた４個所を撮影するように４個設けられている。コンピュータ３４は、ケーブルを介してカメラ部３２から供給される画像データに基づいてテール部１４のスキンプレート１４Ａの内周面１４０２とセグメント２０の外壁面２００２とのテールクリアランスを導出する。 （もっと読む）

【課題】大量の輸送貨物量の発生する現代社会および今後において、物流の自動化、システム化はますます重要になっている。物流システムの効率化、コストダウンにおいて形状、寸法、重量、温度、色、模様などの物性、個別認識情報の一括計測、情報管理が自動化、システム化の要件であるが高速、軽量簡便な計測センサーを実現させ合理化を進める。
【解決手段】形状寸法計測センサーとしてCCDカメラ１２０〜１２２を利用し、重量計１０９その他のセンサー、装置を併用して形状、寸法、物性、個別管理情報の一括計測を可能にし、物流の自動化システム化を計る。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【課題】対象物の表面において多数の凹凸が繰り返し形成された領域全体についての評価が可能なテクスチャ評価装置、テクスチャ評価方法を提供する。
【解決手段】テクスチャ評価装置１は、３次元計測部２と、３次元計測部２から計測データを入力する入力部３と、距離画像の生成などを行う演算部４と、評価結果を表示する表示部６とを備えている。３次元計測部２は、対象物１０表面までの距離を計測し、計測した距離値を計測データとして入力部３に出力する。演算部４は、３次元計測部２から入力部３に入力された距離値を用いて、距離値を画素値とする距離画像を生成する距離画像生成部４１を有している。さらに、演算部４は、距離画像の全体についてのテクスチャの凹凸の形状を表す測度の分布を求め、当該分布の統計量を特徴量として算出する特徴量算出部４２と、算出された特徴量に基づいてテクスチャの評価を行う評価部４３とを有している。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する良品判定基準を設定する良品判定基準設定方法。
【解決手段】複数の良品について検査装置を用いて得た良品計量値の分布と、複数の不良品について検査装置を用いて得た不良品計量値の分布とを求め、前記良品計量値の分布と、前記不良品計量値の分布とを、横軸を検出画素数、縦軸をサンプル数として同一の画面上に表示し、当該同一の画面上において両者を比較して、上限の良品判定基準を、前記良品計量値の分布において上限側における不良品計量値の分布の下限より小さなものに設定し、下限の良品判定基準を、下限側における不良品計量値の分布の上限より大きなものに設定する。 （もっと読む）

【課題】被写体位置計測装置および被写体位置計測方法において、撮影人物の頭部等の被写体の一部分の位置を求める際、簡単な方式で上記一部分の位置を安定して求める。
【解決手段】被写体の一部分を球状体と見なして前記一部分の位置を求める。具体的には、装置は、少なくとも２方向からカメラを用いて撮影した被写体の前記一部分の画像のそれぞれにおいて、画像中の前記被写体の輪郭像を抽出する。さらに、前記輪郭像と前記画像中の第１の方向に延びる探索直線とが接する接点位置情報を求めることにより、撮影空間内において、前記カメラから延びて被写体の前記一部分と接する第１仮想直線を前記輪郭像のそれぞれについて求める。さらに、前記撮影空間において、前記第１仮想直線を前記第１の方向に対応する方向に所定の距離それぞれ平行移動した第２仮想直線同士の交点または前記第２仮想直線同士が最接近する点の位置を、前記一部分の中心位置として求める。 （もっと読む）

【課題】非接触三次元測定器による測定対象物の表面における光沢が異なる場合においても測定精度を保証することが可能な、標準ゲージ、測定器の測定精度保証方法、標準ゲージの製造方法、及び、測定器の性能評価方法を提供する。
【解決手段】標準ゲージＧ１は、所定の強さで入射光を対象物に照射した場合に、入射光の強さに対する正反射光と拡散反射光との両方の強さの割合を計測した積分反射率ＳＣＩと、入射光の強さに対する拡散反射光の強さのみの割合を計測した拡散反射率ＳＣＥと、がそれぞれ異なる１２枚の平板ａから平板ｊを組合せて構成したものである。 （もっと読む）

【課題】被験者の姿勢を示す値を正確に算出する。
【解決手段】各画素における輝度値がカメラから被験者までの距離を示す距離画像を取得する距離画像取得部１０２と、距離画像取得部１０２が取得した距離画像に基づいて、被験者に貼付された複数のマーカーの三次元空間中での座標を算出する座標算出部１０４と、座標算出部１０４が算出した複数のマーカーの座標から、被験者の姿勢を示す値を算出する姿勢算出部１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】規定の場所を通過する通過者の外観形状を計測することによって通過者の体型を類別し、結果的に住宅内などの少人数の範囲内で個人の特定を可能にする。
【解決手段】距離センサ２０は、特定面を通過する通過者の外観形状を計測した距離データを出力する。距離データ処理部３１は、距離センサ２０から出力された距離データを用いて通過者の胴囲を推定する機能を備える。登録情報記憶部３４は、識別対象の人物の外観形状を当該人物に対応付けて記憶している。識別部３５は、距離データ処理部３１で推定した胴囲、身長、肩幅を、登録情報記憶部３４に照合し登録情報記憶部３４に登録された人物のうち類似度が判定条件を満たす通過者を選択する。 （もっと読む）

【課題】開口部の寸法を正確に計測することが可能なスクリーンマスクの計測装置を提供する。
【解決手段】この印刷装置１００は、スクリーンマスク９０の上面９０ａを撮像して開口部９１の画像を取得するカメラ１５と、カメラ１５からスクリーンマスク９０の上面９０ａまでの距離Ｌ_Ｚを測定するために設けられたレーザポインタ１６と、カメラ１５およびレーザポインタ１６を用いて測定された距離Ｌ_Ｚに基づいて、撮像された画像に基づくデータを実寸法に換算する換算係数Ｓ_Ｚを調整する制御部８５とを備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバ素線の切断面の被覆寸法に関する特性値の測定において、ばらつきの極めて小さい、真の値を得ることである。
【解決手段】光ファイバ切断面測定方法は、光ファイバ素線１０をカッティング器により切断する切断工程と、切断された光ファイバ素線１０の切断面１０ａを加熱器３０により加熱する加熱工程と、加熱された光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆寸法に関する特性値をエンドビュー測定器により測定する測定工程と、を含む。前記加熱工程において、光ファイバ素線１０の切断面１０ａの被覆表面温度を４７［℃］以上にする加熱を７［秒］以上の加熱時間で行う。 （もっと読む）

【課題】ねじの異なる規格への適用性が良く、検査効率が高く測定精度の良いねじ検査装置を提供する。
【解決手段】定位手段は、台枠の搭載面３１１にねじを着脱可能に装着するためのチャックユニット４１が取り付けられ、該チャックユニット４１にはねじが装着されるための、該搭載面と平行なX方向の両端に開口すると共に該X方向と垂直なZ方向に開口するスリット４１２が形成されている。検出手段５は、スリット４１２に対してZ方向沿いに往復移動可能に台枠に設けられた滑り台と、滑り台をZ方向沿いに往復移動させるように駆動する第１の動力源５４と、スリット４１２のX方向の両端開口の外側に互いに対向して滑り台に設けられている発光器５２と受光器５３とを有する。 （もっと読む）

【課題】２軸の角度調整の操作性と小型化とをバランス良く達成することができる。
【解決手段】基準プレート１１と、ＣＣＤ素子面において走査方向に直交する方向の中心を通る走査方向の第１軸線Ｏ１を中心にして回転するあおり調整用プレート２０と、あおり調整用プレート２０上に搭載され、このあおり調整用プレート２０を回転させるためのあおり調整機構２１と、ＣＣＤ素子面に対する法線方向に平行な第２軸線Ｏ２を中心にして回転する回転調整用プレート３０と、回転調整用プレート３０上に搭載されるとともに、この回転調整用プレート３０を回転させるための回転調整機構３１とを備え、あおり調整用プレート２０がカメラ本体５に固定され、回転調整用プレート３０に対して回転可能に支持され、回転調整用プレート３０が基準プレート１１に固定され、各プレート１１、２０、３０がその順で重なって配置された角度調整装置１０を提供する。 （もっと読む）

【課題】回転工具の形状と性状を同時に測定する方法を提供する。
【解決手段】画像記憶部１０７は、回転する物体を撮影した画像を記憶する。画像処理部１０８は、一の撮影した画像の輝度値と他の撮影した画像の輝度値を画素毎に比較して輝度値画像を生成する。また、画像処理部１０８は、基準となる形状を示す基準画像の輝度値と輝度値画像の輝度値との差分に基づいて差分画像を生成する。性状算出部１１０は、差分画像に基づいて物体の性状を示す性状変数を算出する。 （もっと読む）

【課題】計測精度を高精度化し、また計測時間を高速化することができる３次元寸法を計測する装置及び方法を提供する。
【解決手段】基準プレート６上方に配置された位置計測カメラ２で基準プレート６とその上の計測対象物１を撮影し、計測対象物１の基準プレート座標系での２次元座標を演算する。２次元座標上において複数の探査領域ＳＡ１〜ＳＡ４の位置を特定し、３次元計測カメラ３の撮影位置である複数の視点位置を画像認識にて演算する。視点位置から、基準プレート６と計測対象物１とを含んだ画像を３次元計測カメラ３で撮影する。３次元計測カメラ３で撮影した画像から、３次元計測カメラを基準とした複数の３次元座標を演算する。この座標を、基準プレートを基準とした世界座標系に統合する。世界座標系での３次元座標に基づき、計測対象物１の取付け具１２、１３相互間の寸法を演算する。 （もっと読む）

【課題】光を用いて物体までの距離を測定した測定結果において、所定の対象物に関する測定結果を特定することを可能とすること。
【解決手段】物体までの距離を光の照射によって測定点毎に測定する測定装置であって、測定点毎の距離情報と測定点毎の受光量情報とを取得する光学式距離測定部と、受光量情報において、光量が閾値を超える複数の測定点の並びが所定のパターンを形成している場合に、これらの測定点を、光源方向に対して多くの入射光を反射する反射面を有する対象物に対応する測定点であると判定する対象判定部と、判定された測定点の距離に基づいて、対象物の位置を測定する位置測定部と、対象判定ステップによって判定された測定点の距離に基づいて、自装置の基準点を原点とするローカル座標系における対象物の位置を算出し、同一の対象物のローカル座標系における位置及びグローバル座標系における位置に基づいて較正を行う較正部とを備える。 （もっと読む）

【課題】注目点の選定や注目点を追尾することが困難な複雑な形状の計測対象物であっても、また時間の経過とともに移動する計測対象物であっても、正確なキャリブレーションを実行することができ、所望の物理量を正確に計測することができる画像計測装置、画像計測方法、及びコンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】フレーム画像をコマ送り再生表示し、コマ送り再生表示されたフレーム画像から、複数のフレーム画像の選択を受け付ける。選択を受け付けたフレーム画像を重ね合わせた合成画像を生成する。生成した合成画像を表示し、表示した合成画像上で所定の物理量を計測する。また、寸法が既知である球を計測対象物と同一の動画像に写り込むように配置し、計測対象物と球とを撮像して取得した動画像に基づいてキャリブレーションを実行する。 （もっと読む）

【課題】長い距離にわたるコンクリート壁面などのコンクリート構造物の診断を、安価にしかも短時間で行うことが可能な画像データ処理システムを提供する。
【解決手段】移動式架台１０に搭載された可視画像撮影用カメラ６０と赤外線カメラ７０と、最初の可視画像データ及び赤外線画像データに撮影された対象物上の基準点に基づいて、前記複数の可視画像データ及び赤外線画像データの位置関係を求め、前記最初の可視画像データ及び赤外線画像データに対して、あおり補正を施した上で、２番目以降の規格化可視画像データ及び規格化赤外線画像データを、前記位置関係に基づいて重畳し２番目以降の重畳データとし、前記最初の重畳データと前記２番目以降の重畳データとを連結することを特徴とする。 （もっと読む）