【課題】基板の面内領域から取得できる情報を用いて、基板の位置を迅速かつ確実に検出できる技術を提供する。
【解決手段】位置検出装置は、基板９を載置するステージ１１と、ステージ１１に載置された基板９の面内領域を撮像する撮像部と、撮像部が取得した撮像データに基づいて基板９の位置を特定する位置特定部と、を備える。位置特定部は、撮像データを解析して、基板の表面に形成されたスクライブラインのうち最外周に配置されている最外周スクライブライン９１０を検出し、最外周スクライブライン９１０の検出位置に基づいて、レイアウト領域９３の中央に配置されている中央チップ領域９２０の位置を特定する。そして、中央チップ領域９２０の位置に基づいて、基板中心９０の位置を特定する。 （もっと読む）

【課題】複数人で構成されるグループが移動する経路上に設けられた１個以上の機器を到着に先立って制御することができる機器制御装置を提供する。
【解決手段】注視方向検出部２は、グループ内の各人が注視している方向を検出する。方向関係特定部３は、各人が注視している向きと照明機器が存在する方向との関係を特定する。グループ希望方向推定部４は、グループ内の全員について特定した関係に基づいて、グループ全体として照明機器が存在する方向への移動の希望を推定する。制御部５は、グループ希望方向推定部４による推定結果に基づいて、照明機器１０＿１〜１０＿Ｎを制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単に精度よく鉄筋の配筋情報を取得する。
【解決手段】配筋情報取得システム１において、携帯端末４は、背景バーＢの部分に相当する画像全体から、マーカＭＫ１及びＭＫ２を検出する（Ｓ９０１）。次に、マーカＭＫ１と、ＭＫ２との間にある画像を切り出す（Ｓ９０２）。その画像において、鉄筋の軸方向に垂直な方向で、ピクセルの輝度が不連続な箇所を検出することにより、領域の境界線となるエッジを抽出する（Ｓ９０３）。続いて、抽出されたエッジのうち、不要なエッジを除去する（Ｓ９０４）。次に、画像の輝度分布に対して度数分布を作成し、その度数分布に基づいて鉄筋、影、背景の３つの領域における代表輝度値を計算し、各代表輝度値を用いて、各エッジに挟まれた領域をいずれかに特定する（Ｓ９０５）。さらに、特定した領域のうち、エッジを挟んで隣り合う領域が同じである場合、その２つの領域を１つの領域として統合する（Ｓ９０６）。 （もっと読む）

【課題】撮影点におけるカメラの位置および姿勢を事前に把握することなく相対座標を計測することができる３次元相対座標計測装置を提供する。
【解決手段】３次元相対座標計測装置９０は、第１の視点より３点の基準点が撮像装置で撮像された第１の取得画像を取得する画像取得部１００と、各画素に対する画素視点投影角の情報を保持し、情報を用いて、第１の取得画像に投影される３点の基準点に対応する画素視点投影角である３つの第１の基準視点投影角を取得する視点投影角抽出部１２０と、３つの第１の基準視点投影角と３点の基準点の相対座標とを用いて、第１の取得画像の撮像面である第１の撮像面と３点の基準点を含む基準平面とのなす第１の傾斜角を算出する傾斜角算出部１３０ａと、第１の傾斜角を用いて、３点の基準点のいずれかと対象点との相対座標を計測する相対座標計測部１３０ｄとを備える。 （もっと読む）

【課題】タイヤのスリップ角とキャンバー角を同時に効率よく測定でき、かつタイヤの交換を容易に行うことができるタイヤ状態検出方法及び装置を提供する。
【解決手段】撮像カメラ１６で撮像した角度検出用回転体１４の画像データを基にタイヤ１２０４のキャンバー角αを求め、さらに、撮像カメラ１６で撮像した走行路面２８の画像データと角度検出用回転体１４の画像データを基にタイヤ１２０４のスリップ角βを求める構成にした。 （もっと読む）

【課題】周縁部に少なくとも２つの直線部が形成される略円形の基板を精度良く位置合わせすることが可能な基板位置合わせ方法を提供する。
【解決手段】周縁部に少なくとも２つの直線部が形成される概ね円形の基板を位置合わせする基板位置合わせ方法であって、基板を保持して回転する保持回転部により前記基板を自転させながら、前記基板の周縁部に向けて発せられた光を受光した受光部から信号を取得し、取得した信号の強度と前記基板の回転角度とを関連付ける工程と、前記信号の強度の変化に基づいて、前記２つの直線部に対応すべき２つの回転角度区間を検出する工程と、前記信号の強度に関連付けられた前記回転角度に基づいて、前記２つの回転角度区間の角度差を求める工程と、前記角度差が所定の範囲内に収まるか否かを判定する工程と、前記判定する工程において前記角度差が所定の範囲内に収まると判定された場合に、前記２つの回転角度区間が、対応する前記２つの直線部に相当すると決定する工程とを含む基板位置合わせ方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】欠陥座標に含まれている誤差を低減可能な光学式検査装置を提供する。
【解決手段】チャンネルが配列されたラインセンサと、ウエハをステージに載せてラインセンサに対して移動させる移動手段と、行列の行毎に１つ且つ列毎に１つ擬似欠陥ダイが形成され擬似欠陥ダイには複数の擬似欠陥が列方向に一列に形成されている座標管理用ウエハを検査したのを受けてチャンネル上に結像した擬似欠陥のステージ上の位置を擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０として検出するステージ位置検出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０を擬似欠陥ダイ座標に変換する座標変換手段と、設計座標に対する擬似欠陥ダイ座標の差分ΔＸを算出する差分算出手段と、擬似欠陥ステージ座標Ｘｓ０に対して差分ΔＸが一定の振幅Ａ１で振動し直線Ｌ１に沿って増加又は減少する座標誤差特性パターンＣＰ１を取得する特性パターン取得手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】ＰＴＰシートの製造過程における錠剤の欠け等の検査に際し、検査精度の飛躍的な向上を図ることのできる錠剤検査装置及びＰＴＰ包装機を提供する。
【解決手段】錠剤検査装置２１は、容器フィルムのポケット部に収容された錠剤に対し光を照射可能な照明装置２２と、照明された範囲内の錠剤を撮像可能なカメラ２３と、カメラ２３から出力される画像信号を処理する画像処理装置２４とを備える。画像処理装置２４は、目標となる錠剤の輪郭に関し、重心を原点とする各角度毎の複数の各点の接線の向き情報を目標向き情報として記憶しておき、検査に際し、抽出された錠剤の輪郭に基づき重心を特定するとともに、前記各角度毎の対応する各交点の接線の向き情報を求め、当該接線の向き情報と目標向き情報とを比較する。そして、１の交点の接線の向き情報が、対応する目標向き情報に対し許容範囲を逸脱している場合に、不良候補として判定する。 （もっと読む）

【課題】表面形状測定装置の配線系統をできるだけ省き、装置の簡素化を図る。
【解決手段】表面形状測定装置１０は、測定対象物１２の表面に光を照射する光源１４と、測定対象物１２の表面上の反射点Ｐ１からの反射光を第一の反射光と第二の反射光に分離するビームスプリッタ１８と、第一の反射光を反射する第一のミラー２０と、第二の反射光を反射する第二のミラー２２と、を備えている。さらに、第一のミラー２０から反射した第一の反射光及び第二のミラー２０から反射した第二の反射光を受光する撮像面３０を備える撮像器２４を備えている。この撮像器２４は、ビームスプリッタ１８から第一のミラー２０を経由して撮像面３０まで到る光路長とビームスプリッタ１８から第二のミラー２２を経由して撮像面３０まで到る光路長とが異なるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】線幅見本を画像読取部で読み取ることによる線幅測定の結果の安定性を向上する。
【解決手段】画像読取部での読取画像を受け付ける読取画像受付部２５において、白黒２値画像取得部８１が、線幅測定用チャートの読取画像である白黒２値画像を取得し、領域決定部８２が、白黒２値画像上で線幅測定に用いる線幅測定領域を決定し、角度検出部８３が、線の読取角度を検出し、角度比較部８５が、この読取角度と線を読み込む角度として指定された指定角度との差分が閾値以下かどうか判定し、閾値以下でなければ、警告出力部８６が、線幅測定用チャートの再読み込みを画像読取部に指示し、閾値以下であれば、画素カウント部８７が、線を構成する画素のうち線幅測定領域内の画素数をカウントし、線幅決定部８８が、カウントされた画素数、線幅測定領域の線描画方向の長さに相当する画素数等に基づいて、線幅を決定する。 （もっと読む）

【課題】船舶、橋梁、配管などに用いられている様々な溶接形状を計測し、実際の溶接形状に即した溶接の形状パラメータを算出し、自動的に溶接部の疲労強度を算出する溶接形状評価装置及び方法を提供する。
【解決手段】溶接形状評価装置１が照射部１３からレーザーを照射し、溶接部を複数の２次元座標（直交座標又は極座標）を持った計測点で計測する計測装置１０と、前記計測点を用いて疲労強度を算出する演算装置２０とからなり、溶接形状評価方法が座標から計算式により溶接の形状パラメータを算出して簡易式により応力集中係数を算出する簡易式工程と、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて溶接部を解析して応力集中係数を算出する有限要素法（ＦＥＭ）工程とを備えた応力集中係数算出工程と、複数の提案式と方法を備えて疲労強度を算出する疲労強度算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】棒状ワークの曲がり角度を簡単に計測することができるのに加えて、棒状ワークの計測部位毎の曲がり角度を記録に残すことが可能になる三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】筒体や柱体等の棒状ワークの曲がり角度を計測するのに用いられる三次元計測治具であって、互いに合体してパイプＷの外周に嵌合装着される一対の半円形治具構成体２，２を備え、一対の半円形治具構成体２，２には、レーザ光Ｌｒの送受信を行うことで中心Ｒｐの三次元座標が求められる球状のリフレクタＲをスライド可能に保持する外向き溝２ｂが形成され、リフレクタＲを保持する外向き溝２ｂは、パイプＷの治具構成体２，２が装着される部位における断面を算出するのに必要な複数の位置を結んでパイプＷの外周に沿ってそれぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】回折格子の形状特徴物などの小寸法の形状特徴物のプロフィールを見出すためのシステムを提供する。
【解決手段】シード・プロフィールのギャラリが作られ、半導体装置についての製造プロセス情報を用いて該プロフィールに関連する初期パラメータ値が選択される。回折構造および関連するフィルムを測定するとき、反射率Ｒ_s，Ｒ_pなどのいろいろな放射パラメータおよび楕円偏光パラメータを使用することができる。放射パラメータのうちのあるものは、該プロフィールまたは該フィルムのパラメータ値の変化に対してより敏感な１つ以上の放射パラメータを選択してより精密な測定に到達することができる。プロフィール・パラメータのエラーを補正するために上述した手法をトラック／ステッパおよびエッチャに供給してリソグラフィおよびエッチングのプロセスを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】被験者の姿勢を示す値を正確に算出する。
【解決手段】各画素における輝度値がカメラから被験者までの距離を示す距離画像を取得する距離画像取得部１０２と、距離画像取得部１０２が取得した距離画像に基づいて、被験者に貼付された複数のマーカーの三次元空間中での座標を算出する座標算出部１０４と、座標算出部１０４が算出した複数のマーカーの座標から、被験者の姿勢を示す値を算出する姿勢算出部１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な構成からなる位置検出装置を得る。
【解決手段】所定の移動方向（矢印ＡＲ）に移動する板ばね部４１（被測定物）の位置を検出する位置検出装置７０は、受光部７２Ａと、受光部７２Ａに対向し受光部７２Ａに向けて測定光８０を投光する投光部７１Ａとを備える。受光部７２Ａおよび投光部７１Ａは、受光部７２Ａおよび投光部７１Ａの間で移動する板ばね部４１の移動方向（矢印ＡＲ）に対して、測定光８０が斜めに交差するように配置される。板ばね部４１の移動に伴って、測定光８０の一部は板ばね部４１に遮られるとともに、測定光８０の残部は受光部７２Ａに到達する。受光部７２Ａが受光する測定光８０の残部の受光量に基づいて、板ばね部４１の位置が検出される。 （もっと読む）

【課題】表示パネルと光学手段との相対的な位置精度を低コストかつ高速に検出できる、実装精度検査方法及びその検査方法を用いる検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象となる表示装置は、複数の画素群が配列された表示パネルと、画素群から複数のＮ（Ｎは２以上の自然数）視点に向けた画像表示を提供するための光学手段と有する。検査装置は、視点毎に異なる画像信号を有する検査パターンを表示装置に出力する画像出力手段と、表示装置から表示された検査画像の境界線分の傾きと位置を抽出する抽出手段とを備え、抽出手段が抽出した傾きと位置に基づいて表示パネルと光学手段との位置精度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 運転者の視点位置の算出に係る信頼性の向上を図る。
【解決手段】本発明は、運転者の視点位置ＥＰを算出する視点位置算出装置１であって、右サイドミラーＲの角度と車両の運転席着座中心面Ｔとに基づいて第１の推定視点位置ＥＰＲＳを算出する第１推定視点位置算出部１２と、左サイドミラーＬの角度と車両の運転席着座中心面Ｔとに基づいて第２の推定視点位置ＥＰＬＳを算出する第２推定視点位置算出部１３と、推定視点位置ＥＰＲＳ，ＥＰＲＳが一致するか否かを判定する一致条件判定部１５と、推定視点位置ＥＰＲＳ，ＥＰＲＳが一致すると判定された場合、当該推定視点位置を運転者の視点位置ＥＰとして算出する視点位置算出部１６とを備え、視点位置算出部１６は、各推定視点位置ＥＰＲＳ，ＥＰＲＳが一致しないと判定された場合、推定視点位置ＥＰＲＳ，ＥＰＬＳに基づいて視点位置ＥＰを算出する。 （もっと読む）

【課題】汎用の２次元測長機を用いても露光面に形成された座標上の露光点を高精度に測定できるようにする。
【解決手段】Ｘ軸ガイドとＹ軸ガイドがＸ軸とＹ軸で直角に直交している状態から、Ｘ軸とＹ’軸とで示すように９０度以下の角度θで交差する状態になる。このとき、Ｘ軸ガイドとＹ軸ガイドに基づいて露光点観測カメラが露光点２０を測定すると、測定される座標の測定値はｘ’とｙ’となるが、露光点２０における真の座標の測定値はｘ、ｙである。一方、真の座標の測定値ｘ、ｙと実際の測定値ｘ’、ｙ’との関係は、ｘ＝ｘ’＋ｙ’cosθ、及び、ｙ＝ｙ’sinθで表わすことができる。従って、Ｘ軸ガイドとＹ軸ガイドが９０度以下の角度θで交差していても、実際に測定された測定値ｘ’、ｙ’と交差角度θを上式に代入すれば、真の座標の測定値ｘ、ｙを容易に求めることができる。 （もっと読む）

【課題】インコヒーレント光源から放射された光束の平行度を少ない測定回数で測定できる光束平行度測定装置を提供すること。
【解決手段】光束９に含まれる光線成分のそれぞれを光軸Ｋに対する入射角度θに応じた距離Ｌだけ前記光軸Ｋから離れた位置に結像するレンズ部２０と、前記光束９の結像位置Ｐを検出する二次元検出器２２と、を有し、前記光軸Ｋから前記結像位置Ｐまでの距離Ｌを前記入射角度θに変換し、前記光束９に含まれる光線成分の入射角度分布を出力する解析装置１２を備える光束平行度測定装置１を提供する。 （もっと読む）

【課題】列車の屋根上を撮影した画像を解析して、パンタグラフのホーンの折れの有無を検出することを可能としたパンタグラフ監視装置を提供する。
【解決手段】列車の屋根上を撮影する監視カメラと、監視カメラによって撮影された入力画像を画像処理することによりパンタグラフの状態を監視する画像処理装置とを備えたパンタグラフ監視装置において、画像処理装置が、入力画像上のホーンに対して設定される複数の検査点に基づいてパンタグラフのホーンを検査直線として抽出する検査直線設定部５ｈと、検査直線と予め設定する基準直線との間の検査角度を算出する検査角度計算部５ｉと、検査角度に基づいてホーンの折れの有無を判断するホーン折れ判断部５ｊとを備える構成とした。 （もっと読む）