【課題】積層弾性体の変形測定時に変形量の測定が容易な積層支持体と、この積層支持体を用いた変形測定方法を得る。
【解決手段】積層支持体１２の積層弾性体１６は、金属板１８とゴム板２０とが積層方向Ｓに交互に積層されて構成されており、これらの外側端面を周囲から被覆する被覆ゴム２２を有する。被覆ゴム２２の外周面は、変形測定用に粗面化処理され、測定用マーキング２６が施されている。 （もっと読む）

【課題】
ＦＢＧセンサを用いた計測方法およびその装置において、1箇所のＦＢＧセンサに対して歪みと温度を感知するＦＢＧ部と温度のみを感知するＦＢＧ部に分けることで、歪みと温度を同時計測することができるようにする。
【解決手段】
コアに回折格子を形成した光ファイバの一部を被測定物の歪みに依存する状態で固定し、コアに回折格子を形成した光ファイバの他の部分を被測定物の歪みに依存しない状態で固定し、光ファイバの被測定物の歪みに依存する状態で固定した部分から検出された信号と光ファイバの被測定物の歪みに依存しない状態で固定した部分から検出された信号とを用いて被測定物のひずみと温度とを計測するようにした。 （もっと読む）

【課題】 塗装表面欠陥検査方法及び塗装表面欠陥検査装置に関し、表面塗装状態の検査を１回の画像撮像により簡便に且つ高効率に行う。
【解決手段】 縞状明パターンと縞状暗パターンとが交互に配列された明暗パターンの照射光を、１回の照射時間内に前記明暗パターンの切り替えと照射輝度の変調を行って検査対象物の塗装表面に照射する工程と、前記塗装表面からの反射光を撮像装置により画像として取得する工程と、前記取得した画像における輝度情報から前記塗装表面の内部の異物や混入物の影響と前記塗装表面の凹凸欠陥とを区別する画像処理工程とを設ける。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の特徴パターンの変形を考慮しつつ測定精度の向上と情報処理量の低減とを図ることができるひずみ測定装置およびひずみ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明のひずみ測定装置Ｓａおよび該方法では、試験体ＳＭに外力を作用させる前後における試験体ＳＭの外力作用前画像Ａおよび外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって仮伸縮率が求められ、この求めた仮伸縮率を用いて外力作用前画像Ａまたは外力作用後画像Ｂにおけるパターンが変形され、この変形されたパターンに基づいて、試験体ＳＭの外力作用後画像Ｂから、パターンのマッチングによって伸縮率が求められる。 （もっと読む）

【課題】検査対象と撮像装置との相対的な位置関係である視点位置が基準視点位置と同じになるように、撮像装置の姿勢を制御する。
【解決手段】特徴線抽出部１０５は、撮像装置が所定の姿勢で検査対象を撮像した画像データから検査対象の特徴線を抽出する。次に、移動量算出部１０９は、当該特徴線の位置と基準特徴線の位置とに基づいて、現在の視点位置から基準視点位置までの移動量を算出する。そして、反映部１１０は、当該移動量を姿勢制御情報に反映させる。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ上の欠陥分布を検査する表面検査装置において、欠陥検査と同時進行でウェーハの厚さとフラットネスを測定できるようにする。
【解決手段】本発明は、ウェーハを固定し、回転及び直線移動を行う搬送系と、前記直線移動の経路上に配置されたウェーハ上の欠陥の位置とサイズを特定する散乱光学系と、前記直線移動の経路であって、前記散乱光学系よりも前に配置されたフラットネス測定系と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】高空間分解能で且つ高周波数分解能を有する分布型光ファイバセンサを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、空間分解能に基づく第１パルス光ｆ_１と周波数分解能の逆数に基づく第２パルス光ｆ_２とを位相差θを設けて合成した検査光ｆを光ファイバ１２の一端部１２ａに射出する検査光生成部２６，２７と、一端部１２ａから射出されるブリルアン散乱現象に係る光からスペクトルＶを検出する検出部３０と、ブリルアン周波数シフト量を計測する計測部４０と、を備え、検査光生成部２６，２７は、位相差θが異なる複数の検査光ｆを生成し、検出部３０は、ブリルアン散乱現象に係る光から各検査光ｆに対応するスペクトルＶをそれぞれ求める検波部３１と、スペクトルＶ同士を合成する合成部３６と、を有し、計測部４０は、合成スペクトルＶ_Ｓに基づいて前記周波数シフト量を計測することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】円形フランジに機器、部材等を取り付けることなく円形フランジの歪量を測定するための円形フランジの歪量測定方法及び円形フランジの歪量測定装置を提供する。
【解決手段】歪を測定しようとする円形フランジ１１の前方に配置されて、特定位置Ｐから軸心１７に対して一定角度θで旋回し円錐面状にスキャンするレーザー光を発して円形フランジ１１の測定面１２に照射し、測定面１２からの反射レーザー光を受光して、特定位置Ｐから測定面１２までの距離を測定するレーザー測定機１３と、レーザー測定機１３を載せて所定方向にレーザー測定機１３の軸心１７を向ける位置決め手段１５と、レーザー測定機１３から取得した特定位置Ｐから測定面１２までの距離の値にｃｏｓθを乗算し距離データを得て、距離データから測定面１２が完全平面と仮定した基準データを算出し、距離データから基準データを引いて、円形フランジ１１の歪量を算出する演算部１９とを有する。 （もっと読む）

【課題】評価ユニットとたわみボディとの間に生じるノイズの影響を受けにくい、光ファイバー手段を用いた干渉法原理による、たわみ測定機器を提供すること。
【解決手段】第１の光ファイバー手段と第２の光ファイバー手段は、たわみボディにのみ配置されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は入力側で、ビーム源を備えた唯一の光供給ファイバーと接続されており、第１の光ファイバー手段および／または第２の光ファイバー手段は出力側で、評価回路を備えた唯一の光評価ファイバーと接続されている。 （もっと読む）

【課題】ダムの堤体に配置したワイヤの水平方向および鉛直方向の変位を検出でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できるダム堤体の変位測定装置を提供すること。
【解決手段】ダム堤体の変位測定装置１は、堤体内部に鉛直に配置された測定ワイヤ２と、測定ワイヤ２に固定された金属球２０と、金属球２０を撮影する２台のカメラ２１，２２および照明装置２３，２４と、各カメラ２１，２２で撮影された画像を処理する画像処理装置３０とを備える。カメラ２１，２２は、レンズの光軸が水平面内で互いに直交する位置に配置する。画像処理装置３０は、撮影画像データから金属球２０を認識して重心位置を検出し、その重心位置の変位によって、ダム堤体の変位を測定する。金属球２０を２台のカメラ２１，２２で撮影して重心位置を検出しているので、金属球２０の三次元方向の変位量を測定でき、ダム堤体の変位を精度良く検出できる。 （もっと読む）

【課題】反り量を搬送途中で正確に能率よく測定でき、カケの発生を防止するセラミック基板の反り検査装置を提供する。
【解決手段】所定の位置に搬送させる搬送手段と、搬送中のセラミック基板１１の全幅を測定対象として通過させながら２次元レーザ変位計１２で検出させる検出手段と、検出値を、フィルタを通して整理した反り量を算出させる算出手段とを備え、搬送手段は、セラミック基板１１を吸着ヘッド１７で吸着して複数の測定テーブル１８のそれぞれの上面に連続して載置させるロータリーアクチュエータ１３と、測定テーブル１８を水平間欠割出回転させながらその上のセラミック基板１１の反り量を検出手段と算出手段で測定させるインデックステーブル１４と、測定テーブル１８の近傍に反り量測定後のセラミック基板１１を反り量のランク別に測定テーブル１８上から排出させる掻き出し体１５を有する。 （もっと読む）

【課題】 標線位置計算範囲の設定を自動で行うことが可能な材料試験機を提供する。
【解決手段】 試験実行前の試験片に貼着した標線シールの画像データから標線の色濃度プロファイルを作成するテンプレート作成部６１と、標線の色濃度プロファイルを記憶する記憶部６４と、試験片の色濃度プロファイルを作成するための領域を設定する色濃度計算領域設定部６２と、標線シールを貼着した試験片の画像データから試験片の色濃度プロファイルを作成するプロファイル作成部７１と、記憶部６４に記憶したテンプレートと試験片の色濃度プロファイルとの正規化相関係数によるテンプレートマッチングを行う相関係数演算部７２と、得られた相関係数から標線位置を決定する標線位置決定部７３と、その標線位置に基づいて標線位置計算範囲を設定する標線位置計算範囲設定部７４を備える。 （もっと読む）

【課題】光ファイバの設置毎に、事前に試験を行う必要がなく、不均一なひずみを有する変位であっても、正確に変位を計測することができる光ファイバ構造物変位計測装置及びその計測方法を提供する。
【解決手段】構造物２０は、非直線形状であり、かつ変位が発生した場合に不均一なひずみが発生する構造物である。構造物２０に固定された光ファイバ１に発生するブリルアン散乱光を検出して、ブリルアン散乱光から観測パワースペクトルデータを計測する。一方、構造物の変位の大きさに対応して発生するブリルアン散乱光のモデルパワースペクトル形状を理論的に算出し、このモデルパワースペクトル形状を観測パワースペクトルデータにあてはめる。あてはめられた最も適合する曲線形状のモデルパワースペクトル形状に基づき、構造物の変位を算出する。 （もっと読む）

【課題】２次元構造の断面データが表す形状曲線を近似するための処理を簡単に行うことが可能な形状認識装置を提供する。
【解決手段】形状認識装置Ｃは、３次元データが表わす外面形状の曲率が第１所定値を超える領域を抽出する曲率除外領域抽出手段１４と、曲率の変化量が第２所定値を超える領域を抽出する変化量除外領域抽出手段１５と、曲率除外領域抽出手段１４により抽出された領域と変化量除外領域抽出手段１５により抽出された領域とを除外領域として設定する除外領域設定手段１６と、３次元データにおける設定領域の形状を詳細に反映した詳細形状データと粗く反映したベース形状データとを取得すると共に、夫々の形状データから除外領域に含まれるデータを除外して夫々の修正形状データを生成し、夫々の修正形状データの曲率に基づいて外面形状の歪値を抽出する形状評価手段２０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】透明な板状部材でも、モアレパターンが得られる歪み検出装置の提供。
【解決手段】板状の透明な検査対象物１６，１７を搭載し得る透明な定盤２を有し、定盤の上下に第１及び第２の基準格子ユニット３，５が対称的に配置されており、各基準格子ユニット３，５は、面発光ユニット３ａ，５ａ及び該面発光ユニットの発光面３ｃ，５ｃに配置された面格子３ｂ，５ｂをそれぞれ有し、第１の基準格子ユニット３と対向する位置に、第１の基準格子ユニット３の面格子３ｂの検査対象物１６，１７からの反射像と、第２の基準格子ユニット５の面格子５ｂの、定盤２及び検査対象物１６，１７を透過して来た像を重ね合わせた重畳画像データＤＡＴを取得する面格子画像取得手段７を設け、該重畳画像データＤＡＴに基づいて、モアレ縞が発生しているか否かを判定して検査対象物１６，１７の歪みや反りの存在を判定する。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハを検査するための方法および装置を提供する。
【解決手段】本発明は半導体ウェハを検査するための方法に関する。半導体ウェハのエッジをイメージング方法を用いて検査し、エッジ上の欠陥の位置および形状をこのようにして求める。加えて、その外縁がエッジから１０ｍｍ以下である、半導体ウェハの平坦領域上の環状領域を、光弾性応力測定によって検査し、上記環状領域の中で応力を受けた領域の位置をこのようにして求める。欠陥の位置および応力を受けた領域の位置を互いに比較し、欠陥をその形状および光弾性応力測定の結果に基づいてクラスに分類する。本発明はまたこの方法の実施に適した装置に関する。 （もっと読む）

【課題】歪検出を簡易かつ高精度に行なうことができる。
【解決手段】検査面１ａに対し帯パターンが並行する所定の図形を照明パネル２Ａ，２Ｂによって所定角度で投影するステップと、投影された上記図形の画像をＣＣＤカメラ３Ａ，３Ｂにより検査画像として得るステップと、上記図形を上記所定角度と同一角度で平坦面に投影して得られた基準画像と上記検査画像の差分面積を検出するステップとを備え、差分面積の大きさによって前記検査面の歪の程度を検出する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリートの破壊や、含水率の調整等をしなくとも、鉄筋の腐食状態を計測可能とする。
【解決手段】 コンクリート内部の鉄筋腐食計測方法は、コンクリートの表面のひずみを計測するひずみ計測工程と、ひずみ計測工程による計測結果に基づいて、コンクリート内部の鉄筋の腐食状態を推測する腐食状態推測工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 大変形を高精度かつ動的に計測可能な計測装置及び計測方法を提案する。
【解決手段】 スペックル干渉を用いた変形計測において、２光束のうち一方の光束が非コリメート光となる光路と平行平面状の透明物体を利用し、キャリア縞を形成することが可能となる。具体的には、非コリメート光となる光路上に上記透明物体を設置、または光路上からの除去、もしくは光路上に設置した透明物体の屈折率、厚み、光軸に対する傾斜角を変更する。上記処理とスペックル干渉パターンの取得を繰り返し行うことにより、変形に応じた縞画像からの位相解析を行うことができ、大変形を高精度かつ動的に計測できる。 （もっと読む）

【課題】画像式測定方法であっても、動的測定や１ｍｍ以下の微小変位を離れた位置からの完全非接触測定を可能とし、測定精度の推定を可能にする構造物変位量測定方法を提供する。
【解決手段】動的撮影を行い、基準画像と測定画像とを比較、画素変位量を算出し、撮影距離と撮影角度の情報をもとに、画素数で表わされた変位量を実スケールの単位に変換し、変位量を算出する。あわせ実測定誤差も算出する。現地の条件により、測定誤差が大きい場合には、撮影条件を変更する。大気揺らぎの影響を軽減するために、撮影距離の制約を導入、夜間撮影による測定を可能にする。また、測定データに大気揺らぎの影響がある場合、フィルタ処理などによる軽減を可能とする。 （もっと読む）