【課題】測定対象５が受ける光の照度や照射方向の変化の影響を受けない、安定した計測ができる、ひずみ計測装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４は、測定対象５の所定領域６を表面高さ計測器２で計測して得られた当初表面高さ分布から、所定領域６の点Ａ，Ｂをそれぞれ包含する微小領域ａ，ｂの表面高さ分布を抽出する微小領域抽出手段、所定領域６の、経時後表面高さ分布上の、前記微小領域ａ，ｂに最も近似する微小領域ａ’，ｂ’内にあって、前記微小領域ａ，ｂにおける前記点Ａ，Ｂに対応する点Ａ’，Ｂ’の座標を算出する座標算出手段、及び測定対象５の線分ＡＢ方向のひずみを算出するひずみ算出手段として機能する。 （もっと読む）

【課題】 複数の品種に対応することが可能であり、かつ、例えば画像処理ユニットの処理順序や画像処理ユニットに対応するパラメータなどに修正の必要性が生じたときであっても、複数のフローチャートについて編集作業を行う必要がなく、少ない工数でメンテナンスを可能とする。
【解決手段】 個別処理ユニットとして規定された画像処理ユニットについて複数の異なるパラメータ値をもつ個別パラメータが少なくとも一つ含まれるように規定されており、個別パラメータの各々のパラメータ値に対し個別処理ユニット間で共通の識別情報を関連付けて規定された画像処理プログラムを設定する又は受け付ける手段と、識別情報を指定する手段と、個別処理ユニットとして規定された画像処理ユニットの個別パラメータに対して、識別情報に対応したパラメータ値を割り付けて、画像処理を実行する手段と、を備える。 （もっと読む）

【目的】光損失の小さい1550nm付近の帯域光を使用するBOTDRといわゆるＣバンド帯域の波長分割多重化方式FBGとを組み合わせて測定することによって、最大10kmに及ぶ範囲のひずみ測定を高精度に行うことができる、ひずみ・変形の計測監視装置を提供する。
【構成】ＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器と、両測定器の使用を切り替える光スイッチと、光スイッチを介して両測定器に接続された光ファイバと複数個のＦＢＧセンサとにより構成された測定部とを備え、複数個のＦＢＧセンサに略１５５０ｎｍ付近の波長光を検出するＦＢＧセンサを使用してなり、光スイッチによりＦＢＧ光測定器とＢＯＴＤＲ光測定器とを切り替え、両測定器による測定が時間をずらして同一の前記測定部で行える、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス容器中の応力曲線に加えて応力層の厚さおよび壁厚の両者を迅速かつ正確に確定するために蛍光発光を使用する、ガラス容器壁中の応力および壁の厚さを測定するための装置および方法が開示される。
【解決手段】本装置および方法を、ガラス容器の全周囲にわたるガラス容器側壁中の応力および側壁の厚さの両者を迅速かつ正確に測定するために使用することができる。本装置および方法は、大規模ガラス容器製造に適合され、ガラス容器の側壁中の応力および側壁の厚さの高速測定が可能である。 （もっと読む）

【課題】高スループットかつ高感度の欠陥検査装置を提供すること。
【解決手段】広帯域波長の照明を用いて結像性能を向上させることが有効である。そこで、従来の屈折型光学系より広帯域波長の照明が使用可能な反射型光学系を用い、更に良好な収差状態を得られるレンズ外周部の円弧形状のスリット状視野にする。しかしこの方式は、受光面での各検出画素寸法の違いによる明るさの差と、センサの出力配列を視野内の位置座標に対応付けることが課題である。課題を解決するために、明るさの差及び座標を画素位置に応じて個別に補正する。 （もっと読む）

【課題】安価な撮像装置を用いてタイヤ表面歪みの変化を測定できるタイヤ解析システムおよびタイヤ解析方法を提供すること。
【解決手段】このタイヤ解析システム１は、所定の試験条件を入力したときのタイヤ形状の変化やタイヤ表面歪みの変化を測定することによりタイヤの挙動解析を行うシステムである。このタイヤ解析システム１は、タイヤ表面の一部にタイヤ周方向に沿って配列された複数の解析用格子面Ｓを相互に異なる方向から同時に撮像する複数のカメラ３１、３１と、これらのカメラ３１、３１から取得した画像データに基づき解析用格子面Ｓの三次元座標を算出すると共にこの三次元座標に基づきタイヤ表面歪みの変化を算出する処理装置４とを備えている。そして、タイヤ１０が回転して解析用格子面Ｓが所定の撮像位置に来たときに、カメラ３１、３１が解析用格子面Ｓを撮像している。 （もっと読む）

【課題】被測定物の三次元形状の外観を効率良く把握できる三次元形状測定システム及び三次元形状測定方法を提供する。
【解決手段】色が規則的に変化する光パルスをパルス光源５６及びチャープ導入装置６０により生成し、生成された前記光パルスをワーク３０に照射し、該ワーク３０から反射された前記光パルスの反射光像をシャッタユニット４２により取得し、取得された前記反射光像の二次元情報及び色情報を用いてワーク３０の三次元情報をカラー二次元検出器８８により取得する。また、カラー二次元検出器８８により取得されたワーク３０の二次元情報に基づいて所定の箇所を選択し、該所定の箇所における三次元情報を取得する。 （もっと読む）

【目的】いわゆる金属を使用しない腐食に強い起歪体を形成し、もって外装材により起歪体を保護する必要がなく、コンクリートに起歪体を直接接触させられ、かつコンクリートのひずみを起歪体周囲の付着力により直接起歪体に伝達できるため、計測値につきばらつきのない高品質で破損や故障の少ない長期間の計測が可能なひずみ検出装置を提供し、さらに、長大構造物に対しても劣化の可能性が少なく、かつ精度よくコンクリート構造物の内部温度が計測できる内部温度検出装置をすることを目的とする
【構成】ＦＢＧセンサが設けられた光ファイバを、光ファイバと略同等の線膨張係数、弾性係数を有するガラス繊維部材で被覆して起歪体を形成し、起歪体をあらかじめ内部設置した状態で、コンクリートを打設して構造物を構築し、コンクリート構造物の構築後生ずる歪みを検出可能とした、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
多点で変位を同時に光学的に行おうとした場合、各種光学式変位計を多数用いる方法で多点の同時変位検出を行うことができるが、各センサはそれぞれ、レーザ等の光源、投射レンズ、受光レンズ、受光素子、処理回路、電源等を持ち、また、各センサの出力を受けるための多チャンネルＡＤ回路や出力を処理するコンピュータおよびソフトウエアが必要であり、センサの数が多くなるほど非常に高コストになっていた。
【解決手段】
一端に色収差をもつレンズを備えた光ファイバと、他端に、一本が光源につながり、もう一本が検出器につながる光ファイバを備えた光ファイバカプラとを備えた多数のプローブと、多数のプローブの光源側の光ファイバを並べ、白色光または複数波長光を投入する光源と、多数のプローブの検出器側の光ファイバを並べ、そこに対向配置したカラーカメラとを備える多点変位検出装置とした。 （もっと読む）

【課題】局所的な変形が生じた場合にもより正確に変位を計測することができる変位計測装置及び変位計測方法を提供する。
【解決手段】変位計測装置１は、光線Ｂを出射する照射部５と、前記光線Ｂの一部を透過し第１光線B1を出射すると共に前記光線Ｂの他の一部を分離して延長光EBを出射する光路長変更部６と、前記第１光線B1及び前記延長光EBを受光して天井３の変位を検出する変位検出部７とを備える。変位検出部７は、第１光線B1を受光して第１受光位置を検出する第１受光部10と、前記延長光EBを受光して第２受光位置を検出する第２受光部11と、前記第１受光位置及び前記第２受光位置から変位を算出する算出部12とを有する。 （もっと読む）

マイクロリソグラフィ投影露光装置は、光学面（４６；Ｍ６）と、光学面上の複数の別々の区域において光学面に関連するパラメータを測定する測定デバイス（９０）とを含む。測定デバイスは、個々の測定光ビーム（９４）を光学面上の区域に向けて誘導する照明ユニット（９２）を含む。各測定光ビームは、区域のうちの測定光ビームに関連付けられた少なくとも一部分と、隣接区域のうちの測定光ビームに関連付けられていない少なくとも一部分とを照明する。検出器ユニット（９６）は、各測定光ビームが光学面と相互作用した後に各測定光ビームに関する特性を測定する。評価ユニット（１０２）は、選択された区域に関連付けられた測定光ビームと、選択された区域に隣接する区域に関連付けられた少なくとも１つの測定光ビームとに対して検出器ユニット（９６）によって判断された特性に基づいて選択された区域に関する面関連パラメータを判断する。 （もっと読む）

【課題】変位測定値の誤差が小さいうえに、安価に実施することができる変位測定装置を提供する。
【解決手段】対象物としての杭頭１Ａに取り付けられるＰＳＤ２Ａと、ＰＳＤ２Ａの受光面２１Ａに向けて照射光としてのレーザー光Ｌ１を照射する光源としてのレーザーポインタ３と、ＰＳＤ２Ａの受光面２１Ａにおけるレーザー光Ｌ１の受光位置から杭頭１Ａの変位測定値を算出する演算処理手段としてのパーソナルコンピュータ４とを備えた構成とされている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、非接触で、かつ、被計測体の周期的な検出を必須とせずに、並進運動と回転運動を伴う被計測体の所定計測位置の並進方向のたわみ量または移動量の計測可能な範囲を拡大できるたわみ量または移動量の計測方法を提供することにある。
【解決手段】発光部２ａから発射した光３を円筒面６ａ に当てる工程と、並進運動と回転運動を伴う被計測体１の動きに応じた円筒面６ａからの反射光５ａ、５ｅを受光部２ｂで受け、この反射光５ａ、５ｅの受光部２ｂにおける位置から被計測体１の所定計測位置の並進方向のたわみ量または移動量を求める工程と、を備えたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、被測定基材の物性値を変えることなしに、かつ、非接触で微小変位を測定可能とする基材、この基材の微小変位測定方法および測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】基材３の表面を観察する場合の所定の視野の大きさに対して、１／１０００〜１／１００程度の大きさの粒子が溶媒に分散した懸濁液を用いて形成された明暗のコントラストを有した所定のランダムパターン４が基材３の表面に付与されたランダムパターン付き基材に加熱または冷却により微小変形を与える微小変形付与手段を収容する容器１と、この微小変形付与手段により基材３に生じさせた微小変位をデジタル画像相関法により求めるための画像処理システム（５、６、７、８、９、１０）と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】光弾性計測法を用いて、例えば、チェーンのリンクプレートなどのような組立体の構成部品の歪み、形状、内部応力及び外観などを精度良く検査することのできる検査装置を提供する。
【解決手段】透明又は半透明な被検知体Ｍと被検知体Ｍに対して検査光を照射する光源と検査光の進行方向上であって光源と被検知体Ｍとの間に配置された第１偏光手段１１０と被検知体Ｍに対して第１偏光手段１１０と反対方向の検査光の進行方向上に配置された第２偏光手段１２０とを有し、検査光が第１偏光手段１１０及び第２偏光手段１２０を通ることによって生じる干渉模様を撮像する撮像手段１４０とを有し、光源が積層式の有機ＥＬ照明板１３０であることによって前記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 回転軸体の軸線方向および径方向における軸振れ量を非接触にて簡単に測定できる軸振れ計測装置を提供する。
【解決手段】 本発明の軸振れ計測装置は、回転軸体の周方向に光反射性部分と光非反射性部分とが交互に配置されて当該方向に幅変化部の列が環状に形成されてなる反射パターンと、前記回転軸体の回転中に前記反射パターンの所定位置に照射される第１および第２の光線と、前記所定位置からのこれら各光線の反射光をそれぞれまたは重ね合わせた状態で受光して受光、不受光のタイミングに応じて生成された電気パルス信号に現れる該第１の光線の受光時間の変化に基づいて前記回転軸体の軸線方向の軸振れ量成分を求めるとともに、前記第２の光線の照射角度、前記電気パルス信号に現れる前記第２の光線の反射光の受光時間の変化、および前記軸線方向の軸振れ量成分に基づいて前記回転軸体の径方向の軸振れ量成分を求める受光・演算部とを備える。 （もっと読む）

【課題】土粒子の粒径及び流砂量を計測又は監視する土粒子計測システム、土粒子計測及びプログラムを提供する。
【解決手段】本発明の土粒子計測システムは、土粒子が流れる方向と直行する方向に配置されるＦＢＧセンサ１１と、ＦＢＧセンサ１１から出力されるブラッグ波長の光信号から、土粒子の衝突によって生じるひずみ量を検出するＦＢＧアナライザ１２と、検出したひずみ量の値から土粒子の粒径及び流砂量を決定する土粒子管理・監視装置１３とを備える。土粒子管理・監視装置１３は、当該検出したひずみ量の値から土粒子の粒径の仮定値を決定して、該仮定値における前記ＦＢＧセンサへの衝突時の土粒子の運動エネルギー及び運動エネルギー期待値を算出し、運動エネルギーと運動エネルギー期待値の差が所定の許容範囲内になる仮定値の運動エネルギーから土粒子の粒径及び流砂量を決定する。 （もっと読む）

【課題】スループットの更なる向上。
【解決手段】露光ステーション２００において、粗動ステージＷＣＳ１に支持された微動ステージＷＦＳ１に保持されたウエハＷに対する露光処理が行われる間に、計測ステーション３００において、粗動ステージＷＣＳ２に支持された微動ステージＷＦＳ２に保持されたウエハＷに対する計測処理と、センターテーブル１３０上の微動ステージＷＦＳ３に保持されたウエハＷの交換とが少なくとも一部並行して行われる。このため、１つのウエハステージ上のウエハに対する露光処理と、別のウエハステージ上でのウエハ交換、アライメントなどの処理と、を並行して行う従来の露光装置に比べても、より高スループットな露光が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバーセンサを機器内部に設けて、機器内部の歪みおよび温度を直接的に計測可能とした、電子機器を得ることを目的とする。
【解決手段】 筐体と、上記筐体の内部に、互いに間隔を空けて収納される複数の基板と、上記各基板の表面にそれぞれ固着され、温度計測用のファイバーグレーティングと歪み計測用のファイバーグレーティングとを複数個所有し、上記基板に一筆書きで配線された光ファイバーセンサとを備えて、電子機器を構成する。 （もっと読む）

【課題】 地盤に形成した深い穴内に容易に設置することができ、地盤歪を高精度で検出可能な地盤歪検出端を提供する。
【解決手段】 複数の短尺管体１５をつなぎ合わせて変位標識管体５を形成し、その変位標識管体５に沿って光ファイバセンサ６を張力を掛けた状態で配置し且つその光ファイバセンサ６の複数個所を固定治具７で変位標識管体５に固定して検出端３を構成する。この検出端３は、短尺管体１５をつなぎ合わせながら且つ光ファイバセンサ６を固定しながら縦穴２内に挿入することで深い縦穴２内に容易に設置可能であり、挿入した後は縦穴２内に充填材８を充填して地盤と一体化することで、地盤歪に応じて光ファイバセンサ６に歪を生じ、それを散乱光強度分布の観測で検出することで地盤に発生した歪分布を精度良く測定できる。 （もっと読む）