【課題】雰囲気温度に応じた温度補償を行いつつ、小型化することを実現したＦＢＧひずみセンサを提供することを目的とする。
【解決手段】ＦＢＧひずみセンサ１は、ＦＢＧ３が形成された光ファイバ２と、光ファイバ２を被測定部Ｗに固定するための温度補償部材１１とを備えている。光ファイバ２と温度補償部材１１とは、これらが当接する全面において接着剤１２によって固定されている。一方、温度補償部材１１と被測定部Ｗとは、温度補償部材１１の両端部において接着剤１３によって固定されている。温度補償部材１１は、光ファイバ２の熱膨張係数に対して正負が逆となる値の熱膨張係数を有する材料から形成されており、ひずみ量の測定時において、雰囲気温度に応じたＦＢＧ３の熱膨張と光ファイバ２の屈折率変化との影響による反射光Ｌ２の波長のシフト量を相殺可能となっている。 （もっと読む）

【課題】光弾性を有する板状体の欠陥を良好に検出可能な欠陥検出装置を提供することができる。
【解決手段】欠陥検出装置は、光弾性を有する板状体Ｐに光を透過させることにより、該板状体Ｐの欠陥を検出する。欠陥検出装置は、板状体Ｐより前に光が透過する直線偏光子２と、板状体Ｐより後に光が透過する１／４波長板３ａと、１／４波長板３ａより後に光が入射し、透過軸が１／４波長板３ａの遅相軸に対して４５度傾いている直線偏光子３ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】 電磁ノイズ等の外乱要因の影響を低減。電磁ノイズ等の外乱要因が大きく影響する作業環境下でも、誤動作なく溶接トーチを揺動駆動する。
【解決手段】 偏芯カム６を間にして相対向し該偏芯カムの周面に摺接する第１および第２のばね板２ａ，３ａ；各ばね板に固定されて各ばね板の偏芯カム回転対応の屈伸による張力に対応した波長の光を反射する第１および第２のＦＢＧ光ファイバ４ａ，５ａ；第１のＦＢＧ光ファイバ４ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ４ａからの反射光を出力する第１の光カプラ８；および、第２のＦＢＧ光ファイバ５ａにレーザ光を送出し該ＦＢＧ光ファイバ５ａからの反射光を出力する第２の光カプラ９）；を備える。さらに、第１および第２の光カプラ８，９が出力する光相当の偏芯回転電気信号を発生する電気回路手段１１〜１３；を備える。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の歪曲を適切に補償した検査領域の設定方法を提供する。
【解決手段】ステージに測定対象物を配置し、測定対象物に対する第１特徴オブジェクトを含む基準データを呼び出しＳ１２０、測定対象物に対する測定データを獲得しＳ１３０、測定データのうち、第１特徴オブジェクトと対応する第２特徴オブジェクトを抽出し、第１特徴オブジェクトの平面的形状と前記抽出された第２特徴オブジェクトの平面的形状とを比較して幾何学的変形を確認しＳ１４０、Ｓ１５０、幾何学的変形を定量化して前記測定対象物の垂直方向の変化量を算出しＳ１６０、変化量に基づいて検査領域を設定するＳ１７０。 （もっと読む）

【課題】平板状に形成される検査対象の反り方向を簡易な構成にて検査し得る反り検査装置および反り検査方法を提供を提供する。
【解決手段】アクチュエータ１２により平面部１１ａ上に載置された平板状のセラミック基板２０の外縁部２２が押圧されて、フォトセンサ１３により上記押圧力の解除後におけるセラミック基板２０の回転が検知される場合に、当該セラミック基板２０の反り方向が、外縁部２２に対して中央部２１が平面部１１ａ側に凸となる反り方向（下側に凸となる反り方向）であることが検知される。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】
光検査装置において、検出する光が微弱な場合に問題となる量子ノイズの影響を抑制する。
【解決手段】
光検査装置を、試料に光を照射する光照射手段と、参照光を発射する参照光手段と、光照射手段により光が照射された試料からの透過光または散乱光または反射光と、参照光手段から発射された参照光とを干渉させて干渉光を生成する光干渉手段と、光干渉手段により生成した干渉光を検出する光検出手段と、光検出手段により干渉光を検出して得られた検出信号に基づいて欠陥の有無を識別する欠陥識別手段と、試料からの透過光または散乱光または反射光の状態または参照光手段から発射された参照光の状態または光干渉手段により生成した干渉光の状態のうち少なくとも一つを変換する光変換手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】 シャフトの変形を測定するための装置及び方法を提供する。
【解決手段】 デバイスによってシャフト２の変形を測定するための方法が、変形が加えられる前に、シャフト２に付加されたパターン３を照明するステップと、パターン３によって反射された放射線を検出することによって第１基準位置を検出するステップとから成り、変形が加えられた後に、パターン３を照明するステップと、パターン３によって反射された放射線を検出することによって第２基準位置を検出するステップとから成る。これにより、第１基準位置と第２基準位置との間の距離に基づいて、シャフトの円周方向の変形及び／又はトルクが求められる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、試料を加熱しつつ正確に計測することが可能な計測装置を提供する。
【解決手段】計測装置は、試料Ａを保持する位置または試料Ａに対向する位置に配置され、透明基板１２１と透明基板１２１の表面に設けられた透明導電膜１２２を有する透明部材１２と、試料Ａを撮影する光検出部２２と、透明部材１２の透明導電膜１２２に印加する電圧を制御することにより、透明部材１２の温度を制御する熱制御部４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、分解能を維持しつつ測定範囲をより広げ得るひずみ測定装置およびひずみ測定方法を提供する。
【解決手段】本発明では、複数のマークＭを備える試験体ＳＭに外力を作用させる前後における試験体ＳＭの画像が、外力作用前画像および外力作用後画像として第１カメラ装置１１によって得られ、追跡マークＭｃとされる、前記複数のマークＭのうちの１つのマークＭの位置および所定の基準位置の間の基準距離と、前記外力作用前画像における追跡マークＭｃの位置と、前記外力作用後画像における追跡マークＭｃの位置とに基づいて、試験体ＳＭの伸縮率が求められる。ここで、追跡マークＭｃが外力作用後画像での所定の端部領域内に位置する場合には、複数のマークＭのうちの前記追跡マークＭｃと異なって前記端部領域外に位置するマークＭを新たな追跡マークＭｃとするものである。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の表面に発生するひずみを、直接測定すること無く離れた位置から簡易に、かつ、高精度に計測可能なひずみ計測方法及びひずみ計測システムを提供する。
【解決手段】ひずみ計測システム１は、測定対象物２の表面の計測対象領域Ｓを正面から撮像する第１撮像装置３と、測定対象物２の側面を撮像する第２撮像装置５と、第１撮像装置３及び第２撮像装置５により撮像された画像に基づいて測定対象物２に発生するひずみを算出する計測装置１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】
被測定用光ファイバのみを用いてブリルアン散乱を測定可能なブリルアン散乱測定装置を提供すること。
【解決手段】
プローブ光ａ_０とポンプ光ｂ_０とを生成する測定用光生成手段と、該測定用光生成手段で生成されたプローブ光とポンプ光とを、偏波面が異なる状態で合成する偏波合成手段４０と、該偏波合成手段からの合成光が一端に入射される被測定用光ファイバ４１と、該被測定用光ファイバの他端側に配置され、合成光の偏波面を回転すると共に、合成光中のプローブ光のみを反射させて該被測定用光ファイバの他端に再入射させる回転反射手段４２と、該被測定用光ファイバの一端側に配置され、該回転反射手段により反射したプローブ光ａ_３を検出するプローブ光検出手段とを有することを特徴とするブリルアン散乱測定装置である。 （もっと読む）

【課題】テーブルの位置決めに有利なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース部と、ＸＹ平面に沿って移動可能なテーブルと、Ｙ軸方向に沿った前記第１の端面の位置を計測する第１のＹ軸干渉計２２２と、前記Ｙ軸方向に沿った第２の計測光路を有する第２の端面の位置を計測する第２のＹ軸干渉計２２４と、前記第１のＹ軸干渉計及び前記第２のＹ軸干渉計から前記ＸＹＺ座標系のＸ軸方向に離間して、且つ、前記Ｙ軸方向に沿った第３の計測光路を有する第３のＹ軸干渉計２２８と、前記第１のＹ軸干渉計の計測値、前記第２のＹ軸干渉計の計測値及び前記第３のＹ軸干渉計の計測値に基づいて前記テーブルの変形量を求め、前記変形量に基づいて目標位置を補正した補正目標位置を求め、前記第１のＹ軸干渉計の計測値と前記第２のＹ軸干渉計の計測値から求まる前記テーブルの位置が前記補正目標位置に位置するように前記テーブルを位置決めする制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内周面にひずみ検出部を簡単に接着してこの管状部材のひずみを容易に測定することができるひずみ測定装置とその製造方法及び載荷試験装置を提供する。
【解決手段】ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌは、模型鏡ボルトＢの各検出位置Ｐ_A〜Ｐ_Lに発生するひずみを検出する光ファイバ式のひずみゲージである。挿入部材１０は、模型鏡ボルトＢの内周面にひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着するために、このひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを接着剤層１１によって外周面に保持した状態で、この模型鏡ボルトＢに挿入される。挿入部材１０は、ひずみ検出部５Ａ〜５Ｌを模型鏡ボルトＢ内に案内し検出位置Ｐ_G〜Ｐ_Lに位置決めするための治具として機能する。接着剤層１１は、挿入部材１０の外周面に装着された多孔質材に流動性接着剤を含浸させて形成されている。 （もっと読む）

【課題】施工ブロック毎に分割して構築されるコンクリート構造物のひずみを効率の良い作業で精度良く計測する。
【解決手段】施工ブロック毎に順次コンクリートを打設して構造物を構築するものとし、一つの施工ブロックのコンクリートを打設した後、隣接する施工ブロックのコンクリートを打設するための型枠内には、先の施工ブロックに埋設された可撓管に接合して連続する可撓管を配置する。複数の施工ブロックのコンクリートの打設が終了すると可撓管１６内に光ファイバケーブル１８を挿入するとともにグラウト１７を注入し、光ファイバケーブルとコンクリート１ａとを一体化する。その後、光ファイバケーブルの一端にひずみ測定器を接続し、光パルスを入射して後方散乱光を検知する。後方散乱光の周波数の変化及び後方散乱光を検知した時間から橋桁の各位置に生じたひずみの大きさを計測する。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査方法に関わり、より詳細には形状測定装置の測定対象物に対する検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査する検査装備において検査領域を設定するために、基板上に複数の測定領域を設定し、測定領域のうち測定対象物を検査するためのターゲット測定領域と隣接する少なくとも一つ以上の隣接測定領域の基準データ及び測定データを獲得した後、隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出する。特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して、歪曲量を獲得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、基準データと測定データとの間の変換関係をより正確に獲得することができ、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる。 （もっと読む）

【課題】部品のターミナルを短絡させるブリッジを検出することのできるブリッジ接続不良検出方法を提供する。
【解決手段】部品のターミナルの間を短絡させるブリッジ（bridge）を検出するためのブリッジ接続不良検出方法は部品が実装された基板に照射され反射された複数の光を通じて２Ｄイメージ及び高さ基準情報を獲得する段階と、２Ｄイメージ及び高さ基準情報のうち少なくとも一つ以上を用いて部品の回転情報を獲得する段階と、回転情報を用いて部品のブリッジ接続不良を検出するための検査領域を設定する段階と、２Ｄイメージを用いて検査領域内の第１ブリッジ領域を抽出する段階と、高さ基準情報を用いて検査領域内の第２ブリッジ領域を抽出する段階と、第１及び第２ブリッジ領域のうち少なくとも一つ以上を用いて部品のブリッジ接続不良可否を判断する段階と、を含む。 （もっと読む）

【課題】免震装置が設置されている場所のスペースが制約になることを抑え、高精度に検査する。
【解決手段】上部構造体に固定された上端板１１、および下部構造体に固定された下端板１２にはそれぞれ、水平方向に延びる水平部２０、および鉛直方向に延びる鉛直部２１を備える印体２２、２３が、これらの水平部および鉛直部が径方向の外側を向くように配設され、上端板および下端板に各別に配設されて上下で対をなす印体を一体に撮像し、得られた撮像データ３０上における印体の水平部および鉛直部を特定することで二次元直交座標系を決定し、該撮像データ上で印体が占める画素数に対する当該印体の実寸法の比率と、該撮像データ上における上下一対の印体同士の間の水平方向および鉛直方向それぞれの画素数と、に基づいて、これら上下一対の印体同士の水平方向および鉛直方向それぞれの距離を計測することにより、弾性体１３の変形を検査する。 （もっと読む）

【課題】架空設備用支持物の負荷応力を簡便な手順で精度良く推定する方法を提供する。
【解決手段】架空設備用の支持物に対して、支持物を中心とする方位角で５０°以上離され、かつ支持物との距離が支持物の高さの０．２倍以上６０倍以下の範囲内である少なくとも２箇所の測定点から、測距方式の三次元形状測定装置を用いて支持物の表面形状を測定する工程と、測定した支持物の形状情報から、支持物の高さ方向に沿って支持物の水平方向断面の中心位置を結ぶ計測中心線と、支持物の地際位置における中心を通って鉛直方向に延びる基準中心線とを算出する工程と、計測中心線と、基準中心線とを比較することにより、支持物の各高さ位置における水平方向の変位値を算出する工程と、変位値を用いて、支持物と同等品の実測データに基づく検量線を参照することにより、測定対象の支持物の負荷応力を推定する工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ブラッグ波長の推定誤差を低減し、且つＲ値−波長特性を容易に校正することを目的とする。
【解決手段】FBGセンサ部１を含む光ファイバ２と、広帯域光源３と、光サーキュレータ４と、光学フィルタ５と、第一の光電変換器６と、第二の光電変換器７と、第一の出力電圧（ＶＴ）及び第二の出力電圧（ＶＲ）により無次元量のＲ値を算出する処理部９と、予め取得したＲ値と−ブラッグ波長特性を用いてFBGセンサのブラッグ波長を推定する波長推定部１０とを備え、
処理部は、光学フィルタ５の波長における透過率（ＰＴｘ）と、第一の光電変換器６の波長において正規化された第一の光電変換特性（ＬＥＴ）との積、及び光学フィルタ５の波長における反射率（ＰＲｘ）と、第二の光電変換器７の波長において正規化された第二の光電変換特性（ＬＥＲ）との積を用いてＲ値−ブラッグ波長特性を求めるように構成される。 （もっと読む）