【課題】簡単な構成で容易に撮像面の傾斜状態を検出可能な傾斜検出方法を提供する。
【解決手段】２つの撮像装置のそれぞれについて、撮像装置の傾斜状態を検出する傾斜検出工程と、撮像装置の傾斜を調整する傾斜調整工程と、撮像装置の位置を検出する位置検出工程と、撮像装置の位置を調整する位置調整工程と、を有し、傾斜検出工程は、均等間隔で設けられたパターンを、撮像装置の焦点位置を順次変化させて撮像し、撮像画像におけるパターン位置を検出してパターン領域を設定し、パターン領域における各画素の輝度値を検出し、検査方向に沿って画素間の輝度変化量を算出し、各パターン領域における輝度変化量の積算値を算出し、積算値が最大となる撮像画像に対応した焦点一致位置を検出し、焦点一致位置に基づいて、撮像装置の傾斜状態を検出することを特徴とする調整方法。 （もっと読む）

【課題】特定のランドマークを設置しないでも、精度良く撮像装置の姿勢パラメータを取得可能な姿勢キャリブレーションを実現する。
【解決手段】撮像部により撮像された画像に含まれる物体を検出し、検出された少なくとも２つの物体について、それぞれ撮像された画像における正立状態からの回転角度を算出し、算出された前記少なくとも２つの物体の回転角度から撮像装置の設置角度に関する姿勢パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】撮像装置のキャブリレーションに用いる校正基準点を、小規模な装置環境で高精度に取得する。
【解決手段】校正対象の撮像装置２０に対してレーザ光のような広がりのない光を照射する発光装置１０、撮像装置１０の向きを調節する角度調節装置３０、該角度調節装置３０に角度指令を与える角度制御装置４０、撮像装置２０より得られる撮像画像から集光点位置を検出し、校正基準点を算出する画像処理装置５０を有する。 （もっと読む）

【課題】高精度なワークの位置決めを必要とせず、大まかに位置決めされたワークの位置・姿勢を精度良く検出することが可能なワーク姿勢検出装置、ワーク処理実行装置及びワーク姿勢検出方法を提供すること。
【解決手段】第１のビジョンカメラ７が作業姿勢のキャブ２の第１基準孔１７を二次元検出位置から撮像し、撮像された画像を解析して第１基準孔１７の位置を求めることによって、基準位置に対する作業姿勢のキャブ２の概略変位が暫定的に演算される。概略変位が演算されたとき、塗装ガン４ｃ及びシーリングガン５ｃ，６ｃが制御されて、第１の補正位置及び第２の補正位置に塗装ガン４ｃ及びシーリングガン５ｃ，６ｃが設定され、第１のビジョンカメラ７の第１の画角よりも狭い第２〜第４の画角に設定された第２〜第４のビジョンカメラ８，９，１０が、作業姿勢のキャブ２の第１〜第３基準孔１７，１８，１９を撮像する。 （もっと読む）

【課題】 ステレオカメラの経時的な位置ずれを補正し校正できる装置や方法を提供する。
【解決手段】 この校正装置は、移動体に搭載され、カメラ位置に関するパラメータを校正する装置であり、２地点において一方のカメラで撮影した２つの基準画像と、他方のカメラで撮影した２つの対応画像と２つの基準画像とを用い、各地点につき基準画像と対応画像の中の共通する複数の特徴点の位置から算出された複数の視差データとの入力を受け付ける画像取得部３００と、２つの基準画像の中の共通する複数の特徴点を探索する特徴点探索部３１０と、探索された各特徴点につき、２つの基準画像の各特徴点における視差データから、視差とその視差に対応する視差変化量とをそれぞれ算出する視差計算部３２０と、算出された複数の視差および視差変化量から、カメラ位置に関するパラメータの補正値を算出する補正値計算部３３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】１回の撮影で視野全体の３次元形状について、その特徴を漏れなく計測することができる３次元計測装置及び３次元計測方法を提供する。
【解決手段】 複数方向の複数の直線及び／又は曲線状のレーザラインにより構成されるレーザパタンをレーザ投影手段から計測対象物に投影し、該レーザパタンが投影された計測対象物を異なる方向から撮影して第１の画像及び第２の画像を取得し、この第１の画像及び前記第２の画像からレーザラインを抽出し、第１の画像のレーザライン点に対応する第２の画像のレーザライン点の対応点候補の３次元座標を夫々求め、該３次元座標を前記レーザ投影手段に設定される投影手段座標系に変換して前記レーザパタンが構成されているレーザパタン平面に射影した夫々の射影点が前記レーザパタン上にあるか否かを判定することにより、対応点を求める。 （もっと読む）

【課題】被写体が撮像された画像情報からの被写体の切り抜き処理において、ユーザの熟練度によらず、より高精度な切り抜き処理を可能とする。
【解決手段】被写体画像を撮像により生成する画像カメラ１５と、被写体と背景とが含まれる視覚的範囲を画像とした場合の各部に表示されている対象物までの距離を測定し、前記視覚的範囲の画像上の座標と距離とが関連付けられた距離情報を生成する距離カメラ１６と、距離情報の座標を被写体画像上の座標に変換して変換済み距離情報を生成する座標変換部１０１と、変換済み距離情報に含まれる変換後の座標のうち、関連付けられている距離が所定の条件を満たす座標を抽出し、被写体画像のうち、抽出された座標によって特定される領域と他の領域とを分離して出力する画像切り抜き部１０２とを含む。 （もっと読む）

【課題】 メモリ容量が問題とならない位置ずれ量の検出を行い、位置ずれ量に基づき基板の位置を補正し基板の外観検査を行う。
【解決手段】 参照テーブル４２４に基づいて、推定基準点位置設定部４１３により推定基準点位置および仮基準点位置設定部４１５により仮基準点位置が設定される。距離指標値算出部４１４が推定基準点位置と仮基準点位置との距離の標準偏差を求め、該標準偏差が最小となるときの回転角および仮基準点位置と基準点位置との位置差分値を位置ずれ量４２５として取得する。該位置ずれ量４２５に基づき被検査基板６の位置合わせを行うことで、メモリの使用容量を増やすことなく、確実に位置合わせを行うことができるとともに、外観検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】２つの表面領域を同期測定できるクロマティックポイントセンサ装置（ＣＰＳ装置）の動作方法を提供すること。
【解決手段】２光束アッセンブリが取り付けられた１光束ＣＰＳ光学ペンを用いたセンサ装置の第１測定光束および第２測定光束を、それぞれ第１表面領域および第２表面領域に位置合わせする。２つの反射光が２光束ＣＰＳの共焦点開口部を通過する。第１測定光束および第２測定光束にそれぞれ起因する第１測定および第２測定を含んだ少なくとも１の測定セットを実行する。様々な位置での測定セットの実行のため、少なくとも第１表面領域を移動させる。各測定結果は、極めて良好な分解能（例えば、少なくとも１０ｎｍの分解能）で決定される。本センサ装置と動作方法は、干渉計または他の高額で複雑な構成要素を使わないで、高い分解能と精度を必要とする測定に適用できる。 （もっと読む）

【課題】別途光源を用意することなく、被検レンズの光軸をレーザ光の進行方向に一致させる傾き調整が可能なレンズの透過波面測定装置を提供する。
【解決手段】透過波面測定装置が、入射部から光を取り入れて出射部から出射させ、入射部を被検レンズの第１レンズ面近傍に出射部を被検レンズの第２レンズ面近傍に夫々配置可能であり、入射部から観察光を出射部に導いて被検レンズのフランジ部の第２レンズ面側に形成された平面部に照射させる傾斜検出用光路形成部と、被検レンズの平面部で反射された観察光による被検レンズの傾きを判別するための点像を観察するための傾斜検出用カメラとを有し、傾斜検出用光路形成部は、被検レンズから離れて観察光を被検レンズの第１レンズ面に入射させる第１の位置と、被検レンズの第１レンズ面側及び第２レンズ面側に入射部及び出射部が夫々位置して観察光を平面部に照射させる第２の位置との間で移動可能である。 （もっと読む）

【課題】影が落ちる領域に相当する画像領域から抽出される擬似的な画像特徴の影響を軽減し、フィッティング／マッチングの安定性・精度を向上する。
【解決手段】対象物体の２次元画像を取得する画像取得部と、対象物体の距離画像を取得する距離画像取得部と、距離画像の計測不能領域を対象物体に照射される照明が遮蔽される被遮蔽領域として抽出する抽出部と、対象物体の位置姿勢の概略値に基づいて３次元モデルを２次元画像上に投影する投影部と、投影された線分を構成する点とエッジを構成する点とを組として対応付ける対応付け部と、エッジを構成する点が被遮蔽領域内に存在するか否かを判定する判定部と、存在する場合の組が位置姿勢計測に用いられる重み係数を、存在しない場合の重み係数よりも小さく設定する設定部と、対応付けられた線分を構成する点とエッジを構成する点との距離に重み係数を乗じた値の総和が最小となる位置姿勢を計測する計測部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物体が存在しない状態でも、光源部における発光強度に対応する強度の光をデフォルト光として受光部に入射させることができ、かかるデフォルト光の受光結果に基づいて、光源部での駆動電流と受光部での受光強度との関係を適正に初期設定することができる光学式位置検出装置、および位置検出機能付き機器を提供すること。
【解決手段】光学式位置検出装置１０では、光源部１２を点灯させた際の受光部３０での受光結果に基づいて対象物体Ｏｂの位置を検出する。光学ユニット１１のハウジング１６の前側ハウジング部分１６３、１６４には、対象物体Ｏｂが存在しない状態でも、受光部３０にデフォルト光ＤＬを入射させるデフォルト光生成用反射部１６６、１６７が構成されている。従って、デフォルト光ＤＬの受光結果に基づいて、光源部１２での駆動電流と受光部３０での受光強度との関係を適正に初期設定することができる。 （もっと読む）

【課題】ウェハを搬送する際に生じる振動に起因して測定データに現れるオフセット成分のバラツキを除去する。
【解決手段】Ｙ方向に光切断線を照射して平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０を求める。Ｘ方向に光切断線を照射して直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎを求める。平行断面形状データＺｆ＿Ｘ０と直交断面形状データとの交差位置の高さデータが等しくなるようにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を求める。直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０，Ｚｇ＿Ｙ１，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎにオフセット値ｏ（Ｙ０），ｏ（Ｙ１），・・・，ｏ（Ｙｎ）を加算し、補正直交断面形状データＺｇ＿Ｙ０´，Ｚｇ＿Ｙ１´，・・・，Ｚｇ＿Ｙｎ´を求める。 （もっと読む）

【課題】複数レイヤ試料の２つのレイヤ間のオーバレイ誤差を決定する方法を提供する。
【解決手段】試料の第１レイヤから形成される第１構造および第２レイヤから形成される第２構造をそれぞれ有する複数の周期的ターゲットについて、光学システムを用い、周期的ターゲットのそれぞれについて光学信号が計測される。第１および第２構造の間には既定義されたオフセットが存在する。散乱計測オーバレイ技術を用いて既定義されたオフセットに基づいて周期的ターゲットからの前記計測された光学信号を分析することによって第１および第２構造間のオーバレイ誤差が決定される。本光学システムは、反射計、偏光計、画像化、干渉計、および／または走査角システムのうちの任意の１つ以上を備える。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば、試料に熱ダメージを与えることなく、短時間で高精度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
試料の表面におけるある一方向について照明強度分布が実質的に均一な照明光を、前記試料の表面に照射し、前記試料の表面からの散乱光のうち互いに異なる複数の方向に出射する複数の散乱光成分を検出して対応する複数の散乱光検出信号を得、前記複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の存在を判定し、前記処理により欠陥と判定された箇所各々について対応する複数の散乱光検出信号のうち少なくとも一つを処理して欠陥の寸法を判定し、前記欠陥と判定された箇所各々について前記試料表面上における位置及び欠陥寸法を表示する欠陥検査方法を提案する。 （もっと読む）

【課題】
計測対象物体の位置及び姿勢に関する複数の計測手法の中からいずれかを選択して実施する。
【解決手段】
位置姿勢計測装置は、撮像装置により撮像された計測対象物体の二次元画像を入力し、距離センサにより計測された計測対象物体の距離データを取得し、二次元画像から計測対象物体の画像特徴を検出し、計測対象物体の状態を判定し、当該判定した状態に基づいて、画像特徴と距離データとを用いて計測を行なう第１のモードと、画像特徴と距離データとのうち一方のみを用いて計測を行なう第２のモードとを含むモードの中からいずれかのモードを設定し、当該設定したモードに従って計測対象物体の位置及び姿勢の計測を行なう。 （もっと読む）

【課題】 安定的に検査領域を特定することが可能な画像処理装置及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】 濃淡画像を取得する濃淡画像取得手段１１０と、距離画像を生成する距離画像生成手段１３０と、濃淡画像と距離画像の一方の画像において、他方の画像上で検査範囲に相当する検査領域を特定するための特定パターンを検出する特定パターン検出手段１５０と、濃淡画像と距離画像の他方の画像において、特定パターン検出手段により検出された特定パターンの位置及び傾斜角度の少なくとも一方に基づいて、検査領域を特定する検査領域特定手段１７０と、特定された検査領域から特徴量を算出する特徴量算出手段１８０と、算出された特徴量に基づいて、ワークの良否を判定する判定手段１９０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】可動基板上に改良された発光蛍光体構造を有する蛍光体点光源を提供する
【解決手段】蛍光体点光源素子は、基板と、基板上に配置された発光蛍光体粒子を備えることで、動作トラック領域の平坦な動作表面の近くに密集状態の粒子配置を有する円形の動作トラックを提供する。動作トラック領域は、高輝度点光源を提供する点において照射されながら回転される。密集状態の粒子配置は、キャビティ内の蛍光体粒子を回転させてキャビティ周辺の基板上で蛍光体を圧縮することにより、または他の機械的な圧縮方法により達成され得る。密集状態の粒子配置を、キャビティを囲む形成要素に当てて圧縮するか、機械加工することにより、平坦な動作表面を提供することができる。蛍光体粒子に浸透した接着結合剤を硬化させることで、密集状態の粒子配置を固定することができる。 （もっと読む）

【課題】ライン光照明系の歪みが高精度に校正するための３次元形状測定機の校正方法、及び、この校正方法により校正された３次元形状測定機を提供する。
【解決手段】被検物１７にライン光を投影する照明部であるライン光投影装置１６と、被検物１７上に投影されたライン光の像を取得する撮像部である測定カメラ１１と、を有し、前記像から被検物１７の３次元座標を算出する３次元形状測定機１において、３次元座標に含まれるライン光投影装置１６の歪みを校正する３次元形状測定機１の校正方法であって、ライン光投影装置１６の光軸に対して略垂直に拡散面２１ａを配置するステップと、ライン光投影装置１６部により拡散面２１ａにライン光を照射して測定カメラ１１でライン光の像を取得するステップと、取得した像から３次元座標を校正する補正データを算出するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】位置決め装置を初期化する際に、短時間で移動体の絶対位置測定が可能であり、なおかつ長時間に渡り安定した移動体の移動量測定が可能な光干渉測長装置を提供する。
【解決手段】移動体であるスライダ１０の移動量を測定する光干渉測長装置は、光を測定光と参照光に分離し、測定光を、スライダ１０に設置された測定ミラー９によって反射させ、参照光を参照ミラー８によって反射させる。測定ミラー９による測定光路の屈折率を、チャンバー２の内部の気圧を増減させることによって変化させ、屈折率の変化による干渉計の測長値の変化から、スライダ１０の絶対位置を測定する。 （もっと読む）