【課題】試料の表面形状を正確に測定して高い精度で描画することのできる荷電粒子ビーム描画装置を提供する。
【解決手段】高さ測定部４０において、光源４１から照射される光Ｌｉをマスク２上で投光レンズ４２によって収束させた後、マスク２上で反射した光Ｌｒを受光レンズ４３を介して受光素子４４に入射させる。受光素子４４で光の位置が検出されると、信号処理部６０を経て、高さデータ処理部７０で高さデータＨｒが作成される。光Ｌｒの光量が閾値以上であれば、高さデータＨｒを偏向制御部３０へ送る。一方、光Ｌｒの光量が閾値より小さい場合には、描画前に取得した高さデータマップＨｍから、対応する座標の高さデータを偏向制御部３０へ送る。偏向制御部３０は、高さデータ処理部７０から送られた高さデータに基づいて、電子ビーム光学系１０の調整を行う。 （もっと読む）

【課題】対象物に接触または近接させた複数の測定用端子の位置を撮影画像に基づいて取得する技術において、一部の測定用端子の位置を取得できなかった場合に、再度の撮影を行うことなくその位置を取得する。
【解決手段】プローブソケット１１，１２は、被験者の頭部２５に複数が装着される。プローブソケットを被験者に装着した状態を複数の方向から撮影し、その撮影画像からプローブソケットの位置を検出する。この際、ある特定の撮影画像からの検出が上手くゆかず、一部のプローブソケット位置が特定できない場合、他の撮影画像の中に写っている当該プローブソケットの撮影画像を利用して再検出を行う。これにより、検出ミスがあっても再度の撮影を行わずに済む。 （もっと読む）

【課題】タイヤのトレッド面の断面形状とトレッド溝の深さを非接触で高速で測定する装置
【解決手段】この発明は、タイヤのトレッド面の断面形状を測定して、測定結果からトレッド溝の深さを計測する装置であり、タイヤのトレッド面近くに幅方向に並置するガイド機構と、トレッド面を単一光で照射する光源装置と、単一光の反射輝点を撮影するデジタルカメラと、光源装置並びにデジタルカメラをガイド機構に沿って移動させながら反射輝点を撮影する制御装置と撮影された画像データからトレッド面断面形状とトレッド溝の深さを測定する手段を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】サブミリ波ビームの電磁気的強度分布を、光学系構成要素のセットアップに伴う誤差による影響を受けずに、且つ非接触で測定するためのシステム及び方法を提供する。
【解決手段】サブミリ波ビーム受信部に３以上のコリメート光反射体を配置し、コリメータから送信され当該反射体により反射されたコリメート光の受光位置に基づいて、送信系と受信光学系との間のミスアラインメントを決定する。受信光学系にて受信されたサブミリ波ビームの電磁気的強度分布を、ミスアラインメントを用いて補正することにより、ミスアラインメントの影響が排された強度分布を決定する。 （もっと読む）

【課題】エンコーダで位置を測定しつつ、移動体を所望の方向へ精度良く駆動する。
【解決手段】 駆動装置により、ウエハテーブルＷＴＢのＹ軸方向の位置情報を計測するエンコーダ６４の計測値とその計測時に干渉計１６，４３Ａ及び４３Ｂによって計測されるウエハテーブルＷＴＢの非計測方向（例えば、Ｚ、θｚ及びθｘ方向）の位置情報に応じた既知の補正情報とに基づいて、ウエハテーブルがＹ軸方向に駆動される。すなわち、非計測方向へのヘッドとスケールの相対変位に起因するエンコーダの計測誤差を補正する補正情報により補正されたエンコーダの計測値に基づいて移動体がＹ軸方向に駆動される。従って、ヘッドとスケールの間の計測したい方向（計測方向）以外の相対運動に影響を受けることなく、エンコーダで位置を計測しつつ、ウエハテーブル（移動体）を所望の方向へ精度良く駆動することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、マーカとマーカの観測物が正対する付近でも、マーカを観測物により正確に計測することができるマーカを提供することである。
【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係るマーカは、模様と、模様の上に付けられたレンズであって、レンズを観測する方向に応じてレンズ上に観測される濃淡パターンが変化するレンズとを含むマーカユニットを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精度良くセンサ座標系を世界座標系に変換する。
【解決手段】基準プレート５０を世界座標系でキャリブレーションされた３次元絶対座標計測器６０で計測して、世界座標系における基準プレート５０の基準点の３次元座標、法線ベクトル、及びエッジベクトルを演算する。また、３次元座標計測ロボット１０の３次元センサ部８を指令値に応じた位置に移動させ、基準プレート５０にスリット光を投射して撮像し、撮像した画像からセンサ座標系における基準プレート５０の基準点の３次元座標、法線ベクトル、及びエッジベクトルを演算する。世界座標系及びセンサ座標系の各々における基準点の３次元座標、法線ベクトル、及びエッジベクトルを用いて、センサ座標系を世界座標系に変換する変換パラメータを、指令値毎に算出する。 （もっと読む）

【課題】 複数の撮像装置をそれぞれ処理装置に接続した状態で、第１の撮像装置の位置姿勢情報計測値を第２の撮像装置の位置姿勢に変換するための較正情報をより簡便に取得することを目的とする。
【解決手段】 マスタ演算処理装置３００は、ビデオカメラ１２０が撮影したランドマークを含む撮影画像を入力し、ビデオカメラ１２０の位置姿勢を算出し、スレーブ演算処理装置１３００に送信する。スレーブ演算処理装置１３００は、ビデオカメラ１１２０で撮像された画像上のランドマークの識別番号及び画像座標を取得し、（画像座標−世界座標−マスタ撮像装置位置姿勢）の組としてデータリストを生成する。生成したデータリストより較正情報算出部１３４０は、画像座標の理論値と実際の観測値との誤差が最小となるようにビデオカメラ１２０からビデオカメラ１１２０への位置姿勢の較正情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】簡易的な構成で画像プローブの校正を高精度に行いながら画像プローブによる被測定物の対象拡大と画像プローブの使い勝手の向上が可能となる。
【解決手段】撮像方向（光軸Ｄの方向）を垂直方向に保持し画像プローブデータを取得する工程（ステップＳ２）と、撮像方向を所望角度に傾斜させ傾斜角度データを取得する工程（ステップＳ８）と、プローブ交換工程（ステップＳ１０）と、撮像方向を垂直方向に保持した際の初期角度でタッチプローブ１１８を保持しタッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ１２）及び位置関係データを取得する工程（ステップＳ１６）と、傾斜角度データでタッチプローブ１１８を傾斜させ傾斜タッチプローブデータを取得する工程（ステップＳ２０）と、画像プローブデータ等に基づいて、所望角度への傾斜後の画像プローブ１１６の焦点位置及び光軸Ｄ周りの回転角を校正する工程（ステップＳ２２）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】測定効率の向上を図れると共に、作業員の負担の軽減を図る上で有利なテールクリアランス測定装置を提供する。
【解決手段】テールクリアランス測定装置３０は、カメラ部３２と、コンピュータ３４とを含んで構成されている。カメラ部３２は、テール部１４の内周面１４０２および該内周面１４０２に対向するセグメント２０の外周面２００２を撮影して画像データを生成するものである。カメラ部３２は、テール部１４の内周面１４０２およびセグメント２０の外周面２００２の周方向に９０度の間隔をおいた４個所を撮影するように４個設けられている。コンピュータ３４は、ケーブルを介してカメラ部３２から供給される画像データに基づいてテール部１４のスキンプレート１４Ａの内周面１４０２とセグメント２０の外壁面２００２とのテールクリアランスを導出する。 （もっと読む）

【課題】
従来技術によれば，試料に熱ダメージを与えることなく，短時間で高感度に欠陥検出・寸法算出することが困難であった。
【解決手段】
被検査対象物である試料の表面の領域を所定の照明条件にて照明する照明工程と、該試料を並進および回転させる試料走査工程と、該試料の照明領域から複数の方向に散乱する複数の散乱光のそれぞれを、前記試料走査工程における走査方向および該走査方向と概略直交する方向の各々について複数画素に分割して検出する散乱光検出工程と、前記散乱光検出工程において検出された複数の散乱光のそれぞれについて、該試料の概略同一領域から概略同一方向に散乱した散乱光を加算処理し、該加算処理した散乱光に基づき欠陥の有無を判定し、該判定された欠陥に対応する複数の散乱光のうち少なくとも一の散乱光を用いて該判定された欠陥の寸法を算出する処理工程と、を備える欠陥検査方法である。 （もっと読む）

【解決手段】画像収集モジュール１が一個の画像取得位置に位置する時、複数個の光入力側１１０はそれぞれ載置台２と運び台３に向くように形成され、そして複数個の光出力側１１１はそれぞれ二個の画像取得ユニット１２、１２’に向くように形成されることにより、載置台２と運び台３の場所の光線は同時に複数個の光入力側１１０を経由してそれぞれ二個の光反射プリズム１１２ａ、１１２ｂに入射し、そして二個の光反射プリズム１１２ａ、１１２ｂの光反射面Ｒ１、Ｒ２に反射される光線は複数個の光出力側１１１を通じて上記光伝送経路に沿ってそれぞれ二個の画像取得ユニット１２、１２’まで到達するように構成されている。
【効果】簡単な操作の形態で物体に対して精確なアライメントを行うことにより、アライメントに必要な時間とコストを低く抑えることができ、さらに作業上の便利性を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】ステレオカメラの校正装置および校正方法を提供すること。
【解決手段】ステレオカメラの校正装置３００は、第１カメラ３２０と、第２カメラ３１８と、カメラステー１４０とを含んでおり、コリメータユニット３０２がステレオカメラから距離を隔てて配置されたテストチャート３０６が無限遠位置に配置されたと等価な光路を形成させている。視差算出部３６２は、ステレオカメラが撮影した左右画像からテストチャート３０６とステレオカメラとの間の異なる光学的距離に相当する視差データを計算し、パラメータ算出部３６４が、視差算出部３６２が計算した視差データおよびテストチャートまでの実距離データを使用してステレオカメラの測距パラメータである視差オフセットｂおよび距離換算パラメータａを算出している。 （もっと読む）

【課題】テーブルの位置決めに有利なステージ装置を提供する。
【解決手段】ベース部と、ＸＹ平面に沿って移動可能なテーブルと、Ｙ軸方向に沿った前記第１の端面の位置を計測する第１のＹ軸干渉計２２２と、前記Ｙ軸方向に沿った第２の計測光路を有する第２の端面の位置を計測する第２のＹ軸干渉計２２４と、前記第１のＹ軸干渉計及び前記第２のＹ軸干渉計から前記ＸＹＺ座標系のＸ軸方向に離間して、且つ、前記Ｙ軸方向に沿った第３の計測光路を有する第３のＹ軸干渉計２２８と、前記第１のＹ軸干渉計の計測値、前記第２のＹ軸干渉計の計測値及び前記第３のＹ軸干渉計の計測値に基づいて前記テーブルの変形量を求め、前記変形量に基づいて目標位置を補正した補正目標位置を求め、前記第１のＹ軸干渉計の計測値と前記第２のＹ軸干渉計の計測値から求まる前記テーブルの位置が前記補正目標位置に位置するように前記テーブルを位置決めする制御部とを有する。 （もっと読む）

【課題】非接触三次元測定器による測定対象物の表面における光沢が異なる場合においても測定精度を保証することが可能な、標準ゲージ、測定器の測定精度保証方法、標準ゲージの製造方法、及び、測定器の性能評価方法を提供する。
【解決手段】標準ゲージＧ１は、所定の強さで入射光を対象物に照射した場合に、入射光の強さに対する正反射光と拡散反射光との両方の強さの割合を計測した積分反射率ＳＣＩと、入射光の強さに対する拡散反射光の強さのみの割合を計測した拡散反射率ＳＣＥと、がそれぞれ異なる１２枚の平板ａから平板ｊを組合せて構成したものである。 （もっと読む）

【課題】大きな校正儀であっても、その運搬、設置、撤去における負担を軽減し得るカメラ用校正儀およびその使用方法を提供する。
【解決手段】このカメラ用校正儀３０１は、特徴点Ｐ１０１が表面に形成された板状をなす複数の校正儀片１０１、１５１、２０１、２５１と、その複数の校正儀片と着脱可能に且つ板の延在方向への移動を拘束するように連結する複数の連結部材５１とを備えている。そして、このカメラ用校正儀３０１を使用する際には、複数の校正儀片１０１、１５１、２０１、２５１を複数の連結部材５１によって相互に組み立てて市松模様を構成する。その組み合わせパターンや大きさは、空間的な制約や、カメラとの位置関係に応じて適切に変える。 （もっと読む）

【課題】画像認識用のカメラの高さを自動的に検出する。
【解決手段】カメラ位置２２には、前方斜め下に向けた画像認識装置用の撮像カメラ５が設置されており、その上方の光源位置２１には、撮像カメラ５の画面フレーム３１の内部に投影像２６を投影する光源装置４が設置されている。装着型ロボットに搭載された画像認識装置は、画面フレーム３１の下端と投影像２６の下端との距離である投影像オフセットｘ２を画像データで計測し、投影像オフセットｘ２とカメラ高さｙ２を対応させた対応データマップや、あるいは計算によりカメラ高さｙ２を取得する。このようにして得られたカメラ高さｙ２は、パラメータとして記憶装置に記憶され、画像認識装置で段差などの認識するのに使用される。 （もっと読む）

【課題】シェーディングの状態や、その雑音成分が変化しても、リアルタイムにシェーディング補正が可能な表面検査装置のシェーディング補正方法を提供することを目的とする。
【解決手段】予め記憶された前回走査時までの走査検出信号で生成した第１のシェーディング補正信号ｓ８を元にして閾値信号ｓ３、ｓ４を生成し、今回の走査時の走査検出信号ｓ１に含まれる欠陥部に対応する位置の信号値を第１のシェーディング補正信号ｓ８で置換してアルタイムに補正走査信号ｓ６を求め、今回の走査時の走査検出信号を正規化するようにしたことを特徴とする表面検査装置のシェーディング補正方法。 （もっと読む）

【課題】部品装着前の位置合わせに必要な装置誤差のデータを正確に取得して部品を高精度で基板に装着することができる部品実装装置及び部品実装方法を提供することを目的とする。
【解決手段】装着ヘッド１５のツール（部品用ツール２０又は治具用ツール２０Ｊ）の加熱を行うヘッド側加熱ヒータＨ１のほか、治具部品ＪＧが載置される治具部品載置部ＡＲ２の加熱を行う載置部側加熱ヒータＨ２を備え、治具部品載置部ＡＲ２の温度がヘッド側加熱ヒータＨ１によって加熱された治具用ツール２０Ｊの温度とほぼ同じ温度になるように載置部側加熱ヒータＨ２の制御を行う。 （もっと読む）

【課題】本発明は検査方法に関わり、より詳細には形状測定装置の測定対象物に対する検査方法を提供する。
【解決手段】基板を検査する検査装備において検査領域を設定するために、基板上に複数の測定領域を設定し、測定領域のうち測定対象物を検査するためのターゲット測定領域と隣接する少なくとも一つ以上の隣接測定領域の基準データ及び測定データを獲得した後、隣接測定領域内で少なくとも一つ以上の特徴客体を抽出する。特徴客体に対応する基準データと測定データとを比較して、歪曲量を獲得し、歪曲量を補償してターゲット測定領域内の検査領域を設定する。これにより、基準データと測定データとの間の変換関係をより正確に獲得することができ、歪曲を補償した正確な検査領域を設定することができる。 （もっと読む）