【課題】 分析精度の高いエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置、蛍光Ｘ線分析方法、およびプログラムを提供する。
【解決手段】 本発明にかかるエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置１００は、試料にＸ線を照射することにより発生する蛍光Ｘ線に基づいて前記試料を分析するエネルギー分散型蛍光Ｘ線装置であって、前記試料から発生した蛍光Ｘ線を検出する検出部１４と、前記検出部が検出した前記蛍光Ｘ線のスペクトルを作成するスペクトル作成部２２と、前記スペクトル作成部によって作成された前記スペクトルが、鉛元素に対応する複数のエネルギー位置のすべてにピークを有する場合に、前記試料が鉛を含有すると判断する鉛同定部２４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 土壌中の有害物質の分析において、溶出法に極めて近似する測定結果を得られるとともに、簡易的かつ迅速に分析が可能な土壌有害物質含有量分析方法を提供する。
【解決手段】 土壌有害物質含有量分析方法においては、前分析工程として、採取された土壌を試料として蛍光Ｘ線分析により有害物質の含有量を分析する。溶出工程として、試料とされた土壌から有害物質を溶出するように前記土壌に水系溶媒を加えて混合した後に固液分離する。後分析工程として、固液分離されたうちの固体成分を試料として蛍光Ｘ線分析法により有害物質の含有量を分析する。溶出量算出工程として、前記前分析工程で分析された有害物質の含有量から後分析工程で分析された有害物質の含有量を減算し、溶出された有害物質の含有量を算出する。 （もっと読む）

【課題】
電子顕微鏡等で撮影した半導体デバイスの画像に複数レイヤーのパターンが含まれる場合において、検査対象とするレイヤー以外のパターンの影響を排除して、精度の高いパターンの検査を行うことを実現する。
【解決手段】
本発明のパターン検査装置は、例えば走査型電子顕微鏡システムに搭載することができ、ＳＥＭ画像に複数レイヤーのパターンが含まれている場合に、前記パターンに対応する複数レイヤーのＣＡＤデータを利用することで、前記パターンをレイヤー毎に分離する。これにより、検査対象レイヤーのパターンのみを利用した検査や、レイヤー毎に異なるパターン検査や、レイヤー間の位置ずれ量の検出を実現する。 （もっと読む）

認証システム、装置および方法は、ナノ結晶材料を含む識別マーキングを認証する。マーキングの１または複数の特性が確認され、測定プロファイルが提供される。測定プロファイルを参照プロファイルの閉集合の少なくとも１つのメンバーと比較する。各参照プロファイルは１または複数の特性の予め決められた値を有する。各参照プロファイルは集合内でユニークである。少なくとも１つの参照プロファイルはナノ結晶形態のインジケータ材料の特徴を示し、バルク形態の同じインジケータ材料の特徴は示さない。
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【課題】 硬組織についてより精密な評価を行なうことを可能とする配向性の分析方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明の硬組織の配向性の分析方法は、Bragg角度がa軸、ｃ軸の配向性を判断できるようにX線の入射方向と硬組織の試料表面との角度を設定し、かつ、前記ｃ軸の配向性の場合に、前記角度を2θ＝26°前後に設定するとともに、試料揺動を行う条件下で、X線で硬組織における結晶の配向性の評価を、前記a軸、c軸、及びそれ以外の方向に対する回折強度を比較することにより行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 結晶面に対応した複数の回折Ｘ線を同時に検出して、膜内の複数の結晶構造を迅速にかつ同時に特定すること。
【解決手段】 測定用媒体２を固定設置し、かつ、膜の表面に対する放射光Ｘ線１１の入射角度を所定の角度に制限した状態にして、放射光Ｘ線１１を入射させ、膜内の結晶面に対応して発生した複数の回折Ｘ線２１を全て同時に検出し、検出された複数の回折Ｘ線２１の強度を評価して測定用媒体２内に存在する複数の結晶構造を同時に特定する。 （もっと読む）

【課題】 石炭中の無機鉱物の化学形態を推定するために、ＮＭＲ法を利用して、高炉などの冶金炉やボイラーなどの燃焼炉で広く使用される石炭中の無機鉱物の化学形態を迅速かつ簡便に推定する方法を提供する。
【解決手段】 予め各銘柄を代表する複数種の石炭について、該石炭中に存在する各無機鉱物の化学形態を²⁷Ａｌ−ＮＭＲスペクトル測定法により特定するともに、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量を成分分析法により測定し、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量と無機鉱物の化学形態との関係を示す無機鉱物推定マップを作成した後、評価対象である石炭について、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量を成分分析法により測定し、該石炭中のＡｌ量およびＳｉ量から前記無機鉱物推定マップに基づいて、該石炭中に存在する無機鉱物の化学形態を推定することを特徴とする石炭中の無機鉱物の化学形態の推定方法。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインを停止させずに検査結果が正しいか否か、或いは検査結果の確からしさを容易に確認できることから検査結果の検証が容易となり、検査結果の誤差を自動的に補正できる。
【解決手段】 被検査物２を所定の搬送方向Ｙに搬送しながら計量する計量手段３と、計量手段３による計量値と設定値とを比較判定して判定信号を出力する制御手段６と、判定信号を受けて被検査物２を良品と不良品とに選別する排出手段７と、計量値を出力する出力手段９とを備える重量検査装置１において、計量値の確からしさを確認するために被検査物２ａを搬送方向Ｙと異なる方向に排出するようにモード切換信号を出力する排出指示手段５を備え、制御手段６は、モード切換信号を受けて計量値を確認用計量値として記憶するとともに被検査物２ａを搬送方向Ｙと異なる方向に排出する排出信号を出力し、出力手段９は、確認用計量値を出力する。 （もっと読む）

【課題】 従来異物の有無を検査することができなかった領域についても検査することができ、異物の有無の判定の信頼性を従来より向上することができるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線異物検出装置のコンピュータは、搬送される被検査体を透過したＸ線量に基づいて生成されたＸ線画像中の被検査体に対応すると想定される被検査体領域３１を強影響領域３１ａ及び非強影響領域３１ｂに分割し、強影響領域３１ａのＸ線画像に対して強影響領域３１ａ用の処理によって異物の有無を判断し、非強影響領域３１ｂのＸ線画像に対して非強影響領域３１ｂ用の処理によって異物の有無を判断する。 （もっと読む）

本発明は、被検対象物（１）の材料界面を決定するための方法及び装置に関し、透過放射線を用いて、画像データの画像値を取得することによって被検対象物（１）の三次元画像データを生成するか、或いは取得して置いた画像データの画像値によって被検対象物（１）の三次元画像データを取得し、被検対象物（１）に対して相対的に、画像データを評価するための評価線（１７）を決定し、評価線（１７）の方向における画像値の第１の部分導関数の絶対値が材料界面の位置に極大値を有するように、この評価線に沿って存在する画像値を評価することによって、被検対象物（１）の材料界面の位置を決定するものである。
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【課題】 物理量測定結果をそれに対応するＸ線画像と関連付けた測定結果の把握容易な表示を行なうことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線源２と、Ｘ線検出部４と、データ処理部６と、表示部２０とを備えたＸ線検査装置において、Ｘ線検出部４からの検出情報のうち一部を抽出して少なくともＸ線画像の背景に相当する部分を除いた物理量測定領域のＸ線画像をデータ処理部６のＸ線画像生成部１１に生成させる領域抽出処理部８と、この領域抽出処理部８で抽出された検出情報に基づいてワークＷの大きさ又は質量に対応する物理量を算出する質量算出部１３と、物理量測定領域のＸ線画像と質量算出部１３で算出された物理量を示すグラフ表示要素とを関連付けて表示部２０に表示させる表示データ生成部１５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】視野を移動させながら、目的の領域の画像を画像のぶれなどの劣化無く取得する。
【解決手段】視野を移動させながら目的の領域の前後で複数枚の画像を取得し、それらを数枚ごとのグループに分けて各グループの積算画像を作成し、積算画像同士を比較することで算出した像移動量と撮像枚数との関係式を算出する。その関係式より取得した複数枚の画像間の移動量を算出して、その移動量だけ画像を補正し積算することで、目的の領域の画像を再構成する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ単位でインラインで効率的に欠陥を分析するための装置および技術を提供する。
【解決手段】本発明の実施形態は、単一のセットアッププロシージャにおいて検査および欠陥分析プロセスの全体をセットアップする簡単なインタフェース（１５８、５００）を提供する。ある実施形態において、試料（１００）上の欠陥を分析する装置が開示される。この装置は、潜在的な欠陥（１０２）を探して試料を検査する検査ステーション、およびそのような潜在的な欠陥（１０４）の分類を決定するために、前記潜在的な欠陥の試料を分析するレビューステーションを含む。
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【課題】非破壊分析を用いたテストピースの自動欠陥認証において、誤った検出を少なくし信頼性を高める。
【解決手段】Ｘ線管と、検出器と、Ｘ線検査ユニットのビーム経路にテストピースを位置決めするための機械マニピュレータとを備えたＸ線検査ユニットにおいて、テストピースの位置決め画像を理想的な参照画像と正確に一致するようにすべく、回転軸、回転角及び変位ベクトルを計算し、回転軸、回転角及び変位ベクトルの値を機械マニピュレータに中継すると共に、テストピースをこれらの値に対応する位置に移動させ、この位置において、Ｘ線参照画像と比較するために提供されるテストピースの比較画像を、Ｘ線検査ユニットにおけるＸ線によって作成する。 （もっと読む）

本発明は、病原体、細菌、癌細胞および他の異常なヒトおよび動物の細胞の迅速な同定を達成する。一実施形態では、本発明のシステムは、病原体、細菌および他の異常な細胞の試料の画像を得て処理する第一のサブシステムと、この画像を受容し、高度画像セグメンテーションを用いてこの画像の特定の特徴を切り離し、次いで、パターン認識プロセスを用いることによってこの病原体、細菌および他の異常な細胞を迅速かつ正確に同定し、ここでこのオリジナル画像のセグメント分けまたは切り離された特徴を既知の参照画像と比較する第二のサブシステムとを含む。
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【課題】 ワークを検査しながらのゼロ点補正を可能にし、温度ドリフト等による精度のばらつきを低減させることのできるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線画像に基づいてワークの体積を測定するＸ線検査装置であって、その処理ユニット６が、各透過領域のＸ線画像濃度データから透過領域の等価厚画像の濃度データへの変換処理を施すデータ変換処理部６２と、等価厚画像の濃度データに基づいて複数の透過領域におけるワークの体積を測定する体積測定部６３と、Ｘ線透過量相当のデータを処理して、ワークにＸ線が照射されるときの背景の等価厚をゼロとするようＸ線画像濃度データをゼロ点補正するゼロ点補正部６１とを含み、ゼロ点補正部６１が、ワークの体積を測定する周期に応じてゼロ点補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 複数種類の検査結果を同時に見易く表示することのできる物品検査システムを提供する。
【解決手段】 ワークＷに対応する所定の物理量を特定してその物理量を表わす測定信号を出力する物理量測定部１３と、ワークＷについての所定の品質検査を実行してその品質検査の結果を表わす検査結果信号を出力する品質検査部１５とを備えた物品検査システムであり、更に、測定信号および検査結果信号に基づいて、測定信号で表わされる物理量および検査結果信号で表わされる品質検査結果を含む検査結果情報を、表示画面上の時間軸方向に各ワークＷの測定順に並べて表示する表示部２１を備える。 （もっと読む）

【課題】
小欠陥から大欠陥までの広範囲の欠陥サイズにおいて、高精度且つ高スループットな欠陥検出性能を実現する優れた検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】
試料に電子線ビームを繰り返し走査させ、試料から発生する２次電子または反射電子に基づき検査画像および参照画像を生成し、それらの差分画像から欠陥部を求めるＳＥＭ式検査装置において、生成画像における電子線ビームの繰り返し走査方向の画素数を可変にする機能を備える。 （もっと読む）

【課題】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正すること。
【解決手段】後方散乱電子回折（ＥＢＳＤ）パターンの磁場歪みを修正する方法が提供される。最初に、ＥＢＳＤパターンが、電子顕微鏡内に配置された試料から生成される。顕微鏡内の磁場の所定の表現が用いられ、顕微鏡内の電子の軌道が異なった出現角度に対して計算される。次に、計算された軌道を用いて、顕微鏡の磁場が実質的に存在しない場合のＥＢＳＤパターンを表現する、修正されたＥＢＳＤパターンが、計算される。 （もっと読む）

【課題】気相分解−全反射蛍光Ｘ線法における分析精度、感度を高める。
【解決手段】複数の波長を用いた気相分解−全反射蛍光Ｘ線分析において、あらかじめ校正用試料の乾燥痕に対して求められた複数の内標準元素の定量値の相関関係である感度校正直線を利用することによって、被測定試料の乾燥痕中に添加される内部標準用元素を１種類とした場合においても、高い精度で被測定試料の乾燥痕中の元素の定量分析を可能とするものである。 （もっと読む）