【課題】試料の組成が異なる場合でも蛍光Ｘ線分析を利用して試料中の測定対象物の濃度を計測することができる濃度計測方法、及び蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明では、硫黄等の測定対象成分を含む液体燃料等の試料に対して蛍光Ｘ線分析を行い、蛍光Ｘ線分析により取得したスペクトルから求められる測定対象成分の蛍光Ｘ線強度から、散乱Ｘ線及びシステムピークによるバックグラウンドを減算し、バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対し、試料の組成に起因する蛍光Ｘ線強度変化の補正を行う。バックグラウンドを減算した蛍光Ｘ線強度に対して補正を行った後の値と測定対象成分との関係を示す検量線を予め定めておき、検量線に基づいて、試料中の測定対象成分の濃度を計算する。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギーを検出することができる高エネルギーＸ線の検出装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 所定の方向から入射する入射Ｘ線１の照射によりこれをコンプトン散乱する散乱体１２と、入射Ｘ線に対し特定の方向θにコンプトン散乱された散乱Ｘ線２のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６と、コンプトン散乱の断面積から入射Ｘ線１のエネルギースペクトルを補正する入射Ｘ線補正器１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 １ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線のエネルギー弁別ができ、かつ高エネルギーＸ線がパルスで発生しても、パイルアップが生じにくい高エネルギーＸ線のエネルギー弁別検査装置と検出方法を提供する。
【解決手段】 被検査物６に向けて１ＭｅＶを超える高エネルギーＸ線１ａを照射するＸ線発生装置１１と、被検査物を透過して入射する入射Ｘ線１をコンプトン散乱させる散乱体１２と、コンプトン散乱された散乱Ｘ線２の入射Ｘ線に対する散乱角を所定の範囲に制限する遮蔽体１３と、遮蔽体で制限された散乱Ｘ線のエネルギースペクトルを検出する散乱Ｘ線検出器１４と、散乱Ｘ線のエネルギースペクトルから入射Ｘ線のエネルギースペクトルを演算する入射Ｘ線解析器１６とを備える。 （もっと読む）

【課題】摩擦材の構成をより正確に解析可能な技術を提供する。
【解決手段】前記摩擦材を構成する材料とは異なる性質を有する所定の液体を、前記摩擦材の空隙に含ませる含浸ステップと、前記所定の液体を含む前記摩擦材からなる試料に対して所定のＸ線を照射し、前記空隙に存在する前記所定の液体の反応から、少なくとも前記空隙の位置に関する情報と形状に関する情報とのうち少なくともいずれか一方を含む摩擦材の構成情報を取得する構成情報取得ステップと、前記構成情報取得ステップで取得された前記構成情報に基づいて画像を生成する画像生成ステップと、を備える。 （もっと読む）

【課題】
観察座標を算出するのに不適当な，観察装置で検出するのが困難な欠陥(例えば，膜下欠陥など)が多発する品種・工程のウェーハにおいて，安定かつ高スループットに検査装置と観察装置の座標系のずれを補正する。
【解決手段】
観察装置を，座標変換情報を記憶する記憶手段と、検査装置で検出した複数の欠陥の座標情報を記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を用いてそれぞれの欠陥に対応する観察装置上の座標情報に変換する座標情報変換手段と、座標情報変換手段で変換した観察装置上の座標情報に基づいてそれぞれの欠陥を撮像する撮像手段と、撮像手段で取得した画像から抽出した欠陥の座標情報と座標変換手段で変換したそれぞれの欠陥の座標情報とから記憶手段に記憶しておいた座標変換情報を修正する座標情報修正手段とを備えて構成した。 （もっと読む）

【課題】ボイドの誤検出を抑制することができる画像を提供すること。
【解決手段】画像処理プログラムは、コンピュータ（画像処理装置）１を、画像作成手段２、除去手段３として機能させる。画像作成手段２は、例えば半田バンプ等の検査対象物を含む複数の部材が重なった状態で撮像されたＸ線透過画像４の、検査対象物以外の部材の構造情報に基づいて、検査対象物以外の部材の形状それぞれにおける（Ｘ線）透過濃度を有する画像を作成する。除去手段３は、画像作成手段２により作成された画像を用いて、Ｘ線透過画像４の複数の部材が重なった部位の検査対象物以外の部材の占める透過濃度の影響を除去する。 （もっと読む）

【課題】放射線源と放射線検出器の対と対象物とを複数回にわたって相対回転させて放射線投影データ繰り返し収集し、その複数回転分のデータを用いて対象物の断層情報構築する放射線断層像撮影装置において、相対回転の軌跡のずれがあっても画質を低下させることがなく、しかも撮影開始から断層情報を得るまでの所要時間を短縮化することのできる放射線断層像撮影装置を提供する。
【解決手段】コンピュータ４を主体とする演算装置により、複数回転させて得た放射線投影データ相互のずれ量を求め、そのずれ量に基づいて逆投影処理におけるパラメータを修正して断層情報の構築に供するとともに、コンピュータ４は並列処理機能を有するものを用い、放射線投影データの収集処理と、その各データのずれ量の算出処理並びに逆投影処理による３次元画像情報の構築を含む数値計算処理とを並列に実行する。 （もっと読む）

【課題】低エネルギ放射線検出器によって検出する低エネルギ範囲の放射線像のコントラスト差を大きくし、かつ、低エネルギ放射線検出器と高エネルギ放射線検出器との検出エネルギ差を大きくする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物を透過した第１エネルギ範囲の放射線を検出する第１放射線検出器３２と、第１エネルギ範囲の放射線よりも高い第２エネルギ範囲の放射線を検出する第２放射線検出器４２とを備え、第１放射線検出器３２の第１シンチレータ層３２２の厚さは第２放射線検出器４２の第２シンチレータ層４２２の厚さより薄く、第１放射線検出器３２の第１画素部３２４の画素３２６の第１面積Ｓ１は、第２放射線検出器４２の第２画素部４２４の画素４２６の第２面積Ｓ２より小さい。 （もっと読む）

【課題】２つの放射線検出器における画素数が異なっても、これらの放射線検出器による放射線像に基づく演算処理を容易にする放射線検出装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る放射線検出装置８０は、サブトラクション法を用いる異物検査用の放射線検出装置であって、被検査物Ｓを透過した放射線を検出する第１放射線検出器３２及び第２放射線検出器４２と、検出タイミングの制御を行うタイミング制御部５０と、画像補正部３４とを備え、第１放射線検出器３２の画素の像検出方向に直行する直交方向での第１画素幅Ｗｂ１は、第２放射線検出器４２の画素の直交方向での第２画素幅Ｗｂ２より小さく、タイミング制御部５０は、第２放射線検出器４２の検出タイミングを第１放射線検出器３２の検出タイミングに同期させ、画像補正部３４は、第１放射線検出器３２からの画像における連続するＷｂ２／Ｗｂ１個の画素データを加算する。 （もっと読む）

【課題】二次イオン質量分析における一次イオンエネルギー補正方法に関し、実効的な一次イオンエネルギーを簡便かつ精確に把握し、装置上の設定値からのずれを補正する。
【解決手段】標準試料を用いて二次イオン質量分析により求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を標準チャートとして予め求め、測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際に、標準試料を用いて求めた深さ方向元素分布におけるプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性を実測前に求め、前記標準チャートのプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性と前記実測前に求めたプロファイルシフト量の一次イオンエネルギー依存性との差分から一次イオンエネルギーのエネルギーずれを求め、前記求めたエネルギーずれを基にして前記測定対象試料を用いて深さ方向元素分布を求める際の一次イオンエネルギーを補正する。 （もっと読む）

【課題】 特許文献１に記載された手法と比較して、検出器の画素サイズに対しＸ線の移動量検出範囲が十分に取れるＸ線撮像装置等を提供する。
【解決手段】 本発明のＸ線撮像装置は、Ｘ線を空間的に線状に分割する分割素子を有する。また、分割素子により分割され、被検知物により位置が変化したＸ線の一部を遮蔽する遮蔽手段を有する。この遮蔽手段は、Ｘ線を透過する領域とＸ線を遮蔽する遮蔽素子を備えた領域とを有する。Ｘ線を透過する領域と遮蔽素子を備えた領域との境界線が前記線状に分割されたＸ線を横切るように斜めに配されて構成されている。 （もっと読む）

【課題】煩雑になる検査要員を必要とせず、迅速で有効な乗物の内室、荷物コンテナ、または他の対象の検査装置を提供する。
【解決手段】道路走行能力があるバンなどの包囲された運搬機構に基づいて、人間も含む検査対象を検査する検査システム。運搬機構は、格納ボディまたは装甲により特徴付けられる。貫通放射線源と貫通放射線をビームに形成するための空間モジュレータとは、共に運搬機構のボディ内に完全に収容されており、時間変化走査プロファイルにより対象を照射する。検出器モジュールは対象の内容物により散乱された貫通放射線に基づく散乱信号を発生し、相対移動センサは運搬機構と検査対象との相対配置に基づいて相対移動信号を生成する。散乱信号及び相対移動信号に部分的に依存して信号から対象の内容物の画像が形成される。散乱検出器モジュールとは別々でも部分でもよい検出器が、放射性物質の崩壊生成物に対する感度を示すようにしてもよい。 （もっと読む）

【課題】厚さの薄い被写体のＸ線画像を、長時間安定して低ノイズで形成することができる低エネルギーＸ線画像形成装置を提供する
【解決手段】Ｘ線源１０から２０ｋｅＶ未満の低エネルギーＸ線を被写体１００に照射し、透過する低エネルギーＸ線をガス電子増幅器１２で電子に変換して増幅し、電子検出器１４で検出してＸ線画像形成装置１６により被写体１００の低エネルギーＸ線画像を形成する。この低エネルギーＸ線画像は、標準Ｘ線画像や可視画像と比較して、あるいは異物による低エネルギーＸ線の吸収端を検出することにより、印刷インクや金属その他の異物等のノイズを除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、観察条件に最適な感度ムラ補正の補正係数の設定を自動的に行なうことができる透過型電子顕微鏡用カメラの感度ムラ補正方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】試料を透過した透過電子線を入射して透過電子線像を撮影する透過型電子顕微鏡用カメラ２４と、透過型電子顕微鏡２１の観察条件に合わせてピクセル毎の感度ムラ補正係数を記憶するコンピュータ２３と接続された外部記憶装置２７と、観察画像を得るに際し、前記透過型電子顕微鏡用カメラ２４で撮影されたピクセル毎の画像データに、前記記憶装置２７に記憶された感度ムラ補正係数を乗算するコンピュータ内演算手段と、該演算手段により乗算された画像データを表示する表示手段２３ａとを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】ＴＦＴアレイの検査において、パネルの内部での位置誤差を補正し、ピクセル座標の位置精度の向上を図る。
【解決手段】パネルのピクセルを、パネルの縦方向および横方向の両方向に対して交互に異なる電位状態とし、この電位状態のパネルを電子線走査して走査画像を取得し、得られた走査画像のチェッカパターンを用いることによって、検出信号データをピクセルに割り付ける際の位置ずれを防いで、ピクセル位置の座標精度を向上させる。ピクセル位置検出工程において、チェッカパターンの電位分布で得られる走査画像のチェッカパターンとピクセル配列との対応関係から両者の位置関係を求め、この位置関係に基づいて走査画像の走査位置をピクセルの座標に割り付ける。 （もっと読む）

【課題】１回の電子線スキャンにより測定可能とする、試料損傷のないＥＰＭＡ分析におけるバックグラウンド補正方法。
【解決手段】マッピング領域に目的元素が存在しない部位を入れる第１のステップと、二つの同種の分光結晶のうち、一方を目的元素の特性Ｘ線波長λ_Aに、他方を近傍のバックグラウンド波長λ_Bに設定し、マッピング測定してＸ線カウントデータＩ_A,Ｉ_Bを得る第２のステップと、上記Ｘ線カウントデータＩ_A及びＩ_Bから、α＝Ｉ_A／Ｉ_Bの式から補正係数αを求める第３のステップとからなり、上記第１から第３のステップを経て、ＥＰＭＡ分析のバックグラウンド補正係数αを求め、全マッピング領域において、目的元素の特性Ｘ線波長λ_AについてのＸ線カウントデータＩ_Aに対して、Ｉ_A−Ｉ_B×αの式を用いて得られた値を目的元素のＸ線信号とし、更に、該Ｘ線信号のデータから、別に測定した検量線を用いて目的元素の濃度のマッピングデータを得る方法。 （もっと読む）

【課題】装置自体で放射線の照射開始等を検出し、一括リセット処理によって生じる画像データの周期的な濃度の増減の悪影響を排除可能な放射線画像撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線画像撮影装置１は、複数の放射線検出素子７と、放射線検出素子７ごとに配置されたスイッチ手段８と、走査線５に印加する電圧を切り替える走査駆動手段１５と、各放射線検出素子７にバイアス電圧を供給するバイアス線９を流れる電流を検出する電流検出手段４３と、検出された電流の値に基づいて放射線の照射開始を検出する制御手段２２とを備え、制御手段２２は、走査駆動手段１５からオン電圧を印加する走査線５を順次切り替えながら放射線検出素子７のリセット処理を繰り返し行い、放射線の照射の開始を検出するとオン電圧を印加する走査線５の切り替えを停止し、各スイッチ手段８にオフ電圧を印加させて放射線検出素子７内で発生した電荷を保持させる。 （もっと読む）

【課題】製作歩留まりがよく長期間にわたって安定して使用でき、バックグラウンドを抑制する、蛍光Ｘ線分析用のドリフト補正試料等を提供する。
【解決手段】本発明のドリフト補正試料１は、蛍光Ｘ線分析装置１０における測定強度の径時変化を補正するための基準となるドリフト補正試料１であって、母材であるポリイミドまたはパリレンに少なくとも１つの分析対象元素が混入され、厚さが０．１ｍｍ未満に製膜される。 （もっと読む）

【課題】本発明はＸ線マイクロアナライザに関し、スペクトル同士の比較が容易に行なえるＸ線マイクロアナライザを提供することを目的としている。
【解決手段】細かく絞った電子線を試料１９に照射し、該試料１９から放射される特性Ｘ線を分光結晶９に入射し、その分光された特性Ｘ線を検出器１１で検出し、試料中に含まれる元素を横軸波長と縦軸Ｘ線強度のスペクトルとして定性又は定量するＸ線マイクロアナライザにおいて、電子線の照射電流と特性Ｘ線の計数時間とスペクトルを表示するスケールを予め条件として決めておく設定手段２９と、前記照射電流と計数時間が変化した場合には、前記予め決めてある条件に正規化して表示するようにした演算表示手段２９と、を具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】測定対象物の有害物質量の定量測定の測定精度の向上を図ることができる有害元素濃度測定方法および装置を提供すること。
【解決手段】測定対象物の識別情報を入力する識別情報入力工程と、前記測定対象物にＸ線を照射し、前記測定対象物から放射される蛍光Ｘ線強度を測定する蛍光Ｘ線強度測定工程と、前記蛍光Ｘ線強度測定工程の測定結果のうち所定の有害元素に対応する蛍光Ｘ線強度から、前記有害元素の第１の濃度を算出する第１の濃度算出工程と、前記蛍光Ｘ線測定工程の測定結果に基づく第１の補正係数を算出する第１の補正係数算出工程と、前記識別情報に紐付けられた過去の測定情報に基づく第２の補正係数を算出する第２の補正係数算出工程と、前記第１の補正係数と前記第２の補正係数とを用いて前記第１の濃度を補正し、前記有害元素の第２の濃度を算出する第２の濃度算出工程と、を備える。 （もっと読む）