【課題】本発明の目的は、積層板中に含まれる気泡（空隙）を減らした材料を製造し市場に提供することである。
【解決手段】本発明は、Ｘ線カメラによる検査によって直径３０μｍ以上の気泡を有することがない積層板を製造する製造方法に関するものである。さらには積層板用の樹脂組成物中にＸ線用の造影剤を均一に分散混合することでＸ線カメラによる観測をより容易にし、安価簡便に上記積層板を製造する製造方法に関するものである。また、それらの製造方法を利用して製造される積層板、プリント配線板、多層プリント配線板、及び半導体装置に関するものである。 （もっと読む）

【課題】重い原子及び軽い原子を同時に観察可能な電子顕微鏡像を生成する画像処理の方法を提供する。
【解決手段】方法は、走査透過型電子顕微鏡により試料を撮像した暗視野像であって、走査透過型電子顕微鏡の光軸からの第１角度と、第１角度よりも大きい第２角度との間に散乱した電子を検出して得られた暗視野像を取得し、この暗視野像と共に撮像された明視野像であって、第１角度よりも小さい第３角度以内に散乱した電子を検出して得られた明視野像を取得し、暗視野像の明暗を反転して反転像を生成し、反転像の各画素の輝度と、反転像の各画素に対応する明視野像の画素の輝度との差を、各画素の輝度とする差分像を生成する。 （もっと読む）

【課題】未知の組成/幾何学形状を含む試料での用途に適し、かつ、測定データの自動デコンボリューション及び表面下の像の自動生成を可能にする荷電粒子顕微鏡による可視化法を提供する。
【解決手段】複数(N)の測定期間中に荷電粒子のプローブビームを試料の表面に照射する手順であって、各測定期間は、対応するビームパラメータ(P)の値を有し、値は、ある範囲から選ばれて、かつ異なる測定期間の間で異なる。各測定期間中に試料によって放出される誘導放射線を検出する手順、測定量(M)と各測定期間とを関連付ける手順、各測定期間での測定量(M)の値を記録することで、データ対{P_n,M_n}（1≦n≦N）からなるデータ組(S)をまとめることを可能にする手順を有する。データ組(S)を自動的に処理するのに数学的手法が用いられる。 （もっと読む）

【課題】試料の透過Ｘ線像をＴＤＩセンサで検出する際に、ＴＤＩセンサの積算段数を容易かつ広い範囲で調整することができる透過Ｘ線分析装置及び方法を提供する。
【解決手段】所定の走査方向Ｌに相対移動する試料１００の透過Ｘ線像を検出する透過Ｘ線分析装置であって、透過Ｘ線像に由来する画像を光電変換して生じる電荷を読み出す撮像素子を２次元状に複数個備えた時間遅延積分方式のＴＤＩセンサ１４であって、走査方向に垂直な方向に撮像素子が並ぶラインセンサ１４ａ〜１４ｈを走査方向に複数段並べ、１つのラインセンサに蓄積された電荷を隣接する次のラインセンサへ転送するＴＤＩセンサと、ＴＤＩセンサと試料との間に配置され、走査方向に進退してＴＤＩセンサに入射される画像の一部を遮蔽する遮蔽手段２１と、所定の段数のラインセンサを遮蔽するように遮蔽手段の位置を制御する遮蔽手段位置制御手段と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出器において暗電流などの暗出力や検出感度の変化に即時に対応して補正を行なうことにより検査対象物の検査精度を向上させることができるＸ線検査装置およびＸ線検査装置用コンピュータプログラムを提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筐体１０１内に貫通した状態で搬送コンベア１０４を備える。筐体１０１内における搬送コンベア１０４の上方にはＸ線Ｌを照射するＸ線照射器１０５が設けられており、同搬送コンベア１０４の内側にはＸ線照射器１０５に対向した状態でＸ線ラインセンサ１０７が設けられている。また、筐体１０１内の検査対象物ＷＫの搬送経路上におけるＸ線ラインセンサ１０７より上流側には、ワーク検出器１０８が設けられている。Ｘ線検査装置１００の作動を制御するコンピュータ装置１２０は、ワーク検出器１０８が検査対象物ＷＫを検出するごとにＸ線ラインセンサ１０７の暗出力補正および検出感度補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、試料に関する情報をより迅速に取得する方法及び装置を供することである。
【解決手段】 様々な種類の情報を取得する複数の検出器からの情報が結合されることで、試料の1つ以上の特性が、単一の種類の検出器からの単一の種類の情報を用いるよりも効率的に決定される。一部の実施例では、情報は様々な検出器から同時に収集される。それによりデータ取得時間が顕著に減少しうる。一部の実施例では、試料上の各異なる点からの情報は、第1型の検出器からの情報に基づいてまとめられ、かつ、これらの点に関連する第2型の検出器からの情報が結合される。それにより、前記第1型の検出器によって決定された共通の組成を有する領域の1つのスペクトルが前記第2型の検出器から生成される。一部の実施例では、データ収集は適合可能である。つまりデータは、所望の特性を所望の信頼性で決定されるのに十分なデータが収集されたか否かを判断するため、収集中に解析される。 （もっと読む）

【課題】連続的に巻き取られるような連包ワークにおける個装袋毎の質量測定や空袋検査及び欠品検査をリアルタイムに且つ連続的に行うこと。
【解決手段】搬送される連包ワークＷの境界位置を境界検知部５で検知し、この検知した検知信号を所定の信号処理後に境界信号として質量積算部１１に出力する。また、ライン質量算出部１０は、Ｘ線検出器４からのＸ線透過データに基づいて連包ワークＷに吸収されたＸ線吸収量を算出し、ラインセンサ１周期分を合算した後に風袋部分のＸ線吸収量を減算して得られた内容物のみのＸ線吸収量に質量換算係数を乗算したライン質量値を質量積算部１１に出力する。そして、質量積算部１１において、境界信号の入力タイミングに応じてライン質量値の積算を開始し、次に入力した境界信号の入力タイミングでライン質量値の積算を終了して個装袋の内容物質量値を得る。 （もっと読む）

【課題】被検査物と混在しやすい特定の異種物とが同等の大きさでも、混在しやすい特定の異種物を確実に検出して異種物混入検査を行う。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、バラ流しで搬送される被検査体にＸ線を照射して得られるＸ線透過画像のＸ線濃度データに基づいて被検査体の検査を行うものであり、Ｘ線濃度データから得られる検出すべき特定の異種物Ｗａの立体形状の特徴を示す立体形状指数に基づいて特定の異種物Ｗａの有無を判別する信号処理部６を備える。 （もっと読む）

【課題】濃度の希薄な各種の材料物質の構造や電子状態が化学反応によって変化する様子を、１０ミリ秒以下の時間分解能でその場観察する技術の提供。
【解決手段】Ｘ線応答時間が１０マイクロ秒以下の入射Ｘ線検出器、Ｘ線応答時間が１０マイクロ秒以下の透過Ｘ線検出器、及びＸ線応答時間が１０マイクロ秒以下の蛍光Ｘ線検出器、を具備するＸＡＦＳ計測装置。 （もっと読む）

【課題】 本発明は隣接するスペクトルの重なりの影響を低減することができ、且つ、波数空間上のスペクトルをフィッティングして位相回復を行うよりも少ない計算量で位相回復を行うことができる計算方法、プログラムと、撮像装置を提供すること。
【解決手段】 撮像装置は、シアリング干渉計と、シアリング干渉計により得られる干渉パターンから被検体の情報を算出する算出手段を備える。
算出手段は、干渉パターンを窓フーリエ変換することにより得られる波数空間上の座標におけるフーリエ成分を表す式を３以上用い、それらのフーリエ成分を表す式を連立方程式として解くことで被検体の情報を算出する。 （もっと読む）

【課題】全重量を軽くでき、被検車両の前輪を持ち上げて牽引してもフレームの変形が少なく、フレームの変形を規制するガイドが不要であり、重負荷により破損する可能性がある構成部材がなく、メンテナンスの必要性が低い地上式搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の搬送通路２に沿って被検車両の外側に位置し搬送方向３に水平に延びる左右の走行レール１２と、同一の姿勢を保持しかつ互いに同期して各走行レール上を移動可能な左右の移動台車２０と、各移動台車に設けられ、被検車両の前輪を昇降可能であり、かつ被検車両と干渉しない退避位置に退避可能な左右の前輪昇降装置３０と、各移動台車を連結する連結位置と被検車両と干渉しない退避位置との間で移動可能な連結装置４０とを備える。連結装置４０は、前輪昇降装置３０による被検車両１の前輪１ａの昇降時に、左右の移動台車２０を連結して各移動台車に作用する転倒モーメントを支持する。 （もっと読む）

【課題】鉄鋼材料の粒界偏析や粒界析出物をオージェ分析するための粒界破面露出技術に関して、真空中で高温引張破断する際に、破断後のSの表面偏析を抑制して正確な粒界偏析解析を可能とする技術を提供することを目的とする。
【解決手段】オージェ分析法による鉄鋼材料の粒界偏析、及び、粒界析出物を分析する際の粒界破断試料の作製方法であって、前記鉄鋼材料を真空中で 500〜1000℃ に加熱して引張破断し、破断後の試料を冷却速度１００〜５００℃/sで冷却することを特徴とする粒界破断試料の作製方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像データの保存に失敗するリスクを簡便な方法により低下することが可能なＸ線検査システムを提供する。
【解決手段】
Ｘ線検査装置と、バッファ手段であるＲＡＭと、記憶手段である複数のＨＤＤ装置と、制御手段である制御部とを備えるＸ線検査システム。Ｘ線検査装置は、物品のＸ線画像データを得て、その得られたＸ線画像データによって物品の状態を検査する。ＲＡＭは、Ｘ線画像データを一時的に記憶する。ＨＤＤ装置は、Ｘ線画像データを記憶する。制御部は、複数のＨＤＤ装置の中からＸ線画像データを記憶するＨＤＤ装置を選択する。制御部は、ＲＡＭに記憶されているＸ線画像データの数に基づいてＸ線画像データを記憶するＨＤＤ装置を選択する。 （もっと読む）

【課題】検査装置における伝送プロトコルは画像データの送信側と受信側が使用する伝送プロトコルに応じて最適化されている。このため、使用する伝送プロトコルが変更されると、データの分配を実行する部分の再開発が必要とされる。
【解決手段】画像データに付加情報を付して出力する撮像部と画像データを処理する画像処理部との間に画像分配部を配置する。さらに、画像分配部を、第１の伝送プロトコルにより撮像部から入力される画像データを所定のデータ形式に変換する画像入力部と、所定のデータ形式に変換されたデータの分配を制御する分配制御部と、所定のデータ形式のデータを第２の伝送プロトコルの画像データに変換して画像処理部に出力する画像出力部とで構成する。 （もっと読む）

【課題】省エネ効果を可視化できる新たなＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】搬送中の物品ＡがＸ線照射領域にない場合には、省エネモードに切り替わるＸ線検査装置１であって、該Ｘ線検査装置が省エネモードに切り替わると、運転中の表示画面に省エネモード中であることを表示する表示手段６を備えたことを特徴とする。これにより、物品の搬送状況やＸ線検査装置の稼動状況を監視する作業員にとっては、省エネモードへの切り替え表示を通して、物品の搬送状況やＸ線検査装置の運転状況とを同時に確認することができる。 （もっと読む）

【課題】層状構造を有する被検体の断面像を短い断層撮影時間で得るＣＴ装置。
【解決手段】被検体５を透過したＸ線ビーム２を検出して透過データとして出力するＸ線検出器３と、被検体５とＸ線ビーム２とを平行移動させる平行移動機構７と、被検体５とＸ線ビーム２とを回転軸ＲＡに対し回転させる回転機構６と、回転の１つの位置で１回の平行移動をする間に透過データを収集する１回移動スキャンと、回転の約９０°異なる２つの位置それぞれで平行移動をする間に透過データを収集する２回移動スキャンとを実施するもので、選択入力に応じて１回移動スキャンと２回移動スキャンのどちらかを実施する制御処理部９と、１回移動スキャンの透過データから被検体５の第一の断面像を再構成し、また、２回移動スキャンの透過データから被検体５の第二の断面像を再構成する再構成部９ｅを有するＣＴ装置。 （もっと読む）

【課題】ウエハとマスクのように同等の回路パターンが形成されているが形状が異なる試料を一つの装置で検査することができる検査装置または検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置が、形状が異なる複数の試料に対応した複数の搬送ホルダを備えることにより、同一試料室で異なる試料の検査を可能とする。更に、双方の試料に対する検査結果を照合する機能を備えることにより、欠陥と欠陥が生じる原因との関係を容易に解析できるようにする。 （もっと読む）

【課題】目視用の作業者を必要とせず、従来に比べて被検査体の内容物の個数を正確に検査する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、内容物が収容体に縦詰めして整列収容された被検査体Ｗを順次搬送させながらＸ線を照射し、このＸ線の照射に伴うＸ線濃度データからなるＸ線透過画像に基づいて被検査体Ｗを検査するものであり、Ｘ線透過画像から内容物に相当する内容物領域を抽出し、さらに抽出した内容物領域から内容物の整列方向と直交する方向の内容物の凸部領域を抽出して計数する画像処理手段１３と、画像処理手段１３による凸部領域の計数値に基づいて内容物の個数を判別する判別手段１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子顕微鏡を用いて試料を検査する方法を提供する。
【解決手段】試料を試料ホルダ上に載置する手順、粒子光学鏡筒を用いて、少なくとも1つの粒子放射線ビームを試料へ案内することによって、試料から放出される放射線を発生させる相互作用を生じさせる手順、第1検出器構成C₁を用いて、放出される放射線の第1部分を検出して、第1部分に基づいて第1画像I₁を生成する手順を有する。第1検出器構成C₁とは異なる第2検出器構成C₂を用いて、放出される放射線の第2部分を検出して、第2部分に基づいて第2画像I₂を生成することで、検出器構成の組S_D={C₁,C₂}と、対応する画像の組S_I={I₁,I₂}をまとめる手順、コンピュータ処理装置を用いて、S_Iの各異なる画像を自動的に比較して、S_Dのうちの少なくとも1つに対する視線が閉塞された試料上の少なくとも1つの閉塞領域を数学的に特定する手順を有する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線画像を用いて被検査対象を検査する場合に、被検査対象における検査領域を精度よく設定することが可能なＸ線検査方法を提供する。
【解決手段】被検査物の検査を実行するＸ線検査装置において、被検査物における検査領域を設定する検査領域設定方法は、被検査物の検査対象を含む第１の領域の可視画像を撮像するステップ（Ｓ１０４）と、被検査物の検査対象を含む第２の領域に対して、Ｘ線画像を撮像するステップ（Ｓ１１２）と、第１の領域についての可視画像と第２の領域についてのＸ線画像を、位置および倍率をそろえて、検査対象の位置を示すマークとともに同時に表示するステップ（Ｓ１１８）と、表示した検査対象のマークの位置およびＸ線画像における検査対象の位置について確認の入力を受け付け、検査領域を確定するステップ（Ｓ１２０）とを備える。 （もっと読む）